JP2015508745A5 - 溶融体から水平リボンを成長させ、溶融体からの第1材料のリボンを形成する方法 - Google Patents
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Description
全文を参照する形で本明細書に含める比較の開示”Apparatus for Achieving Sustained Anisotropic Crystal Growth on the Surface of a Silicon Melt”では、本明細書に開示する方法を実現する装置が詳述されている。
図1に、表面104内に形成することのできる固体シリコンリボン102を含む、シリコン溶融体100用の好適な水平リボン成長法を示す。図示するように、シリコンリボン102は、冷温プレートの下に形成して引き出すことができる。点線108は、固体リボンの先行エッジを線引きし、先行エッジでは、シリコンリボン102がシリコン溶融体100との境界面を表面104に有する。点線108の右側では、溶融体を通る熱流量qy ”が、シリコン溶融体100から、シリコンリボン102の固体シリコン材料内に導かれる。シリコンリボンの放射率εs=〜0.6に基づく、より高レベルの熱流量が、シリコンリボン102から冷温プレート106内に放射される。溶融体を通る熱流量qy ”とシリコンリボン102から放射される熱との差が、シリコンの固化のための潜熱を規定し、放射冷却が、次式に示す伝導熱流量よりも大きいものとすれば、この潜熱は、固体シリコン相の成長の速度Vgに関係付けることができる。
ここに、Thは溶融体の最下部の温度であり、Tmは平衡溶融温度であり、Tcは冷温プレートの温度であり、k1は液体(溶融体)の伝導率であり、dは溶融体の深さであり、σはステファン−ボルツマン定数であり、ρは固体リボンの密度であり、Lは溶融の潜熱であり、εsは固体リボンの放射率であり、εcは冷温プレートの放射率である。
図2は、異なる熱流量条件についての、シリコン成長挙動の計算値のグラフ表現を提示する。特に、溶融体を通る熱流量(qy ”)を、溶融体に近接した冷温プレートの温度の関数としてプロットしてある。図2では、冷温プレート温度Tcを、シリコン溶融体温度と冷温プレート温度との差Tc−Tmとして表している。上述したように、溶融体を通る熱は、表面から冷温プレートへ放射させることができ、冷温プレートは、この放射に対するヒートシンクとして機能することができる。曲線202、204、206は、固体リボンの異なる成長速度Vgについての、溶融体の熱流量と冷温プレート温度との関係を計算値で示す。これらの計算値は、0.6の固体放射率εs及び0.2の液体放射率εlに基づき、シリコンの溶融温度(1685K、または1412℃)における特性を近似する。特に、成長速度Vgは、異なる冷温プレート温度Tcと共に変化し、式(2)より決定することができる。式(2)より明らかなように、シリコンから放射される熱を除去するに当たり、比較的低い冷温プレート温度の方が、比較的高い冷温プレート温度よりも有効であり、溶融体を通る熱流量の所定値に対して、Vgのより高い値を生じさせる。換言すれば、冷温プレートに近接したシリコンから熱を除去するに当たり、より低温の冷温プレートの方が、より高温の冷温プレートよりも有効である。
図3〜6に提示した分析の妥当性を検証するために、市販の熱伝達ソフトウェア・パッケージを用いて有限要素モデル化を行った。このモデル化は、伝導、対流、及び放射による熱伝達を、液相及び固相の材料の放射率を含めて計算するシミュレーションを含む。図7A及び7Bは、シリコン成長のシミュレーションを表し、ここれは、シリコン溶融体100の表面にシリコンシード702を含むシリコン溶融体100の上方に冷却プレート106が配置されている。シリコン溶融体温度と冷温プレート温度との差Tm−Tcは60℃に設定され、シリコン溶融体の最下部の温度(ΔTm)は、Tmより5Kだけ上に設定されている。シリコンシード702及びシリコン溶融体100の二次元温度プロファイルを、シリコンシード702を溶融体中に配置した際(0.03秒)の第1瞬時(図7A)、及び第1瞬時の約70秒後の第2瞬時(図7B)について示す。シリコンシード702は、1mm/sの速度で水平方向右向きに引き出され、これにより、図7Aに表す瞬時と図7Bに表す瞬時との間に、シリコンシード702の左エッジ706が約70mm右側に移動する。図7A、7Bのシミュレーションの条件下で、シリコンシード702の一部分704が、約0.7mmから約1mmまで厚くなることが観測され、等方性成長を示している。しかし、持続的な引き出しは観測されず、異方性成長のための条件は満足していないことを示している。なお、これらのTm−Tc及びΔTmの値は、図3に規定する領域222に相当し、これにより、この領域が等方性シリコン成長を生じさせることが確認される。
図8A及び8Bにシミュレーションの結果を提示し、ここでは、ΔTmを2Kに設定したこと以外は、すべての条件が図7A及び7Bと同じである。ΔTmを5Kから2Kに低下させることの1つの効果は、シリコン溶融体を通る熱流量qy ”を低減し、これにより、処理条件が今度は図3の成長レジメ224に相当することである。図8Aには、シリコン溶融体100中に配置した直後のシリコンシード802を示す。図8Bに提示する結果によって確認されるように、101秒後には、薄いシリコンシート806が、シリコン溶融体100の元の左エッジ804の左側に形成される。この薄いシリコンシート806は、異方性結晶成長を示す。図に示す条件下では、薄いシリコンシート806の先行エッジ806が点Pに静止したままであり、これにより、図示する1mm/sでの持続的な(連続した)シリコンシート(リボン)の引き出しが促進される。シリコンシード802が冷温プレート106の右エッジ810を通過した後に、薄いシリコンシート806の定常的な厚さに達する。
種々の実施形態では、シリコン溶融体からの放射を受けるために使用する冷温プレートのサイズ、あるいは冷温プレートによって生成される冷温領域のサイズを制御することによって、シリコンリボンの幅を制御することができる。図9A〜9Dは、本実施形態による、シリコンリボン幅を制御する手順の態様を表す。図9A〜9Dには、シリコン溶融体100の表面領域上に配置されたシリコンシード902の図を含む上面図を示す。図9A〜9Dは、シリコンリボンの形成を、T0からT6までの種々の瞬時について示す。図示するように、シリコンシード902は、右方向904に引き出される。時系列906は、種々の瞬時におけるシリコンシードの左エッジ908の位置を示すためにも設ける。例えば、図9Aはt0における状況を示し、ここでは、左エッジ908が冷温領域910の真下に位置し、冷温領域910は上述した冷温プレートとすることができる。その代わりに、冷温領域は、冷温プレートにおいて所望温度Tcに維持された部分とすることができ、冷温プレートの他の部分は、シリコン溶融体100の溶融表面の温度のようなより高温にすることができる。従って、冷温領域910の幅W2、並びに冷温領域の面積W2×L2は、一般に、シリコン溶融体に近接して配置された冷温プレートのそれぞれ幅及び面積よりも小さい。図に示す冷温領域では、冷温領域910の温度とシリコン溶融温度との差、並びにシリコン溶融体100を通る熱流量のような処理条件が、図3の成長レジメ224内に入るものと考えられ、ここでは、冷温プレート温度に関して上述したように、冷温領域910の温度がTcである。このようにして、シリコンシード902をシリコン溶融体100に沿って引き出す際に、冷温領域910とシリコン溶融体との温度差が異方性結晶成長を誘発する。
T0では、冷温領域910を、溶融した表面に近接した、シリコンシード902の左エッジ908の上方に設けることができる。時刻t0後に、シリコンシード902が右向きに引き出されると共に、シリコンリボン912が異方性成長によって形成される。図9Bに、時刻t1におけるシミュレーションを示し、ここでは、図9Aのシナリオに対して、左エッジ908が右側に引き出されている。シリコンリボン912の幅W1は、冷温領域910の幅W2によって決定することができる。シリコン溶融体100における冷温領域910の真下にない部分については、溶融体を通る熱流量が小さく、溶融体の異方性結晶化を生じさせない。図示するように、シリコンリボンの幅W1は、冷温領域の幅W2よりも小さくすることができる、というのは、冷温領域910のエッジは、冷温領域910の中心に比べて、シリコン溶融体100から熱を吸収する効果が小さいからである。リボンの狭い幅をある期間だけ維持して、初期のシードからの成長により生じる転位を取り除くことが望ましいことがある。
その後に、シリコンリボン912の幅を、幅W1を超えて増加させて例えば基板用の目標サイズを満足することが望ましいことがある。図9Cに、時刻t4なる他の瞬時におけるシナリオを示し、ここでは、シリコンリボン912が処理されて、その幅が増加している。時刻t4では、広幅の冷温領域914が、シリコン溶融体100に近接して導入されている。広幅の冷温領域914は、幅W2よりも大きい幅W3を有し、これにより、シリコンリボン912と一体化された広幅のリボン部分916を生成する。広幅の冷温領域914は第2温度Tc2を有して、Tc2とシリコン溶融温度との差、並びにシリコン溶融体100を通る熱流量は、図3の成長レジメ224内に入るものと考えることができる。換言すれば、Tc2とTmとの差により、q” rad-liquidがqy ”より大きくなり、qy ”は、シリコン溶融体100の結晶化中の溶液の偏析によって特徴付けられる構造的不安定性のレジメを上回る値を有する。
図9Cに示すリボン構造918は、次のように形成することができる。図9Cに示すように、シリコンリボン912の先行エッジ920は、図8A〜8Bに関して上述した理由で、冷温領域910の真下の位置P1に静止したままである。時刻t2において、リボンが右向きに引き出されると、冷温領域910から引き出しの向きに距離L1をおいて位置する広幅の冷温領域914が、シリコン溶融体100に近接して導入される。広幅の冷温領域914は可変の幅を有することができ、これにより、時刻t2には、広幅の冷温領域914が、図9Cに示す冷温領域922を生成するための幅Wt2しか有しない。図に示す例では、幅Wt2がW2と同じであり、時刻t3までの時間にわたって増加する。時刻t3には、冷温領域の幅がWt3であり、図に示す例の幅W3と同等である。冷温領域をW2からW3まで単調に広げることにより、結晶が、狭幅のリボンから外向きに成長し(即ち、広がり)、これにより、シードの結晶構造を、リボンの幅全体にわたって維持することができ、転位のない単結晶リボンの成長を可能にすることが重要であると認められる。こうした(t2とt3の間の)拡幅プロセスが、不均一な厚さの拡幅されたシートを生じさせることも、認めるべきである。その後に、広幅の冷温領域914の幅Wt3(W3)を、図9C中の時刻t4まで一定に保持する。t3〜t4の時間中には、Wt3も一定に保持されるので、リボンの広幅部分916を一定のままにすることができ、リボン構造918が生じる。
図9Dに、瞬時t4に後続する瞬時t6におけるリボン構造918についてのシナリオを示す。図9Dに示す瞬時には、冷温領域910及び広幅の冷温領域914が「ターンオフ」されている。換言すれば、冷温プレートまたは同様のデバイスを、参照番号910b及び914bで示す位置から除去することができる。一部の実施形態では、冷温プレートを除去することができるのに対し、他の実施形態では、冷温プレートの温度を増加させて、冷温プレートがもはや冷温領域910及び914の効果を生じないようにすることができる。これに加えて、図9Dのシナリオでは、継続的な冷温領域924が、シリコン溶融体100に近接して導入され、冷温領域910から引き出しの向きに、L1より大きい距離L2をおいている。この例では、継続的な冷温領域W3が、広幅冷温領域914と同様の幅W3を有し、これにより、リボンの広幅部分916内に均一な幅W4を生じさせる。継続的な冷温領域924は第3温度Tc3を有して、T c3 とシリコン溶融温度との差、並びにシリコン溶融体100を通る熱流量は、図3の成長レジメ224内に入るものと考えることができる。一部の実施形態では、Tc3をTc及び/またはTc2に設定することができる。なお、継続的な冷温領域924は、一定の幅及び一定の冷却効果を有して、均一な厚さのリボンを生成する。一部の実施形態では、継続的な冷温領域924が「ターンオン」されるのと同時に、冷温領域910及び広幅の冷温領域914が「ターンオフ」され、このことは、瞬時t4とt6の間の瞬時t5に発生し得る。従って、図9Dのシナリオに示すように、継続的な冷温領域924の左側にあるあらゆる結晶リボン部分を、その後に、冷温領域910、914の除去後に溶融体の表面からこれらの領域内に導入されるより低い熱流量により加熱して、再融解させることができる。このことは、リボンの広幅部分916に新たな先行エッジ926を生じさせる。代案の実施形態では、広幅の冷温領域及び継続的な冷温領域924を単一位置に設け、これにより、一旦、所望の幅W4に達すると、広幅の/継続的な冷温領域が定位置に留まる。
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