JP2015502693A - 寄生容量が低減されたmemsマイクロフォン - Google Patents
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Abstract
Description
Hc=Cm/(Cm+Ci+Cp) ... (1)
ここでCiは、電気信号の処理に適合したASICチップの入力容量であり、Cpは、寄生容量、すなわちこのコンデンサの音響的不活性部の容量である。Cmは、縁部領域の容量と中央領域の容量とを含む全容量である。寄生容量を低減することが、信号の劣化を低減することが分かるので、したがってマイクロフォンの信号品質を改善することになる。
−メンブレン層にメンブレンを形成するステップ。
−このメンブレン層の上にアンカー層を堆積するステップ。
−このアンカー層の上に第1のバックプレート層を堆積するステップ。
−この第1のバックプレート層において、第1のバックプレートをパターニングするステップ。
−第1のバックプレートおよび/またはアンカー層に、縁部領域における保護フィルムを堆積するステップ。
−中央領域におけるアンカー層の材料を除去するステップ。
ABL :追加のバックプレート層
AL :接着層
AN :アンカー部材
BP :バックプレート
HF :エッチング剤
IE :絶縁部材(円環形状)
IL :絶縁層
M :メンブレン
PF :保護フィルム
RR :縁部領域
RSB :バックプレートの縁部側部
RSM :メンブレンの縁部側部
SU :基板
W :縁部側バックプレートの幅
Claims (10)
- MEMSマイクロフォンであって、
メンブレン層にあるメンブレン(M)と、第1のバックプレート層にある第1のバックプレート(BP)と、当該メンブレン層と当該第1のバックプレート層との間のアンカー層にあるアンカー部材(AN)と、保護フィルム(PF)とを備え、
活性領域(AAR)と当該活性領域(AAR)を包囲する縁部領域(RR)とを備え、
前記保護フィルム(PF)は、前記縁部領域(RR)において前記第1のバックプレート(BP)および/または前記アンカー部材(AN)を覆っていることを特徴とするMEMSマイクロフォン。 - 請求項1に記載のMEMSマイクロフォンにおいて、
前記保護フィルム(PF)は、VHF環境に耐性のある材料から成ることを特徴とするMEMSマイクロフォン。 - 前記保護フィルム(PF)は光感応性であることを特徴とする、請求項1または2に記載のMEMSマイクロフォン。
- 前記保護フィルム(PF)はproTEK PSBフィルムであることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載のMEMSマイクロフォン。
- 前記アンカー部材(AN)は、前記第1のバックプレートと揃っていることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のMEMSマイクロフォン。
- 前記アンカー部材(AN)は、SiO2から成ることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項に記載のMEMSマイクロフォン。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のMEMSマイクロフォンにおいて、
追加のバックプレート層における、追加のバックプレート(ABL)をさらに備え、
前記メンブレン層が、前記第1のバックプレート層と前記追加のバックプレート層との間に設けられることを特徴とするMEMSマイクロフォン。 - 請求項7に記載のMEMSマイクロフォンにおいて、
さらに、前記追加のバックプレート層(ABL)における円環形状の絶縁部材(IE)を備え、
前記円環形状の絶縁部材(IE)は、絶縁材料から成り、前記追加のバックプレート(ABL)の中央部を包囲することを特徴とするMEMSマイクロフォン。 - MEMSマイクロフォンの製造方法であって、
メンブレン層にメンブレン(M)を形成するステップと、
当該メンブレン層の上にアンカー層を堆積するステップと、
当該アンカー層の上に第1のバックプレート層を堆積するステップと、
当該第1のバックプレート層において、第1のバックプレート(BP)をパターニングするステップと、
前記第1のバックプレート(BP)および/または前記アンカー層に、縁部領域における保護フィルム(PF)を堆積するステップと、
中央領域(AAR)におけるアンカー層の材料を除去するステップと、
を備えることを特徴とする方法。 - 前記中央領域(AAR)における前記アンカー層の材料を除去するために、VHF法が用いられることを特徴とする、請求項9に記載の方法。
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