JP7147335B2 - Memsマイクロフォン - Google Patents
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- 石英ガラスで構成され、貫通孔を有する基板と、
前記基板の一方面側において前記貫通孔を覆うメンブレンと、
前記基板の一方面側において前記貫通孔を覆い、かつ、前記メンブレンとエアギャップを介して対面するバックプレートと、
前記メンブレンおよび前記バックプレートに設けられた一対の端子部と
を備え、
前記貫通孔の内側面が、多焦点球面であり、断面視において、前記基板側に窪むように湾曲している、MEMSマイクロフォン。 - 前記貫通孔は、断面視において、前記基板の一方面側における幅が他方面側における幅より狭い、請求項1に記載のMEMSマイクロフォン。
- 前記貫通孔が、前記基板の一方面側および他方面側において円形の開口を有し、前記基板の一方面側における直径が他方面側における直径より小さい、請求項2に記載のMEMSマイクロフォン。
- 前記貫通孔が、断面視において、前記基板の一方面側における幅より幅広であり、かつ、他方面側における幅より幅広である部分を有する、請求項1~3のいずれか一項に記載のMEMSマイクロフォン。
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JP2018143625A JP7147335B2 (ja) | 2018-07-31 | 2018-07-31 | Memsマイクロフォン |
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Family Applications (1)
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Citations (6)
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-
2018
- 2018-07-31 JP JP2018143625A patent/JP7147335B2/ja active Active
Patent Citations (6)
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