JP2015229949A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2015229949A5
JP2015229949A5 JP2014115806A JP2014115806A JP2015229949A5 JP 2015229949 A5 JP2015229949 A5 JP 2015229949A5 JP 2014115806 A JP2014115806 A JP 2014115806A JP 2014115806 A JP2014115806 A JP 2014115806A JP 2015229949 A5 JP2015229949 A5 JP 2015229949A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cylindrical stator
emissivity
facing
faces
blade
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014115806A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6398337B2 (ja
JP2015229949A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2014115806A priority Critical patent/JP6398337B2/ja
Priority claimed from JP2014115806A external-priority patent/JP6398337B2/ja
Priority to CN201510209327.4A priority patent/CN105275836B/zh
Priority to US14/720,092 priority patent/US10161404B2/en
Publication of JP2015229949A publication Critical patent/JP2015229949A/ja
Publication of JP2015229949A5 publication Critical patent/JP2015229949A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6398337B2 publication Critical patent/JP6398337B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2014115806A 2014-06-04 2014-06-04 ターボ分子ポンプ Active JP6398337B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014115806A JP6398337B2 (ja) 2014-06-04 2014-06-04 ターボ分子ポンプ
CN201510209327.4A CN105275836B (zh) 2014-06-04 2015-04-28 涡轮分子泵
US14/720,092 US10161404B2 (en) 2014-06-04 2015-05-22 Turbo-molecular pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014115806A JP6398337B2 (ja) 2014-06-04 2014-06-04 ターボ分子ポンプ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2015229949A JP2015229949A (ja) 2015-12-21
JP2015229949A5 true JP2015229949A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) 2017-11-09
JP6398337B2 JP6398337B2 (ja) 2018-10-03

Family

ID=54769218

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014115806A Active JP6398337B2 (ja) 2014-06-04 2014-06-04 ターボ分子ポンプ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10161404B2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP (1) JP6398337B2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
CN (1) CN105275836B (cg-RX-API-DMAC7.html)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6666696B2 (ja) 2015-11-16 2020-03-18 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP6705228B2 (ja) * 2016-03-14 2020-06-03 株式会社島津製作所 温度制御装置およびターボ分子ポンプ
JP6664269B2 (ja) * 2016-04-14 2020-03-13 東京エレクトロン株式会社 加熱装置およびターボ分子ポンプ
JP6981748B2 (ja) * 2016-11-24 2021-12-17 エドワーズ株式会社 真空ポンプとその回転体と静翼およびその製造方法
JP6776971B2 (ja) * 2017-03-27 2020-10-28 株式会社島津製作所 真空ポンプおよびポンプ一体型の電源装置
JP7164981B2 (ja) * 2018-07-19 2022-11-02 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP7306845B2 (ja) * 2019-03-26 2023-07-11 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品
JP7327183B2 (ja) * 2020-01-29 2023-08-16 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
JP7428101B2 (ja) * 2020-08-14 2024-02-06 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
FR3116310B1 (fr) * 2020-11-19 2023-03-17 Pfeiffer Vacuum Pompe à vide turbomoléculaire et procédé de fabrication d’un rotor
FR3118651B1 (fr) * 2021-01-06 2023-03-31 Pfeiffer Vacuum Dispositif de chauffage et pompe à vide turbomoléculaire
JP7671586B2 (ja) 2021-01-18 2025-05-02 エドワーズ株式会社 真空ポンプとその回転体
JP7456394B2 (ja) * 2021-01-22 2024-03-27 株式会社島津製作所 真空ポンプ
JP7459811B2 (ja) * 2021-01-25 2024-04-02 株式会社島津製作所 真空ポンプ
EP4123182B1 (de) * 2022-12-01 2025-11-05 Pfeiffer Vacuum Technology AG Vakuumpumpe und verfahren zur herstellung eines statorbauteils für einen stator einer vakuumpumpe
JP2025068887A (ja) * 2023-10-17 2025-04-30 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、真空ポンプの回転体及び真空ポンプの上流側の回転翼
EP4361449A1 (de) * 2024-02-29 2024-05-01 Pfeiffer Vacuum Technology AG Vakuumpumpe

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0626493B2 (ja) * 1984-11-05 1994-04-13 井関農機株式会社 脱穀選別装置
CN1006491B (zh) * 1985-04-01 1990-01-17 株式会社岛津制作所 涡轮分子泵
JP3237210B2 (ja) 1992-06-25 2001-12-10 ソニー株式会社 ディスク装置
JPH0612794U (ja) * 1992-07-13 1994-02-18 株式会社大阪真空機器製作所 複合型真空ポンプの加熱装置
JP3160504B2 (ja) 1995-09-05 2001-04-25 三菱重工業株式会社 ターボ分子ポンプ
JP3792318B2 (ja) * 1996-10-18 2006-07-05 株式会社大阪真空機器製作所 真空ポンプ
JP2000161286A (ja) * 1998-11-25 2000-06-13 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
US6793466B2 (en) 2000-10-03 2004-09-21 Ebara Corporation Vacuum pump
JP4222747B2 (ja) * 2000-10-03 2009-02-12 株式会社荏原製作所 真空ポンプ
JP2004176585A (ja) * 2002-11-26 2004-06-24 Shimadzu Corp 分子ポンプ
JP2005320905A (ja) * 2004-05-10 2005-11-17 Boc Edwards Kk 真空ポンプ
JP4703279B2 (ja) * 2004-06-25 2011-06-15 株式会社大阪真空機器製作所 複合分子ポンプの断熱構造
JP4508208B2 (ja) * 2007-05-01 2010-07-21 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ用表面処理層
JP2010112202A (ja) * 2008-11-04 2010-05-20 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
WO2010116747A1 (ja) * 2009-04-10 2010-10-14 株式会社アルバック メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ又はドライポンプを構成する部材の表面処理方法及びこの表面処理方法により処理されたメカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ又はドライポンプ
WO2011024261A1 (ja) * 2009-08-26 2011-03-03 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプおよびロータの製造方法
JP2014029129A (ja) * 2012-07-31 2014-02-13 Edwards Kk 真空ポンプ
US9745989B2 (en) 2012-09-24 2017-08-29 Shimadzu Corporation Turbo-molecular pump

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2015229949A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
DK3165761T3 (da) Vindenergianlæg-rotorblad med en elektrisk varmeindretning
EP3021463A3 (en) Blower
WO2015042712A8 (en) Dual-function impeller for a rotary injector
JP2015506880A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
EP3034785A3 (en) A gas turbine fan blade with varying fracture resistance
JP2017528075A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2014511460A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
EP3000967A3 (en) Gas turbine engine blade slot heat shield
CL2014001844A1 (es) Sistema de enfriamiento de una turbina de viento, comprende un generador, una porción de carcasa, un buje rotativo, donde la porción de carcasa y buje encierran una cavidad que acomoda el generador, y medios de intercambio de calor proporcionados en una superficie exterior del buje; turbina de viento; generador.
PL3377775T3 (pl) Przemysłowy wentylator osiowy z łopatami o niskim poziomie hałasu i dużej wydajności
PL3988797T3 (pl) Wentylator osiowy z łopatkami wirnika redukującymi hałas
JP2015229936A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
DK3728835T3 (da) Vindkraftanlæg med rotornavforlængelse
EP2835537A3 (en) Fan
JP2015155670A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
RU2015128801A (ru) Гидравлическая турбина
JP2017028804A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2016151206A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2016023851A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
CN109874297A (zh) 能引用无功风的风力机
GB201718651D0 (en) Device with radial shaft for controlling the orientation of the fan blades of an unducted fan turbomachine
Ehrhardt Thermo-mechanical lifetime assessment of components for 700° C steam turbine applications
MX374640B (es) Estator para convertidor de par de torsion.
Lau et al. Dataset for" Aerofoil trailing-edge noise prediction models for wind turbine applications"