JP2015227833A - 円二色性計測方法及び円二色性計測装置 - Google Patents
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Abstract
Description
を有することを特徴とする。
を含み、前記解析ステップは、前記位相変化量のデータδ(t)に基づいて、前記試料のデータIs(t)の時刻tにおける位相量に係るデータIs(δ)を算出するIs(δ)算出ステップと、前記データIs(δ)を以下の数式(3)でフィッティングを行って、前記試料に係るミュラー行列における行列要素S00、S02、S03を算出する行列要素算出ステップと、
を含む態様とすることができる。
を有することを特徴とする。
を含み、前記解析手段は、前記位相変化量のデータδ(t)に基づいて、前記試料のデータIs(t)の時刻tにおける位相量に係るデータIs(δ)を算出するIs(δ)算出手段と、前記データIs(δ)を以下の数式(6)でフィッティングを行って、前記試料に係るミュラー行列における行列要素S00、S02、S03を算出する行列要素算出手段と、
を含む態様とすることができる。
以下の説明では従来の円二色性計測装置の構成及び円二色性に係る概略説明の後に、第1実施形態に係る円二色性計測装置及び円二色性計測方法について説明する。なお、以降の説明では、光源からの光の進行方向をZ軸とし、Z軸に対して垂直である且つ直交する2つの軸をX軸(縦方向)及びY軸(横方向)とする。
次に、第2の実施形態について、図13に示す装置を用いて説明する。なお第1実施形態で説明した箇所との重複は避け、相違する部分について詳細に記す。
(光路A)光源10→第1偏光板21(0)→試料40→光検出器50
(光路B)光源10→第1偏光板21(0)→第3偏光板23(90)→第2光検出器51
(光路C)光源10→第1偏光板21(0)→1/4λ波長板33(45)→第4偏光板24(0)→第3光検出器52
(1)光路Aにより、光検出器50で得られた信号から、Is(t)を得る。(すなわち、光路AがIs(t)取得手段となる。)
(2)光路Bにより、第2光検出器51で得られた信号から、Ip(t)を得る。(すなわち、光路BがIp(t)取得手段となる。)
(3)光路Cにより、第3光検出器52で得られた信号から、Ir(t)を得る。
Claims (5)
- 光源と、光源から出射される光から直線偏光を取り出す偏光板と、前記直線偏光を変調する位相変調素子と、前記位相変調素子にて変調された後に試料を透過した光を検出する光検出器と、を備える円二色性計測装置における円二色性計測方法であって、
前記光検出器における時間に対する光強度の変化を取得する試料データ取得ステップと、
前記位相変調素子の前記時間に対する位相量の変化を取得する位相量変化取得ステップと、
前記試料データ取得ステップにおいて取得された光強度の変化を、前記位相量変化取得ステップにおいて取得された位相量の変化に基づいて、前記位相量に対する変化に変換し、これに基づいて、前記試料に係るミュラー行列を以下の数式(1)とした場合の行列要素S00、S02、S03を算出する解析ステップと、
を有する円二色性計測方法。 - 前記位相量変化取得ステップでは、前記試料を配置した状態で前記光源から光を出射することで、前記光検出器において検出される光信号の時間変化を示すデータIs(t)を取得し、
前記位相量変化取得ステップは、
前記光源からの光路上に、前記試料に代えて、前記偏光板に対して直交ニコルの関係をなす第2偏光板を配置した状態で前記光源から光を出射することで、前記光検出器において検出される光信号の時間変化を示すデータIp(t)を取得するステップと、
以下の数式(2)を用いて、前記データIp(t)から、前記位相変調素子による位相変化量の時間変化を示すデータδ(t)へ変換するステップと、
を含み、
前記解析ステップは、
前記位相変化量のデータδ(t)に基づいて、前記試料のデータIs(t)の時刻tにおける位相量に係るデータIs(δ)を算出するIs(δ)算出ステップと、
前記データIs(δ)を以下の数式(3)でフィッティングを行って、前記試料に係るミュラー行列における行列要素S00、S02、S03を算出する行列要素算出ステップと、
を含む請求項1記載の円二色性計測方法。 - 光源と、光源から出射される光から直線偏光を取り出す偏光板と、前記直線偏光を変調する位相変調素子と、前記位相変調素子にて変調された後に試料を透過した光を検出する光検出器と、を備える円二色性計測装置であって、
前記光検出器における時間に対する光強度の変化を取得する試料データ取得手段と、
前記位相変調素子の前記時間に対する位相量の変化を取得する位相量変化取得手段と、
前記試料データ取得手段において取得された光強度の変化を、前記位相量変化取得手段において取得された位相量の変化に基づいて、前記位相量に対する変化に変換し、これに基づいて、前記試料に係るミュラー行列を以下の数式(4)とした場合の行列要素S00、S02、S03を算出する解析手段と、
を有する円二色性計測装置。 - 前記試料データ取得手段は、前記試料を配置した状態で前記光源から光を出射することで、前記光検出器において検出される光信号の時間変化を示すデータIs(t)を取得し、
前記位相量変化取得手段は、
前記光源からの光路上に、前記試料に代えて、前記偏光板に対して直交ニコルの関係をなす第2偏光板を配置した状態で前記光源から光を出射することで、前記光検出器において検出される光信号の時間変化を示すデータIp(t)を取得するIp(t)取得手段と、
以下の数式(5)を用いて、前記データIp(t)から、前記位相変調素子による位相変化量の時間変化を示すデータδ(t)へ変換する変換手段と、
を含み、
前記解析手段は、
前記位相変化量のデータδ(t)に基づいて、前記試料のデータIs(t)の時刻tにおける位相量に係るデータIs(δ)を算出するIs(δ)算出手段と、
前記データIs(δ)を以下の数式(6)でフィッティングを行って、前記試料に係るミュラー行列における行列要素S00、S02、S03を算出する行列要素算出手段と、
を含む請求項3記載の円二色性計測装置。 - 前記位相変調素子から出射される光を2つに分岐するビームスプリッタを更に備え、
前記試料データ取得手段を構成し、前記試料を透過する光を検出する光検出器は、前記ビームスプリッタにより分岐された2つの光の一方側の光路上に形成され、
前記Ip(t)取得手段を構成する前記第2偏光板と、前記第2偏光板を透過した光を検出する第2光検出器が、前記ビームスプリッタにより分岐された2つの光の他方側の光路上に形成される請求項4記載の円二色性計測装置。
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