JP2007286011A - 光学特性計測装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定される試料により変調された光の光路上に、試料側から1/4波長板、1/2波長板、1/4波長板の順で構成された位相シフタ、検光子、および光検出器を有する。1/2波長板、および検光子は、回転可能なように構成されている。
【選択図】図1
Description
D.E.Aspnes and A.A.Studna : "High presision scanning ellipsometer", Appl. Opt., 14, 220-228(1975). P.S.Huge and F.Dill : "A rotating-compensator Fourier ellipsometer", Opt. Commun, 14, 431-437(1975). O.Acher and E.Bigan, B.Drevillon :"Improvements of phase-modulated ellipsometry", Rev. Sci. Instrum., 60, 65-77(1989). B.Wang: "Linear birefringence measurement instrument using two photoelastic modulators", Opt. Eng., 41, 981-987(2002).
θ2=n×θ1 (n:2以上の整数)
を満足することを特徴とするものからなる。
本発明の光学特性計測装置は、測定される試料により変調された光の光路上に、試料側から1/4波長板、1/2波長板、1/4波長板の順で構成された位相シフタ、検光子、光検出器(受光分光手段、光強度情報取得手段)、および演算装置(演算処理手段)を有する。試料は、その測定面が位相シフタと対向するように設置する。
v2= v1×n
つまり、ある時間における1/2波長板の回転角θ1と、検光子の回転角θ2との関係も次式を満たす。
θ2=θ1×n
ここでnは、数式の展開を簡便化するために2以上の整数とする。特に検光子にグラントムソンプリズムを使用した場合、プリズムを使用した光学素子であるため慣性が大きく、且つ光学調整のために精密なあおり機構に搭載されて回転するため、低速回転することが精度の観点から好ましく、n=2であることが好ましい。
(実施例1)
図1に本発明の実施例1に係る光学特性計測装置の光学系を示す。光源1から出射した白色光は偏光子(P)2と試料(X)3とを透過する。試料3を透過した光は楕円偏光となる。このときの偏光状態はストークスパラメータで表され、s out = {s0,s1,s2,s3}T と置くことができる。透過光は方位45°の2枚の1/4波長板(Q)401,403と、1/4波長板401、403に狭持された方位θの1/2波長板(H)402からなる位相シフタ4に入射する。この位相シフタ4はあらゆる波長で任意の位相変化Ω(θ)を与えることが可能である。位相シフタからの出射光は1/2波長板の回転角θに対して2倍の角度で回転する検光子(A) 5によりさらに変調される。各波長における光強度は光検出器6で検出し、演算装置7により解析される。
試料のより複雑な材料特性を測定する場合、本発明の光学特性計測装置は、実施例1の構成に加えて、図3に示すように、試料3の前に第2の位相シフタ8を配置した光学系にすることもできる。このとき、偏光子2と第2の位相シフタ8内の1/2波長板802は回転可能である。光源1から出射された光は、角度φ1で回転可能な偏光子2と、第2の位相シフタ8とを透過して試料(X)3に入射する。第2の位相シフタ8は、方位45°の2枚の1/4波長板(Q’)801,803と、1/4波長板801、803に狭持された方位φ2の1/2波長板(H’)802とからなる。
2 偏光子
3 試料
4 位相シフタ
401,403 1/4波長板
402 1/2波長板
5 検光子
6 光検出器
7 演算装置
8 第2の位相シフタ
801,803 1/4波長板
802 1/2波長板
Claims (8)
- 測定対象の光学特性を計測する光学特性計測装置であって、
前記測定対象により変調された所与の帯域成分を含む光を、少なくとも2枚の1/4波長板と1/2波長板とで構成される位相シフタ、および偏光子を介して受光分光手段に入射させる光学系と、
前記受光分光手段で検出される光強度情報を取得する光強度情報取得手段と、
前記光強度情報取得手段で取得した光強度情報を解析処理し、前記測定対象により変調された光のストークスパラメータ、前記測定対象の楕円率、方位角の少なくとも1つを算出する光学特性要素算出処理を行う演算処理手段と、
を含み、
前記位相シフタは、前記少なくとも2枚の1/4波長板の間に前記1/2波長板が挟持されてなり、
前記1/2波長板および前記偏光子は回転するよう構成されてなり、
前記光強度情報取得手段は、前記1/2波長板および前記偏光子の角度が異なった前記光学系で得られる複数の光強度情報を取得するよう構成されている、
ことを特徴とする光学特性計測装置。 - 前記1/2波長板の回転角をθ1、前記偏光子の回転角をθ2とすると、
θ2=n×θ1 (n:2以上の整数)
を満足することを特徴とする、請求項1に記載の光学特性計測装置。 - 前記光学系はさらに光源と第2の偏光子とを有し、
前記光源により出射した光が、前記第2の偏光子を介して前記測定対象に入射されることを特徴とする、請求項1または2に記載の光学特性計測装置。 - 前記光源は、任意の波長の光を出射し、前記演算処理手段は、前記測定対象の楕円率および方位角を波長毎に算出して、前記楕円率および方位角の波長依存性をそれぞれ算出することを特徴とする、請求項3に記載の光学特性計測装置。
- 前記光学系はさらに光源と第2の偏光子と第2の位相シフタとを有し、
前記光源により出射した光が、前記第2の偏光子および前記第2の位相シフタを介して前記測定対象に入射され、
前記第2の位相シフタは、前記測定対象の前に載置され、少なくとも2枚の1/4波長板の間に前記1/2波長板が挟持されてなり、
前記第2の位相シフタ内の1/2波長板および前記第2の偏光子は回転するよう構成されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の光学特性計測装置。 - 測定対象の光学特性を計測する光学特性計測方法であって、
前記測定対象により変調された所与の帯域成分を含む光を、少なくとも2枚の1/4波長板と1/2波長板とで構成される位相シフタ、および偏光子を介して受光分光手段に入射させるステップと、
前記受光分光手段で検出される光強度情報を取得する光強度情報取得ステップと、
前記取得した光強度情報を解析処理し、ストークスパラメータ、前記測定対象の楕円率、方位角の少なくとも1つを算出する光学特性要素算出処理を行う演算処理ステップと、 を含み、
前記位相シフタは、前記少なくとも2枚の1/4波長板の間に前記1/2波長板が挟持されてなり、
前記1/2波長板および前記偏光子は回転するよう構成されてなり、
前記光強度情報取得ステップは、前記1/2波長板および前記偏光子の角度が異なる前記光学系で得られる複数の光強度情報を取得する、
ことを特徴とする光学特性計測方法。 - 光源により出射した光が、第2の偏光子を介して前記測定対象に入射されるステップをさらに有することを特徴とする、請求項6に記載の光学特性計測方法。
- 前記光源により出射した光が、前記第2の偏光子および第2の位相シフタを介して前記測定対象に入射されるステップをさらに有し、
前記第2の位相シフタは、前記測定対象の前に載置され、少なくとも2枚の1/4波長板の間に前記1/2波長板が挟持されてなり、
前記第2の位相シフタ内の1/2波長板および前記第2の偏光子は回転するよう構成されることを特徴とする、請求項7に記載の光学特性計測方法。
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2003年(平成15年)秋季 第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集 第3分冊, JPN6011028162, 30 August 2003 (2003-08-30), pages 893, ISSN: 0001931807 * |
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