JP2015225922A - ボール搭載用マスクおよびボール搭載方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ボール搭載用マスク60は、矩形状のマスク枠61と、マスク枠61内に張設された弾性を有する支持体62と、支持体62の上面62aに固定された複数のマスク体63と、を有している。各マスク体63は、貫通孔形成領域64を含む。貫通孔形成領域64において、マスク体63には貫通孔が形成されている。この貫通孔によりはんだボールを配線基板50に形成したフラックス上に搭載する。複数のマスク体63は、配線基板50の基板領域に応じて、マトリックス状に配列されている。複数のマスク体63の配置間隔X2,Y2は、配線基板50の基板領域の間隔に対応して設定される。
【選択図】図5
Description
なお、添付図面は、理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、または別の図面中のものと異なる場合がある。また、断面図では、理解を容易にするために、一部の構成要素のハッチングを省略している場合がある。
図1に示すように、半導体装置1は、配線基板10と、その配線基板10に実装された半導体素子20と、配線基板10と半導体素子20との間のアンダーフィル樹脂31とを有している。
図3に示すように、半導体素子20の回路形成面(図では、下面)に配設されたバンプ21と、配線基板10のパッド12aに形成されたバンプ16とを互いに接合することにより、半導体素子20は、配線基板10の配線層12と電気的に接続される。
図4に示すように、配線基板50は、たとえばシート状の基板である。配線基板50は、たとえば平面視矩形状に形成されている。配線基板50は、上記の配線基板50を形成するため、複数(図では32個)の基板領域51を有している。複数の基板領域51は、たとえばマトリックス状(4×8)に配列されている。なお、図4では、各基板領域51の境界を一点鎖線にて示す。配線基板50を各基板領域51の境界線に沿って切断し、配線基板50を個片化することにより、図1に示す配線基板10が形成される。各基板領域51内の破線で示した矩形は、図1等に示すパッド12aが含まれる領域(パッド形成領域)52を示す。
図2に示すように、基板領域51のパッド12a上にフラックス41が塗布されている。フラックス41は、たとえば、複数のパッド12aに対応する領域を覆うように形成される。フラックス41は、たとえば、塗布用のマスクを用いた印刷法により形成される。なお、各パッド12aに対して個別に、または複数のパッド12a毎にフラックス41を形成してもよい。
図5(a)に示すように、ボール搭載用マスク60は、マスク枠61、支持体62、複数のマスク体63を有している。
支持体62は、たとえば紗やスクリーンメッシュと呼ばれる。支持体62は、樹脂や金属をメッシュ状としたものである。支持体62に用いられる樹脂としては、たとえばポリアリレートや液晶ポリマー等のポリエステル等を用いることができる。
先ず、図4に示す配線基板50の「伸び縮み」を測定する。この測定は、たとえば、図示しないボール搭載装置に装備されたカメラを用いる。たとえば、配線基板50の対角に位置する基板領域51(51a,51b,51c,51d)のパッド形成領域52をカメラにて撮影し、撮影した画像データとカメラの位置に基づいて、配線基板50の「伸び縮み」を算出する。このように算出した配線基板50の「伸び縮み」は、製造された配線基板50における基板領域51の設定間隔X1,Y1に対応する。なお、測定に配線基板50に、複数の絶縁層と配線層を形成するために設けられたアライメントマークを利用してもよい。
(1)ボール搭載用マスク60は、矩形状のマスク枠61と、マスク枠61内に張設された弾性を有する支持体62と、支持体62の上面62aに固定された複数のマスク体63と、を有している。各マスク体63は、貫通孔形成領域64を含む。貫通孔形成領域64において、マスク体63には貫通孔63cが形成されている。この貫通孔63cによりはんだボール42を配線基板50に形成したフラックス41上に搭載する。複数のマスク体63は、配線基板50の基板領域51に応じて、マトリックス状(4×8)に配列されている。複数のマスク体63の配置間隔X2,Y2は、図4に示す基板領域51の設定間隔X1,Y1に対応して設定される。
なお、上記の形態は、以下の態様で実施することができる。なお、以下の説明において、上記実施形態と同様の部材について同じ符号を用いることがある。
50 配線基板
51 基板領域
52 パッド形成領域
60 ボール搭載用マスク
61 マスク枠
62 支持体
63 マスク体
42 はんだボール
63c 貫通孔
100 ボール搭載用マスク
101 マスク体
102 マスク部
102a 貫通孔
支持部103
110,120,130,140,150,160 ボール搭載用マスク
111,121,131,141,142,151,152,161 マスク体
Claims (8)
- 複数のパッドを含むパッド形成領域が行列状に設定された配線基板に対応し、前記パッドに導電性のボールを搭載するためのボール搭載用マスクであって、
矩形状のマスク枠と、
前記マスク枠内に張設された弾性を有する支持体と、
前記支持体に固定された複数のマスク体と、
を有し、
前記複数のマスク体は、少なくとも1つの前記パッド形成領域に対応して前記ボールが通過可能な複数の貫通孔を含む貫通孔形成領域を有し、前記パッド形成領域の配列方向のうちの第1の方向において互いに離間して配設され、それら離間して配設された2つの前記マスク体の間において前記貫通孔形成領域の配設間隔は、離間して設定された2つの前記パッド形成領域の設定間隔より狭いこと、
を特徴とするボール搭載用マスク。 - 前記第1の方向は、前記配線基板の長手方向であること、を特徴とする請求項1に記載のボール搭載用マスク。
- 前記複数のマスク体は、前記支持体の1つの面において前記第1の方向と直交する第2方向に沿って設定された複数の貫通孔形成領域を有すること、を特徴とする請求項1または2に記載のボール搭載用マスク。
- 前記複数のマスク体は、前記第1の方向に沿って設定された複数の貫通孔形成領域を有すること、を特徴とする請求項3に記載のボール搭載用マスク。
- 前記複数のマスク体は、前記配線基板と対向する面とは反対側の面に固定され、前記貫通孔を有する板状の部材であること、を特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のボール搭載用マスク。
- 前記複数のマスク体は、前記配線基板と対向する面に固定され、前記貫通孔を有する板状のマスク部と、前記マスク部から突出する突出部とを有すること、を特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のボール搭載用マスク。
- 複数のパッドを含むパッド形成領域が行列状に設定された配線基板に対応したボール搭載用マスクを用いて前記パッドに導電性のボールを搭載するボール搭載方法であって、
前記ボール搭載用マスクは、
矩形状のマスク枠と、
前記マスク枠内に張設された弾性を有する支持体と、
前記支持体に固定され、少なくとも1つの前記パッド形成領域に対応して前記ボールが通過可能な複数の貫通孔を含む貫通孔形成領域を有し、前記パッド形成領域の配列方向のうちの1つの方向において互いに離間して配設され、前記貫通孔形成領域の配設間隔が、前記パッド形成領域の設定間隔より狭い、複数のマスク体と、
を有し、
前記配線基板の測定結果に応じて前記ボール搭載用マスクの移動量を制御し、前記支持体を前記配線基板に押し付けることより伸ばすこと、
を特徴とするボール搭載方法。 - 前記配線基板に対して前記ボール搭載用マスクを傾けて保持したこと、を特徴とする請求項7に記載のボール搭載方法。
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