JP2015221918A - レーザピーニング装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザピーニング処理によって、圧縮残留応力の付与と、硬度向上効果の両立を図ること。
【解決手段】レーザ装置1と、前記レーザ装置1から出射した出射ビームから、2次元方向に複数の極大値を有するビーム強度分布を有する変換ビームを生成する光学手段と、前記変換ビームを処理対象物に照射する照射手段と、を備えたレーザピーニング装置を構成する。複数の極大値(例えば、複数のスポット)を有する変換ビームを処理対象物Sに照射することにより、ビーム照射によって処理対象物Sの表面に与えられた応力分布に変動をもたせることができ、硬度向上効果を一層高めることができる。
【選択図】図1
【解決手段】レーザ装置1と、前記レーザ装置1から出射した出射ビームから、2次元方向に複数の極大値を有するビーム強度分布を有する変換ビームを生成する光学手段と、前記変換ビームを処理対象物に照射する照射手段と、を備えたレーザピーニング装置を構成する。複数の極大値(例えば、複数のスポット)を有する変換ビームを処理対象物Sに照射することにより、ビーム照射によって処理対象物Sの表面に与えられた応力分布に変動をもたせることができ、硬度向上効果を一層高めることができる。
【選択図】図1
Description
この発明は、レーザビームを金属部材の表面に照射し、照射部分の表面改質を行うためのレーザピーニング装置に関する。
金属部材の表面応力の均一化及び残留圧縮応力の付与による耐久性や耐疲労破壊性の向上、あるいは水素脆性による遅れ破壊の防止等を目的として、ショットピーニング処理による表面改質が一般的に行われてきた。このショットピーニング処理は、例えば特許文献1に示すように、処理対象物(金属部材)の表面に加圧空気等とともにショット粒を吹き付ける処理である。ショット粒を吹き付けることによって処理対象物の表面に加工硬化層が形成され、その表面の硬度を向上することができる。
近年においては、従来からのショットピーニング処理の他に、レーザピーニング処理による表面改質も一般的に行われるようになってきている。このレーザピーニング処理は、例えば特許文献2に示すように、液体中に配置した処理対象物に対してレーザビームを照射する処理である。この処理に用いられる一般的なレーザピーニング装置の構成を図7(a)に示す。このレーザピーニング装置では、例えば短パルスレーザ装置100(パルス幅:1〜30ns程度、エネルギー:数mJ〜数10J程度、パワー密度:数GW/cm2程度、波長:1064nm、532nm)が用いられる。このレーザ装置100から出射された出射ビームは、ファイバ等の導光手段101によって処理対象物Sの近くまで導かれる。この導光手段101から出射された出射ビームをレンズ102で集光して、処理対象物Sに照射する。図7(b)に示すように、出射ビーム又は処理対象物Sのいずれかを走査して集光スポット104を移動することによって、大面積を速やかに処理することができる。処理対象物Sの前には、後述するプラズマによる衝撃力を高めるために、透明体103(水、ガラス等)が配置されている。
レーザ装置100からの出射ビームは、レンズ102によって、均一な強度分布を有するトップハット状、又はビーム中央部に最大値を持つガウス分布状に、単一の集光スポット104を有するように集光される。その集光されたビームは処理対象物Sに照射され、その表面でそのエネルギーが吸収される。すると、その表面が瞬間的に加熱されて蒸発し、高温高圧のプラズマが発生する。このプラズマの噴出を透明体103が抑えそれに伴う反力として、衝撃力が処理対象物Sに与えられる。この衝撃力により処理対象物Sの表面が圧縮されることによって、その表面に圧縮残留応力が付与される。
特許文献1、2に示すショットピーニング処理及びレーザピーニング処理には、それぞれ長所と短所がある。すなわち、ショットピーニング処理は、硬度向上効果が優れる一方で、圧縮残留応力付与効果が小さいといわれている。これに対し、レーザピーニング処理は、圧縮残留応力付与効果が優れる一方で、硬度向上効果はショットピーニング処理と比較して小さいといわれている。これは、レーザピーニング処理においては、表面における塑性変形の度合いがショットピーニング処理を行った場合と比較して小さいためと考えられる。
そこで、この発明は、レーザピーニング処理によって、圧縮残留応力の付与と、硬度向上効果の両立を図ることを課題とする。
上記の課題を解決するために、この発明では、レーザ装置と、前記レーザ装置から出射した出射ビームから、2次元方向に複数の極大値を有するビーム強度分布を有する変換ビームを生成する光学手段と、前記変換ビームを処理対象物に照射する照射手段と、を備えたレーザピーニング装置を構成した。
ここでいう、「2次元方向に複数の極大値を有するビーム強度分布」とは、例えば、離間した2箇所のビーム強度が高い部分と、その間のビーム強度が比較的小さい部分とを有するビーム強度分布のことを指す。このように、複数の極大値(例えば、複数のスポット)を有するビームを処理対象物に照射することにより、ビーム照射によって処理対象物の表面に与えられた応力分布に変動をもたせることができる。
すなわち、ビーム強度が高い部分においては、プラズマによる高い圧力が処理対象物の表面に負荷される一方で、相対的にビーム強度が小さい部分(極大値と極大値の間の部分)においては、相対的にプラズマによってその表面に負荷される圧力が低くなる。すると、処理対象物の表面上において、2次元的に高い圧力が負荷された部分が、低い圧力が負荷された部分を挟み込むように分布することになり、このような分布によって生じた応力により、塑性変形が促進される。その結果、特許文献2に示す構成のように、トップハット状又はガウス分布状に集光された単一のスポットを有するビームを照射した場合と比較して、硬度向上効果を一層高めることができる。
前記構成においては、前記光学手段が、前記出射ビームのビーム径よりも狭い領域に複数の透孔を形成したマスク部材である構成とすることができる。
このように、マスク部材を設けることにより、このマスク部材に形成した透孔の形状、数、位置に対応して、2次元方向に複数の極大値を有するビーム強度分布を有する変換ビームを容易に生成することができる。この透孔の形状は、例えば、円形状、スリット状、格子状、同心円状等、種々の形状から選択することができ、さらに、それらの形状を組み合わせた形状とすることもできる。また、その数や位置も、生成した変換ビームによって表面改質効果が発揮される限りにおいて適宜決めることができる。
上記のようにマスク部材を用いる構成とする代わりに、前記光学手段が、複数の前記出射ビームをそのビーム位置をずらしつつ重畳するビーム重畳部材である構成とすることもできる。
このビーム重畳部材を、例えば、単一のレーザ装置から出射された出射ビームを一旦ハーフミラー等で互いに光路が異なる分離ビームを、あるいは、異なる2つ以上のレーザ装置から出射された出射ビームを、2次元方向に複数の極大値を有するビーム強度分布を有する変換ビームを構成するように2次元的に近い位置に集光するプリズム、ミラー、レンズ等からなる集光光学系で構成することができる。
また、単一のレーザ装置から出射された出射ビームを一旦ハーフミラー等で互いに光路が異なる分離ビームとし、この分離ビームを干渉させて干渉縞を形成することによって、あるいは、異なる2つ以上のレーザ装置から出射された出射ビームを干渉させて干渉縞を形成することによって、2次元方向に複数の極大値を有するビーム強度分布を有する変換ビームを構成することもできる。
この発明では、レーザ装置と、前記レーザ装置から出射した出射ビームから、2次元方向に複数の極大値を有するビーム強度分布を有する変換ビームを生成する光学手段と、前記変換ビームを処理対象物に照射する照射手段と、を備えたレーザピーニング装置を構成した。このように構成することにより、レーザピーニング処理において、単一の出射ビームをそのまま処理対象物に照射した場合と比較して、処理対象物の表面における、より大きな塑性変形を与えることができる。このため、圧縮残留応力の付与のみならず、十分な硬度向上効果も得ることができる。
このように硬度を向上させることにより、疲労強度等の向上を図ることができ、従来のレーザピーニング処理では適用が困難であった金型、自動車部品、工作機械部品等の様々な金属部品への幅広い適用が可能となる。
この発明に係るレーザピーニング装置の第一実施形態の構成を図1に示す。このレーザピーニング装置は、レーザ装置1から出射した出射ビームをレンズやミラー等の光学系に通して、処理対象物の表面に照射し、この表面の改質を行うために用いられる。以下、その構成について詳しく説明する。
この構成では、Nd:YAGの第2高調波(532nm)を発振するレーザ装置1を用いた。この第2高調波は、Nd:YAGの基本波(1064nm)と比較して水中透過性が高いためである。このレーザ装置1から出射した出射ビームは、減衰器2に入射される。この減衰器2で、出射ビームは適切な強度に減衰される。
減衰器2を通過した出射ビームは、凸レンズ3によって所定のビーム径に一旦拡径されるとともにピンホール4に通される。
拡径された出射ビームは、ミラー5に入射する。このミラー5はハーフミラーとなっていて、入射ビームの大部分が反射される一方で、一部が透過するようになっている。このミラー5を透過した出射ビームは、凸レンズ6によって集光されて、出射ビームのビーム強度をモニタするためのパワーメータ7に入射する。
その一方で、ミラー5によって反射された出射ビームは、さらに他のミラー8に入射し、このミラー8で反射されてマスク部材9に入射する。このマスク部材9の例を図2に示す。このマスク部材9は、出射ビームのビーム径よりも狭い領域に複数の透孔10を形成したものであって、この透孔10は、円形状(本図(a)を参照)、スリット状(本図(b)を参照)、格子状(本図(c)を参照)、同心円状(本図(d)を参照)等の種々の形状とすることができる。さらに、これらの形状を組み合わせた形状とすることもできる。
例えば、本図(a)に示す円形状の透孔10を形成したマスク部材9の点線で示した領域に出射ビームを入射すると、図3に示すように、4つのスポット11を有する変換ビームを得ることができる。この変換ビームは、2次元方向に4つの極大値を有するビーム強度分布を有していて、各極大値の間にはビーム強度が小さい領域が存在する。図3に示した事例では、スポット11同士の間隔は約0.2mm、各スポット11の直径は約0.1mm程度であるが、このスポット間隔やスポット径は、変換ビームによる表面改質効果が損なわれない限りにおいて、マスク部材9を変更することによって適宜調整することができる。
マスク部材9の直前に位置するミラー8もハーフミラーとなっている。このミラー8を透過したマスク部材9からの戻り光を凸レンズ12で集光した上で、CCDカメラ13でモニタすることによって、マスク部材9に対する出射ビームの光軸合わせを容易に行うことができる。
マスク部材9を通過した変換ビームは、照射手段である凸レンズ14に入射され、所定のビーム径に集光された上で処理対象物Sに照射される。この処理対象物Sは水15の中に浸漬されていて、変換ビームが処理対象物Sの表面に到達するには、数mm程度の水15の層を通過する必要がある。このように水15の層を設けることにより、処理対象物Sの表面に変換ビームを照射することによって発生したプラズマの拡散・消失がこの水15の層によって阻止されるため、プラズマによる衝撃力をより高めることができる。
処理対象物Sは、XYステージ16上に設けられている。このXYステージ16に接続されたコンピュータ17から指令を発することによって、処理対象物S表面の所定範囲全体に亘って、速やかに変換ビームを照射することができる。
次に、このレーザピーニング装置を用いて表面改質処理を行った結果について説明する。
この処理においては、上述したように、Nd:YAGの第2高調波を発振するレーザ装置1を用いた。出射ビームの波長は532nm、パルス幅は4nm、繰り返し周波数は10Hzである。ピンホール4の位置での出射ビームが像転送され、処理対象物Sの表面で結像する構成となっている。本願実施例において使用したマスク部材9は、図2(a)に相当するものであって、出射ビームをこのマスク部材9に通過させることにより、図3に示すように、4つのスポット11を有する変換ビームを生成することができる。処理対象物Sに照射される変換ビームの最大照射強度が2.5GW/cm2となるように、減衰器2の調整を行った。また、ビーム照射のカバレッジはXYステージ16で制御し、600%で一定とした。
処理対象物Sは、オーステナイト系ステンレス鋼(SUS316L)と炭素鋼(S55C)であり、そのサイズは20mm×20mm×5mmである。結晶組織の初期状態を統一するために、ステンレス鋼については1100℃で、炭素鋼については800℃で、予めアニーリング処理を行った。
このレーザピーニング装置による処理後に、ビッカース硬度計を用いて、各サンプルにつき10か所ずつ、表面の硬度測定を行った。ビーム照射後の表面は荒れているため、研磨剤(0.3μm径のアルミナ粉)を用いて最表面層を研磨除去した上で測定を行った。前記10か所の測定結果を平均して、そのサンプルの平均硬度を算出した。さらに、その平均硬度から、ビーム照射を行っていないサンプルの硬度を差し引いて、硬度差(硬度上昇量)を算出した。
上記の表面改質処理との比較のために、上記と同じレーザ装置1から出射される単一のスポットからなる出射ビームを用いて、同一の処理対象物Sに対して同様の表面改質処理を行った。この単一のスポットのビーム径は約200μmである。また、4つのスポット11のビーム強度の合計と、単一のスポットのビーム強度がほぼ等しくなるように、減衰器2の調整を行った。
図4にオーステナイト系ステンレス鋼(SUS316L)に対して処理を行った際の硬度測定結果を示す。横軸はレーザのビーム強度(Laser Intensity)、縦軸は硬度差(Hardness difference)である。本図中の「Quadruple」は4つのスポットからなるビームを照射した場合(本願実施例)、「Normal」は単一のスポットからなるビームを照射した場合(比較例)を示す。ビームを4つのスポットで構成することにより、単一のスポットの場合と比較して、硬度差が大幅に上昇することが確認できた。上述したように、照射したビーム強度は、本願実施例と比較例との間で同じであることから、処理対象物に照射されるビームの形状、すなわち処理対象物に負荷される圧力分布の違いによって、両者の間の硬度差が生じていると結論付けることができる。
図5に炭素鋼(S55C)に対して処理を行った際の硬度測定結果を示す。横軸はレーザのビーム径(Spot size)、縦軸は硬度差(Hardness difference)である。この場合も、単一のスポットからなるビームを照射した場合と比較して、4つのスポット11からなるビームを照射した場合の方が、硬度差が大幅に上昇することが確認できた。このように、この発明に係るレーザピーニング装置は、種々の鋼種、さらには種々の金属に対して適用可能性があるといえる。
この発明に係るレーザピーニング装置の第二実施形態の構成を図6に示す。このレーザピーニング装置は、第一実施形態に係るレーザピーニング装置とその基本構成は類似しているが、第一実施形態では出射ビームをマスク部材9に入射して複数のスポット11を有する変換ビームを生成したのに対して、第二実施形態では2つのレーザ装置1a、1bから出射した出射ビームを両ビームの位置がわずかにずれるようにプリズム18に入射して複数のスポット11を有する変換ビームを生成した点において異なっている。この構成においても、第一実施形態において説明したように、処理対象物Sの硬度向上を図ることができる。なお、この第二実施形態の構成においては、一方のレーザ装置1aにのみパワーメータ7を設けた構成としたが、他方のレーザ装置1bにもパワーメータ7を設ける構成とすることもできる。
上記の実施形態は例示であって、本願発明のレーザピーニング処理によって、圧縮残留応力の付与と、硬度向上効果の両立を図る、という本願発明の課題を解決し得る限りにおいて、光学系の配置、使用するレーザのスペック(波長、パルス幅、周波数)等の諸条件を適宜変更することができる。
1(1a、1b) レーザ装置
2 減衰器
3、6、12、14 凸レンズ
4 ピンホール
5、8 ミラー
7 パワーメータ
9 マスク部材
10 透孔
11 スポット
13 CCDカメラ
15 水
16 XYステージ
17 コンピュータ
18 プリズム(ビーム重畳部材)
S 処理対象物
2 減衰器
3、6、12、14 凸レンズ
4 ピンホール
5、8 ミラー
7 パワーメータ
9 マスク部材
10 透孔
11 スポット
13 CCDカメラ
15 水
16 XYステージ
17 コンピュータ
18 プリズム(ビーム重畳部材)
S 処理対象物
Claims (3)
- レーザ装置(1)と、
前記レーザ装置(1)から出射した出射ビームから、2次元方向に複数の極大値を有するビーム強度分布を有する変換ビームを生成する光学手段と、
前記変換ビームを処理対象物(S)に照射する照射手段と、
を備えたレーザピーニング装置。 - 前記光学手段が、前記出射ビームのビーム径よりも狭い領域に複数の透孔(10)を形成したマスク部材(9)である請求項1に記載のレーザピーニング装置。
- 前記光学手段が、複数の前記出射ビームをそのビーム位置をずらしつつ重畳するビーム重畳部材(18)である請求項1に記載のレーザピーニング装置。
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JP2014105812A JP2015221918A (ja) | 2014-05-22 | 2014-05-22 | レーザピーニング装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018035907A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | Ntn株式会社 | 車輪用軸受装置およびその製造方法 |
CN110352378A (zh) * | 2017-03-07 | 2019-10-18 | 罗伯特·博世有限公司 | 用于形成用于激光加工的辐射的方法和设备 |
WO2022064808A1 (ja) * | 2020-09-24 | 2022-03-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
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