JP2015219295A - 偏波回転素子 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明の偏波回転素子の1構成例において、前記第二コアは、厚さ一定のまま光の伝搬方向に沿って漸次断面積が大きくなるテーパ状の入力端部と、厚さ一定のまま光の伝搬方向に沿って漸次断面積が小さくなるテーパ状の出力端部とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の偏波回転素子の1構成例は、光の伝搬方向に沿って複数の前記第二コアを前記第一コアの両脇に交互に配置したことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態は、高屈折率材料からなる第一コアと、中程度の屈折率材料からなる第二コアと、低屈折率材料からなるクラッドとから構成され、第一コアと第二コアの光伝搬方向の中心軸が異なる偏芯二重コア光導波路を用いて、偏波回転を実現する。さらに、本実施の形態では、第二コアを、第一コアから水平方向および垂直方向に離間して配置する。
シリコン基板1の上にはシリコン酸化膜からなる下部クラッド2が形成され、下部クラッド2の上には正方形断面を有する第一コア3が形成されている。この第一コア3を覆うように上部クラッド6が形成され、この上部クラッド6中に正方形断面を有する第二コア5が形成されている。第一コア3と第二コア5との間にある正方形断面の上部クラッド6は、上部クラッド6と同一の材料からなるスペーサ4としての役割を果たす。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図5は本発明の第2の実施の形態に係る偏波回転素子を上方から見た平面図であり、図1、図4と同様の構成には同一の符号を付してある。図4と同様に、ここでは上部クラッド6の下にある第一コア3、第二コア5および下部クラッド2を透視しているものとする。本実施の形態は、第二コア5の入力端部8を、厚さ一定のまま光の伝搬方向に沿って漸次断面積が大きくなるテーパ状とし、第二コア5の出力端部9を、厚さ一定のまま光の伝搬方向に沿って漸次断面積が小さくなるテーパ状としたことを特徴とする。この図5では第二コア5の平面図が台形となっているが,第二コア5の入力端部8および出力端部9は有限の先端幅を持つ形状でも良い。言い換えると、第二コア5の平面形状は六角形でも良い。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。図6は本発明の第3の実施の形態に係る偏波回転素子を上方から見た平面図であり、図1、図4、図5と同様の構成には同一の符号を付してある。図4と同様に、ここでは上部クラッド6の下にある第一コア3、第二コア5および下部クラッド2を透視しているものとする。本実施の形態は、光の伝搬方向に沿って複数の第二コア5−1,5−2,5−3,5−4,・・・・を第一コア3の両脇に交互に配置したことを特徴とする。
第1〜第3の実施の形態では、第二コア5を第一コア3の上方に配置しているが、図7に示すように第二コア5を第一コア3の下方に配置してもよい。
図8(A)〜図8(E)は本実施の形態の偏波回転素子の製造工程の例を示す工程断面図である。まず、第二コア材料5aを下部クラッド2上に成膜し(図8(A))、この第二コア材料5aを加工して第二コア5を形成する(図8(B))。続いて、第二コア5を覆うように上部クラッド6の第一層6aを成膜する(図8(C))。上部クラッド6の第一層6a層上面の平坦性を保つために、化学機械研磨を施しても良い。この上部クラッド6の第一層6aの上に偏波回転素子の第一コア3および偏波回転素子の第一コア3とは異なる光導波路7を形成する(図8(D))。最後に、第一コア3および光導波路7を覆うように上部クラッド6の第二層6bを成膜する(図8(E))。
Claims (3)
- 光伝搬方向と垂直な断面が矩形の第一コアと、
光伝搬方向と垂直な断面が矩形の第二コアと、
前記第一、第二コアを覆うように配置されたクラッドとから構成され、
前記第一コアの屈折率が前記第二コアおよび前記クラッドの屈折率よりも大きく、
前記第二コアの屈折率が前記クラッドの屈折率よりも大きく、
前記第二コアは、前記第一コアから水平方向および垂直方向に離間して配置されることを特徴とする偏波回転素子。 - 請求項1記載の偏波回転素子において、
前記第二コアは、
厚さ一定のまま光の伝搬方向に沿って漸次断面積が大きくなるテーパ状の入力端部と、
厚さ一定のまま光の伝搬方向に沿って漸次断面積が小さくなるテーパ状の出力端部とを備えることを特徴とする偏波回転素子。 - 請求項1または2記載の偏波回転素子において、
光の伝搬方向に沿って複数の前記第二コアを前記第一コアの両脇に交互に配置したことを特徴とする偏波回転素子。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017003778A (ja) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 光方向性結合器 |
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-
2014
- 2014-05-15 JP JP2014101099A patent/JP6226427B2/ja active Active
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JP6226427B2 (ja) | 2017-11-08 |
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