JP2015216317A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 被着体とシート状樹脂組成物との界面でのボイドの発生を抑制可能であるとともに、実装後のはみ出し量の予測が容易な半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、被着体と、該被着体と電気的に接続された半導体素子と、該被着体と該半導体素子との間の空間を充填するシート状樹脂組成物とを備える半導体装置の製造方法であって、シート状樹脂組成物が半導体素子に貼り合わされたシート状樹脂組成物付き半導体素子を準備する工程、及び前記被着体と前記半導体素子の間の空間を前記シート状樹脂組成物で充填しつつ前記半導体素子と前記被着体とを電気的に接続する接続工程を含み、前記シート状樹脂組成物の８０℃〜２００℃における最低溶融粘度が１００Ｐａ・ｓ以上３０００Ｐａ・ｓ以下であり、前記シート状樹脂組成物の体積Ｖと、前記被着体と前記半導体素子との間の空間を充填するのに必要な体積Ｔとが、下記式を満たす。
０．８５Ｔ≦Ｖ≦１．２５Ｔ
【選択図】 図２Ｆ

Description

本発明は、半導体装置の製造方法に関する。

近年、半導体装置及びそのパッケージの薄型化、小型化がより一層求められている。そのための方策として、半導体チップ等の半導体素子が基板上にフリップチップボンディングにより実装された（フリップチップ接続された）フリップチップ型の半導体装置が広く利用されている。フリップチップ接続は、半導体チップの回路面を被着体の電極形成面と対向した状態とし（フェイスダウン）、半導体チップの回路面に形成された突起電極と被着体の電極とを接合することで固定する実装法である。

フリップチップ接続後には、半導体素子表面の保護や半導体素子と基板との間の接続信頼性を確保するために、半導体素子と基板との間の空間への封止樹脂の充填が行われている。このような封止樹脂としては、液状の封止樹脂が広く用いられているものの、液状の封止樹脂では注入位置や注入量の調節が困難である。そこで、シート状の封止樹脂（アンダーフィルシート）を用いて半導体素子と基板との間の空間を充填する技術が提案されている（特許文献１）。

一般的に、アンダーフィルシートとしてシート状樹脂組成物を用いるプロセスでは、半導体素子に貼りつけられているシート状樹脂組成物にて基板等の被着体と半導体素子の間の空間を充填しながら半導体素子を被着体に接続して実装するという手順が採用されている。上記プロセスでは、被着体と半導体素子との間の空間の充填が容易となる。

特許第４４３８９７３号

上記プロセスでは、半導体素子に貼り合わされたシート状樹脂組成物と被着体とが貼り合わされることになることから、シート状樹脂組成物には被着体表面の凹凸に追従して密着することが求められる。しかしながら、被着体上の電極等の立体構造物の数の増加や回路の狭小化に伴い、シート状樹脂組成物の被着体への密着の度合いが低下し、被着体とシート状樹脂組成物との間にボイド（気泡）が発生する場合がある。このような気泡が存在すると、以降の工程において減圧処理や加熱処理を行った場合に気泡が膨張して被着体とシート状樹脂組成物との間の密着性が低下することがあり、その結果、半導体素子を被着体に実装した際の半導体素子と被着体との接続信頼性が低下することになる。

また、半導体装置の小型化・薄型化に伴い、半導体素子実装後のシート状樹脂組成物の半導体素子からのはみ出し形状が安定していることも求められる。はみ出し量が大きいと、はみ出した部分が他の要素と接触することによる不具合や歩留まりの低下が生じ、一方で、はみ出し量が小さい（充填量が少ない）と接続信頼性に影響するおそれがある。このように、単位面積あたりの生産量を最大限にして歩留まりを向上させるには、シート状樹脂組成物のはみ出し形状の安定性が重要となる。特に、近年の多品種少量生産に対応するプロセス設計では、はみ出し量の予測が困難を極めている。

本発明は、被着体とシート状樹脂組成物との界面でのボイドの発生を抑制可能であるとともに、実装後のはみ出し量の予測が容易な半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。

本願発明者らは鋭意検討したところ、下記構成を採用することにより前記目的を達成できることを見出して、本発明を完成させるに至った。

すなわち、本発明は、被着体と、該被着体と電気的に接続された半導体素子と、該被着体と該半導体素子との間の空間を充填するシート状樹脂組成物とを備える半導体装置の製造方法であって、
シート状樹脂組成物が半導体素子に貼り合わされたシート状樹脂組成物付き半導体素子を準備する工程、及び
前記被着体と前記半導体素子の間の空間を前記シート状樹脂組成物で充填しつつ前記半導体素子と前記被着体とを電気的に接続する接続工程
を含み、
前記シート状樹脂組成物の８０℃〜２００℃における最低溶融粘度が１００Ｐａ・ｓ以上３０００Ｐａ・ｓ以下であり、
前記シート状樹脂組成物の体積Ｖと、前記被着体と前記半導体素子との間の空間を充填するのに必要な体積Ｔとが、下記式を満たす。
０．８５Ｔ≦Ｖ≦１．２５Ｔ
（式中、Ｔ＝Ａ−Ｗであり、Ａは前記接続工程後の半導体素子と被着体との間の空間の見掛けの体積であり、Ｗは半導体素子と被着体との間の空間に存在する構造物がその空間において占める体積である。）

当該製造方法では、シート状樹脂組成物の８０℃〜２００℃における最低溶融粘度を１００Ｐａ・ｓ以上３０００Ｐａ・ｓ以下としているので、半導体素子の電気的接続の際のシート状樹脂組成物の半導体素子や被着体への追従性を向上させることができ、半導体素子の電気的接続の際のボイドの発生を抑制することができる。さらに、シート状樹脂組成物が適度な粘性を有することから、半導体素子と被着体との間の空間からのシート状樹脂組成物のはみ出しを安定化させることができる。最低溶融粘度が低すぎると実装時のシート状樹脂組成物の変形量が大きくなってはみ出し量が大きくなり、最低溶融粘度が高すぎるとシート状樹脂組成物の追従性が低下してボイドが発生してしまう。

さらに、当該製造方法では、シート状樹脂組成物の体積Ｖと、被着体と半導体素子の間の空間を充填するのに必要な体積Ｔとが特定の関係式を満たしているので、実装後の被着体と半導体素子との間の空間をシート状樹脂組成物により過不足なく充填することができ、その結果、シート状樹脂組成物の半導体素子からのはみ出し形状を安定化させることができる。Ｖ＜０．８５Ｔの領域ではシート状樹脂組成物の体積が小さ過ぎて未充填箇所が発生し、ボイドの発生を誘発するおそれがある。Ｖ＞１．２５Ｔの領域では、シート状樹脂組成物の体積が大き過ぎてはみ出し量が過剰となる。

前記シート状樹脂組成物は無機充填剤を含み、該無機充填剤の平均粒径が１０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることが好ましい。これにより、シート状樹脂組成物の粘度の制御を容易にし、ボイドの抑制及びはみ出し形状の安定化をより高いレベルで達成可能となる。さらにシート状樹脂組成物に適度な透明性を付与することができる。

前記シート状樹脂組成物における前記無機充填剤の含有量が７０重量％以下であることが好ましい。これによりシート状樹脂組成物の粘度の過度の上昇を抑制して、ボイドの発生を効率的に抑制することができる。

前記シート状樹脂組成物は、重量平均分子量が５×１０^５以上のアクリル樹脂を含むことが好ましい。これにより当該シート状樹脂組成物に適度な粘度を付与することができ、ボイドの発生の抑制及びはみ出し形状の安定化をより効率的に達成することができる。

本発明の一実施形態に係る積層シートを示す断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。 本発明の他の実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。 本発明の他の実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。 本発明の他の実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。 本発明の他の実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。

本発明の実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。ただし、図の一部又は全部において、説明に不要な部分は省略し、また説明を容易にするために拡大または縮小等して図示した部分がある。上下等の位置関係を示す用語は、特段の言及がない限り、単に説明を容易にするために用いられており、本発明の構成を限定する意図は一切ない。

＜第１実施形態＞
本実施形態では、シート状樹脂組成物と裏面研削用テープとが一体となった積層シート及びこれを用いる半導体装置の製造方法を例に説明する。以下の説明は、裏面研削用テープの粘着剤層に関わる事項を除き、基本的にシート状樹脂組成物単独の場合にも適用することができる。

（積層シート）
図１に示すように、積層シート１０は、裏面研削用テープ１と、裏面研削用テープ１上に積層されたシート状樹脂組成物２とを備えている。なお、シート状樹脂組成物２は、図１に示したように、半導体ウェハ３（図２Ａ参照）との貼り合わせに十分なサイズで設けられていればよく、裏面研削用テープ１の全面に積層されていてもよい。

（シート状樹脂組成物）
本実施形態におけるシート状樹脂組成物２は、表面実装された半導体素子と被着体との間の空間を充填する封止用フィルムとして用いることができる。

シート状樹脂組成物２の８０℃〜２００℃における最低溶融粘度は１００Ｐａ・ｓ以上３０００Ｐａ・ｓ以下であればよい。さらに、最低溶融粘度は１５０Ｐａ・ｓ以上２０００Ｐａ・ｓ以下が好ましく、２００Ｐａ・ｓ以上１５００Ｐａ・ｓ以下がより好ましい。最低溶融粘度を上記範囲とすることで、半導体素子の電気的接続の際のシート状樹脂組成物の半導体素子や被着体への追従性を向上させることができ、半導体素子の電気的接続の際のボイドの発生を抑制することができる。さらに、シート状樹脂組成物が適度な粘性を有することから、半導体素子と被着体との間の空間からのシート状樹脂組成物のはみ出しを安定化させることができる。最低溶融粘度が低すぎると実装時のシート状樹脂組成物の変形量が大きくなってはみ出し量が大きくなり、最低溶融粘度が高すぎるとシート状樹脂組成物の追従性が低下してボイドが発生してしまう。

シート状樹脂組成物の構成材料としては、熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂とを併用したものが挙げられる。又、熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂単独でも使用可能である。

前記熱可塑性樹脂としては、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、ポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、６−ナイロンや６，６−ナイロン等のポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、ＰＥＴやＰＢＴ等の飽和ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、又はフッ素樹脂等が挙げられる。これらの熱可塑性樹脂は単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらの熱可塑性樹脂のうち、イオン性不純物が少なく耐熱性が高く、半導体素子の信頼性を確保できるアクリル樹脂が特に好ましい。

前記アクリル樹脂の重量平均分子量は５×１０^５以上であることが好ましく、７×１０^５以上であることが好ましい。これによりシート状樹脂組成物に適度な粘度を付与することができ、ボイドの発生の抑制及びはみ出し形状の安定化をより効率的に達成することができる。なお、粘度の過度の上昇を抑制する観点から、上記重量平均分子量は１×１０^７以下であることが好ましい。

前記アクリル樹脂としては、特に限定されるものではなく、炭素数３０以下、特に炭素数４〜１８の直鎖若しくは分岐のアルキル基を有するアクリル酸又はメタクリル酸のエステルの１種又は２種以上を成分とする重合体等が挙げられる。前記アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、イソブチル基、アミル基、イソアミル基、へキシル基、へプチル基、シクロヘキシル基、２−エチルヘキシル基、オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ラウリル基、トリデシル基、テトラデシル基、ステアリル基、オクタデシル基、又はドデシル基等が挙げられる。

また、前記重合体を形成する他のモノマーとしては、特に限定されるものではなく、例えばアクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸若しくはクロトン酸等の様なカルボキシル基含有モノマー、無水マレイン酸若しくは無水イタコン酸等の様な酸無水物モノマー、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル若しくは（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート等の様なヒドロキシル基含有モノマー、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート若しくは（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等の様なスルホン酸基含有モノマー、又は２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等の様な燐酸基含有モノマー、アクリロニトリル等のようなシアノ基含有モノマー等が挙げられる。

前記熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、又は熱硬化性ポリイミド樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。特に、半導体素子を腐食させるイオン性不純物等の含有が少ないエポキシ樹脂が好ましい。また、エポキシ樹脂の硬化剤としてはフェノール樹脂が好ましい。

前記エポキシ樹脂は、接着剤組成物として一般に用いられるものであれば特に限定は無く、例えばビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型、臭素化ビスフェノールＡ型、水添ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＡＦ型、ビフェニル型、ナフタレン型、フルオンレン型、フェノールノボラック型、オルソクレゾールノボラック型、トリスヒドロキシフェニルメタン型、テトラフェニロールエタン型等の二官能エポキシ樹脂や多官能エポキシ樹脂、又はヒダントイン型、トリスグリシジルイソシアヌレート型若しくはグリシジルアミン型等のエポキシ樹脂が用いられる。これらは単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらのエポキシ樹脂のうちノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型樹脂又はテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂が特に好ましい。これらのエポキシ樹脂は、硬化剤としてのフェノール樹脂との反応性に富み、耐熱性等に優れるからである。

さらに、前記フェノール樹脂は、前記エポキシ樹脂の硬化剤として作用するものであり、例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ｔｅｒｔ−ブチルフェノールノボラック樹脂、ノニルフェノールノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、ポリパラオキシスチレン等のポリオキシスチレン等が挙げられる。これらは単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらのフェノール樹脂のうちフェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂が特に好ましい。半導体装置の接続信頼性を向上させることができるからである。

前記エポキシ樹脂とフェノール樹脂の配合割合は、例えば、前記エポキシ樹脂成分中のエポキシ基１当量当たりフェノール樹脂中の水酸基が０．５〜２．０当量になるように配合することが好適である。より好適なのは、０．８〜１．２当量である。すなわち、両者の配合割合が前記範囲を外れると、十分な硬化反応が進まず、エポキシ樹脂硬化物の特性が劣化し易くなるからである。

なお、本実施形態においては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びアクリル樹脂を用いたシート状樹脂組成物が特に好ましい。これらの樹脂は、イオン性不純物が少なく耐熱性が高いので、半導体素子の信頼性を確保できる。この場合の配合比は、アクリル樹脂成分１００重量部に対して、エポキシ樹脂とフェノール樹脂の混合量が１０〜１０００重量部である。

エポキシ樹脂とフェノール樹脂の熱硬化促進触媒としては、特に制限されず、公知の熱硬化促進触媒の中から適宜選択して用いることができる。熱硬化促進触媒は単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。熱硬化促進触媒としては、例えば、アミン系熱硬化促進触媒、リン系熱硬化促進触媒、イミダゾール系熱硬化促進触媒、ホウ素系熱硬化促進触媒、リン−ホウ素系熱硬化促進触媒などを用いることができる。

中でも、熱硬化促進触媒は窒素原子を分子内に含む有機化合物であり、該有機化合物の分子量が５０〜５００であることが好ましい。これにより、当該シート状樹脂組成物の昇温に伴う熱硬化反応の進行度合いを制御することができ、その結果、各温度で所望の粘度を有するような設計が容易となる。上記有機化合物の例としては、イミダゾール系熱硬化促進触媒を好適に用いることができる。市販品も好適に利用可能であり、例えば、商品名「２ＰＨＺ−ＰＷ」（四国化成株式会社製）等が挙げられる。

シート状樹脂組成物２には、はんだバンプの表面の酸化膜を除去して半導体素子の実装を容易にするために、フラックスを添加してもよい。フラックスとしては特に限定されず、従来公知のフラックス作用を有する化合物を用いることができ、例えば、ジフェノール酸、アジピン酸、アセチルサリチル酸、安息香酸、ベンジル酸、アゼライン酸、ベンジル安息香酸、マロン酸、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）プロピオン酸、サリチル酸、ｏ−メトキシ安息香酸（ｏ−アニス酸）、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、コハク酸、２，６−ジメトキシメチルパラクレゾール、安息香酸ヒドラジド、カルボヒドラジド、マロン酸ジヒドラジド、コハク酸ジヒドラジド、グルタル酸ジヒドラジド、サリチル酸ヒドラジド、イミノジ酢酸ジヒドラジド、イタコン酸ジヒドラジド、クエン酸トリヒドラジド、チオカルボヒドラジド、ベンゾフェノンヒドラゾン、４，４’−オキシビスベンゼンスルホニルヒドラジド及びアジピン酸ジヒドラジド等が挙げられる。フラックスの添加量は上記フラックス作用が発揮される程度であればよく、通常、シート状樹脂組成物に含まれる樹脂成分１００重量部に対して０．１〜２０重量部程度である。

本実施形態では、シート状樹脂組成物２は着色しても良い。シート状樹脂組成物２において、着色により呈している色としては特に制限されないが、例えば、黒色、青色、赤色、緑色などが好ましい。着色に際しては、顔料、染料などの公知の着色剤の中から適宜選択して用いることができる。

本実施形態のシート状樹脂組成物２を予めある程度架橋をさせておく場合には、作製に際し、重合体の分子鎖末端の官能基等と反応する多官能性化合物を架橋剤として添加させておくのがよい。これにより、高温下での接着特性を向上させ、耐熱性の改善を図ることができる。

前記架橋剤としては、特に、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ｐ−フェニレンジイソシアネート、１，５−ナフタレンジイソシアネート、多価アルコールとジイソシアネートの付加物等のポリイソシアネート化合物がより好ましい。架橋剤の添加量としては、前記の重合体１００重量部に対し、通常０．０５〜７重量部とするのが好ましい。架橋剤の量が７重量部より多いと、接着力が低下するので好ましくない。その一方、０．０５重量部より少ないと、凝集力が不足するので好ましくない。また、この様なポリイソシアネート化合物と共に、必要に応じて、エポキシ樹脂等の他の多官能性化合物を一緒に含ませるようにしてもよい。

また、シート状樹脂組成物２には、無機充填剤を適宜配合することができる。無機充填剤の配合は、導電性の付与や熱伝導性の向上、貯蔵弾性率の調節等を可能にする。

前記無機充填剤としては、例えば、シリカ、クレー、石膏、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、酸化アルミナ、酸化ベリリウム、炭化珪素、窒化珪素等のセラミック類、アルミニウム、銅、銀、金、ニッケル、クロム、鉛、錫、亜鉛、パラジウム、はんだ等の金属、又は合金類、その他カーボン等からなる種々の無機粉末が挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。なかでも、シリカ、特に溶融シリカが好適に用いられる。

無機充填剤の平均粒径は特に限定されないものの、１０ｎｍ以上５００ｎｍ以下が好ましく、２０ｎｍ以上４００ｎｍ以下がより好ましく、５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下がさらに好ましい。無機充填剤の平均粒径を上記範囲とすることで、シート状樹脂組成物の粘度の制御を容易にし、さらにシート状樹脂組成物に適度な透明性を付与することができる。上記無機充填剤の平均粒径が小さ過ぎると、粒子の凝集が発生しやすくなり、シート状樹脂組成物の形成や粘度の制御が困難となる場合がある。一方、上記平均粒径が大き過ぎると、シート状樹脂組成物の透明性が低下したり、シート状樹脂組成物と被着体との接合部への無機粒子の噛み込みが発生しやすくなるため、半導体装置の接続信頼性が低下したりするおそれがある。なお、本発明においては、平均粒径が相互に異なる無機充填剤同士を組み合わせて使用してもよい。また、平均粒径は、光度式の粒度分布計（ＨＯＲＩＢＡ製、装置名；ＬＡ−９１０）により求めた値である。

シート状樹脂組成物における無機充填剤の含有量の上限は７０重量％以下が好ましく、６５重量％以下がより好ましく、６０重量％以下がさらに好ましい。また、無機充填剤の含有量の下限は２０重量％以上が好ましく、３０重量％以上がより好ましく、４０重量％以上がさらに好ましい。無機充填剤の含有量を上記範囲とすることで、シート状樹脂組成物の適度な粘性と良好な透明性を維持することができ、ボイドの発生の抑制及びはみ出し形状の安定化をより効率的に行うことができる。

シート状樹脂組成物は、上述したようなエポキシ樹脂、硬化剤、熱可塑性樹脂、無機充填剤及び熱硬化促進触媒を含有することが好ましい。これによりシート状樹脂組成物の粘度の制御を効率良く行うことができる。

なお、シート状樹脂組成物２には、前記無機充填剤以外に、必要に応じて他の添加剤を適宜に配合することができる。他の添加剤としては、例えば難燃剤、シランカップリング剤又はイオントラップ剤等が挙げられる。前記難燃剤としては、例えば、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、臭素化エポキシ樹脂等が挙げられる。これらは、単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。前記シランカップリング剤としては、例えば、β−（３、４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。これらの化合物は、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。前記イオントラップ剤としては、例えばハイドロタルサイト類、水酸化ビスマス等が挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。

さらに、熱硬化前の上記シート状樹脂組成物２の温度２３℃、湿度７０％の条件下における吸水率は、１重量％以下であることが好ましく、０．５重量％以下であることがより好ましい。シート状樹脂組成物２が上記のような吸水率を有することにより、シート状樹脂組成物２への水分の吸収が抑制され、半導体素子５の実装時のボイドの発生をより効率的に抑制することができる。なお、上記吸水率の下限は小さいほど好ましく、実質的に０重量％が好ましく、０重量％であることがより好ましい。

シート状樹脂組成物２の厚み（複層の場合は総厚）は、シート状樹脂組成物の体積Ｖと、被着体と半導体素子の間の空間を充填するのに必要な体積Ｔとが特定の関係式を満たすように定めればよい。

積層シート１０のシート状樹脂組成物２は、セパレータにより保護されていることが好ましい（図示せず）。セパレータは、実用に供するまでシート状樹脂組成物２を保護する保護材としての機能を有している。セパレータは積層シートのシート状樹脂組成物２上に半導体ウェハ３を貼着する際に剥がされる。セパレータとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリプロピレンや、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤等の剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルムや紙等も使用可能である。

（裏面研削用テープ）
裏面研削用テープ１は、基材１ａと、基材１ａ上に積層された粘着剤層１ｂとを備えている。なお、シート状樹脂組成物２は、粘着剤層１ｂ上に積層されている。

（基材）
上記基材１ａは積層シート１０の強度母体となるものである。例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、全芳香族ポリアミド、ポリフェニルスルフイド、アラミド（紙）、ガラス、ガラスクロス、フッ素樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、セルロース系樹脂、シリコーン樹脂、金属（箔）、紙等が挙げられる。粘着剤層１ｂが紫外線硬化型である場合、基材１ａは紫外線に対し透過性を有するものが好ましい。

また基材１ａの材料としては、上記樹脂の架橋体等のポリマーが挙げられる。上記プラスチックフィルムは、無延伸で用いてもよく、必要に応じて一軸又は二軸の延伸処理を施したものを用いてもよい。

基材１ａの表面は、隣接する層との密着性、保持性等を高めるため、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理、下塗剤（例えば、後述する粘着物質）によるコーティング処理を施すことができる。

上記基材１ａは、同種又は異種のものを適宜に選択して使用することができ、必要に応じて数種をブレンドしたものを用いることができる。また、基材１ａには、帯電防止能を付与するため、上記の基材１ａ上に金属、合金、これらの酸化物等からなる厚みが３０〜５００Å程度の導電性物質の蒸着層を設けることができる。基材に帯電防止剤を添加することによっても帯電防止能を付与することができる。基材１ａは単層又は２種以上の複層でもよい。

基材１ａの厚みは適宜に決定でき、一般的には５μｍ以上２００μｍ以下程度であり、好ましくは３５μｍ以上１２０μｍ以下である。

なお、基材１ａには、本発明の効果等を損なわない範囲で、各種添加剤（例えば、着色剤、充填剤、可塑剤、老化防止剤、酸化ｓ防止剤、界面活性剤、難燃剤等）が含まれていてもよい。

（粘着剤層）
粘着剤層１ｂの形成に用いる粘着剤は、裏面研削の際にシート状樹脂組成物を介して半導体ウェハをしっかり保持するとともに、裏面研削後にシート状樹脂組成物付きの半導体ウェハをダイシングテープへ移行させる際にシート状樹脂組成物付きの半導体ウェハを剥離可能に制御できるものであれば特に制限されない。例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の一般的な感圧性接着剤を用いることができる。上記感圧性接着剤としては、半導体ウェハやガラス等の汚染をきらう電子部品の超純水やアルコール等の有機溶剤による清浄洗浄性などの点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤が好ましい。

上記アクリル系ポリマーとしては、アクリル酸エステルを主モノマー成分として用いたものが挙げられる。上記アクリル酸エステルとして、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ−ブチルエステル、ｔ−ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２−エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、エイコシルエステル等のアルキル基の炭素数１〜３０、特に炭素数４〜１８の直鎖状又は分岐鎖状のアルキルエステル等）及び（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル（例えば、シクロペンチルエステル、シクロヘキシルエステル等）の１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー等が挙げられる。なお、（メタ）アクリル酸エステルとはアクリル酸エステル及び／又はメタクリル酸エステルをいい、本発明の（メタ）とは全て同様の意味である。

上記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性などの改質を目的として、必要に応じ、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はシクロアルキルエステルと共重合可能な他のモノマー成分に対応する単位を含んでいてもよい。このようなモノマー成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸などの酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；アクリルアミド、アクリロニトリルなどがあげられる。これら共重合可能なモノマー成分は、１種又は２種以上使用できる。これら共重合可能なモノマーの使用量は、全モノマー成分の４０重量％以下が好ましい。

さらに、上記アクリル系ポリマーは、架橋させるため、多官能性モノマーなども、必要に応じて共重合用モノマー成分として含むことができる。このような多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレートなどがあげられる。これらの多官能性モノマーも１種又は２種以上用いることができる。多官能性モノマーの使用量は、粘着特性等の点から、全モノマー成分の３０重量％以下が好ましい。

上記アクリル系ポリマーは、単一モノマー又は２種以上のモノマー混合物を重合に付すことにより得られる。重合は、溶液重合、乳化重合、塊状重合、懸濁重合等の何れの方式で行うこともできる。清浄な被着体への汚染防止等の点から、低分子量物質の含有量が小さいのが好ましい。この点から、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、好ましくは３０万以上、さらに好ましくは４０万〜３００万程度である。

また、上記粘着剤には、ベースポリマーであるアクリル系ポリマー等の数平均分子量を高めるため、外部架橋剤を適宜に採用することもできる。外部架橋方法の具体的手段としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン系架橋剤などのいわゆる架橋剤を添加し反応させる方法があげられる。外部架橋剤を使用する場合、その使用量は、架橋すべきベースポリマーとのバランスにより、さらには、粘着剤としての使用用途によって適宜決定される。一般的には、上記ベースポリマー１００重量部に対して、５重量部程度以下、さらには０．１〜５重量部配合するのが好ましい。さらに、粘着剤には、必要により、上記成分のほかに、従来公知の各種の粘着付与剤、老化防止剤などの添加剤を用いてもよい。

粘着剤層１ｂは放射線硬化型粘着剤により形成することができる。放射線硬化型粘着剤は、紫外線等の放射線の照射により架橋度を増大させてその粘着力を容易に低下させることができ、シート状樹脂組成物付きの半導体ウェハの剥離を容易に行うことができる。放射線としては、Ｘ線、紫外線、電子線、α線、β線、中性子線等が挙げられる。

放射線硬化型粘着剤は、炭素−炭素二重結合等の放射線硬化性の官能基を有し、かつ粘着性を示すものを特に制限なく使用することができる。放射線硬化型粘着剤としては、例えば、上記アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の一般的な感圧性粘着剤に、放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合した添加型の放射線硬化性粘着剤を例示できる。

配合する放射線硬化性のモノマー成分としては、例えば、ウレタンオリゴマー、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレートなどがあげられる。また放射線硬化性のオリゴマー成分はウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系など種々のオリゴマーがあげられ、その重量平均分子量が１００〜３００００程度の範囲のものが適当である。放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分の配合量は、上記粘着剤層の種類に応じて、粘着剤層の粘着力を低下できる量を、適宜に決定することができる。一般的には、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば５〜５００重量部、好ましくは４０〜１５０重量部程度である。

また、放射線硬化型粘着剤としては、上記説明した添加型の放射線硬化性粘着剤のほかに、ベースポリマーとして、炭素−炭素二重結合をポリマー側鎖または主鎖中もしくは主鎖末端に有するものを用いた内在型の放射線硬化性粘着剤があげられる。内在型の放射線硬化性粘着剤は、低分子成分であるオリゴマー成分等を含有する必要がなく、または多くは含まないため、経時的にオリゴマー成分等が粘着剤在中を移動することなく、安定した層構造の粘着剤層を形成することができるため好ましい。

上記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマーは、炭素−炭素二重結合を有し、かつ粘着性を有するものを特に制限なく使用できる。このようなベースポリマーしては、アクリル系ポリマーを基本骨格とするものが好ましい。アクリル系ポリマーの基本骨格としては、上記例示したアクリル系ポリマーがあげられる。

上記アクリル系ポリマーへの炭素−炭素二重結合の導入法は特に制限されず、様々な方法を採用できるが、炭素−炭素二重結合はポリマー側鎖に導入するのが分子設計が容易である。例えば、予め、アクリル系ポリマーに官能基を有するモノマーを共重合した後、この官能基と反応しうる官能基および炭素−炭素二重結合を有する化合物を、炭素−炭素二重結合の放射線硬化性を維持したまま縮合または付加反応させる方法があげられる。

これら官能基の組合せの例としては、カルボキシル基とエポキシ基、カルボキシル基とアジリジル基、ヒドロキシル基とイソシアネート基などがあげられる。これら官能基の組合せのなかでも反応追跡の容易さから、ヒドロキシル基とイソシアネート基との組合せが好適である。また、これら官能基の組み合わせにより、上記炭素−炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーを生成するような組合せであれば、官能基はアクリル系ポリマーと上記化合物のいずれの側にあってもよいが、上記の好ましい組み合わせでは、アクリル系ポリマーがヒドロキシル基を有し、上記化合物がイソシアネート基を有する場合が好適である。この場合、炭素−炭素二重結合を有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネートなどがあげられる。また、アクリル系ポリマーとしては、上記例示のヒドロキシ基含有モノマーや２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルのエーテル系化合物などを共重合したものが用いられる。

上記内在型の放射線硬化性粘着剤は、上記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマー（特にアクリル系ポリマー）を単独で使用することができるが、特性を悪化させない程度に上記放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合することもできる。放射線硬化性のオリゴマー成分等は、通常ベースポリマー１００重量部に対して３０重量部の範囲内であり、好ましくは０〜１０重量部の範囲である。

上記放射線硬化型粘着剤には、紫外線等により硬化させる場合には光重合開始剤を含有させることが好ましい。光重合開始剤としては、例えば、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、α−ヒドロキシ−α，α´−ジメチルアセトフェノン、２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどのα−ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフエノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）−フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オンなどのアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテルなどのベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタールなどのケタール系化合物；２−ナフタレンスルホニルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド系化合物；１−フェニル−１，２―プロパンジオン−２−（Ｏ−エトキシカルボニル）オキシムなどの光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３′−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソンなどのチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナートなどがあげられる。光重合開始剤の配合量は、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば０．０５〜２０重量部程度である。

なお、放射線照射の際に、酸素による硬化阻害が起こる場合は、放射線硬化型の粘着剤層１ｂの表面よりなんらかの方法で酸素（空気）を遮断するのが望ましい。例えば、上記粘着剤層１ｂの表面をセパレータで被覆する方法や、窒素ガス雰囲気中で紫外線等の放射線の照射を行う方法等が挙げられる。

なお、粘着剤層１ｂには、本発明の効果等を損なわない範囲で、各種添加剤（例えば、着色剤、増粘剤、増量剤、充填剤、粘着付与剤、可塑剤、老化防止剤、酸化防止剤、界面活性剤、架橋剤等）が含まれていてもよい。

粘着剤層１ｂの厚みは特に限定されないが、半導体ウェハの研削面の欠け防止、シート状樹脂組成物２の固定保持の両立性等の観点から１〜５０μｍ程度であるのが好ましい。好ましくは５〜４０μｍ、さらには好ましくは１０〜３０μｍである。

（積層シートの製造方法）
本実施の形態に係る積層シート１０は、例えば裏面研削用テープ１及びシート状樹脂組成物２を別々に作製しておき、最後にこれらを貼り合わせることにより作成することができる。具体的には、以下のような手順に従って作製することができる。

まず、基材１ａは、従来公知の製膜方法により製膜することができる。当該製膜方法としては、例えばカレンダー製膜法、有機溶媒中でのキャスティング法、密閉系でのインフレーション押出法、Ｔダイ押出法、共押出し法、ドライラミネート法等が例示できる。

次に、粘着剤層形成用の粘着剤組成物を調製する。粘着剤組成物には、粘着剤層の項で説明したような樹脂や添加物等が配合されている。調製した粘着剤組成物を基材１ａ上に塗布して塗布膜を形成した後、該塗布膜を所定条件下で乾燥させ（必要に応じて加熱架橋させて）、粘着剤層１ｂを形成する。塗布方法としては特に限定されず、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工等が挙げられる。また、乾燥条件としては、例えば乾燥温度８０〜１５０℃、乾燥時間０．５〜５分間の範囲内で行われる。また、セパレータ上に粘着剤組成物を塗布して塗布膜を形成した後、上記乾燥条件で塗布膜を乾燥させて粘着剤層１ｂを形成してもよい。その後、基材１ａ上に粘着剤層１ｂをセパレータと共に貼り合わせる。これにより、基材１ａ及び粘着剤層１ｂを備える裏面研削用テープ１が作製される。

シート状樹脂組成物２は、例えば、以下のようにして作製される。まず、シート状樹脂組成物２の形成材料である接着剤組成物を調製する。当該接着剤組成物には、シート状樹脂組成物の項で説明したとおり、熱可塑性成分やエポキシ樹脂、各種の添加剤等が配合されている。

次に、調製した接着剤組成物を基材セパレータ上に所定厚みとなる様に塗布して塗布膜を形成した後、該塗布膜を所定条件下で乾燥させ、シート状樹脂組成物を形成する。塗布方法としては特に限定されず、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工等が挙げられる。また、乾燥条件としては、例えば乾燥温度７０〜１６０℃、乾燥時間１〜５分間の範囲内で行われる。また、セパレータ上に接着剤組成物を塗布して塗布膜を形成した後、上記乾燥条件で塗布膜を乾燥させてシート状樹脂組成物を形成してもよい。その後、基材セパレータ上にシート状樹脂組成物をセパレータと共に貼り合わせる。

続いて、裏面研削用テープ１及びシート状樹脂組成物２からそれぞれセパレータを剥離し、シート状樹脂組成物と粘着剤層とが貼り合わせ面となる様にして両者を貼り合わせる。貼り合わせは、例えば圧着により行うことができる。このとき、ラミネート温度は特に限定されず、例えば３０〜１００℃が好ましく、４０〜８０℃がより好ましい。また、線圧は特に限定されず、例えば０．９８〜１９６Ｎ／ｃｍが好ましく、９．８〜９８Ｎ／ｃｍがより好ましい。次に、シート状樹脂組成物上の基材セパレータを剥離し、本実施の形態に係る積層シートが得られる。

＜半導体装置の製造方法＞
本実施形態では、裏面研削用テープ上に積層されたシート状樹脂組成物を備える積層シートを用いて半導体ウェハの裏面研削を行い、その後、ダイシングテープ上でのダイシング、半導体素子のピックアップを行い、最後に半導体素子を被着体に実装する。

本実施形態の代表的な工程としては、半導体ウェハの接続部材が形成された回路面と上記積層シートのシート状樹脂組成物とを貼り合わせる貼合せ工程、上記半導体ウェハの裏面を研削する研削工程、上記シート状樹脂組成物とともに半導体ウェハを裏面研削用テープから剥離して該半導体ウェハをダイシングテープに貼り付ける固定工程、上記半導体ウェハをダイシングして上記シート状樹脂組成物付きの半導体素子を形成するダイシング工程、上記シート状樹脂組成物付きの半導体素子を上記ダイシングテープから剥離するピックアップ工程、及び上記被着体と上記半導体素子の間の空間を上記シート状樹脂組成物で充填しつつ上記接続部材を介して上記半導体素子と上記被着体とを電気的に接続する接続工程を含む。本実施形態では、上記ピックアップ工程までを経ることでシート状樹脂組成物付きの半導体素子を準備することができる。

［貼合せ工程］
貼合せ工程では、半導体ウェハ３の接続部材４が形成された回路面３ａと上記積層シート１０のシート状樹脂組成物２とを貼り合わせる（図２Ａ参照）。

（半導体ウェハ）
半導体ウェハ３の回路面３ａには、複数の接続部材４が形成されている（図２Ａ参照）。バンプや導電材等の接続部材の材質としては、特に限定されず、例えば、錫−鉛系金属材、錫−銀系金属材、錫−銀−銅系金属材、錫−亜鉛系金属材、錫−亜鉛−ビスマス系金属材等のはんだ類（合金）や、金系金属材、銅系金属材などが挙げられる。接続部材の高さも用途に応じて定められ、一般的には１５〜１００μｍ程度である。もちろん、半導体ウェハ３における個々の接続部材の高さは同一でも異なっていてもよい。

（貼り合わせ）
まず、積層シート１０のシート状樹脂組成物２上に任意に設けられたセパレータを適宜に剥離し、図２Ａに示すように、前記半導体ウェハ３の接続部材４が形成された回路面３ａとシート状樹脂組成物２とを対向させ、前記シート状樹脂組成物２と前記半導体ウェハ３とを貼り合わせる（マウント）。

貼り合わせの方法は特に限定されないが、圧着による方法が好ましい。圧着は通常、圧着ロール等の公知の押圧手段により、好ましくは０．１〜１ＭＰａ、より好ましくは０．３〜０．７ＭＰａの圧力を負荷して押圧しながら行われる。この際、４０〜１００℃程度に加熱しながら圧着させてもよい。また、密着性を高めるために、減圧下（１〜１０００Ｐａ）で圧着することも好ましい。

［研削工程］
研削工程では、上記半導体ウェハ３の回路面３ａとは反対側の面（すなわち、裏面）３ｂを研削する（図２Ｂ参照）。半導体ウェハ３の裏面研削に用いる薄型加工機としては特に限定されず、例えば研削機（バックグラインダー）、研磨パッド等を例示できる。また、エッチング等の化学的方法にて裏面研削を行ってもよい。裏面研削は、半導体ウェハが所望の厚み（例えば、７００〜２５μｍ）になるまで行われる。

［固定工程］
研削工程後、シート状樹脂組成物２を貼り付けた状態で半導体ウェハ３を裏面研削用テープ１から剥離し、半導体ウェハ３とダイシングテープ１１とを貼り合わせる（図２Ｃ参照）。このとき、半導体ウェハ３の裏面３ｂとダイシングテープ１１の粘着剤層１１ｂとが対向するように貼り合わせる。従って、半導体ウェハ３の回路面３ａに貼り合わされたシート状樹脂組成物２は露出した状態となる。なお、ダイシングテープ１１は、基材１１ａ上に粘着剤層１１ｂが積層された構造を有する。基材１１ａ及び粘着剤層１１ｂとしては、上記裏面研削用テープ１の基材１ａ及び粘着剤層１ｂの項で示した成分及び製法を用いて好適に作製することができる。

半導体ウェハ３の裏面研削用テープ１からの剥離の際、粘着剤層１ｂが放射線硬化性を有する場合には、粘着剤層１ｂに放射線を照射して粘着剤層１ｂを硬化させることで、剥離を容易に行うことができる。放射線の照射量は、用いる放射線の種類や粘着剤層の硬化度等を考慮して適宜設定すればよい。

本実施形態の積層シートでは、上記シート状樹脂組成物の上記裏面研削用テープからの剥離力が０．０３〜０．１０Ｎ／２０ｍｍであることが好ましい。このような軽剥離力により、裏面研削用テープからの剥離の際のシート状樹脂組成物の破断や変形を防止することができるとともに、半導体ウェハの変形を防止することができる。

上記剥離力の測定は、積層シートから幅２０ｍｍのサンプル片を切り出し、これを４０℃のホットプレート上に載置されたシリコンミラーウェハに貼り付ける。約３０分間放置して、引張試験機を用い剥離力を測定する。測定条件は、剥離角度：９０°、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎとする。なお、剥離力の測定は、温度２３℃、相対湿度５０％の環境下で行う。ただし、粘着剤層が紫外線硬化型である場合は、前記と同様の条件でシリコンミラーウェハに貼り付け、約３０分間放置した後、紫外線の照射条件を下記の通りとして積層シート側から紫外線照射を行い、そのときの剥離力の測定を行う。

＜紫外線の照射条件＞
紫外線（ＵＶ）照射装置：高圧水銀灯
紫外線照射積算光量：５００ｍＪ／ｃｍ^２
出力：７５Ｗ
照射強度：１５０ｍＷ／ｃｍ^２

［ダイシング工程］
ダイシング工程では、直接光や間接光、赤外線等により求めたダイシング位置に基づき、図２Ｄに示すように半導体ウェハ３及びシート状樹脂組成物２をダイシングしてダイシングされたシート状樹脂組成物付きの半導体素子５を形成する。ダイシング工程を経ることで、半導体ウェハ３を所定のサイズに切断して個片化（小片化）し、半導体チップ（半導体素子）５を製造する。ここで得られる半導体チップ５は同形状に切断されたシート状樹脂組成物２と一体になっている。ダイシングは、半導体ウェハ３のシート状樹脂組成物２を貼り合わせた回路面３ａから常法に従い行われる。

本工程では、例えば、ダイシングブレードによりダイシングテープ１１まで切込みを行うフルカットと呼ばれる切断方式等を採用できる。本工程で用いるダイシング装置としては特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。また、半導体ウェハは、ダイシングテープ１１により優れた密着性で接着固定されているので、チップ欠けやチップ飛びを抑制できると共に、半導体ウェハの破損も抑制できる。なお、シート状樹脂組成物がエポキシ樹脂を含む樹脂組成物により形成されていると、ダイシングにより切断されても、その切断面においてシート状樹脂組成物のシート状樹脂組成物の糊はみ出しが生じるのを抑制又は防止することができる。その結果、切断面同士が再付着（ブロッキング）することを抑制又は防止することができ、後述のピックアップを一層良好に行うことができる。

なお、ダイシング工程に続いてダイシングテープのエキスパンドを行う場合、該エキスパンドは従来公知のエキスパンド装置を用いて行うことができる。エキスパンド装置は、ダイシングリングを介してダイシングテープを下方へ押し下げることが可能なドーナッツ状の外リングと、外リングよりも径が小さくダイシングテープを支持する内リングとを有している。このエキスパンド工程により、後述のピックアップ工程において、隣り合う半導体チップ同士が接触して破損するのを防ぐことが出来る。

［ピックアップ工程］
ダイシングテープ１１に接着固定された半導体チップ５を回収するために、図２Ｅに示すように、シート状樹脂組成物２付きの半導体チップ５のピックアップを行って、半導体チップ５とシート状樹脂組成物２の積層体Ａをダイシングテープ１１より剥離する。

ピックアップの方法としては特に限定されず、従来公知の種々の方法を採用できる。例えば、個々の半導体チップをダイシングテープの基材側からニードルによって突き上げ、突き上げられた半導体チップをピックアップ装置によってピックアップする方法等が挙げられる。なお、ピックアップされた半導体チップ５は、回路面３ａに貼り合わされたシート状樹脂組成物２と一体となって積層体Ａを構成している。

ピックアップは、粘着剤層１１ｂが紫外線硬化型の場合、該粘着剤層１１ｂに紫外線を照射した後に行う。これにより、粘着剤層１１ｂの半導体チップ５に対する粘着力が低下し、半導体チップ５の剥離が容易になる。その結果、半導体チップ５を損傷させることなくピックアップが可能となる。紫外線照射の際の照射強度、照射時間等の条件は特に限定されず、適宜必要に応じて設定すればよい。また、紫外線照射に使用する光源としては、例えば低圧水銀ランプ、低圧高出力ランプ、中圧水銀ランプ、無電極水銀ランプ、キセノン・フラッシュ・ランプ、エキシマ・ランプ、紫外ＬＥＤ等を用いることができる。

［実装工程］
実装工程では、半導体素子５の実装位置を直接光や間接光、赤外線等により予め求めておき、求めた実装位置に従って、被着体１６と半導体素子５の間の空間をシート状樹脂組成物２で充填しつつ接続部材４を介して半導体素子５と被着体１６とを電気的に接続する（図２Ｆ参照）。具体的には、積層体Ａの半導体チップ５を、半導体チップ５の回路面３ａが被着体１６と対向する形態で、被着体１６に常法に従い固定させる。例えば、半導体チップ５に形成されている接続部材（バンプ）４を、被着体１６の接続パッドに被着された接合用の導電材１７（はんだなど）に接触させて押圧しながら導電材を溶融させることにより、半導体チップ５と被着体１６との電気的接続を確保し、半導体チップ５を被着体１６に固定させることができる。半導体チップ５の回路面３ａにはシート状樹脂組成物２が貼り付けられているので、半導体チップ５と被着体１６との電気的接続と同時に、半導体チップ５と被着体１６との間の空間がシート状樹脂組成物２により充填されることになる。

本実施形態では、シート状樹脂組成物２の体積Ｖと、被着体１６と半導体素子５との間の空間を充填するのに必要な体積Ｔとが、下記式を満たす。
０．８５Ｔ≦Ｖ≦１．２５Ｔ
（式中、Ｔ＝Ａ−Ｗであり、Ａは接続工程後の半導体素子と被着体との間の空間の見掛けの体積であり、Ｗは半導体素子と被着体との間の空間に存在する構造物がその空間において占める体積である。）

シート状樹脂組成物２の体積Ｖと、被着体１６と半導体素子５との間の空間を充填するのに必要な体積Ｔとが特定の関係式を満たしているので、実装後の被着体１６と半導体素子５との間の空間をシート状樹脂組成物により過不足なく充填することができ、その結果、シート状樹脂組成物２の半導体素子５からのはみ出し形状を安定化させることができる。Ｖ＜０．８５Ｔの領域ではシート状樹脂組成物２の体積が小さ過ぎて未充填箇所が発生し、ボイドの発生を誘発するおそれがある。Ｖ＞１．２５Ｔの領域では、シート状樹脂組成物２の体積が大き過ぎてはみ出し量が過剰となる。

上記関係式より、被着体１６と半導体素子５との間の空間を充填するのに必要な体積Ｔは、Ｔ＝Ａ−Ｗより求められる。Ａは接続工程後の半導体素子と被着体との間の空間の見掛けの体積であり、半導体素子の平面視面積に実装後の半導体素子と被着体との間のギャップ距離を乗じることで得られる。従って、Ａを求める際には、半導体素子と被着体との間の空間に存在する構造物の体積は無視される。Ｗは半導体素子と被着体との間の空間に存在する構造物がその空間において占める体積であり、該空間内に存在する構造物の体積の総和に相当する。

半導体素子と被着体との間の空間に存在する構造物としては特に限定されず、半導体素子５に形成されているバンプ等の接続部材４、被着体１６に設けられている接合用の導電材１７、被着体上に設けられている配線やレジスト（図示せず）等が挙げられる。これらの体積は、パッケージ構成の設計段階で各種寸法を求めることができるので、それらに基づいて容易に算出することができる。

一般的に、実装工程における加熱条件としては１００〜３００℃であり、加圧条件としては０．５〜５００Ｎである。また、実装工程での熱圧着処理を多段階で行ってもよい。例えば、１５０℃、１００Ｎで１０秒間処理した後、３００℃、１００〜２００Ｎで１０秒間処理するという手順を採用することができる。多段階で熱圧着処理を行うことにより、接続部材とパッド間の樹脂を効率よく除去し、より良好な金属間接合を得ることが出来る。

被着体１６としては、半導体ウェハ、リードフレームや回路基板（配線回路基板など）等の各種基板、他の半導体素子を用いることができる。基板の材質としては、特に限定されるものではないが、セラミック基板や、プラスチック基板が挙げられる。プラスチック基板としては、例えば、エポキシ基板、ビスマレイミドトリアジン基板、ポリイミド基板、ガラスエポキシ基板等が挙げられる。１つの被着体に実装する半導体素子の数も限定されず、１つ又は複数個のいずれであってもよい。シート状樹脂組成物２は、半導体ウェハに多数の半導体チップを実装するチップオンウェハプロセスにも好適に適用することができる。

なお、実装工程では、接続部材及び導電材の一方又は両方を溶融させて、半導体チップ５の接続部材形成面３ａのバンプ４と、被着体１６の表面の導電材１７とを接続させているが、このバンプ４及び導電材１７の溶融時の温度としては、通常、２６０℃程度（例えば、２５０℃〜３００℃）となっている。本実施形態に係る積層シートは、シート状樹脂組成物２をエポキシ樹脂等により形成することにより、この実装工程における高温にも耐えられる耐熱性を有するものとすることができる。

［シート状樹脂組成物硬化工程］
半導体素子５と被着体１６との電気的接続を行った後は、シート状樹脂組成物２を加熱により硬化させる。これにより、半導体素子５の表面を保護することができるとともに、半導体素子５と被着体１６との間の接続信頼性を確保することができる。シート状樹脂組成物の硬化のための加熱温度としては特に限定されず、１５０〜２５０℃程度であればよい。なお、実装工程における加熱処理によりシート状樹脂組成物が硬化する場合、本工程は省略することができる。

［封止工程］
次に、実装された半導体チップ５を備える半導体装置２０全体を保護するために封止工程を行ってもよい。封止工程は、封止樹脂を用いて行われる。このときの封止条件としては特に限定されないが、通常、１７５℃で６０秒間〜９０秒間の加熱を行うことにより、封止樹脂の熱硬化が行われるが、本発明はこれに限定されず、例えば１６５℃〜１８５℃で、数分間キュアすることができる。

前記封止樹脂としては、絶縁性を有する樹脂（絶縁樹脂）であれば特に制限されず、公知の封止樹脂等の封止材から適宜選択して用いることができるが、弾性を有する絶縁樹脂がより好ましい。封止樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂を含む樹脂組成物等が挙げられる。エポキシ樹脂としては、前記に例示のエポキシ樹脂等が挙げられる。また、エポキシ樹脂を含む樹脂組成物による封止樹脂としては、樹脂成分として、エポキシ樹脂以外に、エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂（フェノール樹脂など）や、熱可塑性樹脂などが含まれていてもよい。なお、フェノール樹脂としては、エポキシ樹脂の硬化剤としても利用することができ、このようなフェノール樹脂としては、前記に例示のフェノール樹脂などが挙げられる。

［半導体装置］
次に、当該積層シートを用いて得られる半導体装置について図面を参照しつつ説明する（図２Ｆ参照）。本実施形態に係る半導体装置２０では、半導体素子５と被着体１６とが、半導体素子５上に形成されたバンプ（接続部材）４及び被着体１６上に設けられた導電材１７を介して電気的に接続されている。また、半導体素子５と被着体１６との間には、その空間を充填するようにシート状樹脂組成物２が配置されている。半導体装置２０は、所定のシート状樹脂組成物２を採用する上記製造方法にて得られるので、半導体素子５と被着体１６との間で良好な電気的接続が達成されている。従って、半導体素子５の表面保護、半導体素子５と被着体１６との間の空間の充填、及び半導体素子５と被着体１６との間の電気的接続がそれぞれ十分なレベルとなり、半導体装置２０として高い信頼性を発揮することができる。

＜第２実施形態＞
第１実施形態では片面に回路が形成された半導体ウェハを用いているのに対し、本実施形態では両面に回路が形成された半導体ウェハを用いて半導体装置を製造する。また、本実施形態で用いる半導体ウェハは目的とする厚みを有していることから、研削工程は省略される。従って、第２実施形態での積層シートとしては、ダイシングテープと該ダイシングテープ上に積層された所定のシート状樹脂組成物とを備える積層シートを用いる。第２実施形態での接続工程より前の代表的な工程として、上記積層シートを準備する準備工程、接続部材を有する回路面が両面に形成された半導体ウェハと上記積層シートのシート状樹脂組成物とを貼り合わせる貼合せ工程、上記半導体ウェハをダイシングして上記シート状樹脂組成物付きの半導体素子を形成するダイシング工程、上記シート状樹脂組成物付きの半導体素子を上記積層シートから剥離するピックアップ工程が挙げられる。その後、接続工程以降の工程を行って半導体装置を製造する。

［準備工程］
準備工程では、ダイシングテープ４１と該ダイシングテープ４１上に積層された所定のシート状樹脂組成物４２とを備える積層シートを準備する（図３Ａ参照）。ダイシングテープ４１は、基材４１ａと、基材４１ａ上に積層された粘着剤層４１ｂとを備えている。なお、シート状樹脂組成物４２は、粘着剤層４１ｂ上に積層されている。このようなダイシングテープ４１の基材４１ａ及び粘着剤層４１ｂ、並びにシート状樹脂組成物４２としては、第１実施形態と同様のものを用いることができる。

［貼合せ工程］
貼合せ工程では、図３Ａに示すように、接続部材４４を有する回路面が両面に形成された半導体ウェハ４３と上記積層シートのシート状樹脂組成物４２とを貼り合わせる。なお、所定の厚みに薄型化された半導体ウェハの強度は弱いことから、補強のために半導体ウェハを仮固定材を介してサポートガラス等の支持体に固定することがある（図示せず）。この場合は、半導体ウェハとシート状樹脂組成物との貼り合わせ後に、仮固定材とともに支持体を剥離する工程を含んでいてもよい。半導体ウェハ４３のいずれの回路面とシート状樹脂組成物４２とを貼り合わせるかは、目的とする半導体装置の構造に応じて変更すればよい。

半導体ウェハ４３としては、両面に接続部材４４を有する回路面が形成されており、所定の厚みを有している点を除き、第１実施形態の半導体ウェハと同様である。半導体ウェハ４３の両面の接続部材４４同士は電気的に接続されていてもよく、接続されていなくてもよい。接続部材４４同士の電気的接続には、ＴＳＶ形式と呼ばれるビアを介しての接続による接続等が挙げられる。貼り合わせ条件としては、第１実施形態における貼り合わせ条件を好適に採用することができる。

［ダイシング工程］
ダイシング工程では、上記半導体ウェハ４３及びシート状樹脂組成物４２をダイシングして上記シート状樹脂組成物付きの半導体素子４５を形成する（図３Ｂ参照）。ダイシング条件としては、第１実施形態における諸条件を好適に採用することができる。なお、ダイシングは、半導体ウェハ４３の露出した回路面に対して行うので、ダイシング位置の検出は容易であるものの、必要に応じて光を照射してダイシング位置を確認した後、ダイシングを行ってもよい。

［ピックアップ工程］
ピックアップ工程では、上記シート状樹脂組成物４２付きの半導体素子４５を上記ダイシングテープ４１から剥離する（図３Ｃ）。ピックアップ条件としては、第１実施形態における諸条件を好適に採用することができる。

本実施形態の積層シートでは、上記シート状樹脂組成物の上記ダイシングテープからの剥離力が０．０３〜０．１０Ｎ／２０ｍｍであることが好ましい。これにより、シート状樹脂組成物付き半導体素子のピックアップを容易に行うことができる。

［実装工程］
実装工程では、被着体６６と半導体素子４５の間の空間をシート状樹脂組成物４２で充填しつつ接続部材４４を介して半導体素子４５と被着体６６とを電気的に接続する（図３Ｄ参照）。実装工程における条件は、第１実施形態における諸条件を好適に採用することができる。これにより、本実施形態に係る半導体装置６０を製造することができる。

以降、第１実施形態と同様に、必要に応じてシート状樹脂組成物硬化工程及び封止工程を行ってもよい。

＜第３実施形態＞
第１実施形態では積層シートの構成部材として裏面研削用テープを用いたが、本実施形態では該裏面研削用テープの粘着剤層を設けずに基材単独を用いる。従って、本実施形態の積層シートとしては、基材上にシート状樹脂組成物が積層された状態となる。本実施形態では研削工程は任意に行うことができるものの、ピックアップ工程前の紫外線照射は粘着剤層の省略により行わない。これらの点を除けば、第１実施形態と同様の工程を経ることで所定の半導体装置を製造することができる。

＜その他の実施形態＞
第１実施形態から第３実施形態では、ダイシング工程においてダイシングブレードを用いるダイシングを採用しているが、これに代えて、レーザー照射により半導体ウェハ内部に改質部分を形成し、この改質部分に沿って半導体ウェハを分割して個片化するいわゆるステルスダイシングを採用してもよい。

以下に、この発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。但し、この実施例に記載されている材料や配合量等は、特に限定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。また、部とあるのは、重量部を意味する。

［実施例１〜４及び比較例１〜３］
＜シート状樹脂組成物の作製＞
以下の成分を表１に示す割合でメチルエチルケトンに溶解して、固形分濃度が４５〜６０重量％となる接着剤組成物の溶液を調製した。

エラストマー１：アクリル酸エチル−アクリル酸ブチルーアクリロニトリルを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（商品名「ＳＧ−Ｐ３」、長瀬ケムテックス株式会社製）
エラストマー２：アクリル酸ブチルーアクリロニトリルを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（商品名「ＳＧ２８０−ＥＫ２３」、長瀬ケムテックス株式会社製）
エポキシ樹脂１：商品名「エピコート８２８」、ＪＥＲ株式会社製
エポキシ樹脂２：商品名「エピコート１００４」、ＪＥＲ株式会社製
フェノール樹脂：商品名「ＭＥＨ−７８５１Ｈ」、明和化成株式会社製
無機充填剤：球状シリカ（商品名「ＹＶ１８０Ｃ−ＭＪＪ」、株式会社アドマテックス製、平均粒径０．１８μｍ（１８０ｎｍ））
熱硬化促進触媒：イミダゾール触媒（商品名「２ＰＨＺ−ＰＷ」、四国化成株式会社製）

この接着剤組成物の溶液を、剥離ライナ（セパレータ）としてシリコーン離型処理した厚みが３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させることにより、表１に示す厚みのシート状樹脂組成物を作製した。

《評価》
＜溶融粘度の測定方法＞
溶融粘度の測定は、シート状樹脂組成物を加熱処理を経ずにサンプルとし、レオメーター（ＨＡＡＫＥ社製、ＲＳ−１）を用いるパラレルプレート法により行った。詳細には、ギャップ１００μｍ、回転プレート直径２０ｍｍ、回転速度５ｓ^−１、昇温速度１０℃／分の条件とし、８０℃から昇温させ、シート状樹脂組成物の硬化反応により粘度が上昇して、最終的に回転プレートが回転できなくなる温度（いずれも２００℃以上であった）まで測定を行った。その際の８０℃から２００℃までにおける溶融粘度の最低値を読み取って最低溶融粘度を求めた。結果を表７に示す。

＜実装評価＞
７．３ｍｍ角のチップ（「ＷＡＬＴ−ＴＥＧ ＭＢ５０−０１０１ＪＹ」、（株）ウォルツ製）に、同サイズのシート状樹脂組成物を貼り付け、サンプルＡとした。貼付条件は、真空度：１００Ｐａの条件下において、温度：８０℃、貼り付け圧力：０．５ＭＰａとした。

次に、電極を有する実装用基板（「ＷＡＬＴ−ＫＩＴ ＭＢ５０−０１０２ＪＹ＿ＣＲ」、（株）ウォルツ製）にサンプルＡを実装した。実装は、東レエンジニアリング社のフリップチップボンダー（ＦＣ３０００Ｗ）を用いて行った。実装条件は、荷重：０．５ＭＰａの条件下、２００℃で１０秒間保持した後、２６０℃で１０秒保持するというものであった。

実装の際のチップと実装用基板との間の空間の見掛けの体積Ａ、チップ上の構造物の体積Ｗ１、基板上の構造物の体積Ｗ２、Ｗ３及びシート状樹脂組成物の体積Ｖは下記表２〜６のとおりであった。

以上より、チップと実装用基板との間の空間を充填するのに必要な体積Ｔは、Ｔ＝Ａ−Ｗ１−Ｗ２−Ｗ３により求められ、２．１７ｍｍ^３であった（表７の値は小数点第３位を四捨五入している）。

（ボイド評価）
得られた実装後のサンプルをチップと平行に研磨し、シート状樹脂組成物を露出させた。露出した樹脂部分のボイド状態を光学顕微鏡（２００倍）にて確認し、ボイド（最大径：３μｍ超）の発生が確認されなかった場合を「○」、１箇所でもボイドの発生が確認された場合を「×」として評価した。結果を表７に示す。

（はみ出し評価）
得られた実装後のサンプルをチップ側から平面視で観察し、チップの端部からのシート状樹脂組成物のはみ出し量が３００μｍ以下であった場合を「○」、３００μｍを超えていた場合を「×」として評価した。結果を表７に示す。

表１より、全ての実施例においてボイドの発生が抑制されるとともに、実装後のシート状樹脂組成物のはみ出し形状が安定化されていたことが分かる。一方、比較例１及び２では、はみ出し形状は良好であったものの、ボイドが確認された。これは、比較例１では最低溶融粘度が高すぎ、シート状樹脂組成物の表面凹凸への追従性が低下したことに起因すると考えられる。比較例２では、シート状樹脂組成物の体積ＶがＶ＜０．８５Ｔの領域となり、シート状樹脂組成物の体積が小さ過ぎて未充填箇所が発生し、ボイドの発生を誘発したことに起因すると考えられる。また、比較例３では、ボイド評価は良好であったものの、はみ出し評価が劣っていた。これは、シート状樹脂組成物の体積ＶがＶ＞１．２５Ｔの領域となり、シート状樹脂組成物の体積が大き過ぎてはみ出し量が過剰となったことに起因すると考えられる。

１ 裏面研削用テープ
１ａ、１１ａ、４１ａ 基材
１ｂ、１１ｂ、４１ｂ 粘着剤層
２、４２ シート状樹脂組成物
３、４３ 半導体ウェハ
５、４５ 半導体チップ（半導体素子）
１６、６６ 被着体
１０ 積層シート
１１、４１ ダイシングテープ
２０、６０ 半導体装置

Claims (4)

1. 被着体と、該被着体と電気的に接続された半導体素子と、該被着体と該半導体素子との間の空間を充填するシート状樹脂組成物とを備える半導体装置の製造方法であって、
   シート状樹脂組成物が半導体素子に貼り合わされたシート状樹脂組成物付き半導体素子を準備する工程、及び
   前記被着体と前記半導体素子の間の空間を前記シート状樹脂組成物で充填しつつ前記半導体素子と前記被着体とを電気的に接続する接続工程
   を含み、
   前記シート状樹脂組成物の８０℃〜２００℃における最低溶融粘度が１００Ｐａ・ｓ以上３０００Ｐａ・ｓ以下であり、
   前記シート状樹脂組成物の体積Ｖと、前記被着体と前記半導体素子との間の空間を充填するのに必要な体積Ｔとが、下記式を満たす半導体装置の製造方法。
   ０．８５Ｔ≦Ｖ≦１．２５Ｔ
   （式中、Ｔ＝Ａ−Ｗであり、Ａは前記接続工程後の半導体素子と被着体との間の空間の見掛けの体積であり、Ｗは半導体素子と被着体との間の空間に存在する構造物がその空間において占める体積である。）
2. 前記シート状樹脂組成物は無機充填剤を含み、
   該無機充填剤の平均粒径が１０ｎｍ以上５００ｎｍ以下である請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
3. 前記シート状樹脂組成物における前記無機充填剤の含有量が７０重量％以下である請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
4. 前記シート状樹脂組成物は、重量平均分子量が５×１０^５以上のアクリル樹脂を含む請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
   
   
   
   

Images