JP2015211361A - 圧電デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】キャビティを形成する容器本体の開口部の端面の幅が狭くても、気密封止に十分な幅の金属リングを使用可能とする。
【解決手段】容器本体１の開口部１１の端面には当該端面では小面積の開口を有する上側キャスタレーション９ａを設け、容器本体１の背面に前記上側キャスタレーション９ａの開口面積より大きな面積の下側キャスタレーション９ｂを連通させて設けた。この上側キャスタレーション９ａと下側キャスタレーション９ｂからなるキャスタレーション９の前記下側キャスタレーション９ｂの内面にのみ水晶振動子の検査端子となる側面電極１０を形成した
【選択図】図１

Description

本発明は、圧電デバイスに係り、特に容器本体の側面にキャスタレーションを形成して、このキャスタレーションに振動子の検査端子などを設けた圧電デバイスに関する。

グリーンシートなどで成形した絶縁容器に水晶振動子などの圧電振動子と発振回路を集積したＩＣチップなどの電子部品を収容した圧電デバイスは、当該絶縁容器（以下、単に容器あるいは容器本体と称する）に設けたキャビティ（凹部）内に上記圧電振動子と電子部品を収容した後、キャビティを覆って金属カバーを固着して封止している。この種の圧電デバイスでは、収容した振動子の振動周波数が所定値にあるか否かを容器外部から検査するための端子（検査端子）を当該容器の外面に設けておくことが行われる。

このような圧電デバイスとしては、その振動子に水晶振動子を用いたものが多い。この他にセラミック系材料を用いた振動子やシリコン半導体を加工したＭＥＭＳ振動子などがあるが、ここでは、水晶振動子を用いた水晶振動デバイス、あるいは水晶発振デバイス（一般的に水晶発振器と呼ばれる）を例として説明する。

図１０は、従来の水晶発振デバイスの外観例を示す斜視図、図１１は、図１０に示した水晶発振デバイスの要部構造例を説明する平面図である。この水晶発振デバイスは、グリーンシートを用いて凹部（キャビティ）１１を形成した容器本体１を有し、このキャビティ１１に図示しない水晶振動子と電子部品を収容する。水晶振動子と電子部品の収容後、キャビティ１１はその開口を覆って金属カバー３が固着されて気密封止される。金属カバー３はキャビティ１１の開口端面との間に金属リング２を介在させ、ロールを用いた溶接法、ロウ付法、あるいはレーザ溶接法などで固着される。この構成例では、容器本体１は、底壁１ａ，下枠壁１ｂ，上枠壁１ｃの３層の積層体からなる多層構造となっている。

この例の容器本体１は、その平面視が長方形であり、底壁１ａの周囲に下枠壁１ｂと上枠壁１ｃがこの順で積層され、底壁１ａの主面を底面とし、下枠壁１ｂと上枠壁１ｃで囲まれた内部にキャビティ１１が形成されている。キャビティ１１の開口端面にはタングステンあるいはモリブデン等の高融点金属のメタライズ膜が設けられている。

すなわち、キャビティ１１の内部には水晶振動子と、水晶振動子と共に発振回路を集積したＩＣチップなどの電子部品が収容される。ＩＣチップには発振回路の他に、デバイスの種類によっては温度補償回路などの付帯回路などが集積される。水晶振動子やＩＣチップなどの電子部品を収容したキャビティ１１は金属カバー３で封止される。金属カバー３は金属リング２を介してキャビティ１１の開口端面に設けたメタライズ膜に固着される。この容器本体１の２つの辺（図の例では長辺対）側の底壁１ａ，下枠壁１ｂ，上枠壁１ｃの側壁を上下に貫通する如く切り欠いたキャスタレーション９が形成され、このキャスタレーション９の内壁に検査端子としての側面電極１０が設けられている。

容器本体１の長辺あるいは短辺にキャスタレーションを設けたものでは、金属カバーによるキャビティの気密封止の信頼性は金属リングの幅が広いほど高い。金属カバーを溶着するための金属リングの幅は、キャスタレーションの側壁への切り込みの大きさで制限される。この種の圧電デバイスに関連する従来技術を開示したものとしては、特許文献１、特許文献２などを挙げることができる。

特許文献１は、容器本体の隅部（コーナー）のキャスタレーションに設けた検査端子を外側に突出させることで、検査装置のプローブピンの接触を容易にした水晶発振器を開示する。また、特許文献２は、キャビティの開口端面のキャスタレーション形成部にメタライズ膜などの金属膜を有しない金属膜非形成部を設けて、金属カバーを固着する際にロウ材から発生するガスがキャビティ内に閉じ込められるのを防止した水晶デバイスを開示する。

特開２００９−２８４１２５号公報 特開２００８−１６６５１９号公報

キャビティの開口端面に金属リングを介して金属カバーを固着するものでは、キャビティを、高い信頼性を以って気密封止するためには、キャビティを周回する開口端面の幅を十分に確保する必要がある。金属リングの幅が狭いと固着部の内外を通して連通する微細孔が発生し易くなり、気密が保たれなくなって、環境変化の影響が収容された水晶振動子の動作にダメージを及ぼすことになる。キャビティの大きさは、内部に収容する水晶振動子やＩＣチップのサイズに依存する。しかしながら、近年のデバイスの小型化の進展に応じた水晶振動子のサイズにも小型化が要求されるが、動作特性等によりキャビティの狭小化には自ずと限度がある。したがって、小型化の要請には、容器本体を小型化で対応する必要がある。

図１１において、容器本体のサイズはますます小さくなっており、長辺、短辺は共に数ミリから２〜３ｍｍのオーダーにもなっている。金属カバーを溶着するための設ける金属リングは均一な幅で形成されている。キャビティ１１を形成する開口端面は、その長辺にキャスタレーション９が形成されていると、金属リング２を設置する開口端面の幅は制限されて狭くなってしまう。キャスタレーション９に設けられる側面電極１０に水晶振動子の検査端子としての機能を持たせる場合は、通常は接地に接続される金属カバーと電気的に接続する金属リングを検査端子である側面電極１０とは絶縁しておかなければならない。そのため、キャスタレーション９に設ける側面電極１０の内側端縁と金属リング２の外縁との間に十分な絶縁を保障するための図中の距離ｄだけ隔離させる必要がある。しかしながら、キャビティ１１の端面の幅は、０．２ｍｍ以下となるものもあり、上記の距離ｄを確保してキャビティ内部を十分な密封封止できる幅の金属リングを実現することは極めて難しいのが現状である。

本発明の目的は、キャビティを形成する容器本体の開口部の端面の幅が狭くても、気密封止に十分な幅の金属リングを使用可能とした圧電デバイスを提供することにある。

上記の目的を達成するために、本発明は、容器本体の開口部の端面には当該端面では小面積の開口を有する上側キャスタレーションを設け、容器本体の背面に前記上側キャスタレーションの開口面積より大きな面積の下側キャスタレーションを連通させて設けた。この上側キャスタレーションと下側キャスタレーションからなるキャスタレーションの前記下側キャスタレーションの内面にのみ水晶振動子の検査端子となる側面電極を形成した。

本発明の特徴的構成例を列挙すれば、次のようになる。なお、本発明はこのような構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の技術思想を逸脱することなく、種々の変形が可能である。
（１）絶縁シートの積層体で構成され、圧電振動子／または圧電振動子と共に発振回路を構成する回路を構成する電子部品を収容するキャビティを有する平面視が長方形の容器本体と、前記キャビティを気密封止する金属カバーと、前記キャビティの開口端面と前記金属カバーの間に介在し、前記金属カバーを前記開口端面に固着する金属リングとを具備する圧電デバイスであって、
前記積層体は、底壁と、前記底壁の周縁に積層した中間枠壁と、前記中間枠壁の上に積層した上枠壁からなり、
前記容器本体の開口端面に、前記容器本体の外側に開放して前記上枠壁から前記底壁まで貫通するキャスタレーションを有し、
前記キャスタレーションは、前記上枠壁を貫通する上側キャスタレーションと、前記上側キャスタレーションの開口を含んで当該上側キャスタレーションの開口より大きく、前記中間枠壁と前記底壁を貫通する下側キャスタレーションとで形成され、
前記下側キャスタレーションの内壁に前記水晶振動子の検査端子となる側面電極が形成されていることを特徴とする。
（２）上記（１）における前記キャスタレーションは、前記容器本体の開口端面４隅のそれぞれに形成されていることを特徴とする。
（３）上記（２）における前記上側キャスタレーションの断面が円形の一部で、下側キャスタレーションが楕円形の一部であることを特徴とする。
（４）上記（２）における前記上側キャスタレーションの断面が円形の一部で、下側キャスタレーションの断面も円形の一部であることを特徴とする。
（５）上記３又は４における前記上側キャスタレーションの開口中心に対して前記下側キャスタレーションの開口中心が前記容器本体の対向する二対の平行する辺の一方の一対の辺の隣接する隅方向に接近する如くオフセットして形成されたことを特徴とする。
（６）上記１における前記キャスタレーションは、前記容器本体の開口端面の対向する一対の辺に形成されていることを特徴とする。
（７）上記６における前記上側キャスタレーションの断面が矩形の一部で、下側キャスタレーションも矩形の一部であることを特徴とする。

本発明によれば、水晶振動子などの圧電振動子の振動周波数などの動作特性を検査する検査端子を容器本体の側壁に、かつプローブピンを容易に接触させるのに十分な大きさで形成できる。したがって、圧電デバイスの検査作業が容易かつ正確に実行できる。また、本発明の圧電デバイスによれば、キャビティを形成した容器本体の開口部の端面の幅（開口端縁の上面幅）の狭小化を回避できるため、金属カバーによる気密封止に十分な幅の金属リングを使用できる。これにより、信頼性の高い圧電デバイスを得ることができる。

本発明を水晶発振デバイスに適用した実施例１の容器構造を説明する展開斜視図である。 図１に示した容器構造を矢印Ａから見た（ａ）側面の説明図、矢印Ｂから見た（ｂ）側面の説明図、実装端子を設けた（ｃ）背面の説明図である。 図１の矢印Ａ方向から容器の内部を透視して示す断面図である。 本発明の実施例１におけるコーナーのキャスタレーションに形成された水晶振動子の検査端子としての側面電極の詳細を説明する要部斜視図である。 本発明の実施例１における２段キャスタレーションを形成する上枠壁の母材シートの平面図である。 本発明の実施例１における２段キャスタレーションを形成する下枠壁と底壁を積層した母材シートの平面図である。 本発明を水晶発振デバイスに適用した実施例２におけるコーナーのキャスタレーションに形成された水晶振動子の検査端子としての側面電極の詳細を説明する要部斜視図である。 本発明を水晶発振デバイスに適用した実施例３の容器構造を説明する展開斜視図である。 図８の矢印Ａ方向から見た（ａ）長辺側の側面の説明図、矢印Ｂ方向から見た（ｂ）短辺側の側面の説明図、実装端子を設けた（ｃ）背面の説明図である。 従来の圧電デバイスの一例としての水晶発振デバイスの外観例を示す斜視図である。 図１０に示した水晶発振デバイスの要部構造例を説明する平面図である。

本発明の圧電デバイスの実施形態を、本発明を水晶発振デバイスに適用した実施例について添付の図面を参照して詳細に説明する。以下では、水晶振動子とＩＣチップなどの電子部品を同一のキャビティ（容器本体の凹部）に収容した、所謂一部屋型の水晶発振デバイス（水晶発振器）を例として説明するが、水晶振動子とＩＣチップ等の電子部品を容器本体の上下に別々に設けたキャビティのそれぞれに収容した所謂、二部屋型（断面がＨ字型、Ｈ型とも称する）の水晶発振デバイス、あるいは水晶等の圧電振動子デバイスにも適用できるものである。

図１は、本発明を水晶発振デバイスに適用した実施例１の容器構造を説明する展開斜視図である。また、図２は、図１に示した容器構造を矢印Ａから見た（ａ）側面の説明図、矢印Ｂから見た（ｂ）側面の説明図、実装端子を設けた（ｃ）背面の説明図である。図１と図２において、水晶発振デバイスの容器は、容器本体１と金属カバー３、および容器本体１のキャビティ１１を覆う金属カバー３を当該容器本体のキャビティ開口端面に溶着等で固定するための金属リング２とで構成される。金属カバー３と金属リング２は、コバールを好適とする金属板にニッケルメッキ、金メッキ等を施したものが用いられる。

容器本体１は平面視が矩形（以降に説明する本発明の実施例では長方形）で、グリーンシートの積層体（底壁、上枠壁、中間枠壁の３層とし、中間枠壁を下枠壁と表記）からなる。平面視が長方形の底壁１ａと、この底壁１ａの周面に下枠壁１ｂと上枠壁１ｃをこの順で積層して多層構造とされている。水晶振動子やＩＣチップなどの電子部品は図示を省略してある。底壁１ａ、下枠壁１ｂ、上枠壁１ｃの各シートの厚みは、デバイスの機械的強度、キャビティの大きさ、当該シートの構造体としての特性などの要素で決定される。

本実施例では、容器本体１の底壁と上下枠壁の積層体からなる容器本体の側面の中央部分にはキャスタレーションは形成されていない。側面電極を形成するためのキャスタレーションは上記積層体の４つの隅部（コーナー）に設けられたコーナーキャスタレーションの何れかに割り当てられる。この容器本体のコーナーには、元々、母材シートから個々の容器本体に分割する際の基準マークとしてのキャスタレーションが形成されている。このコーナーに形成されるキャスタレーションの何れか一対に水晶振動子の検査端子（プローブピン）接触用の側面電極を設けた。

コーナーに形成したキャスタレーション９は、最上層の枠壁（ここでは、上枠壁１ｃ）に設けた上側キャスタレーション９ａと底壁１ａとその上の枠壁（ここでは、下枠１ｂ）に設けた下側キャスタレーション９ｂとは、上側キャスタレーション９ａよりも下側キャスタレーション９ｂのサイズが大きな２段キャスタレーションである。下側キャスタレーション９ｂの断面積（底壁１ａと並行な面での断面積、以下同）は、上枠壁１ｃの上側キャスタレーション９ｃの断面積より大きくしてある。この大きさの差は、側面電極１０をメッキで形成する際の溶融メッキの流動が抑制されて上側キャスタレーション９ｃに達しない程度する。

側面電極１０をメッキで形成する際、２段キャスタレーション９を形成した母材シートを、その底壁側を溶融メッキ浴に接触させて、キャスタレーション９の内壁を這い上がらせることで当該キャスタレーションの内壁にメッキ液を付着させる。このとき、溶融メッキ液が上側キャスタレーション９ａと下側キャスタレーション９ｂの段差で流動が規制され、上側キャスタレーション９ａには達しない。

これにより、このメッキ膜で形成された側面電極１０は、上側のキャスタレーション開口端面に設ける金属リングと電気的に隔離され、十分な絶縁が得られる。したがって、この側面電極１０を水晶振動子の検査電極とすることができ、金属リングはキャスタレーションの開口端面の大部分に対応する幅で設置することができる。その結果、金属カバーによる気密封止は十分な性能を保障できることになる。水晶振動子と水晶振動子検査端子とは、シート間に設けた導体等の図示しない配線パターンを通して接続される。

図１において、容器本体の底壁１ａの背面（キャビティ１１と反対側）には、適用する電子機器のプリント基板に表面実装（ＳＭＤ実装）する実装端子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ（４ａ，４ｂは図示せず）が設けられている。

図３は、図１の矢印Ａ方向から容器の内部を透視して示す断面図である。容器本体１を構成する下枠壁１ｂは、キャビティ１１の内部の一端（一方の短辺側）が当該キャビティ１１の内側に延出されて段差を形成している。この段差の上面に一対の水晶保持端子６が設けられており、この水晶保持端子６に水晶振動子５の一端を導電性接着剤７で固定して収容している。水晶振動子５の下側でキャビティ１１の底壁１ａの主面には、水晶振動子５と共に発振回路を構成する回路を集積したＩＣチップ８が搭載されている。

水晶振動子５には、その両面に励振電極が形成されており、これらの励振電極は水晶保持端子６を通して実装端子の何れかと電気的に接続している。また、この例では、コーナー部の一対のキャスタレーションに形成された水晶振動子の検査端子を構成する側面電極に接続している。

図４は、本発明の実施例１におけるコーナーのキャスタレーションに形成された水晶振動子の検査端子としての側面電極の詳細を説明する要部斜視図である。この２段キャスタレーション９を形成する上側キャスタレーション９ａは、上側キャスタレーション９ａの開口中心であるコーナーを通る垂直線Ｚ１―Ｚ１’から長辺側に距離Ｄ１、短辺側に距離Ｄ２、かつＤ１＝Ｄ２で下枠壁１ｃに略円形に貫通する如く形成されている。そして、上側キャスタレーション９ａの内側端縁とキャビティの端縁とは距離Ｄ５だけ離されている。

また、下側キャスタレーション９ｂは底壁１ａと下枠壁１ｂを略円形に貫通する如く切り欠いて形成されている。コーナーを通る開口の中心線である垂直線Ｚ１―Ｚ１’から長辺側に距離Ｄ３、短辺側に距離Ｄ４、かつＤ３＜Ｄ４で形成されている。すなわち、下側キャスタレーション９ｂは短辺側に広い面積で形成されるように配置される。下側キャスタレーション９ｂの開口中心を通る中心線Ｚ２−Ｚ２’は、上側キャスタレーション９ａの開口中心であるコーナーを通る垂直線Ｚ１―Ｚ１’から短辺側に距離Ｄ６だけオフセットしている。本実施例では、検査端子となる側面電極は下側キャスタレーション９ｂの底壁１ａと下枠壁１ｂの部分にのみ設けられている。

このようなキャスタレーションを設けたことで、側面電極を溶融メッキ液の流動で形成する際に、流動してキャスタレーションの内部壁を伝って上昇した溶融メッキ液が上枠壁１ｃへの到達が規制される。このように検査端子を配置することで、デバイスの側面からの検査用のプローブピンの接触作業を容易にしている。なお、上側キャスタレーション９ａの開口中心、下側キャスタレーション９ｂの開口中心は、必ずしも容器本体の隅（コーナー）に一致させる必要はない。

図５は、本発明の実施例１における２段キャスタレーションを形成する上枠壁の母材シートの平面図である。この母材シートは、多数の水晶デバイスの容器本体を構成する上枠壁となるもので、図５は個々のデバイスに分離する前のキャビティ１１を設けた平面構成を示す。上枠壁１ｃを多数配列して形成したものについて、各デバイスの隣接コーナー部分に上側キャスタレーション９ａとなる円形孔９Ａをパンチプレスで穿設する。

図６は、本発明の実施例１における２段キャスタレーションを形成する下枠壁と底壁の母材シートの積層シートの平面図である。下枠壁の母材シート１Ｂには、キャビティ１１の内部に延出した段差の上に水晶保持端子６が形成されている。この下枠壁の母材シート１Ｂと底壁の母材シート１Ａの積層体に対し、各デバイスの隣接コーナー部分に下側キャスタレーション９ｂとなる楕円形孔９Ｂをパンチプレスで穿設する。この楕円形孔９Ｂの外形寸法は、その長軸方向のサイズが上枠壁シートに穿設した円形孔の直径よりも大きく、短軸方向サイズも上枠壁シートに穿設した円形孔の径以上とされている。

図５に示した上枠壁の母材シートと図６に示した下枠壁と底壁を積層した母材シートを、上側キャスタレーション９ａの中心と下側キャスタレーション９ｂの中止を位置合わせして貼り合わせる。これを焼成して固化し、剛性の大なるセラミック積層シートとする。

２段のキャスタレーションを形成した積層シートの底壁側に非メッキ化処理を施し、溶融半田槽に接触させて、キャスタレーションの内部をメッキ処理する。その後、水晶振動子とＩＣチップを収容し、金属リングを介して金属カバーを溶着等で固定し、個々のデバイスに分離して水晶発振デバイスを得る。

上記の２段キャスタレーションを持った容器本体の製作プロセスは一例に過ぎない。この他に適宜に基地のプロセスを用いて製作できる。なお、この側面電極を下枠壁１ｂにのみ設けてもよい。

本実施例により、水晶振動子やＩＣチップを収容するキャビティ内を気密封止するための金属リングとこの金属リングを配置するキャビティの開口端面の幅を十分に確保できる。また、水晶振動子の検査端子を側壁に設けることで、検査プローブでの検査作業を容易にして正確な検査を実現でき、特に本実施例では、デバイスの短辺側からのプローブピンの接触作業が容易になる。

図７は、本発明の実施例２におけるコーナーのキャスタレーションに形成された水晶振動子の検査端子としての側面電極の詳細を説明する要部斜視図である。この２段キャスタレーション９を形成する上側キャスタレーション９ａは、コーナーを通る垂直線Ｚ１―Ｚ１’から長辺側に距離Ｄ１、短辺側に距離Ｄ２、かつＤ１＝Ｄ２で下枠壁１ｃに略円形に貫通する如く形成されている。そして、上側キャスタレーション９ａの内側端縁とキャビティの端縁とは距離Ｄ５とされている。

下側キャスタレーション９ｂは底壁１ａと下枠壁１ｂを略円形に貫通する如く切り欠いて形成されている。コーナーを通る垂直線Ｚ１―Ｚ１’から長辺側に距離Ｄ３、短辺側に距離Ｄ４、かつＤ３＝Ｄ４で形成されている点で実施例１と異なる。下側キャスタレーション９ｂの半径を通る中心線Ｚ２−Ｚ２’は、コーナーを通る垂直線Ｚ１―Ｚ１’と一致する。本実施例では、検査端子となる側面電極１０ａは下側キャスタレーション９ｂの底壁１ａと下枠壁１ｂの部分に設けられている。なお、この側面電極を下枠壁１ｂにのみ設けてもよい。

このようなキャスタレーションを設けたことで、側面電極を溶融メッキ液の流動で形成する際に、流動してキャスタレーションの内部壁を伝って上昇した溶融メッキ液が下枠壁１ｃには到達することが阻止できる。このように検査端子を配置することで、デバイスの側面からの検査プローブの接触作業を容易にしている。

本実施例によっても、水晶振動子やＩＣチップを収容するキャビティ内を気密封止するための金属リングとこの金属リングを配置するキャビティの開口端面の幅を十分に確保できる。また、水晶振動子の検査端子を側壁に設けることで、検査プローブでの検査作業を容易にして正確な検査を実現でき、デバイス側壁側からのプローブ接触作業が容易になる。

図８は、本発明に係る水晶発振デバイスの実施例３の容器構造を説明する展開斜視図である。また、図９は、図８を矢印Ａから見た（ａ）長辺側の側面図、矢印Ｂから見た（ｂ）短辺側の側面図、実装端子を設けた（ｃ）背面図である。図８と図９において、水晶発振デバイスの容器は、容器本体１と金属カバー３、および容器本体１のキャビティ１１を覆って金属カバー３を当該容器本体のキャビティ開口端面に溶着するための金属リング２とで構成される。金属カバー３と金属リング２は、コバールを好適とする金属板にニッケルメッキ、金メッキを施したものが用いられる。容器本体１は、上記実施例１，２と同様のグリーンシートの積層体からなり、平面視が長方形の底壁１ａと、この底壁１ａの周面に下枠壁１ｂと上枠壁１ｃをこの順で積層して構成されている。水晶振動子やＩＣチップなどの電子部品は図示を省略してある。底壁１ａ、下枠壁１ｂ、上枠壁１ｃのシート厚みは、デバイスの機械的強度、キャビティの大きさなどの要素で決定される。

本実施例では、底壁と上下枠壁の積層体からなる容器本体１の長辺側の側面の中央部分にキャスタレーション９が形成されている。上記積層体の隅部（コーナー）には、母材シートから個々のデバイスに分割する基準マークとしてのキャスタレーションが設けられている。本実施例では、このコーナーのキャスタレーションには、電極などは設けられていないが、必要に応じて電極を形成することができる。

長辺の枠壁に形成したキャスタレーション９は、最上層の枠壁（ここでは、上枠壁１ｃ）に設けた上側キャスタレーション９ａと底壁１ａとその上の枠壁（ここでは、下枠壁１ｂ）に設けた下側キャスタレーション９ｂとで大きさを異ならせた２段キャスタレーションである。上枠壁１ｃに設けた上側キャスタレーション９ａはコ字形の切り込みであり、底壁１ａと下枠壁１ｂに設けた下側キャスタレーション９ｂもコ字形の切り込みである。上枠壁１ｃに設けた上側キャスタレーション９ａの断面積は、下側キャスタレーション９ｂの断面積より小さくしてある。この大きさの差は、上記各実施例と同様に、水晶振動子の検査端子となる側面電極１０をメッキで形成する際の溶融メッキの流動が抑制される程度とする。

側面電極１０をメッキで形成する際、２段キャスタレーション９を形成した母材シートを、その底壁側を溶融メッキ浴に接触させて、キャスタレーション９の内壁を這い上がらせることで当該キャスタレーションの内壁にメッキ液を付着させる。このとき、溶融メッキ液が上側キャスタレーション９ａと下側キャスタレーション９ｂの段差で規制され、上側キャスタレーション９ａには達しない。なお、この側面電極を下枠壁１ｂにのみ設けてもよい。

これにより、このメッキ膜で形成された側面電極１０は、上側のキャスタレーション開口端面に設ける金属リングと電気的に隔離され、十分な絶縁が得られる。上側キャスタレーション９ａは小サイズでよいので、この上側キャスタレーション９ａの内側端縁とキャビティ１１の周縁との距離Ｄ７を、前記図１０，１１で説明した従来技術に比べて大きくとることができる。したがって、金属リングはキャスタレーションの開口端面の大部分に対応する幅で設置することができる。その結果、金属カバーによる気密封止は十分な性能を保障できることになる。この側面電極１０を水晶振動子の検査電極とすることで水晶振動子の検査プローブでの作業が容易で、正確な検査が可能となる。

なお、容器本体１の底壁１ａの背面（キャビティとは反対側）には、適用する電子機器のプリント基板にＳＭＤ実装する実装端子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが設けられている。

本実施例によっても、水晶振動子やＩＣチップを収容するキャビティ内を気密封止するための金属リングとこの金属リングを配置するキャビティの開口端面の幅を十分に確保できる。また、水晶振動子の検査端子を側壁に設けることで、検査プローブでの検査作業を容易にして正確な検査を実現でき、デバイス側壁側からのプローブ接触作業が容易になる。

上記した各実施例では、上側キャスタレーションの断面形状を円形、下側キャスタレーションの形状を楕円形としたもの、両者矩形としたものとを説明した。しかしながら、本発明は、上側キャスタレーションの断面形状と下側キャスタレーションの形状を異ならせることを排除しない。例えば、上側キャスタレーションの断面形状を円形、下側キャスタレーションの断面形状を矩形としてもよい。その他、下側キャスタレーションを這い上がったメッキ液が上側キャスタレーションの内壁に達するのを抑制する形状であればよい。

１・・・容器本体、１ａ・・・底壁、１ｂ・・・下枠壁、１ｃ・・・上枠壁、２・・・金属リング、４・・・実装端子、５・・・水晶振動子、６・・・水晶保持端子、７・・・導電性接着剤、８・・・ＩＣチップ、９・・・キャスタレーション、１０・・・側面電極、１１・・・キャビティ。

Claims (7)

1. 絶縁シートの積層体で構成され、圧電振動子／または圧電振動子と共に発振回路を構成する回路を構成する電子部品を収容するキャビティを有する平面視が長方形の容器本体と、前記キャビティを気密封止する金属カバーと、前記キャビティの開口端面と前記金属カバーの間に介在し、前記金属カバーを前記開口端面に固着する金属リングとを具備する圧電デバイスであって、
   前記積層体は、底壁と、前記底壁の周縁に積層した中間枠壁と、前記中間枠壁の上に積層した上枠壁からなり、
   前記容器本体の開口端面に、前記容器本体の外側に開放して前記上枠壁から前記底壁まで貫通するキャスタレーションを有し、
   前記キャスタレーションは、前記上枠壁を貫通する上側キャスタレーションと、前記上側キャスタレーションの開口を含んで当該上側キャスタレーションの開口より大きく、前記中間枠壁と前記底壁を貫通する下側キャスタレーションとで形成され、
   前記下側キャスタレーションの内壁に前記水晶振動子の検査端子となる側面電極が形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
2. 請求項１において、
   前記キャスタレーションは、前記容器本体の開口端面４隅のそれぞれに形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
3. 請求項２において、
   前記上側キャスタレーションの断面が円形の一部で、下側キャスタレーションが楕円形の一部であることを特徴とする圧電デバイス。
4. 請求項２において、
   前記上側キャスタレーションの断面が円形の一部で、下側キャスタレーションの断面も円形の一部であることを特徴とする圧電デバイス。
5. 請求項３又は４において、
   前記上側キャスタレーションの開口中心に対して前記下側キャスタレーションの開口中心が前記容器本体の対向する二対の平行する辺の一方の一対の辺の隣接する隅方向に接近する如くオフセットして形成されたことを特徴とする圧電デバイス。
6. 請求項１において、
   前記キャスタレーションは、前記容器本体の開口端面の対向する一対の辺に形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
7. 請求項６において、
   前記上側キャスタレーションの断面が矩形の一部で、下側キャスタレーションも矩形の一部であることを特徴とする圧電デバイス。

Images