JP2015207895A - 基板のドライエッチング方法 - Google Patents
基板のドライエッチング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015207895A JP2015207895A JP2014087149A JP2014087149A JP2015207895A JP 2015207895 A JP2015207895 A JP 2015207895A JP 2014087149 A JP2014087149 A JP 2014087149A JP 2014087149 A JP2014087149 A JP 2014087149A JP 2015207895 A JP2015207895 A JP 2015207895A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- resist
- plating layer
- layer
- dry etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】基板110のドライエッチング方法は、基板110を準備する工程と、基板110上に、断面視にて基板110側に、基板110と反対側よりも突出している突出部となる第1レジスト102を有するレジスト層を形成する工程と、基板110上に、メッキ層103を形成する工程と、メッキ層103をマスクとして基板110をドライエッチングする工程と、を含む。
【選択図】図4
Description
図1〜図5を用い、本発明に係るドライエッチング方法を、音叉型水晶振動片の外形加工に適用する例を用いて説明する。図1および図2は、音叉型水晶振動片の概略構成を示す斜視図である。図3は、音叉型水晶振動片の外形加工の外形パターニングを示す概略斜視図である。図4(a)〜図4(g)は、音叉型水晶振動片の製造工程の内の外形加工に係る工程の概略を示す工程図である。図5は、レジスト層の突出部を説明する断面図であり、図5(a)は第1実施形態、図5(b)は第2実施形態を示す図である。
先ず、本発明に係る第1実施形態のドライエッチング方法を適用する音叉型水晶振動片の構成について説明する。図1に示すように音叉型水晶振動片100は、例えば水晶の単結晶から切り出され、ドライエッチング方法を用いて音叉型の外形形状に加工されている。この音叉型水晶振動片100は、X軸が電気軸、Y軸が機械軸、Z軸が光軸となるように水晶の単結晶から切り出される。このように電気軸がX軸方向に配置されることにより、高精度が要求される携帯電話装置等の電子機器全般に好適な音叉型水晶振動片100となる。また、水晶の単結晶から切り出す際、上述のX軸、Y軸およびZ軸からなる直交座標系において、X軸回りに、X軸とY軸とからなるXY平面を反時計方向に約1度ないし5度傾けた、所謂水晶Z板として、音叉型水晶振動片100が形成されている。
図4(a)、および図4(b)を参照して、第1レジスト102を形成する工程、および第2レジスト104を形成する工程について説明する。
先ず、第1レジスト102の形成に先立って、基板110を準備する工程において、図4(a)に示すように、所謂水晶Z板を板状に加工した基板110を準備する。そして、基板110の上面111にシード層105を形成する工程に進む。シード層105は、一例として下地層にクロム(Cr)を形成し、その上に銅(Cu)や金(Au)などが形成されている構成を用いる。シード層105の形成においては、真空蒸着法、真空スパッタリング法などを用いることができる。このようにシード層105を形成することにより、基板110とメッキ層103の密着性を高くすることができる。これにより、基板110とマスクを構成するメッキ層103とのエッチング速度の比であるエッチング選択比を高くすることができる。
加工比率r=基板110の加工量/メッキ層103の加工量L・・・(1)
としたとき、
凹部108(突出部)の高さt3<メッキ層103の厚みt2−(基板110の厚みt1/加工比率r)・・・(2)
なお、本実施形態における加工比率rは、10から20の範囲内となるように設定することが望ましく、本実施形態の音叉型水晶振動片100の外形形状を形成する場合では、加工比率rを15程度に設定している。
そして、このメッキ層103の基板110側の側面107に形成された凹部108により、基板110の上面111の微細な凹凸、あるいはレジストと基板110との熱膨張の違いなどがあってもメッキ層103の側面107から突出する凸部が形成されなくなり、この凸部の影響による基板110のエッチング形状の寸法ばらつきの発生を防止することができる。これにより、基板110のドライエッチングにおいて、所望の外形形状を精度良く形成することが可能となり、音叉型水晶振動片100の振動特性を向上させることが可能となる。
図6を用い、本発明に係るドライエッチング方法の第2実施形態を、音叉型水晶振動片の外形加工に適用する例を用いて説明する。図6(a)〜図6(g)は、音叉型水晶振動片の製造工程の内の第2実施形態に係る外形加工の工程を示す概略工程図である。なお、第2実施形態では、前述の第1実施形態と同じ音叉型水晶振動片を用いているため、同じ構成については同符号を付して構成の説明を省略する。
第2実施形態の音叉型水晶振動片の外形形成方法は、メッキ層の基板側に設けられる凹部の形成方法が第1実施形態と異なる。したがって、以下の説明では、異なる工程について説明し、同様な工程の説明は省略する。
図6(e)に示すように、シード層205は、メッキ層103をマスクとして、例えばウェットエッチング法によって露出部分205b(被エッチング部位)がエッチングされて取り除かれる。そして、シード層205が取り除かれた部分は、基板110が露出し、メッキ層203の下部は残留部分205aとしてメッキ層203の下地層となる。
図6(f)に示すように、基板110をドライエッチングする工程では、メッキ層203をマスクとして基板110の露出面に対してエッチングを開始し、被エッチング部位110bをエッチングすることによって音叉型水晶振動片100の構成部位110aを出現させ、音叉型水晶振動片100の外形形状を形成する。このとき、メッキ層203も、基板110のエッチング進行速度に比べ遅いエッチング速度でエッチングされる。このメッキ層103のエッチングされた部分を、図中にエッチング部位203bとして2点鎖線で示し、残った部位を残ったメッキ層203aとして示している。なお、ドライエッチングについては、第1実施形態と同様であるので説明を省略する。
加工比率r=基板110の加工量/メッキ層203の加工量L・・・(1)
としたとき、
凹部208(突出部)の高さt3<メッキ層203の厚みt2−(基板110の厚みt1/加工比率r)・・・(2)
そして、このメッキ層203の基板110側の側面207に形成された凹部208により、基板110の上面111の微細な凹凸、あるいはレジストと基板110との熱膨張の違いなどがあってもメッキ層203の側面207から突出する凸部が形成されなくなり、この凸部の影響による基板110のエッチング形状の寸法ばらつきの発生を防止することができる。これにより、基板110のドライエッチングにおいて、所望の外形形状を精度良く形成することが可能となり、音叉型水晶振動片100の振動特性を向上させることが可能となる。
Claims (5)
- 基板を準備する工程と、
前記基板上に、断面視にて前記基板側に前記基板と反対側よりも突出している突出部を有するレジスト層を形成する工程と、
前記基板上に、メッキ層を形成する工程と、
前記メッキ層をマスクとして前記基板をドライエッチングする工程と、を含んでいることを特徴とする基板のドライエッチング方法。 - 前記基板と前記メッキ層との間にシード層を形成する工程を備えていることを特徴とする請求項1に記載の基板のドライエッチング方法。
- 前記レジスト層を形成する工程において、
パターン形成後のレジストを加熱することによって前記突出部を形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板のドライエッチング方法。 - 前記レジスト層を形成する工程において、
前記基板上に、第1の間隔を有する第1レジストを形成する工程と、
前記第1の間隔より広い第2の間隔を有し、且つ前記第1レジストの一部が重なる第2レジストを形成する工程と、を含み、
前記メッキ層を形成する工程において、
前記第2の間隔の内に前記メッキ層を形成する工程を含んでいることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の基板のドライエッチング方法。 - 加工比率r=前記基板の加工量/前記メッキ層の加工量、としたとき、
前記突出部の高さt3は、
t3<前記メッキ層の厚みt2−(前記基板の厚みt1/前記加工比率r)
であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の基板のドライエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014087149A JP6435629B2 (ja) | 2014-04-21 | 2014-04-21 | 基板のドライエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014087149A JP6435629B2 (ja) | 2014-04-21 | 2014-04-21 | 基板のドライエッチング方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015207895A true JP2015207895A (ja) | 2015-11-19 |
JP2015207895A5 JP2015207895A5 (ja) | 2017-04-27 |
JP6435629B2 JP6435629B2 (ja) | 2018-12-12 |
Family
ID=54604401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014087149A Active JP6435629B2 (ja) | 2014-04-21 | 2014-04-21 | 基板のドライエッチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6435629B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05243217A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-21 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH11293480A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-10-26 | Tdk Corp | エッチングマスク、その作製方法およびエッチング方法、並びに磁気ヘッドおよびその製造方法 |
JP2007234912A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Eudyna Devices Inc | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2010141178A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | エッチング方法およびエッチング方法を用いた半導体装置の製造方法 |
-
2014
- 2014-04-21 JP JP2014087149A patent/JP6435629B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05243217A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-21 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH11293480A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-10-26 | Tdk Corp | エッチングマスク、その作製方法およびエッチング方法、並びに磁気ヘッドおよびその製造方法 |
JP2007234912A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Eudyna Devices Inc | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2010141178A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | エッチング方法およびエッチング方法を用いた半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6435629B2 (ja) | 2018-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8093787B2 (en) | Tuning-fork-type piezoelectric vibrating piece with root portions having tapered surfaces in the thickness direction | |
JP5059399B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電デバイス | |
JP2009060478A (ja) | 圧電振動片の製造方法及び音叉型圧電振動片 | |
JP5465573B2 (ja) | 音叉型水晶片の製造方法 | |
JP5468444B2 (ja) | 音叉型水晶片の製造方法 | |
JP2008113380A (ja) | 水晶振動子の製造方法、水晶振動子及び電子部品 | |
JP6435629B2 (ja) | 基板のドライエッチング方法 | |
JP5890271B2 (ja) | 音叉型屈曲水晶振動素子及びその製造方法 | |
JPH07212161A (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP2011217039A (ja) | 音叉型水晶片の製造方法 | |
JP2007142795A (ja) | 圧電振動片の製造方法およびアライメントマーカーの形成方法 | |
JP6055294B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP2006314007A (ja) | 圧電振動片の製造方法および圧電振動子 | |
JP5769557B2 (ja) | 水晶振動子片の製造方法 | |
JP4729924B2 (ja) | Atカット水晶片集合体の製造方法 | |
JP2016174328A (ja) | ウェーハの製造方法及びウェーハ | |
JP6240531B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JP6055273B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP6043588B2 (ja) | 水晶振動素子及びその製造方法 | |
JP2010183208A (ja) | ウエットエッチング方法及び音叉型圧電素子片の加工方法 | |
JP2007096756A (ja) | 基板の製造方法、水晶振動片及びジャイロ振動片 | |
JP5758642B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP6163404B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP6424076B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JP2012231234A (ja) | 振動体デバイスの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160617 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20160624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170323 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180320 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180517 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20180904 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181016 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181029 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6435629 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |