JP2015204608A - 物理量センサ装置および物理量センサ装置の調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
実施の形態1にかかる物理量センサ装置の機能的構成について説明する。図1は、実施の形態1にかかる物理量センサ装置の機能的構成を示すブロック図である。図1に示す物理量センサ装置100は、物理量センサ101の出力信号をデジタル演算により所望の出力値に補正した後、当該演算結果をアナログ化して外部へアナログ出力する機能を有する。所望の出力値とは、例えば、物理量センサ装置100の設計仕様に基づいて予め設定された出力特性に基づく、実使用時や出荷前試験時における物理量センサ装置100の出力値である。具体的には、物理量センサ装置100は、物理量センサ101、温度センサ102、Vcc分圧部103、演算部104、記憶部105、第1,2変換部106,107、第1,2補正部108,109、制御部110、デジタル入出力部111、アナログ入出力部112によって構成される。
次に、実施の形態2にかかる物理量センサ装置について説明する。図7は、実施の形態2にかかる半導体物理量センサ装置の全体構成の一例を示すブロック図である。図7には、本発明を適用して半導体チップ上に形成した半導体物理量センサ装置の全体構成の一例を示す。実施の形態2にかかる物理量センサ装置が実施の形態1にかかる物理量センサ装置と異なる点は、第1,2補正回路を設けない点である。実施の形態1と同様に、動作モード5,6においてそれぞれA/Dコンバータ206およびD/Aコンバータ207の初期出力値を測定する。そして、初期出力特性と目標出力特性との誤差(調整情報)に基づいてA/Dコンバータ206またはD/Aコンバータ207が不良であるか否かの判断を行う。
101,201 物理量センサ
102,202 温度センサ
103,203 Vcc分圧部
104 演算部
105 記憶部
106 第1変換部
107 第2変換部
108 第1補正部
109 第2補正部
110 制御部
111 デジタル入出力部
112 アナログ入出力部
113,213 配線
120 設定装置
121 第1取得部
122 第2取得部
123 第3取得部
124 第1算出部
125 第2算出部
126 第3算出部
127 入出力部
204 演算回路
205 データ記憶部
206 A/Dコンバータ
207 D/Aコンバータ
208 第1補正回路
209 第2補正回路
210 制御回路
211 デジタルI/O
212 アナログI/O
214 プリアンプ
215 第1サンプルホールド
216 第2サンプルホールド
217 第3サンプルホールド
218 第1セレクタ
219 第2セレクタ
220 基準電圧源
221 センサ駆動回路
222 発振器
231 電圧源
232,234 測定手段
233 入力手段
Claims (6)
- 検知した物理量に応じた電気信号を出力する物理量センサと、
前記物理量センサの出力値をデジタル変換する第1変換部と、
前記第1変換部によってデジタル変換された前記物理量センサの出力値を所定値に補正するためのデジタル演算処理を行う演算部と、
前記デジタル演算処理による演算結果をアナログ変換する第2変換部と、
前記第2変換部の出力値を外部へ出力するアナログ入出力部と、
を備え、
前記アナログ入出力部と前記第1変換部とを電気的に接続して、前記アナログ入出力部から前記第1変換部に入力された所定のアナログ信号を前記第1変換部によってデジタル変換することにより、前記第1変換部の初期出力特性を取得し、
前記第1変換部によって前記物理量センサの出力値をデジタル変換する前に、前記第1変換部の初期出力特性に基づいて前記第1変換部の出力特性を調整することを特徴とする物理量センサ装置。 - 検知した物理量に応じた電気信号を出力する物理量センサと、
前記物理量センサの出力値をデジタル変換する第1変換部と、
前記第1変換部によってデジタル変換された前記物理量センサの出力値を所定値に補正するためのデジタル演算処理を行う演算部と、
前記デジタル演算処理による演算結果をアナログ変換する第2変換部と、
を備え、
外部から前記第2変換部に入力された所定のデジタル信号を前記第2変換部によってアナログ変換することにより、前記第2変換部の初期出力特性を取得し、
前記第2変換部の初期出力特性に基づいて前記第2変換部の出力特性を調整した後に、当該第2変換部によってアナログ変換された前記演算結果を外部へ出力することを特徴とする物理量センサ装置。 - 前記物理量センサの初期出力値を取得する取得部を、さらに備え、
前記演算部は、前記第1変換部によってデジタル変換された前記物理量センサの初期出力値に基づいて前記デジタル演算処理を行い、
前記第1変換部によって前記物理量センサの初期出力値をデジタル変換する前に、前記第1変換部の初期出力特性に基づいて前記第1変換部の出力特性を調整することを特徴とする請求項1または2に記載の物理量センサ装置。 - 前記第1変換部の初期出力特性と前記第1変換部の目標出力特性との誤差に基づいて、前記第1変換部の出力特性を調整することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の物理量センサ装置。
- 前記アナログ入出力部と前記第1変換部とは、配線を介して、入力切換可能な状態で電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ装置。
- 検知した物理量に応じた電気信号を出力する物理量センサと、前記物理量センサの出力値をデジタル変換する第1変換部と、前記第1変換部によってデジタル変換された前記物理量センサの出力値を所定値に補正するためのデジタル演算処理を行う演算部と、前記デジタル演算処理による演算結果をアナログ変換する第2変換部と、前記第2変換部の出力値を外部へ出力するアナログ入出力部と、を備え、前記アナログ入出力部と前記第1変換部とが電気的に接続された物理量センサ装置の調整方法であって、
前記アナログ入出力部から前記第1変換部に入力された所定のアナログ信号を前記第1変換部によってデジタル変換することにより、前記第1変換部の初期出力特性を取得する第1工程と、
前記第1変換部によって前記物理量センサの出力値をデジタル変換する前に、前記第1変換部の初期出力特性に基づいて前記第1変換部の出力特性を調整する第2工程と、
を含むことを特徴とする物理量センサ装置の調整方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014085021A JP2015204608A (ja) | 2014-04-16 | 2014-04-16 | 物理量センサ装置および物理量センサ装置の調整方法 |
DE102015203926.9A DE102015203926A1 (de) | 2014-04-16 | 2015-03-05 | Sensorvorrichtung für eine physikalische Größe und Verfahren zum Anpassen einer Sensorvorrichtung für eine physikalische Grösse |
US14/642,457 US10126145B2 (en) | 2014-04-16 | 2015-03-09 | Physical quantity sensor device and method of adjusting physical quantity sensor device |
JP2019143323A JP6915656B2 (ja) | 2014-04-16 | 2019-08-02 | 物理量センサ装置の調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014085021A JP2015204608A (ja) | 2014-04-16 | 2014-04-16 | 物理量センサ装置および物理量センサ装置の調整方法 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018032612A Division JP2018119972A (ja) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 物理量センサ装置 |
JP2019143323A Division JP6915656B2 (ja) | 2014-04-16 | 2019-08-02 | 物理量センサ装置の調整方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015204608A true JP2015204608A (ja) | 2015-11-16 |
Family
ID=54250072
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014085021A Pending JP2015204608A (ja) | 2014-04-16 | 2014-04-16 | 物理量センサ装置および物理量センサ装置の調整方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10126145B2 (ja) |
JP (1) | JP2015204608A (ja) |
DE (1) | DE102015203926A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022224985A1 (ja) * | 2021-04-21 | 2022-10-27 | ローム株式会社 | センサモジュール及び車両 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6499760B2 (ja) * | 2015-07-29 | 2019-04-10 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 車載制御装置、車載集積回路 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07281834A (ja) * | 1994-04-04 | 1995-10-27 | Fuji Electric Co Ltd | アナログ信号変換器 |
JP2003032108A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-31 | Tanita Corp | 直線性補償装置及び直線性補償方法 |
JP2012165298A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Tokai Rika Co Ltd | 信号処理回路 |
WO2013100156A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 富士電機株式会社 | 物理量センサ装置の出力値補正方法、物理量センサの出力値補正方法、物理量センサ装置および物理量センサの出力値補正装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10145231A (ja) | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | A/d変換装置及びd/a変換装置におけるデータ補正方法 |
JP3830319B2 (ja) * | 1999-12-16 | 2006-10-04 | 株式会社デンソー | 回転角度検出センサの温度特性調整方法 |
JP3753057B2 (ja) | 2001-12-04 | 2006-03-08 | 株式会社日立製作所 | 気体流量測定装置 |
US20100259285A1 (en) * | 2007-03-05 | 2010-10-14 | Nokia Corporation | Providing feedback in an electronic circuit |
US20140198820A1 (en) * | 2013-01-17 | 2014-07-17 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for an auto-ranging temperature sensor |
US9136886B2 (en) * | 2013-03-11 | 2015-09-15 | Rosemount Inc. | Digitally compensated process transmitter with minimal dead time |
-
2014
- 2014-04-16 JP JP2014085021A patent/JP2015204608A/ja active Pending
-
2015
- 2015-03-05 DE DE102015203926.9A patent/DE102015203926A1/de not_active Ceased
- 2015-03-09 US US14/642,457 patent/US10126145B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07281834A (ja) * | 1994-04-04 | 1995-10-27 | Fuji Electric Co Ltd | アナログ信号変換器 |
JP2003032108A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-31 | Tanita Corp | 直線性補償装置及び直線性補償方法 |
JP2012165298A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Tokai Rika Co Ltd | 信号処理回路 |
WO2013100156A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 富士電機株式会社 | 物理量センサ装置の出力値補正方法、物理量センサの出力値補正方法、物理量センサ装置および物理量センサの出力値補正装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022224985A1 (ja) * | 2021-04-21 | 2022-10-27 | ローム株式会社 | センサモジュール及び車両 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102015203926A1 (de) | 2015-10-22 |
US20150303935A1 (en) | 2015-10-22 |
US10126145B2 (en) | 2018-11-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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