JP2015203671A - Electronic component attitude-correcting device of ic handler, and electronic component attitude-correcting method of ic handler - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体チップ等の電子部品をトレイと測定部との間に搬送させるICハンドラに関し、特に、搬送ミスによるポケット(収納部)に対する電子部品の姿勢の不良を修正してポケットに正しい姿勢で配置させる電子部品姿勢修正装置及び電子部品姿勢修正方法に関する。 The present invention relates to an IC handler that transports an electronic component such as a semiconductor chip between a tray and a measurement unit, and in particular corrects a defective posture of the electronic component with respect to a pocket (storage unit) due to a conveyance mistake and corrects the posture of the pocket. It is related with the electronic component attitude | position correction apparatus and electronic component attitude | position correction method which are arrange | positioned by.
一般に、半導体チップ等の電子部品の良否を検査する電子部品検査装置には、検査する電子部品をトレイから測定部まで搬送するためのICハンドラ(搬送用ロボット)と、測定検査後に、電子部品を測定部からトレイに戻すためのICハンドラが使用されている。 In general, an electronic component inspection apparatus for inspecting the quality of electronic components such as semiconductor chips includes an IC handler (conveying robot) for conveying the electronic components to be inspected from the tray to the measuring unit, and the electronic components after the measurement inspection. An IC handler is used to return the measurement unit to the tray.
このようなICハンドラとしては、例えば、特許文献1に記載されているようなものがある。特許文献1には、トレイと電子部品検査装置との間で電子部品を移動させるICハンドラに関するものが記載されている。 An example of such an IC handler is described in Patent Document 1. Patent Document 1 describes an IC handler that moves an electronic component between a tray and an electronic component inspection apparatus.
この特許文献1に記載されたICハンドラは、多数の電子部品が収納されたトレイが位置付けられる部品領域と、電子部品が装填される検査用ソケットを有する検査領域と、この検査領域と部品領域との間で電子部品を移動させる部品移動装置とを備えている。部品領域は、平面視において検査領域から離間する方向とは直交する方向に複数並べて設けられ、部品移動装置は、部品領域のトレイと検査用ソケットとの間で電子部品を放すことなく吸着しながら移動する吸着ノズルを備えていることを特徴としている。 The IC handler described in Patent Document 1 includes a component region in which a tray in which a large number of electronic components are stored is positioned, an inspection region having an inspection socket in which electronic components are loaded, and the inspection region and the component region. And a component moving device for moving electronic components between the two. A plurality of component areas are provided side by side in a direction perpendicular to the direction away from the inspection area in plan view, and the component moving device sucks the electronic area between the tray of the component area and the inspection socket without releasing it. It is characterized by having a moving suction nozzle.
このICハンドラによれば、部品移動装置がトレイを越えて検査用ソケット側から離間する方向に移動することなく、全ての電子部品をトレイと検査用ソケットとの間で移動させることができる。そのため、従来のICハンドラに比べてタクトタイムを短縮することができる。 According to this IC handler, all electronic components can be moved between the tray and the inspection socket without moving the component moving device beyond the tray in a direction away from the inspection socket side. Therefore, the tact time can be shortened as compared with the conventional IC handler.
しかしながら、このようなICハンドラを備えた電子部品検査装置においては、ICハンドラによる電子部品の搬送ミスが生じると、その搬送ミスを自動的に修正する機構・装置が存在せず、その搬送ミスを作業者が手作業で修正する必要があった。 However, in an electronic component inspection apparatus equipped with such an IC handler, there is no mechanism / device that automatically corrects the transport error when an electronic component transport error is caused by the IC handler. The operator had to correct it manually.
この点を説明すると、次のようなことである。
一般に、半導体チップ等の電子部品の検査装置には、電子部品を搬送するための複数のICハンドラが備えられている。このICハンドラは電子部品を吸着して保持するための吸着ノズルを有しており、この吸着ノズルを用いて複数のICハンドラによる電子部品の受け渡しが、トレイと回転搬送体との間で行われる。そして、測定前の電子部品は、回転搬送体から測定を行うための測定部のテストソケットに搬送され、測定が済んだ後、電子部品はテストソケットから回転搬送体を経て回収トレイに回収されるようになっている。
This point is explained as follows.
In general, an inspection device for an electronic component such as a semiconductor chip is provided with a plurality of IC handlers for transporting the electronic component. The IC handler has a suction nozzle for sucking and holding electronic components, and the electronic components are delivered by the plurality of IC handlers between the tray and the rotary carrier using the suction nozzles. . Then, the electronic component before measurement is conveyed from the rotating conveyance body to the test socket of the measurement unit for performing measurement, and after the measurement is completed, the electronic component is collected from the test socket through the rotation conveyance body to the collection tray. It is like that.
具体的には、供給トレイのポケットに収納された電子部品は、ICハンドラの供給ロボットハンドの吸着ノズルにより吸着保持され、回転搬送体又は移動搬送体に搬送されて、凹陥部からなるポケットに収納される。回転搬送体又は移動搬送体のポケットに収納された電子部品は、搬送ロボットにより吸着保持され、測定部のテストソケットに搬送され、そのテストソケットのポケットで所定の測定が行われる。その測定後、測定済の電子部品は、再び搬送ロボットにより吸着保持され、回転搬送体又は移動搬送体のポケットに搬送される。そして、所定位置において、回収ロボットハンドにより吸着保持され、測定部における測定結果に応じて所定の回収トレイのポケットに離脱して収納されるようになっている。 Specifically, the electronic components stored in the pocket of the supply tray are sucked and held by the suction nozzle of the IC handler supply robot hand, transported to the rotary transport body or the movable transport body, and stored in the pocket made of the recessed portion. Is done. The electronic components stored in the pockets of the rotary carrier or the movable carrier are sucked and held by the carrier robot, conveyed to the test socket of the measurement unit, and predetermined measurement is performed in the pocket of the test socket. After the measurement, the measured electronic component is again sucked and held by the transport robot and transported to the rotary transport body or the pocket of the movable transport body. Then, it is sucked and held by a collection robot hand at a predetermined position, and is detached and stored in a pocket of a predetermined collection tray according to the measurement result in the measurement unit.
この場合、供給ロボットハンド又は回収ロボットハンドによって搬送される電子部品は、回転搬送体又は移動搬送体のいずれの場合にも、ポケットの所定位置に正しい姿勢で配置される必要がある。ポケットに電子部品が正しい姿勢で配置されていない場合には、吸着ノズルで電子部品を吸着して保持することができなくなり、その電子部品を回転搬送体又は移動搬送体のポケットまで搬送することができないからである。 In this case, the electronic component conveyed by the supply robot hand or the collection robot hand needs to be arranged in a correct posture at a predetermined position of the pocket in either case of the rotating conveyance body or the moving conveyance body. If the electronic component is not placed in the correct posture in the pocket, the electronic component cannot be sucked and held by the suction nozzle, and the electronic component can be transported to the pocket of the rotary carrier or the movable carrier. It is not possible.
一般に、回転搬送体及び移動搬送体のポケットは、検査対象である電子部品よりも少し大きな四角形の凹陥部として形成されている。そして、ポケットの縁には内側に傾斜したテーパ部が設けられており、このテーパ部で電子部品の各辺をガイドして、ポケット内に電子部品が正しい姿勢で配置されるようにしている。 In general, the pockets of the rotary carrier and the movable carrier are formed as rectangular recesses that are slightly larger than the electronic component to be inspected. A taper portion inclined inward is provided at the edge of the pocket, and each side of the electronic component is guided by the taper portion so that the electronic component is arranged in a correct posture in the pocket.
しかしながら、稀に数千から数万回に1回程度の割合で電子部品が、回転搬送体又は移動搬送体のポケットのテーパ部に引っ掛かり、電子部品がポケット内に正しい姿勢で配置されないという問題が生じていた。このような場合は、その電子部品を吸着ノズルによって吸着することができなくて電子部品の搬送ミスとなり、ICハンドラの動作が停止される原因となっていた。この搬送ミスを解消するためには、作業者が人手によって電子部品を取り除くか、或いは、人手によってポケット内に電子部品を挿入して正しい姿勢に置き直す必要があり、いずれの場合においても、電子部品検査装置の稼働が一時的に停止されるという問題があった。 However, in rare cases, the electronic component is caught at a taper portion of the pocket of the rotary carrier or the movable carrier at a rate of about once every several thousand to tens of thousands of times, and the electronic component is not placed in the correct posture in the pocket. It was happening. In such a case, the electronic component could not be picked up by the suction nozzle, causing an electronic component transport error and causing the IC handler to stop operating. In order to eliminate this transport mistake, it is necessary for the operator to manually remove the electronic components, or to manually insert the electronic components into the pockets and place them in the correct posture. There was a problem that the operation of the parts inspection apparatus was temporarily stopped.
このような電子部品検査装置の稼働が停止されるのを防止する手段としては、例えば、次のような方法が考えられる。その方法の1は、回転搬送体又は移動搬送体のポケットの大きさを、検査する電子部品よりも十分に大きくあけて電子部品の縁がポケットの縁に接触することなくポケットに収納されるようにし、その後、ポケットを狭めて電子部品がポケットの中央部に正しい姿勢で配置されるようにする場合である。また、その方法の2は、電子部品をカメラで撮像してその位置及び姿勢を算出し、その位置及び姿勢の良否を判定して、正しい姿勢で所定の位置に配置されていない場合に、その位置及び姿勢を修正する方法が考えられる。 As means for preventing the operation of the electronic component inspection apparatus from being stopped, for example, the following method is conceivable. One of the methods is that the size of the pocket of the rotary carrier or the movable carrier is sufficiently larger than the electronic component to be inspected so that the edge of the electronic component is accommodated in the pocket without contacting the edge of the pocket. After that, the pocket is narrowed so that the electronic component is arranged in the correct posture at the center of the pocket. The second method is to take an image of an electronic component with a camera, calculate its position and orientation, determine whether the position and orientation are good, and if the correct orientation is not placed at a predetermined position, A method for correcting the position and orientation is conceivable.
しかしながら、方法1による場合では、ポケットの大きさを広狭変化させるための機構が必要となり、方法2ではカメラが必要となる。そのため、方法1及び方法2のいずれの場合においても、それらの機構を実現するために回転搬送体及び移動搬送体その他の構造が複雑なものとなり、回転搬送体等を含むICハンドラの機構が複雑なものとなって電子部品検査装置のコストアップを招くという課題があった。
However, in the case of the method 1, a mechanism for changing the size of the pocket is required, and in the
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであり、新たな機構を設けることなく従来からある機構を利用して、電子部品が回転搬送体又は移動搬送体のポケットのテーパ部に引っ掛かり、ポケット内に正しい姿勢で電子部品が配置されなかった場合には、回転搬送体又は移動搬送体を振動又は移動させて電子部品をポケット内に正しい姿勢で配置できるようにする。これにより、ICハンドラによる電子部品の搬送ミスを解消し、電子部品の搬送効率を高めて検査効率を向上させることができるICハンドラの電子部品姿勢修正装置及び電子部品姿勢修正方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an electronic component can be formed by using a conventional mechanism without providing a new mechanism. When the electronic component is caught in the part and not placed in the correct posture in the pocket, the electronic component can be placed in the pocket in the correct posture by vibrating or moving the rotary carrier or the movable carrier. Accordingly, it is possible to provide an electronic component posture correcting apparatus and an electronic component posture correcting method for an IC handler that can eliminate an electronic component conveyance error by an IC handler, increase electronic component conveyance efficiency, and improve inspection efficiency. It is aimed.
本発明は、電子部品を第1の位置におけるトレイの第1ポケットと、第2の位置における回転搬送体又は移動搬送体の第2ポケットとの間に搬送するICハンドラの電子部品姿勢修正装置に関する。この電子部品姿勢修正装置は、電子部品を吸着保持して第1ポケットと第2ポケットとの間に搬送するロボットハンドと、第2の位置において第2ポケットに収納された電子部品が正しい姿勢で配置されているか否かを検出する姿勢検出器と、回転搬送体又は移動搬送体を第2の位置と、電子部品の良否を検査する回転測定ロボットとの間に移動する移動機構と、姿勢検出器の検出結果に応じて電子部品が正しい姿勢で配置されていないときに、移動機構を動作させて回転搬送体を振動させ又は移動搬送体を往復移動させる姿勢修正機構を設けたことを特徴としている。 The present invention relates to an electronic component posture correcting device for an IC handler that conveys electronic components between a first pocket of a tray at a first position and a second pocket of a rotary conveyance body or a movable conveyance body at a second position. . This electronic component posture correcting device is configured such that a robot hand that holds and holds an electronic component between the first pocket and the second pocket and the electronic component stored in the second pocket at the second position are in a correct posture. A posture detector for detecting whether or not the device is disposed, a moving mechanism for moving the rotary carrier or the movable carrier between the second position and the rotation measuring robot for checking the quality of the electronic component, and posture detection A posture correction mechanism is provided that operates the moving mechanism to vibrate the rotating transport body or to reciprocate the moving transport body when the electronic components are not arranged in the correct posture according to the detection result of the container. Yes.
回転搬送体の移動機構は、回転搬送体を、第2の位置を通る軌道上に巡回させる回転テーブルと、回転テーブルを回転駆動するテーブル駆動機構を備え、姿勢修正機構は、テーブル駆動機構により回転テーブルを微振動させるように構成するとよい。 The moving mechanism of the rotary transport body includes a rotary table that rotates the rotary transport body on a track passing through the second position, and a table drive mechanism that rotationally drives the rotary table. The posture correcting mechanism is rotated by the table drive mechanism. The table may be configured to be slightly vibrated.
移動搬送体の移動機構は、移動搬送体を、第2の位置を通る軌道上に往復移動させる往復移動機構を備え、姿勢修正機構は、往復移動機構により移動搬送体を往復移動させて微振動させるように構成するとよい。 The moving mechanism of the moving transport body includes a reciprocating mechanism that reciprocates the moving transport body on a trajectory passing through the second position, and the attitude correction mechanism reciprocates the moving transport body by the reciprocating mechanism to slightly vibrate. It is good to comprise so that it may.
姿勢修正機構による回転搬送体又は移動搬送体の微振動は、振幅を0.5mmから1.0mmの範囲内とし、振動時間を0.5秒から2.0秒の範囲内に設定することが好ましい。 For the fine vibration of the rotary carrier or the movable carrier by the posture correction mechanism, the amplitude may be set within the range of 0.5 mm to 1.0 mm, and the vibration time may be set within the range of 0.5 second to 2.0 seconds. preferable.
また、本発明は、電子部品をトレイの第1ポケットと回転搬送体又は移動搬送体の第2ポケットとの間に搬送するICハンドラの電子部品姿勢修正方法に関する。この電子部品姿勢修正方法は、ロボットハンドにより吸着保持されて回転搬送体又は移動搬送体のポケットに収納された電子部品の姿勢を姿勢検出器で検出して姿勢の良否を判定し、判定結果に応じて電子部品がポケットに対して正しい姿勢で配置されていないときに、回転搬送体又は移動搬送体を微振動させて電子部品をポケットに正しい姿勢で配置するように修正するようにしたことを特徴としている。 The present invention also relates to a method for correcting the attitude of an electronic component of an IC handler that conveys an electronic component between a first pocket of a tray and a second pocket of a rotary carrier or a movable carrier. This electronic component attitude correction method uses an attitude detector to detect the attitude of an electronic component that is attracted and held by a robot hand and stored in a pocket of a rotary carrier or a movable carrier, and determines whether the attitude is good or not. Accordingly, when the electronic component is not arranged in the correct posture with respect to the pocket, the rotation carrier or the movable carrier is slightly vibrated so that the electronic component is arranged in the correct posture in the pocket. It is a feature.
本発明のICハンドラの電子部品姿勢修正装置及び電子部品姿勢修正方法によれば、電子部品の姿勢を修正するための複雑な構造・機構をICハンドラに追加したり、より正確な電子部品の位置決め制御を行うことなく、電子部品が収納されるポケットを有する回転搬送体又は移動搬送体を振動又は移動させるだけの簡単な機構・方法により、電子部品の搬送ミスを修正してポケットに正しい姿勢で配置させることができるという効果を得ることができる。 According to the electronic component posture correcting apparatus and electronic component posture correcting method of the present invention, a complicated structure / mechanism for correcting the posture of the electronic component is added to the IC handler, or the electronic component is more accurately positioned. A simple mechanism and method that simply vibrates or moves the rotary carrier or the movable carrier that has the pocket in which the electronic component is stored without any control, and corrects the mistake in conveying the electronic component so that the pocket is in the correct posture. The effect that it can arrange | position can be acquired.
以下に、図1乃至図13を参照して、本発明のICハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の実施の例を説明する。
まず、本発明のICハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の第1の実施例について、図1乃至図6及び図13を参照して説明する。
In the following, an example of an electronic component inspection apparatus provided with an electronic component posture correcting device for an IC handler according to the present invention will be described with reference to FIGS.
First, a description will be given of a first embodiment of an electronic component inspection apparatus provided with an electronic component posture correcting apparatus for an IC handler according to the present invention with reference to FIGS.
図1に示すように、本発明の第1の実施例に係るICハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置1は、トレイ部2と、ICハンドラ3と、測定部4と、制御部5とを備えて構成されている。
As shown in FIG. 1, an electronic component inspection apparatus 1 having an IC handler electronic component attitude correcting device according to a first embodiment of the present invention includes a
まず、電子部品検査装置1によって製品の良否が検査される検査対象である製品としての電子部品6について説明する。この電子部品6としては、例えば、QFP(Quad Flat Package)やQFN(Quad Flat No-lead Package)を挙げることができる。この第1の実施例においては、外形寸法が4mmの角型をなすパッケージを有するQFP、QFNを適用している。
First, the
図1に示すように、トレイ部2は、供給トレイ10と回収第一トレイ11と回収第二トレイ12と回収第三トレイ13と回収用空トレイ14と、トレイ搬送器15とを備えている。供給トレイ10は十数枚が重ね合されて用いられており、収納されている電子部品6が空になった状態において、上側から順番に自動的に1枚ずつ取り出し可能とされている。各トレイ10〜14の単体は同一のものが使用されており、長方形をなす平板状の板体からなっている。
As shown in FIG. 1, the
各トレイ10〜14は、その上面に電子部品6を個別に収納することができる多数の収納部であるポケット16が碁盤の目のように整列されて設けられている。各ポケット16は、適用される電子部品6よりも少し大きな相似形をなす四角形の凹陥部として形成されている。各ポケット16の四辺の縁には内向きに傾斜されたテーパ部が設けられており、そのテーパ部で電子部品6の対応する辺をガイドして、電子部品6がポケット16に正しい姿勢で配置されるように構成されている。
Each of the
供給トレイ10と回収第一トレイ11と回収第二トレイ12と回収用空トレイ14は横並びに整列されて配置されており、回収用空トレイ14と向き合う位置に回収第三トレイ13が配置されていて、全体としてL字状の配置構造となっている。供給トレイ10には、電子部品6が所定の機能・性能を有しているか否かを測定する検査対象としての多数の電子部品6が、1つのポケットに1個ずつそれぞれ収納されている。回収第一トレイ11は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有していると判定された良品である電子部品6を収納するためのものである。
The
回収第二トレイ12は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有していないが、その不備な点が軽度であると判定された電子部品6を収納するためのものである。ここで「軽度の不良品」としては、例えば、測定値が合否の判断基準から若干劣っており、測定のやり直しが必要と考えられる電子部品等が該当する。この回収第二トレイ12に回収された電子部品6は、測定結果としての不具合が軽微であることから再検査に回され、再度の測定が行われる。
The collection
回収第三トレイ13は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有しておらず、その不備な点が重大は事項であると判定された電子部品6を収納するためのものである。ここで「重度の不良品」としては、例えば、パッケージに大きな傷があって製品として不適当である場合、或いは、測定値が合否の判定基準から大きく外れており、若しくは、測定不能であって、明らかに不具合な製品であると考えられる電子部品等が該当する。この回収第三トレイ13に回収された電子部品6は、再度の測定を行うことなく不良品として処理される。
The collection
回収用空トレイ14は、回収第一トレイ11から回収第三トレイ13までのいずれかのトレイに対して必要に応じて補充されるもので、トレイの全てのポケット16に電子部品6が回収された場合等に交換用のトレイとして使用される。この回収用空トレイ14のポケットは、当初はすべて空になっている。
The collection
トレイ搬送器15は、トレイを1枚ずつ吸着及び離脱することができる吸着パッド20と、その吸着パッド20を搬送するためのパッド支持アーム21とを備えている。パッド支持アーム21は、横並びに配置された供給トレイ10、回収第一トレイ11、回収第二トレイ12及び回収用空トレイ14の4種類のトレイ間を移動できるように第1の方向(以下「X軸方向」という。)に移動可能に構成されている。
The
このパッド支持アーム21によって移動される吸着パッド20は、通常は、各トレイ10〜12,14に対して、その略中央部に配置される構成となっているが、平面方向においてX軸方向と直交する第2の方向であるY軸方向へ位置調整可能に構成されている。このトレイ搬送器15は、電子部品6がすべて搬送されて空になった供給トレイ10を回収用空トレイ14に搬送したり、空になった供給トレイ10を、すべてのポケット16が電子部品6で満杯になった回収第一トレイ11〜回収第三トレイ13上に搬送し、そのトレイ上に重ね合わせる。このように搬送された供給トレイは、新たな回収トレイとして使用される。
The
また、平面から見てL字状に配置された5組のトレイ10〜14に関連してICハンドラ3が配設されている。ICハンドラ3は、電子部品6を吸着保持して搬送する供給ロボットハンド31及び回収ロボットハンド32と、3個の回転搬送体33,34,35を備えた回転テーブル36と、この回転テーブル36を回転駆動するテーブル駆動機構37と、3個の回転搬送体33,34,35のポケット60に配置された電子部品6の姿勢の良否を検出する2組の姿勢検出器38、39等を備えている。
Further, the
ここで、供給トレイ10及び回収第一トレイ11と回収第二トレイ12と回収第三トレイ13の各ポケット16を第1ポケットと定義し、3個の回転搬送体33〜35のポケット60を第2ポケットと定義して使用する。また、供給ロボットハンド31が供給トレイ10の第1ポケット60から電子部品6を吸着保持する位置のすべてと、回収ロボットハンド32が回収第一トレイ10〜回収第三トレイ13の第1ポケット60に電子部品6を収納する位置のすべてを第1の位置と定義する。そして、供給ロボットハンド31が電子部品6を各回転搬送体33〜35の第2ポケット60に配置する位置と、回収ロボットハンド32が第2ポケット60から電子部品6を吸着保持する位置を第2の位置と定義するものとする。
Here, the
供給ロボットハンド31と回収ロボットハンド32は、ロボットアーム41の長手方向の両端に設けられている。両ロボットハンド31,32は、電子部品6を吸着して保持したり、保持している電子部品6を離脱することができる吸着ノズル42をそれぞれ備えている。2つの吸着ノズル42,42は、X軸とY軸を有する平面方向と垂直をなす第3の方向であるZ軸方向へ別個独立に移動可能であって、電子部品6を別個独立に吸着・離脱可能に構成されている。
The
移動ベース44は、図示しないタイミングベルトによってX軸方向へ移動可能に構成されている。そのタイミングベルトは、X軸方向に延在されているガイドレール45にガイドされてその長手方向へ無端状に走行可能とされている。この移動ベース44がX軸方向へ移動することにより、供給ロボットハンド31が供給トレイ10の幅方向の一端から他端まで移動可能であり、回収ロボットハンド32は回収第一トレイ11の一端から回収第二トレイ12を経て回収第三トレイ13の他端まで移動可能とされている。
The moving
ガイドレール45の長手方向の両端にはスライド軸受46が夫々取り付けられている。各スライド軸受46には、Y軸方向へ延在されたガイドバー47が夫々貫通されている。図1において、符号48は、ガイドレール45をY軸方向へ往復移動させるための駆動モータであり、この駆動モータ48の回転軸48aがX軸方向に延在されている。回転軸48aの軸方向の両端にはベルト車49が取り付けられている。各ベルト車49には伝動ベルト49aの一端が掛け止められており、伝動ベルト49aの他端はY軸方向に延在されて図示しないベルト車に掛け止められている。この一対の伝動ベルト49aに一対のスライド軸受46が夫々固定されている。
かくして、駆動モータ48の駆動によって回転軸48aが回転駆動されると、その回転力が左右のベルト車49から左右の伝動ベルト49aに伝達される。その結果、駆動モータ48の回転方向に応じて、一対のガイドバー47にガイドされてガイドレール45がY軸方向へ移動される。このガイドレール45によるY軸方向への移動と、ガイドレール45の長手方向に沿って移動する移動ベース44の動作を介して、供給ロボットハンド31及び回収ロボットハンド32が、供給トレイ10及び回収第一トレイ11から回収第三トレイ13までの全てのポケットの上方、並びに、回転テーブル36の上方に移動可能とされている。
Thus, when the
図1及び図2に示すように、回転テーブル36は水平方向へ回転自在に支持されていると共に、テーブル駆動機構37によって回転自在に構成されている。テーブル駆動機構37は、駆動モータ50と駆動プーリ51と伝動ベルト52等を備えている。駆動モータ50は、モータブラケット53を介して装置フレーム54に回転軸50aの軸方向を上下方向へ向けた状態で固定されている。その駆動モータ50の回転軸50aに駆動プーリ51が固定されており、その駆動プーリ50aに伝動ベルト52の一端が掛け止められている。伝動ベルト52の他端は、回転テーブル36に設けたプーリ部36aに掛け止められている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the rotary table 36 is rotatably supported in the horizontal direction and is configured to be rotatable by a
駆動モータ50としては、例えば、ステッピングモータを適用することができ、入力信号に応じて、回転テーブル36を120度連続回転させたり、微小角度を往復させて微振動を生じさせることができるものである。回転テーブル36の上面には3個の回転搬送体33,34,35が、周方向に等角度(120度)間隔をあけて回転自在に支持されている。3個の回転搬送体33〜35は、遊星ギア列55によって同一位相で回転するようになっている。遊星ギア列55は、回転テーブル36と同一の回転中心を有する太陽ギア56と、この太陽ギア56の外周に等角度間隔で配置された3個の遊星ギア57と、3個の回転搬送体33〜35に夫々設けられたギア部58とによって構成されている。
As the
遊星ギア列55の太陽ギア56は回転テーブル36の回転中心部に一体的に設けられており、この太陽ギア56の外周に3個の遊星ギア57が噛合されていて、その3個の遊星ギア57が3個の回転搬送体33〜35の各ギア部58に噛合されている。3個の遊星ギア57は、回転テーブル36の上面に立設された枢軸によって回転テーブル36に回転自在に支持されている。
The
かくして、テーブル駆動機構37によって回転テーブル36を回転すると、これと一体の太陽ギア56が同じ角度だけ回転し、その回転力が3個の遊星ギア57を介して3個のギア部58に伝達される。これにより、3個の回転搬送体33〜35が、回転テーブル36の回転角度と等しい角度だけ太陽ギア56の外側を公転しつつ、その回転角度に応じた角度だけ遊星ギア57の外側で自転する。この3個の回転搬送体33〜35の回転比率は、回転テーブル36が120度回転したときに、3個の回転搬送体33〜35が1回転自転するように構成されている。
Thus, when the rotary table 36 is rotated by the
3個の回転搬送体33〜35の回転移動に関して、いずれか2個の回転搬送体を結ぶ線がX軸と平行をなすように配置され、かつ、残り1個の回転搬送体が、その結ぶ線の中間部においてY軸方向の延長線上に位置するとき、この位置を本実施例において「第2の位置」と定義するものとする。3個の回転搬送体33〜35は、通常では、この第2の位置を確保するように120度を単位として回転移動される。
Regarding the rotational movement of the three
3個の回転搬送体33〜35は、同一の形状・構造を有するものであり、円盤状をなす本体の上面の中央部に四角形をなす凹陥部からなるポケット60が設けられている。図3A〜3Dに示すように、回転搬送体33〜35のポケット60は、検査対象である電子部品6よりも少し大きな四角形の凹陥部として形成されている。そして、ポケット60の四辺の縁には内側に傾斜したテーパ部61がそれぞれ設けられており、これらのテーパ部61で電子部品6の各辺をガイドすることにより、ポケット60内の所定位置に電子部品6が正しい姿勢で配置される(図3A〜3Bの状態)ように構成している。
The three
電子部品6を収納するポケット60の形状及び寸法は、測定する電子部品6の形状や大きさ(サイズ)によって異なるが、その開口部の大きさは、その電子部品6を載置させるために必要な載置部の寸法に約0.5mmから0.6mmの許容値を加えた寸法に設定することが好ましい。このように開口部の大きさを、電子部品6の大きさに0.5mm〜0.6mmの許容値を加えたものに設定すれば、電子部品6がポケット60に完全に収納されることにより、電子部品6のすべての端子を所定の端子に接続させて測定を行うことが可能となるからである。
The shape and size of the
なお、電子部品6のテーパ部61の傾斜角度は、18度から25度の範囲内に設定することが好ましい。テーパ部61の傾斜角度が18°以上25°以下の範囲内であれば、高い搬送位置精度を必要とすることがなく、電子部品6がポケット60のテーパ部61に引っ掛かるように配置された場合であっても、電子部品6の自重によって載置部に滑り込み、所定の載置部に正しい姿勢で配置させることができるというメリットがある。
The inclination angle of the
3個の回転搬送体33〜35の上面には、中央部に形成されたポケット60を貫通して直径方向の一端から他端まで連続する測光溝62が設けられている。測光溝62は、ポケット60に収納された電子部品6の姿勢の良否を検出するために使用されるもので、ポケット60の一方に対向する二辺の中央部において、その辺と直交する方向に延在されている。3個の回転搬送体33〜35の測光溝62は、第2の位置においてX軸と平行する方向に延在されている。更に、第2の位置において、供給トレイ10に対して最も近い場所に位置する回転搬送体と、回収第二トレイ12に対して最も近い場所に位置する回転搬送体に関連して、各回転搬送体に配置されている電子部品6の姿勢の良否を測定する姿勢検出器38,39が設けられている。
On the upper surfaces of the three
図2及び図3A〜3Dに示すように、姿勢検出器38,39は同一の構成を有する光電センサであり、回転搬送体を挟んで測光溝62の一側の外側に配置される発光素子64と、回転搬送体を挟んで測光溝62の他側の外側に配置される受光素子65とによって構成されている。発光素子64としては、例えば発光ダイオードを適用することができ、受光素子65としては例えばフォトダイオードを適用することができる。発光素子64は、その発光部を測光溝62の一側に臨ませるように配置されており、受光素子65は、その受光部を測光溝62の他側に臨ませるように配置されている。
As shown in FIGS. 2 and 3A to 3D, the
発光素子64と受光素子65は、図1及び図2に示すように、回転テーブル36を回転自在に支持する装置フレーム54に固定されており、発光素子64と受光素子65が移動することはない。同図において、符号66は発光素子64を固定支持するブラケットであり、符号67は受光素子65を固定支持するブラケットである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
図3A及び図3Bは、電子部品6が回転搬送体33〜35のポケット60に正しい姿勢で配置されている状態を示すものである。この場合には、発光素子64から放射された光は電子部品の上方を通過することができ、その光は電子部品6で進行を邪魔されることなく受光素子65によって受光される。これに対して、図3C及び図3Dは、電子部品6が回転搬送体33〜35のポケット60に正しくない姿勢で配置されている状態を示すものである。この場合には、発光素子64から放射された光は電子部品によって進行が遮断されるため、その光が受光素子65によって受光されることがない。この受光素子65が光信号を受ける場合には姿勢検出器38,39からオン信号が出力され、受けない場合にはオフ信号が出力される。
3A and 3B show a state in which the
このように回転動作する回転テーブル36に搭載されている3個の回転搬送体33〜35に関連して、その側方に位置するように測定部4が設けられている。測定部4は、電子部品6の良否を測定するテストソケット70と、このテストソケット70と回転搬送体との間に電子部品6を搬送する回転測定ロボット71を備えている。
The measurement unit 4 is provided so as to be located on the side of the three
テストソケット70は、電子部品6の性能の良否を測定するものである。このテストソケット70の所定位置に電子部品6を配置することにより、その配線回路に電子部品6の端子が接続され、その電子部品6が所定の性能・機能を有しているか否かを測定することが可能に構成されている。
The
回転測定ロボット71は、装置フレーム54に立設された回転枢軸72と、この回転枢軸72に回転自在に支持された円筒状をなす回転体73と、この回転体73に設けられた一対の搬送ロボット74,75と、各搬送ロボット74,75に設けられた吸着ノズル76等を備えて構成されている。
The
回転体73は、図示しない駆動モータの駆動力により、回転枢軸72を回転中心として180度往復回転可能に構成されている。一対の搬送ロボット74,75は、回転体73の外周面であって、180度回転変位した位置において半径方向外側へ突出するように配置されており、更に、それぞれが別個独立に上下方向へ昇降移動可能に構成されている。一対の搬送ロボット74,75は、3個の回転搬送体33〜35のいずれかとテストソケット70との間に電子部品6を搬送するもので、回転枢軸72を中心として第2の位置に位置する一の回転搬送体に対して180度回転変位した位置であって、第2の搬送ロボット75の下方にテストソケット70が配設されている。
The rotating
各搬送ロボット74,75の中心部には、電子部品6を吸着保持することが可能な吸引口を下方へ向けた状態で吸着ノズル76が保持されている。一対の搬送ロボット74,75のうち、一方の搬送ロボットの吸着ノズル76は回転搬送体のポケット60に対向され、他方の搬送ロボットの吸着ノズル76はテストソケット70のポケットに対向される。これら一対の搬送ロボット74,75のうち、第1の搬送ロボット74は、回転搬送体のポケット60に収納されている電子部品を吸引保持して搬送し、テストソケット70のポケットに収納するもので、第2の搬送ロボット75は、テストソケット70のポケットに収納されている電子部品を吸引保持して搬送し、回転搬送体のポケット60に離脱収納するものである。上述した構成を備えた電子部品検査装置1の概略構成を図4のブロック図として示している。
A
このような構成を有する電子部品検査装置1の測定部4、ICハンドラ3及びトレイ部2の動作は、制御部5により制御されて所定の動作を実行する。制御部5は、図13に示すような構成を有している。即ち、図13に示すように、制御部5は、制御装置80と表示装置81と入力装置82等を備えて構成されている。
The operations of the measurement unit 4, the
表示装置81は、例えば、液晶ディスプレイ等の画像を表示することが可能な装置によって構成される。この表示装置81には、例えば、電子機器6の測定結果その他の情報を表示することができる。入力装置82は、例えば、タッチパネル等の情報を入力することが可能な装置によって構成される。この入力装置82には、制御装置80を制御するためにオペレータの操作によって制御情報が入力される。制御装置80は、CPU83とハードディスクドライブ84とIO制御基板85と表示処理部86とモータ制御基板87と入力インタフェース88とRAM89等を備えており、これらがバス90を介してそれぞれ電気的に接続されている。
The
この制御装置80には、姿勢検出器38,39及びその他各種のセンサからなるセンサ類91と、電源スイッチ及びその他各種のスイッチからなるスイッチ類92と、吸着ノズル42や吸着ノズル76等の電磁シリンダ類93と、回転テーブル36を駆動する駆動モータ50や回転測定ロボット71を回転動作するモータその他のモータ類94を駆動するモータドライバ類95が接続されている。CPU83は、IO制御基板85を介してセンサ類91及びスイッチ類92の状態を監視しながら、モータ制御基板85の作動を介して、該当するモータ類94や電磁シリンダ類93を駆動することにより、供給ロボットハンド31及び回収ロボットハンド32を動作させて電子部品6を搬送する。
The
ハードディスクドライブ84は、この電子部品検査装置1の動作を制御するためのOS(オペレーションシステム)や、ICハンドラ3の各種データに基づき当該ICハンドラ3の動作を制御するためのICハンドラ制御プログラム等を読み出し可能に記憶している。ハードディスクドライブ84に記憶されたハンドラ制御プログラムは、RAM89に読み出される。IO制御基板85は、ICハンドラ3のセンサ類91の状態やスイッチ類92の状態を読み込んだり、電磁シリンダ類93の動作の制御を行う。表示処理部86には表示装置81が接続されており、入力情報や演算情報等を処理して表示装置81に表示する。
The
モータ制御基板87は、モータ類94の複数のモータの制御が可能である。入力インタフェース88には入力装置82が接続されており、入力装置82に入力された信号をCPU83やRAM89に渡す。この入力装置82への情報入力、或いは、IO制御基板85を介したセンサ類91及びスイッチ類92からの情報入力により、ICハンドラ3の起動及び停止操作が行われる。RAM89は、プログラムやデータを記憶する領域として、或いは、CPU83による処理に使用するデータを格納する作業領域として利用される。
The
このような構成を有する電子部品検査装置1の動作の概略は、次のようなものである。
供給ロボットハンド31は、供給トレイ10の先頭に移動し、上下動作を行って供給トレイ10の第1の位置にある電子部品6を吸着保持する。そして、供給ロボットハンド31が電子部品6を第1の回転搬送体33まで搬送し、上下動作してそのポケット60に電子部品6を収納する。同時に、回収ロボットハンド32は上下動作し、第3の回転搬送体35のポケット60に収納されている測定後の電子部品6を吸着保持する。そして、回収ロボットハンド32は測定の結果に応じて、回収第一トレイ11と回収第二トレイ12と回収第三トレイ13のいずれかの位置まで搬送し、上下動作してそのポケット16に電子部品6を離脱して収納する。
The outline of the operation of the electronic component inspection apparatus 1 having such a configuration is as follows.
The
次に、供給ロボットハンド31は、供給トレイ10の次のポケット16の位置に移動する。このように供給ロボット31は、指定された供給トレイ10の電子部品6が無くなるまで、この電子部品6の供給動作を繰り返す。
Next, the
第1の回転搬送体33のポケット60に配置された電子部品6は、回転テーブル36を120度回転させることによって第2の回転搬送体34の位置に移動する。この位置にある第2の回転搬送体34のポケット60には、すでに測定が行われた後の電子部品6がある場合にはその電子部品6が収納されており、回転テーブル36の120度回転によって第3の回転搬送体35の位置まで搬送される。そして、第3の回転搬送体35の位置に移動してきた回収ロボットハンド32により、電子部品6が吸着保持され、測定結果に応じて、対応する回収トレイまで搬送され、そのポケット16に離脱収納することにより回収が行われる。
The
一方、回転測定ロボット71は、第2の回転搬送体34のポケット60に配置された電子部品6を第1の搬送ロボット74によって吸着保持する。次に、回転測定ロボット71は、回転体73を180度回転し、テストソケット70の所定位置に電子部品を載置して測定を開始する。これと同時に、測定後の電子部品6が第2の搬送ロボット75により吸着保持された後、回転体73の180度回転によって第2の回転搬送体34の位置に移動し、そのポケット60に測定後の電子部品6を離脱して収納する。この第2の回転搬送体34のポケット60に収納された電子部品6が、回転テーブル36の120度回転によって第3の回転搬送体35の位置まで移動し、この位置から回収ロボットハンド32によって該当する回収トレイに回収される。
On the other hand, the
このような構成を有する電子部品検査装置1の詳細な動作は、例えば、次のようなものである。図5及び図6は、電子部品検査装置1における制御部5の動作のフローチャートを示すものである。この場合、予め、供給トレイ10には、測定対象である電子部品のポケット16に収納されているトレイを十数枚重ねて配置させておくようにする。これに対して、回収第一トレイ11と回収第二トレイ12と回収第三トレイ13には、ポケットが空となっているトレイを夫々配置し、回収用空トレイ14にはポケットが空となっているトレイを数枚重ねて配置させておく。一般に、このようなトレイの配置状態において、電子部品6の性能・機能の測定が開始される。
The detailed operation of the electronic component inspection apparatus 1 having such a configuration is, for example, as follows. 5 and 6 show a flowchart of the operation of the control unit 5 in the electronic component inspection apparatus 1. In this case, in advance, dozens of trays stored in the
図5に示すように、電子部品6の供給収納が開始されると、まず、ステップS1において、供給ロボットハンド31が供給トレイ10へ移動する。これは、ガイドレール45をY軸方向へ移動させると共に移動ベース44をX軸方向へ移動させて、供給ロボットハンド31の吸着ノズル42を供給トレイ10の第1の位置にあるポケット16の上方へ位置させることによって実行される。次に、ステップS2に移行して、供給ロボットハンド31の吸着ノズル42によって製品である電子部品6を吸着して保持する。次に、ステップS3に移行して、供給ロボットハンド31を第2の位置にある第1の回転搬送体33まで搬送する。この動作も、ガイドレール45をY軸方向へ移動させると共に移動ベース44をX軸方向へ移動させることによって実行される。
As shown in FIG. 5, when supply and storage of the
次に、ステップS4に移行して、供給ロボットハンド31の吸着ノズル42で保持している電子部品6を、第1の回転搬送体33のポケット60に収納する。これは、吸着ノズル42の吸引力を開放し、電子部品6の自重でポケット60内に落下させることによって実行される。これと同時に、回収ロボットハンド32の吸着ノズル42により、第2の位置に位置する第3の回転搬送体35のポケット60に測定済の電子部品6が収納されている場合には、その電子部品6を吸着して保持する。この際、検査開始初期のように、第3の回転搬送体35のポケット60に電子部品6が収納されていない場合には、その吸着ノズル42が電子部品6を保持することはない。
Next, the process proceeds to step S <b> 4, and the
次に、ステップS5に移行して、第1の回転搬送体33のポケット60に収納されている電子部品6が、正しい姿勢で載置部に配置されているか否かを判定する。この電子部品6の姿勢の良否は、第3の回転搬送体35に収納されている電子部品6に対しても行われるが、その判定手法は第1の回転搬送体33の電子部品6に対するものと同一であるため、その説明は省略する。このステップS5の判定は、姿勢検出器38(第3の回転搬送体35の電子部品6に対するものは姿勢検出器39による。)の検出信号に基づいて行われる。
Next, it transfers to step S5 and it is determined whether the
即ち、図3A及び3Bに示すように、電子部品6がポケット60内の所定位置に正しい姿勢で配置されている場合には、回転搬送体33の測光溝62の一側に配置されている姿勢検出器38の発光素子64から放射された光が電子部品6の上方を通過し、測光溝62の他側に配置されている受光素子65に入力される。これにより、電子部品6がポケット60内の所定位置に正しい姿勢で配置されていることを知ることができる。この場合には、次に、ステップS8に移行する。
That is, as shown in FIGS. 3A and 3B, when the
これに対して、図3C及び3Dに示すように、電子部品6の一辺がポケット60の縁に引っ掛かってしまい、ポケット60内の所定位置に正しい姿勢で配置されていない場合には、測光溝62の一側に配置されている発光素子64から放射された光が電子部品6に衝突し、測光溝62の他側に配置されている受光素子65に入力されることがない。これにより、電子部品6がポケット60内の所定位置に正しい姿勢で配置されていないことを知ることができる。この場合には、次に、ステップS6に移行する。
On the other hand, as shown in FIGS. 3C and 3D, when one side of the
ステップS6では、姿勢検出器38による検出結果により、電子部品6がポケット60内の所定位置に正しい姿勢で配置されていないときには、回転搬送体33を微振動させて電子部品6の姿勢を修正する。そして、ステップS7に移行して、電子部品6がポケット60内の所定位置に正しい姿勢で配置されているか否かを再度判定する。このステップS5からステップS7までの動作の詳細を図6に示す。
In step S <b> 6, when the
図6において、ステップS5Aにより、光電センサである姿勢検出器38の検出結果に基づいて、電子部品6がポケット60内の所定位置に正しい姿勢で配置されているか否かを判定する。この判定に際し、発光素子64から放射された光が受光素子65に入力された場合には、電子部品6がポケット60内の所定位置に正しい姿勢で配置されていると判定して、ステップS9に移行する。このステップS9では、テーブル駆動機構37を動作させることによって回転テーブル36を120度回転させる。
In FIG. 6, in step S <b> 5 </ b> A, it is determined whether or not the
これに対して、発光素子64から放射された光が受光素子65に入力されない場合には、ステップS5Bに移行して、受光素子65に光が入力されない時間が、発光素子64から光が放射された時から所定時間を経過したか否かを判定する。この判定において、所定時間が経過していない場合には、ステップS5Aに戻って、所定時間が経過するまで、この判定を繰り返す。一方、所定時間が経過している場合には、ステップS6A及びステップS6Bに移行して、電子部品6の姿勢を正しくする姿勢修正操作を実行する。
On the other hand, when the light emitted from the
ステップS6Aでは、回転テーブル36の動作を介して回転搬送体33を微小時間正転させる。続いて、ステップS6Bに移行して、回転テーブル36の動作を介して回転搬送体33を微小時間逆転させる。そして、ステップS6Cに移行して、回転搬送体33の正転動作と逆転動作とが所定時間以上行われたか否かを判定する。この判定において、回転搬送体33を正逆転操作する時間が所定時間経過しない場合には、ステップS6Aに戻り、所定時間が経過するまで微振動操作を繰り返す。これに対して、回転搬送体33を正逆転操作する時間が所定時間経過した場合には、ステップS7Aに移行する。
In step S <b> 6 </ b> A, the
このステップS6に基づく回転搬送体33の正逆転動作を繰り返す微振動の振幅は、0.5mm以上1.0mm以下の範囲内が好ましい。ポケット60微振動の振幅が0.5mm〜1.0mmの範囲内であれば、その微振動によって電子部品6がポケット60の載置部に配置される時間が実用的な範囲に収まり、電子部品6がポケット60の開口縁から外側に飛び出すのを防ぐことができるというメリットがある。
The amplitude of the minute vibration that repeats the forward / reverse operation of the
回転搬送体33の振動時間は、0.5秒以上2.0秒以下の範囲内であって、微振動の周波数が100Hz以上200Hz以下の範囲内が好ましい。ポケット微振動時間が0.5秒〜2.0秒の範囲内であれば、ポケット振動時間によるICハンドラ3の搬送動作の低下を実用的な範囲内に収めることができる。そして、回転搬送体33の振動周波数が100Hz〜200Hzの範囲内であれば、電子部品がIC、LSI等であった場合に、微振動により電子部品内部の機能・特性等にダメージを与えることがないというメリットがある。
The vibration time of the
なお、常時、微振動を与えて電子部品を搬送する方法も考えられるが、その場合には、複数の搬送ロボットその他に過度の負担を与えるおそれがある。そのため、回転搬送体33〜35及び後述する移動搬送体のポケットへの収納ミスが生じた場合にのみ、微振動動作を与える方法が好ましい。
In addition, although a method is also conceivable in which an electronic component is conveyed while always giving a slight vibration, in that case, an excessive burden may be imposed on a plurality of conveying robots and the like. Therefore, a method of giving a fine vibration operation is preferable only when a storage error occurs in the pockets of the
ステップS7Aでは、姿勢検出器38の検出結果に基づいて、電子部品6がポケット60内の所定位置に正しい姿勢で配置されているか否かを再度判定する。この判定により、発光素子64から放射された光が受光素子65に入力された場合には、電子部品6がポケット60内の所定位置に正しい姿勢で配置されていると判定して、ステップS9に移行する。これに対して、発光素子64から放射された光が受光素子65に入力されない場合には、ステップS7Bに移行して、受光素子65に光が入力されない時間が、発光素子64から光が放射された時から所定時間を経過したか否かを判定する。
In step S <b> 7 </ b> A, based on the detection result of the
この判定において、所定時間が経過していない場合には、ステップS7Aに戻って、所定時間が経過するまで、この判定を繰り返す。一方、所定時間が経過している場合には、この微振動方法によっても電子部品6を正しい姿勢に修正できなかったものと判定し、警告メッセージを表示してICハンドラ3の搬送動作を一時停止させる。そして、電子部品検査装置1の操作オペレータによって搬送ミスした電子部品6を取り除くか、電子部品の配置状態を改善し、再度搬送動作を繰り返すようにする。
In this determination, if the predetermined time has not elapsed, the process returns to step S7A and this determination is repeated until the predetermined time elapses. On the other hand, if the predetermined time has elapsed, it is determined that the
次に、図5において、ステップS8に移行して、回転搬送体34のポケット60側に位置する回転測定ロボット71の第1の搬送ロボット74が上昇した位置にあるか否かと、テストソケット70側に位置する第2の搬送ロボット75が上昇した位置にあるか否かを判定する。この判定は、回転テーブル36を回転させてもよいか否かを判定するもので、いずれか一方又は両方の搬送ロボット74,75が上昇した位置にない場合には、搬送ロボット74,75による上下動作が行われている途中か、或いは、テストソケット70に配置されている電子部品6の測定中であると判定し、回転テーブル36が回転していない状態を維持する。そして、第1の搬送ロボット74及び第2の搬送ロボット75が共に上昇した位置に位置するまでステップS8の判定を繰り返す。
Next, in FIG. 5, the process proceeds to step S <b> 8, whether or not the
これに対して、ステップS8の判定が、第1の搬送ロボット74及び第2の搬送ロボット75が共に上昇した位置にあると判定された場合には、ステップS10に移行して、テーブル駆動装置37を動作させて回転テーブル36を120度回転させる。この際、ステップS4において第2の位置に位置する第3の回転搬送体35のポケット60に収納されていた測定済の電子部品6を回収ロボットハンド32の吸着ノズル42で吸着保持している場合には、ステップS11に移行し、回転測定ロボット71による電子部品6の測定結果に応じて、回収ロボットハンド32を回収第一トレイ11、回収第二トレイ12又は回収第三トレイ13のいずれかに移動させる。
On the other hand, if it is determined in step S8 that both the
次いで、ステップS12に移行して、対応するトレイのポケット16に、その吸着ノズル42で吸着保持している電子部品6を該当するトレイのポケット16に収納する。次に、ステップS13に移行して、電子部品6の測定を継続させるか否かを判定する。この判定は、測定済の電子部品6の数が、測定開始前に入力される測定数に達しているか否かを見ることによって行われる。このステップS13において、測定数が予め入力された数値に達していない場合には、運転を継続すると判定して、ステップS1に戻り、以上の処理を繰り返す。これに対して、測定数が予め入力された数値に達している場合には、これで処理を終了する。
Next, the process proceeds to step S12, and the
一方、上記ステップS11の処理と平行して、ステップS14に移行して、回転テーブル36が120度回転して第2の回転搬送体34の位置に移動したところで、回転測定ロボット71の回転搬送体側に位置する第1の搬送ロボット74によって第2の回転搬送体34のポケット60に収納されている電子部品6を吸着保持し、第1の搬送ロボット74を上昇させる。そして、ステップS15に移行して、回転測定ロボット71による電子部品6の測定動作が行われているか否かを判定する。
On the other hand, in parallel with the process of step S11, the process proceeds to step S14, where the rotary table 36 rotates 120 degrees and moves to the position of the second
このステップS15において、電子部品6の測定動作中であると判定された場合には、その測定動作が終了するまでステップS15の処理を繰り返す。これに対して、電子部品6の測定動作中でないと判定された場合には、ステップS16に移行して、回転測定ロボット71のソケット側に位置する第2の搬送ロボット75を上昇させる。そして、ステップS17に移行する。
If it is determined in step S15 that the
ステップS17では、回転測定ロボット71の回転体73を180度回転させ、第2の搬送ロボット75を回転搬送体側に移動し、第1の搬送ロボット74をソケット側に移動する。次に、ステップS18に移行して、第2の搬送ロボット75の吸着ノズル76を下降させる。そして、ステップS19に移行して、第2の搬送ロボット75の吸着ノズル76に保持されている測定済の電子部品6を第2の回転搬送体34のポケット60に離脱して収納する。続いて、ステップS20に移行して、第2の搬送ロボット75の吸着ノズル76を上昇させる。
In step S17, the rotating
このようなステップS18以下の処理と同時に、ステップS21の処理を実行し、第1の搬送ロボット74の吸着ノズル76を下降させてテストソケット70のポケットに測定前の電子部品6を収納する。次に、ステップS22に移行して、テストソケット70の所定位置に載置された電子部品6の測定を開始する。そして、ステップS8に戻り、これ以下の処理を繰り返す。以上のような処理を経ることにより、電子部品6の性能・特性等を検査することができる。
Simultaneously with the processing after step S18, the processing of step S21 is executed, the
上述したような電子部品6の測定に際して、ICハンドラ3による搬送ミスが生じた場合にも、上記微振動による修正操作を行うことにより、搬送ミスを修正してポケットの所定位置に正しい姿勢で配置することができ、測定作業に停滞を生じることなく、効率よく電子部品6の検査を実行することが可能となる。
Even when a transport error by the
次に、本発明のICハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の第2の実施例について、図7乃至図12及び図13を参照して説明する。 Next, a second embodiment of the electronic component inspection apparatus provided with the electronic component posture correcting apparatus for an IC handler according to the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 12 and FIG.
図7に示すように、本発明の第2の実施例に係るICハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置101は、トレイ部102と、ICハンドラ103と、測定部104と、上記制御部5と同様の構成を有する制御部105とを備えて構成されている。
As shown in FIG. 7, an electronic
まず、電子部品検査装置101によって製品の良否が検査される検査対象である製品としての電子部品106について説明する。この電子部品106としては、例えば、QFPやQFNを挙げることができ、この第2の実施例においては、外形寸法が15mmの角型をなすパッケージを有するQFP,QFNを適用している。
First, the
図7に示すように、トレイ部102は、供給トレイ110と供給空トレイ109と回収第一トレイ111と回収第二トレイ112と回収第三トレイ113と回収用空トレイ114と、トレイ搬送器115とを備えている。供給トレイ110は十数枚が重ね合されて用いられており、収納されている電子部品106が空になった状態において、上側から順番に自動的に1枚ずつ取り出し可能とされている。供給空トレイ109は、供給トレイ110において全ての電子部品106が取り出されて空になったトレイが搬送されてきて積み重ねられるものである。
As shown in FIG. 7, the
各トレイ109〜114の単体は同一のものが使用されており、長方形をなす平板状の板体からなっている。各トレイ109〜114は、その上面に電子部品106を個別に収納することができる多数の収納部であるポケット116が碁盤の目のように整列されて設けられている。各ポケット116は、適用される電子部品106よりも少し大きな相似形をなす四角形の凹陥部として形成されている。そして、各ポケット116の四辺の縁には内向きに傾斜されたテーパ部が設けられており、そのテーパ部で電子部品106の対応する辺をガイドして、電子部品106がポケット116に正しい姿勢で配置されるように構成されている。
The
供給トレイ110と供給空トレイ109と回収用空トレイ114と回収第一トレイ111と回収第二トレイ112とは横並びに整列されて配置されており、回収第二トレイ112と向き合う位置に回収第三トレイ113が配置されていて、全体としてL字状の配置構造となっている。供給トレイ110には、電子部品106が所定の機能・性能を有しているか否かを測定する検査対象としての多数の電子部品106が、1つのポケットに1個ずつそれぞれ収納されている。回収第一トレイ111は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有していると判定された良品である電子部品106を収納するためのものである。
The
回収第二トレイ112は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有していないが、その不備な点が軽度であると判定された電子部品106を収納するためのものである。ここで「軽度の不良品」としては、例えば、測定値が合否の判断基準から若干劣っており、測定のやり直しが必要と考えられる電子部品等が該当する。この回収第二トレイ112に回収された電子部品106は、測定結果としての不具合が軽微であることから再検査に回され、再度の測定が行われる。
The collection
回収第三トレイ113は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有しておらず、その不備な点が重大は事項であると判定された電子部品106を収納するためのものである。ここで「重度の不良品」としては、例えば、パッケージに大きな傷があって製品として不適当である場合、或いは、測定値が合否の判定基準から大きく外れており、若しくは、測定不能であって、明らかに不具合な製品であると考えられる電子部品が該当する。この回収第三トレイ113に回収された電子部品106は、再度の測定を行うことなく不良品として処理される。
The collection
回収用空トレイ114は、回収第一トレイ111から回収第三トレイ113までのいずれかのトレイに対して必要に応じて補充されるもので、トレイの全てのポケット116に電子部品106が回収された場合等に交換用のトレイとして使用される。この回収用空トレイ114のポケットは、当初はすべて空になっている。
The collection
トレイ搬送器115は、トレイを1枚ずつ吸着及び離脱することができる吸着パッド120と、その吸着パッド120を搬送するためのパッド支持アーム121とを備えている。パッド支持アーム121は、横並びに配置された供給トレイ110、供給空トレイ109、回収用空トレイ114、回収第一トレイ111及び回収第二トレイ112の5種類のトレイ間を移動できるように第1の方向(以下「X軸方向」という。)に移動可能に構成されている。
The
このパッド支持アーム121によって移動される吸着パッド120は、通常は、各トレイ109〜112,114に対して、その略中央部に配置される構成となっているが、平面方向においてX軸方向と直交する第2の方向であるY軸方向へ位置調整可能に構成されている。このトレイ搬送器115は、電子部品106がすべて搬送されて空になった供給トレイ10を供給空トレイ109に搬送したり、空になっている回収用トレイ114を、すべてのポケット116が電子部品106で満杯になった回収第一トレイ111〜回収第三トレイ113のいずれかに搬送し、そのトレイの上に重ね合わせる。
The
また、平面から見てL字状に配置された6組のトレイ109〜114に関連してICハンドラ103が配設されている。ICハンドラ103は、回転測定ロボット171に測定前の電子部品106を搬送する供給搬送体133と、測定後の電子部品106を回転測定ロボット171から回収する回収搬送体134と、電子部品106を吸着保持して供給トレイ110と供給搬送体132との間に搬送する供給ロボットハンド131と、電子部品106を吸着保持して回収搬送体134と回収第一トレイ111、回収第二トレイ112又は回収第三トレイ113のいずれかとの間に搬送する回収ロボットハンド132と、供給搬送体133及び回収搬送体134を各トレイから電子部品106を受け取る位置と回転測定ロボット171との間に搬送する往復移動機構137と、供給搬送体133及び回収搬送体134の各ポケット160に配置された電子部品106の姿勢の良否を検出する2組の姿勢検出器138、139等を備えている。
Further, the
ここで、供給トレイ110及び回収第一トレイ111と回収第二トレイ112と回収第三トレイ113の各ポケット116を第1ポケットと定義し、供給搬送体133及び回収搬送体134の各ポケット160を第2ポケットと定義して使用する。また、供給ロボットハンド131が供給トレイ110の第1ポケット160から電子部品106を吸着保持する位置のすべてと、回収ロボットハンド132が回収第一トレイ110〜回収第三トレイ113の第1ポケット160に電子部品106を収納する位置のすべてを第1の位置と定義する。そして、供給ロボットハンド131が電子部品106を供給搬送体133の第2ポケット160に配置する位置と、回収ロボットハンド132が第2ポケット160から電子部品106を吸着保持する位置を第2の位置と定義するものとする。
Here, the
供給ロボットハンド131と回収ロボットハンド132は、ガイドバー141にガイドされてX軸方向へ個別に移動可能に構成されている。供給ロボットハンド131は供給トレイ110と供給空トレイ109の上方の全範囲をカバーするようにその範囲内において移動可能とされており、回収ロボットハンド132は回収用空トレイ114と回収第一トレイ一11から回収第三トレイ113までの上方の全範囲をカバーするようにその範囲内において移動可能とされている。
The
両ロボットハンド131,132は、電子部品106を吸着して保持したり、保持している電子部品106を離脱することができる2個の吸着ノズル142A,142Bをそれぞれ備えている。2つの吸着ノズル142A,142Bは、X軸方向へ間隔調整可能とされていると共に、X軸とY軸を有する平面方向と垂直をなす第3の方向であるZ軸方向へ別個独立に昇降可能とされていて、電子部品106を別個独立に吸着・離脱可能に構成されている。
Both
両ロボットハンド131,132は、図示しないタイミングベルトによってX軸方向へ個別に移動可能に構成されている。そのタイミングベルトは、X軸方向に延在されている図示しないガイドレールにガイドされてX軸方向へ無端状に走行可能とされており、このタイミングベルトの作動を介して、供給ロボットハンド131が供給トレイ110から供給空トレイ109の幅方向の一端から他端まで移動可能とされており、回収ロボットハンド132は回収用空トレイ114の一端から回収第一トレイ111を経て回収第二トレイ112の他端まで移動可能とされている。
Both
図7及び図8に示すように、ガイドバー141の長手方向の両端は、Y軸方向に延在された一対の伝動ベルト147,147に夫々取り付けられている。各伝動ベルト147は、Y軸方向へ所定距離隔てて配置された一対のベルト車148,148に架け渡されている。そして、一方の各ベルト車148には駆動モータ149が夫々動力伝達可能に連結されており、一対の駆動モータ149,149の駆動力が一対のベルト車148,148を介して、一対の伝動ベルト147,147に夫々動力伝達可能とされている。
As shown in FIGS. 7 and 8, both ends of the guide bar 141 in the longitudinal direction are respectively attached to a pair of
かくして、左右の駆動モータ149,149が駆動されると、一対の伝動ベルト147.147がY軸方向へ走行される。これにより、ガイドバー141に保持されている供給ロボットハンド131及び回収ロボットハンド132が、夫々駆動モータ149の回転方向に応じて、回転測定ロボット171に近づく方向、又は、回転測定ロボット171から遠ざかる方向へ個別に移動される。このガイドバー141によるY軸方向への移動と、ガイドバー141の軸方向への移動を介して、回転測定ロボット171に近づく方向へ移動するときに供給ロボットハンド131の2個の吸着ノズル142A,142Aが、供給トレイ110で吸着保持した測定前の2個の電子部品106,106を供給搬送体133に搬送する。これに対して、回転測定ロボット171から遠ざかる方向へ移動するときに、回収ロボットハンド132の2個の吸着ノズル142B,142Bに吸着保持されている測定後の2個の電子部品106,106が3つの回収トレイのいずれかに搬送される。
Thus, when the left and
回転測定ロボット171は、前述した第1の実施例における回転測定ロボット71と同様のものであり、異なるところは電子部品の大きさ・形状に対応してそれに関連する部分の形状、大きさを異にした点である。そのため、ここでは回転測定ロボット171の詳細な説明は、上記回転測定ロボット71の説明を援用し、その概略を記載するに留める。即ち、回転測定ロボット171は、装置フレーム154に立設された回転枢軸と、この回転枢軸に回転自在に支持された円筒状をなす回転体173と、この回転体173に設けられた一対の搬送ロボット174,175と、各搬送ロボット174,175に設けられた吸着ノズル等を備えて構成されている。
The
回転体173は、駆動モータの駆動力により、回転枢軸を回転中心として180度往復回転可能に構成されている。一対の搬送ロボット174,175は、回転体173の外周面であって、180度回転変位した位置において半径方向外側へ突出するように配置されていると共に、別個独立に上下方向へ昇降移動可能に構成されている。第1の搬送ロボット174は、供給搬送体133とテストソケット170との間に測定前の電子部品106を搬送し、第2の搬送ロボット175は、テストソケット170と回収搬送体134との間に測定後の電子部品106を搬送する。
The rotating body 173 is configured to be capable of rotating 180 degrees reciprocally about the rotation axis as a rotation center by the driving force of the driving motor. The pair of
供給搬送体133と回収搬送体134は、回転体173を挟んでテストソケット170と反対側の位置に対向可能に配置されている。更に、供給搬送体133と回収搬送体134は、X軸方向に延在された一対のガイドレール155,155上に載置されていて、夫々X軸方向へ移動可能に構成されている。そして、図7に示すように、供給搬送体133は、常時は供給トレイ110と対向する位置に配置されており、第一駆動モータ156の作動により回転測定ロボット171の電子部品搬送側に位置する第一搬送ロボット174の位置との間に搬送される。また、回収搬送体134は、常時は回収第一トレイ111と対向する位置に配置されており、第二駆動モータ157の作動により回転測定ロボット171の電子部品搬送側に位置する第二搬送ロボット175の位置との間に搬送される。
The
第一駆動モータ156及び第二駆動モータ157としては、例えば、ステッピングモータを適用することができ、入力信号に応じて、供給搬送体133及び回収搬送体134をX軸方向へ所定距離移動させ、又は、微小距離を往復移動させて微振動を生じさせることができるものである。
As the
供給搬送体133と回収搬送体134は、同一の形状・構造を有するものであり、角形をなす本体の上面に四角形をなす凹陥部からなる4個のポケット160が縦横2列に配置されて設けられている。図9A〜9Dに示すように、両搬送体133,134の各ポケット160は、検査対象である電子部品106よりも少し大きな四角形の凹陥部として形成されている。そして、ポケット160の四辺の縁には内側に傾斜したテーパ部161が夫々設けられており、これらのテーパ部161〜161で電子部品106の各辺をガイドすることにより、ポケット160内の所定位置に電子部品106が正しい姿勢で配置される(図9A〜9Bの状態)ように構成している。
The
電子部品106を収納するポケット160の形状及び寸法は、測定する電子部品106の形状や大きさ(サイズ)によって異なるが、その開口部の大きさは、その電子部品106を載置させるために必要な載置部の寸法に約0.5mmから0.6mmの許容値を加えた寸法に設定することが好ましい。このように開口部の大きさを、電子部品106の大きさに0.5〜0.6mmの許容値を加えたものに設定すれば、電子部品106がポケット160に完全に収納されることにより、電子部品106のすべての端子を所定の端子に接続させて測定を行うことが可能となるからである。
The shape and dimensions of the
なお、電子部品106のテーパ部161の傾斜角度は、18度から25度の範囲内に設定することが好ましい。テーパ部161の傾斜角度が18°以上25°以下の範囲内であれば、高い搬送位置精度を必要とすることがなく、電子部品106がポケット160のテーパ部161に引っ掛かるように配置された場合であっても、電子部品106の自重によって載置部に滑り込み、所定の載置部に正しい姿勢で配置されるというメリットがある。
Note that the inclination angle of the
供給搬送体133及び回収搬送体134の底面の中央部には、各搬送体133,134を上下方向に貫通する吸引穴165が設けられている。吸引穴165は、ポケット160に収納された電子部品106の姿勢の良否を検出するために使用されるもので、この吸引穴165と、この吸引穴165に連通された図示しない吸引装置と、吸引穴165の圧力を検出する図示しない圧力検出器とによって姿勢検出器138,139が構成されている。この姿勢検出器138,139による姿勢良否の判定は、電子部品106が収納されたポケット160の吸引圧力を見ることで行うことができる。
A
即ち、図9A及び図9Bに示すように、電子部品106が所定位置に正しく配置された場合には、吸引穴165が電子部品106で塞がれる。そのため、この場合には、吸引圧力が大きい(負圧大)ことから、電子部品106が所定位置に正しく配置されていることを知ることができる。これに対して、図9C及び図9Dに示すように、電子部品106がポケット160の縁に引っ掛かり、所定位置に正しく配置されていない場合には、吸引穴165が電子部品106で塞がれることがない。そのため、この場合には、吸引圧力が小さい(負圧小)ことから、電子部品106が所定位置に正しく配置されていないことを知ることができる。この姿勢検出器138,139の検出信号が制御部105に供給される。
That is, as shown in FIGS. 9A and 9B, when the
上述した構成を備えた電子部品検査装置101の概略構成を図10のブロック図として示している。
この電子部品検査装置101の測定部104、ICハンドラ103及びトレイ部102の動作は、制御部105により制御されて所定の動作を実行する。制御部105は、前述した第1の実施例における制御部5と同様のものであり、図13に示すような構成を有している。従って、ここでは制御部105の説明は省略する。
A schematic configuration of the electronic
The operations of the
このような構成を有する電子部品検査装置101の動作の概略は、次のようなものである。
供給ロボットハンド131は、供給トレイ110の先頭位置に移動し、上下動作を行って供給トレイ110の第1の位置にある2個の電子部品106,106を吸着保持する。そして、供給ロボットハンド131が2個の電子部品106,106を供給搬送体133の最初の収納位置に搬送し、上下動作を行って供給搬送体133の2つのポケット160,160に夫々離脱して収納する。更に、供給ロボットハンド131は、供給トレイ110の次の位置に移動し、上下動作を行って2個の電子部品106,106を吸着保持し、その2個の電子部品106,106を供給搬送体133の2つのポケット160,160に夫々離脱して収納する。これにより、4個の電子部品106〜106が供給搬送体133の4つのポケット160〜160に夫々1個ずつ配置され、その供給搬送体133が回転測定ロボット171の第一搬送ロボット174が位置する電子部品搬送位置に移動される。
The outline of the operation of the electronic
The
これを受けて回転測定ロボット171の第一搬送ロボット174が、供給搬送体133の4つのポケット160〜160に収納されている4個の電子部品106〜106を吸着保持した後、回転体173を180度回転させる。これにより、第一搬送ロボット174がテスト側位置に移動し、第二搬送ロボット175が製品搬送位置に移動する。これと同時に、供給搬送体133は、供給ロボットハンド131と対向する最初の位置に戻る。
In response to this, the
回転測定ロボット171が180度回転動作した後、第一搬送ロボット174が4個の電子部品106〜106をテストソケット170の所定位置に配置し、4個の電子部品106〜106の測定を開始する。これと同時に、回収搬送体134が回転測定ロボット171の製品搬送位置に移動し、第二搬送ロボット175が測定終了後の4個の電子部品106〜106を回収搬送体134の4つのポケット160〜160に離脱して収納する。その後、回収搬送体134が最初の位置に戻り、その位置に回収ロボットハンド132が移動する。
After the
回収ロボットハンド132は、上下動作を行って測定後の2個の電子部品106,106を吸着保持し、測定結果に応じて、回収第一トレイ111、回収第二トレイ112又は回収第三トレイ113のいずれかの位置に移動する。そして、回収ロボットハンド132の吸着ノズル142Bを上下動作させて、そのトレイの2つのポケット116に2個の電子部品106,106を離脱配置する。再度、回収ロボットハンド132は、回収搬送体134の位置まで移動し、上下動作を行って2個の電子部品106,106を吸着保持し、測定結果に応じて、回収第一トレイ111、回収第二トレイ112又は回収第三トレイ113のいずれかの位置に移動する。そして、回収ロボットハンド132の吸着ノズルを上下動作させて、そのトレイの2つのポケット116に2個の電子部品106,106を離脱配置する。
The
このように供給ロボットハンド131と供給搬送体133と回転測定ロボット171と回収搬送体134と回収ロボットハンド132との間の受け渡しにより、供給トレイ110に収納されている測定前の電子部品106が、その性能・特性等の測定結果に応じて、回収第一トレイ111から回収第三トレイ113までのいずれかの回収トレイに順次搬送されてそのポケット116に離脱配置される。
Thus, the
このような構成を有する電子部品検査装置101の詳細な動作は、例えば、次のようなものである。図11及び図12は、電子部品検査装置101における制御部105の動作のフローチャートを示すものである。この場合、予め、供給トレイ110には、測定対象である電子部品106がポケット116に収納されているトレイを十数枚重ねて配置させておくようにする。これに対して、回収第一トレイ111と回収第二トレイ112と回収第三トレイ113には、ポケットが空となっているトレイを夫々配置し、回収用空トレイ114にはポケット116が空となっているトレイを十数枚重ねて配置させておく。一般に、このようなトレイの配置状態において、電子部品106の性能・機能の測定が開始される。
The detailed operation of the electronic
図11に示すように、電子部品106の供給収納が開始されると、まず、ステップS31において、供給ロボットハンド131が供給トレイ110へ移動する。これは、ガイドバー141をY軸方向へ移動させると共に供給ロボットハンド131をX軸方向へ移動させ、供給ロボットハンド131の吸着ノズル142Aを供給トレイ110の第1の位置にあるポケット116の上方へ位置させることによって実行される。次に、ステップS32に移行して、供給ロボットハンド131の吸着ノズル142Aによって製品である電子部品106を吸着して保持する。次に、ステップS33に移行して、供給ロボットハンド131を第2の位置にある供給搬送体133まで搬送する。この動作も、ガイドバー141をY軸方向へ移動させると共に供給ロボットハンド131をX軸方向へ移動させることによって実行される。
As shown in FIG. 11, when the supply and storage of the
次に、ステップS34に移行して、供給ロボットハンド31の2個の吸着ノズル142A、142Aで保持している2個の電子部品106,106を、供給搬送体133の2つのポケット160,160に離脱収納する。これは、吸着ノズル142Aの吸引力を開放し、電子部品106の自重でポケット160内に落下させることによって実行される。
Next, the process proceeds to step
次に、ステップS35に移行して、供給搬送体133のポケット160に収納されている各電子部品106が、正しい姿勢で載置部に配置されているか否かを判定する。この電子部品106の姿勢の良否は、回収搬送体134に収納されている各電子部品106に対しても行われるが、その判定手法は供給搬送体133の電子部品106に対するものと同一であるため、その説明は省略する。このステップS35の判定は、姿勢検出器138(回収搬送体134の電子部品106に対するものは姿勢検出器139による。)の検出信号に基づいて行われる。
Next, the process proceeds to step S <b> 35, and it is determined whether or not each
即ち、図9A及び9Bに示すように、電子部品106がポケット160内の所定位置に正しい姿勢で配置されている場合には、姿勢検出器138でポケット160に電子部品160を吸着する際の吸引力を見ることによって知ることができる。即ち、姿勢検出器138の圧力検出器で検出される圧力値が大きな値であれば図9A及び9Bに示す正しい姿勢で配置されていると判定し、検出される圧力値が小さい値であれば図9C及び9Dに示す正しくない姿勢で配置されていると判定する。このステップS35により、電子部品106がポケット160に正しい姿勢で配置されていると判定された場合にはステップS38に移行し、正しくない姿勢で配置されていると判定された場合にはステップS36に移行する。
That is, as shown in FIGS. 9A and 9B, when the
ステップS36では、電子部品106がポケット160内の所定位置に正しい姿勢で配置されていないために、供給搬送体133を微振動させて電子部品106の姿勢を修正する。そして、ステップS37に移行して、電子部品106がポケット160内の所定位置に正しい姿勢で配置されているか否かを再度判定する。このステップS35からステップS37までの微振動の動作の詳細を図12に示す。
In step S36, since the
図12において、ステップS35Aにより、姿勢検出器138の吸引装置による吸引圧力を検出し、その圧力値が大きな値(負圧大)である場合には、電子部品106がポケット160内の所定位置に正しい姿勢で配置されていると判定して、ステップS38に移行する。これに対して、吸引装置による吸引圧力の値が小さい値(負圧小)である場合には、電子部品106がポケット160内の所定位置に正しくない姿勢で配置されていると判定して、ステップS35Bに移行する。
In FIG. 12, in step S <b> 35 </ b> A, the suction pressure by the suction device of the posture detector 138 is detected, and when the pressure value is a large value (large negative pressure), the
ステップS35Bでは、吸引装置による負圧の検出時間が所定時間を経過したか否かを判定する。この判定において、所定の検出時間が経過していない場合には、ステップS35Aに戻り、ステップS35B及びステップS35Bの処理を繰り返す。これに対して、ステップS35Bの判定において、所定の検出時間が経過している場合には、ステップS36A及びステップS36Bに移行して、電子部品106の姿勢を正しくする姿勢修正操作を実行する。
In step S35B, it is determined whether the negative pressure detection time by the suction device has passed a predetermined time. In this determination, when the predetermined detection time has not elapsed, the process returns to step S35A, and the processes of step S35B and step S35B are repeated. On the other hand, if the predetermined detection time has elapsed in the determination in step S35B, the process proceeds to step S36A and step S36B, and an attitude correction operation for correcting the attitude of the
即ち、ステップS36Aでは、搬送体駆動機構137の動作を介して供給搬送体133をX軸方向の一方に移動(正転移動)し、続いて、ステップS36Bに移行して、搬送体駆動機構137の動作を介して供給搬送体133をX軸方向の他方に移動(逆転移動)する。そして、ステップS36Cに移行して、供給搬送体133の正転移動と逆転移動とが所定の回数行われたか否かを判定する。この判定において、供給搬送体133の正転移動と逆転移動が所定回数行われていない場合には、ステップS36Aに戻り、所定回数行われるまでステップS36AとステップS36Bによる微振動操作を繰り返す。これに対して、供給搬送体133の正転移動と逆転移動が所定回数行われている場合には、ステップS37Aに移行する。
That is, in step S36A, the
このステップS36に基づく供給搬送体133の正転移動及び逆転移動を繰り返す微振動の振幅は、0.5mm以上1.0mm以下の範囲内が好ましい。この微振動の振幅が0.5mm〜1.0mmの範囲内であれば、その微振動によって電子部品106がポケット160の載置部に配置される時間が実用的な範囲に収まり、電子部品106がポケット160の開口縁から外側に飛び出すのを防ぐことができるというメリットがある。
The amplitude of the minute vibration that repeats the forward movement and the reverse movement of the
供給搬送体133の振動時間は、0.5秒以上2.0秒以下の範囲内であって、微振動の周波数が100Hz以上200Hz以下の範囲内が好ましい。この微振動時間が0.5秒〜2.0秒の範囲内であれば、振動時間によるICハンドラ103の搬送動作の低下を実用的な範囲内に収めることができる。そして、供給搬送体133の振動周波数が100Hz〜200Hzの範囲内であれば、電子部品がIC、LSI等であった場合に、微振動により電子部品内部の機能・特性等にダメージを与えることがないというメリットがある。
The vibration time of the
なお、常時、微振動を与えて電子部品を搬送する方法も考えられるが、その場合には、複数の搬送ロボットその他に過度の負担を与えるおそれがある。そのため、供給搬送体133(回収搬送体134の場合も同様)のポケットへの収納ミスが生じた場合にのみ、微振動動作を与える方法が好ましい。 In addition, although a method is also conceivable in which an electronic component is conveyed while always giving a slight vibration, in that case, an excessive burden may be imposed on a plurality of conveying robots and the like. For this reason, a method of giving a fine vibration operation only when a storage error in the pocket of the supply conveyance body 133 (also in the case of the collection conveyance body 134) occurs is preferable.
ステップS37Aでは、姿勢検出器138の検出結果に基づいて、電子部品106がポケット160内の所定位置に正しい姿勢で配置されているか否かを再度判定する。この判定において、姿勢検出器138の吸引装置による吸引圧力の値が大きな負圧である場合には、電子部品106がポケット160内の所定位置に正しい姿勢で配置されていると判定して、ステップS38に移行する。これに対して、吸引装置による吸引圧力の値が小さい負圧である場合には、電子部品106がポケット160内の所定位置に正しくない姿勢で配置されていると判定して、ステップS37Bに移行する。
In step S <b> 37 </ b> A, it is determined again based on the detection result of the posture detector 138 whether or not the
ステップS37Bでは、吸引装置による負圧の検出時間が所定時間を経過したか否かを判定する。この判定において、所定の検出時間が経過していない場合には、ステップS37Aに戻り、ステップS37A及びステップS37Bの処理を繰り返す。これに対して、ステップS37Bの判定において、所定の検出時間が経過している場合には、この微振動方法によっても電子部品106を正しい姿勢に修正できなかったものと判定し、警告メッセージを表示してICハンドラ103の搬送動作を一時停止させる。そして、電子部品検査装置101の操作オペレータによって搬送ミスした電子部品106を取り除くか、電子部品106の配置状態を改善して再度搬送動作を繰り返すようにする。
In step S37B, it is determined whether the negative pressure detection time by the suction device has passed a predetermined time. In this determination, when the predetermined detection time has not elapsed, the process returns to step S37A, and the processes of step S37A and step S37B are repeated. On the other hand, if the predetermined detection time has passed in the determination in step S37B, it is determined that the
次に、図11において、ステップS38では、供給ロボットハンド131を供給搬送体133の最初の位置に移動した後、回転測定ロボット171の電子部品供給側の位置に移動する。次いで、ステップS39に移行して、電子部品供給側に位置する回転測定ロボット171の第1の搬送ロボット174で電子部品106を吸着保持する。そして、ステップS40に移行し、供給搬送体133を最初の位置に戻す。次に、ステップS41に移行して、回収搬送体134を電子部品供給側の位置に移動する。そして、ステップ31に戻る。
Next, in FIG. 11, in step S <b> 38, the
一方、上記ステップS40の処理と平行して、ステップS42に移行して、回転測定ロボット171による電子部品106の測定動作が行われているか否かを判定する。このステップS42において、電子部品106の測定動作中であると判定された場合には、その測定動作が終了するまでステップS42の処理を繰り返す。これに対して、電子部品106の測定動作中でないと判定された場合には、ステップS43に移行して、回転測定ロボット171のソケット側に位置する第2の搬送ロボット75を上昇させた後、回転測定ロボット171の回転体173を180度回転させ、第2の搬送ロボット175を電子部品供給側に移動し、第1の搬送ロボット174をテストソケット側に移動する。
On the other hand, in parallel with the process of step S40, the process proceeds to step S42 to determine whether or not the measurement operation of the
次に、ステップS44に移行して、第2の搬送ロボット175の吸着ノズルを下降させて測定前の電子部品106を吸着保持し、その電子部品106をテストソケット170にセットし、その電子部品106の測定を開始する。そして、電子部品106の測定が終了した後、ステップS39に戻る。このステップS44の処理と平行して、ステップS45に移行して、第2の搬送ロボット175の吸着ノズルに保持されている測定済の電子部品106を回収搬送体134のポケット160に収納する。続いて、ステップS46に移行して、回収搬送体134を最初の位置に戻す。
Next, the process proceeds to step S44, where the suction nozzle of the
次に、ステップS47に移行して、回収ロボットハンド132を回収搬送体134の位置まで移動する。次いで、ステップS48に移行して、回収ロボットハンド132の吸着ノズル142Bによって測定済の電子部品106を吸着保持する。そして、ステップS49に移行して、回収ロボットハンド132を、測定済の電子部品の測定結果に応じて、対応する回収トレイの位置に移動する。その後、ステップS50に移行して、回収ロボットハンド132の吸着ノズル142Bを下降させ、回収トレイのポケット116に測定済の電子部品106を離脱して収納する。
Next, the process proceeds to step S <b> 47, and the
次に、ステップS51に移行して、電子部品106の測定を継続させるか否かを判定する。この判定は、測定済の電子部品106の数が、測定開始前に入力される測定数に達しているか否かを見ることによって行われる。このステップS51において、測定数が予め入力された数値に達していない場合には、運転を継続すると判定して、ステップS41に戻り、以上の処理を繰り返す。これに対して、測定数が予め入力された数値に達している場合には、これで処理を終了する。以上のような処理を経ることにより、電子部品106の性能・特性等を検査することができる。
Next, it transfers to step S51 and it is determined whether the measurement of the
上述したような電子部品106の測定に際して、ICハンドラ103による搬送ミスが生じた場合にも、上記微振動による修正操作を行うことにより、搬送ミスを修正してポケット160の所定位置に正しい姿勢で電子部品106を配置することができ、測定作業に停滞を生じることなく、効率よく電子部品106の検査を実行することが可能となる。
Even when a transport error by the
以上説明したが、本発明は上記第1の実施例及び第2の実施例に限定されるものではなく、均等の範囲内で種々の変形が可能であり、特許請求の範囲に記載された発明の範囲において様々な変更が可能であることは、当業者によって容易に理解されよう。 As described above, the present invention is not limited to the first and second embodiments described above, and various modifications can be made within an equivalent range, and the invention described in the claims. It will be readily appreciated by those skilled in the art that various modifications can be made within the scope of the above.
1,101…電子部品検査装置、 2,102…トレイ部、 3,103…ICハンドラ、 4,104…測定部、 5,105…制御部、 6,106…電子部品、 10,110…供給トレイ、 11,111…回収第一トレイ、 12,112…回収第二トレイ、 13,113…回収第三トレイ、 14,114…回収用空トレイ、 15,115…トレイ搬送器、 20,120…吸着パッド、 31,131…供給ロボットハンド、 32,132…回収ロボットハンド、 33,34,35…回転搬送体、 36…回転テーブル、 37…テーブル駆動機構(移動機構)、 38,39,138,139…姿勢検出器、 50…駆動モータ、 52…伝動ベルト、 60,160…ポケット、 61,161…テーパ部、 62…測光溝、 70,170…テストソケット、 71,171…回転測定ロボット、 74,75,174,175…搬送ロボット、 76…吸着ノズル、 80…制御装置、 109…供給空トレイ、 133…供給搬送体(移動搬送体)、 134…回収搬送体(移動搬送体)、 137…往復移動機構、 165…吸引穴
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,101 ... Electronic component inspection apparatus 2,102 ... Tray part, 3,103 ... IC handler, 4,104 ... Measurement part, 5,105 ... Control part, 6,106 ... Electronic part, 10,110 ...
Claims (5)
前記電子部品を吸着保持して前記第1ポケットと前記第2ポケットとの間に搬送するロボットハンドと、
前記第2の位置において前記第2ポケットに収納された前記電子部品が正しい姿勢で配置されているか否かを検出する姿勢検出器と、
前記回転搬送体又は前記移動搬送体を前記第2の位置と、前記電子部品の良否を検査する回転測定ロボットとの間に移動する移動機構と、
前記姿勢検出器の検出結果に応じて前記電子部品が正しい姿勢で配置されていないときに、前記移動機構を動作させて前記回転搬送体を振動させ又は前記移動搬送体を往復動作させる姿勢修正機構と、を設けた
ことを特徴とするICハンドラの電子部品姿勢修正装置。 An IC handler for transporting an electronic component between a first pocket of a tray at a first position and a second pocket of a rotary transport body or a movable transport body at a second position;
A robot hand that sucks and holds the electronic component and conveys it between the first pocket and the second pocket;
An attitude detector for detecting whether or not the electronic component housed in the second pocket is arranged in a correct attitude at the second position;
A moving mechanism that moves the rotating carrier or the moving carrier between the second position and a rotation measuring robot that inspects the quality of the electronic component;
An attitude correction mechanism that operates the moving mechanism to vibrate the rotating conveyance body or to reciprocate the moving conveyance body when the electronic component is not arranged in a correct attitude according to the detection result of the attitude detector. And an electronic component posture correcting device for an IC handler.
前記回転テーブルを回転駆動するテーブル駆動機構と、を備え、
前記姿勢修正機構は、前記テーブル駆動機構により前記回転テーブルを微振動させるようにした
ことを特徴とする請求項1記載のICハンドラの電子部品姿勢修正装置。 The moving mechanism of the rotary transport body is a rotary table for circulating the rotary transport body on a track passing through the second position;
A table drive mechanism for rotating the rotary table,
The electronic component attitude correction device for an IC handler according to claim 1, wherein the attitude correction mechanism causes the rotary table to vibrate slightly by the table driving mechanism.
前記姿勢修正機構は、前記往復移動機構により前記移動搬送体を往復移動させて微振動させるようにした
ことを特徴とする請求項1記載のICハンドラの電子部品姿勢修正装置。 The moving mechanism of the moving carrier includes a reciprocating mechanism that reciprocates the moving carrier on a trajectory passing through the second position,
The electronic component attitude correction device for an IC handler according to claim 1, wherein the attitude correction mechanism causes the movable carrier to reciprocate and vibrate slightly by the reciprocation mechanism.
ことを特徴とする請求項2又は3記載のICハンドラの電子部品姿勢修正装置。 For the slight vibration of the rotary carrier or the movable carrier by the posture correcting mechanism, the amplitude is set within the range of 0.5 mm to 1.0 mm, and the vibration time is set within the range of 0.5 second to 2.0 seconds. 4. The electronic component posture correcting device for an IC handler according to claim 2, wherein the electronic component posture correcting device is used.
ロボットハンドにより吸着保持されて回転搬送体又は移動搬送体のポケットに収納された電子部品の姿勢を姿勢検出器で検出して姿勢の良否を判定し、
前記判定結果に応じて前記電子部品が前記ポケットに対して正しい姿勢で配置されていないときに、前記回転搬送体又は前記移動搬送体を微振動させて前記電子部品を前記ポケットに正しい姿勢で配置するように修正する
ことを特徴とするICハンドラの電子部品姿勢修正方法。 An IC handler that conveys electronic components between a first pocket of a tray and a second pocket of a rotary carrier or a movable carrier,
A posture detector detects the posture of an electronic component that is attracted and held by the robot hand and stored in the pocket of the rotary carrier or the movable carrier, and determines the posture quality.
When the electronic component is not arranged in a correct posture with respect to the pocket according to the determination result, the electronic component is arranged in the pocket in a correct posture by slightly vibrating the rotary carrier or the movable carrier. An electronic component attitude correction method for an IC handler, wherein the electronic component attitude correction method is characterized in that the correction is performed.
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