JP6118656B2 - Board inspection equipment - Google Patents
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Description
本発明は、プリント配線板等の被検査基板の検査を行う基板検査装置に関し、さらに詳しく言えば、検査前の被検査基板のストック部と検査済み被検査基板のストック部とを基板検査部の片側の同一スペース内に配置し、装置全体の専有面積を小さくするとともに、基板搬送手段の構成を簡素した基板検査装置に関するものである。 The present invention relates to a substrate inspection apparatus for inspecting a substrate to be inspected such as a printed wiring board. More specifically, the present invention relates to a stock portion of a substrate to be inspected before inspection and a stock portion of a substrate to be inspected before the inspection of the substrate inspection portion. The present invention relates to a substrate inspection apparatus that is disposed in the same space on one side, reduces the exclusive area of the entire apparatus, and simplifies the configuration of the substrate transfer means.
プリント配線板等の被検査基板の良否をプローブピンや画像処理等によって検査する基板検査装置として、被検査基板を検査する検査部と、検査前の被検査基板をストックして検査部に供給する供給部と、検査部にて検査された検査済の被検査基板をストックする収納部とを一体型とした基板検査装置がある（例えば、特許文献１参照）。 As a substrate inspection device that inspects the quality of a substrate to be inspected, such as a printed wiring board, using probe pins or image processing, the inspection unit that inspects the substrate to be inspected and the substrate to be inspected before inspection are stocked and supplied to the inspection unit There is a substrate inspection apparatus in which a supply unit and a storage unit that stocks inspected substrates that have been inspected by the inspection unit are integrated (for example, see Patent Document 1).
図６に、このような従来の基板検査装置の一例を示す。この基板検査装置１は、被検査基板Ｐの良否を検査する検査部２と、検査前の被検査基板Ｐをストックする搬入側ストック部３と、検査済の被検査基板Ｐをストックする搬出側ストック部４と、この検査システムの動作を制御する制御部（図示省略）とを備えている。
FIG. 6 shows an example of such a conventional substrate inspection apparatus. The
また、基板検査装置１には、被検査基板Ｐを保持して搬入側ストック部３と検査部２との間を往復動する搬送手段５と、被検査基板Ｐを保持して検査部２と搬出側ストック部４との間を往復動する搬送手段６とが備えられている。
Further, the
検査部２には、図示はされていないが、被検査基板Ｐが載置される検査テーブルや検査基板Ｐを画像処理やプローブピンを接触させて電気的検査を行う各種検査治具等が設けられている。
Although not shown, the
搬入側ストック部３には、検査前の被検査基板Ｐがストックされる搬入側ストッカー３ａが備えられている。図６に示すように、搬入側ストッカー３ａは、その上方が開放されたボックス型とされ、その内部に例えば数百枚単位で被検査基板Ｐを収納できるようになっている。
The carry-in side stock unit 3 is provided with a carry-in
搬出側ストック部４には、検査済の被検査基板Ｐをストックする２つの搬出側ストッカー４ａ，４ｂが備えられている。この例において、一方の搬出側ストッカー４ａには検査部２にて良品と判定された被検査基板Ｐが、他方の搬出側ストッカー４ｂには検査部２にて不良品と判定された被検査基板Ｐがそれぞれ収納されるようになっている。
The carry-out side stock unit 4 is provided with two carry-out
この２つの搬出側ストッカー４ａ，４ｂの各々は、搬入側ストッカー３ａと同様に、その上方が開放されたボックス型とされ、その内部に例えば数百枚単位で被検査基板Ｐが収納できるようになっている。
Each of the two carry-out
この例において、２つの搬出側ストッカー４ａ，４ｂは、それぞれ支持脚４ｃ，４ｄに支持されており、支持脚４ｃ，４ｄは、図示しないモータ等の駆動手段により昇降可能とされている。
In this example, the two carry-out
搬入側ストック部３側の搬送手段５は、搬入側ストック部３と検査部２との間に懸架される搬送ベルト５ａと、搬送ベルト５ａに支持されて、搬入側ストッカー３ａ内にストックされている検査前の被検査基板Ｐを図示しない真空吸着手段により保持する基板保持部５ｂとを備えている。
The conveying means 5 on the carry-in side stock unit 3 is stocked in the carry-in
この例において、真空吸着手段は、基板保持部５ｂの基端側に並列して設けられる３つの吸着パッド５ｂ１を備え、各吸着バッド５ｂ１は、オンオフ切替弁を介して真空発生器（ともに図示しない）に接続されている。
In this example, the vacuum suction means includes three suction pads 5b1 provided in parallel on the base end side of the
また、基板保持部５ｂは、図示しないモータ等の駆動手段により昇降可能とされている。これにより、基板保持部５ｂを、搬送ベルト５ａを介して搬入側ストッカー３ａ上に位置決めした後に降下させ、吸着パッド５ｂ１にて搬入側ストッカー３ａ内の被検査基板Ｐをエア吸着するようにしている。
The
収納ストック部４側の搬送手段６は、検査部２と収納ストック部４との間に設けられた搬送ベルト６ａと、搬送ベルト６ａに支持されて、上記搬送手段５と同様の構成からなる基板保持部６ｂとを備えている。
The transporting means 6 on the storage stock unit 4 side is a substrate having the same configuration as the transporting means 5 supported by the
基板保持部６ｂは、上記基板保持部５ｂと同様に、図示しないモータ等の駆動手段により昇降可能とされている。また、真空吸着手段として、基板保持部５ｂの吸着パッド５ｂ１と同様に、図示しない真空発生器とオンオフ切替弁を介して接続される３つの吸着パッド６ｂ１が備えられている。
The
次に、この従来の基板検査装置１のシステム動作例を説明する。まず、検査システムの始動に際しては、被検査基板Ｐを搬入側ストック部３の搬入側ストッカー３ａ内に所定枚数積層してストックし、図示しない操作部を操作することにより検査システムを開始する。
Next, a system operation example of the conventional
検査システムの始動により、搬送ベルト５ａは、基板保持部５ｂを搬入側ストッカー３ａ上に移動させて、搬入側ストッカー３ａ内の被検査基板Ｐをエア吸着可能な位置にまで降下させる。
With the start of the inspection system, the
次に、図示しない真空吸着手段を作動させて、吸着パッド５ｂ１を介して、被検査基板Ｐをエア吸着して保持させ、この状態で基板保持部５ｂを降下前の初期位置にまで上昇させる。
Next, a vacuum suction means (not shown) is operated to hold the inspected substrate P by air suction via the suction pad 5b1, and in this state, the
そして、搬送ベルト５ａを介して、基板保持部５ｂに保持された被検査基板Ｐを検査部２へと搬送する。その際、被検査基板Ｐは、図示はされていないが、検査部２内の所定位置（例えば検査テーブル上）に載置され、その後、あらかじめ設定された所定の検査工程が行われる。
Then, the substrate to be inspected P held by the
なお、検査前の被検査基板Ｐを検査部２へと搬送した後には、次の被検査基板Ｐを検査部２へと搬送する動作が繰り返し行われる。すなわち、基板保持部５ｂを搬送ベルト５ａを介して再び搬入側ストック部３へと移動させ、上記動作を繰り返して検査前の被検査基板Ｐを検査部２へと順次搬送するようになっている。
In addition, after the board | substrate P to be inspected before a test | inspection is conveyed to the test |
一方、検査部２にて所定の検査が終了した検査済の被検査基板Ｐは、搬送手段６を介して、搬出側ストック部４へと搬送される。検査部２から検査済の被検査基板Ｐを搬出側ストック部４に搬送するには、まず、基板保持部６ｂを検査部２の検査テーブル（図示せず）上に位置決めした後降下させ、吸着パッド６ｂ１を介して被検査基板Ｐをエア吸着して保持する。
On the other hand, the inspected substrate P that has been inspected by the
次に、被検査基板Ｐを保持した基板保持部６ｂを降下前の元の初期位置まで上昇させ、搬送ベルト６ａを介して搬出側ストック部４へと搬送する。検査部２の検査結果は図示しない制御部から搬送手段６へと送信されており、これにより、検査済みの被検査基板Ｐを、搬送ベルト６ａを介して、良品を収納する搬出側ストッカー４ａあるいは不良品を収納する搬出側ストッカー４ｂのいずれかのストッカーに収納する。
Next, the
具体的には、被検査基板Ｐが良品の場合には、基板保持部６ｂを搬出側ストッカー４ａ上へと位置決めして降下させる。そして、基板保持部６ｂに保持されている検査済の被検査基板Ｐを搬出側ストッカー４ａの最上位の被検査基板Ｐ上に載置した後、吸着パッド６ｂ１のエア吸着を解除する。
Specifically, when the inspected substrate P is a non-defective product, the
他方、被検査基板Ｐが不良品の場合には、基板保持部６ｂを搬出側ストッカー４ｂ上へと位置決めして降下させる。そして、基板保持部６ｂに保持されている検査済の被検査基板Ｐを搬出側ストッカー４ｂの最上位の被検査基板Ｐ上に載置した後、吸着パッド６ｂ１のエア吸着を解除する。
On the other hand, if the inspected substrate P is defective, the
その後、基板保持部６ｂを降下前の初期位置にまで上昇させ、搬送ベルト６ａを介して再び検査部２へと移動させる。そして、上記動作を繰り返し、検査済の被検査基板Ｐを搬出側ストッカー４ａあるいは搬出側ストッカー４ｂへと良品・不良品に振り分けて収納するようになっている。
Thereafter, the
なお、この例において、支持脚４ｃ，４ｄを介して、搬出側ストッカー４ａ，４ｂにストックされている最上位の被検査基板Ｐの高さ位置が基板保持部６ｂの降下位置となるようにあらかじめ調整されており、これにより、検査済の被検査基板Ｐを破損等することなく搬出側ストッカー４ａ，４ｂ内に振り分けてストックできるようにしている。
In this example, the height position of the uppermost inspected substrate P stocked in the carry-out
上記従来の基板検査装置では、検査前の被検査基板Ｐを搬入側ストッカー３ａにストックし、検査部２にて所定の検査工程を行わせることにより、検査済の被検査基板Ｐを検査結果に応じた搬出側ストッカー４ａ，４ｂに振り分けて収納させることができる。
In the conventional substrate inspection apparatus, the substrate P to be inspected before inspection is stocked in the loading-
そのため、被検査基板Ｐを上流側の搬入側ストック部３から下流側の搬出側ストック部４という一方向の流れのなかに、検査工程をおくことができ、検査システムをシンプルに構成することができるという利点がある。 Therefore, the inspection process can be performed in the one-way flow of the substrate P to be inspected from the upstream carry-in side stock unit 3 to the downstream carry-out side stock unit 4, and the inspection system can be configured simply. There is an advantage that you can.
しかしながら、搬入側ストック部３、検査部２および搬出側ストック部４が、それぞれ独立した構成とされるため、それに応じてスペースや機構部品が必要とされ、システム全体の専有面積が大きくなるとともに、コスト的にも高価とならざるを得ない、という問題があった。
However, since the carry-in side stock unit 3, the
また、検査前の被検査基板Ｐをストックする搬入側ストック部３と、検査済の被検査基板Ｐをストックする搬出側ストック部４とが、検査部２の両側にそれぞれ配置されているため、作業者の作業範囲が広くなり作業効率が低下する、といった問題もあった。
Further, since the carry-in side stock unit 3 for stocking the inspected substrate P before inspection and the carry-out side stock unit 4 for stocking the inspected substrate P after inspection are arranged on both sides of the
そこで、本発明の課題は、装置全体の専有面積を小さくして作業効率を向上させるとともに、コスト的にも有利な基板検査装置を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate inspection apparatus that is advantageous in terms of cost as well as improving work efficiency by reducing the area occupied by the entire apparatus.
上記課題を解決するため、本発明は、被検査基板の良否を検査する検査部と、検査前の上記被検査基板をストックする搬入側ストッカーと、検査済みの上記被検査基板を良品と不良品に分けてストックする第１および第２の２つの搬出側ストッカーと、上記被検査基板を上記搬入側ストッカー→上記検査部→上記搬出側ストッカーへと搬送する搬送手段とを含み、上記検査部にて検査された上記被検査基板を良品・不良品に振り分けて上記搬出側ストッカーのいずれか一方に収納する基板検査装置において、上記搬入側ストッカーと上記第１および第２搬出側ストッカーの３つのストッカーは、それぞれ同一の間隔をもって上記検査部の片側に配置されている同一のストック部内に並置されており、上記搬送手段には、上記搬入側ストッカーから検査前の上記被検査基板を保持して上記検査部に搬送する第１の基板保持部と、上記検査部から検査済の上記被検査基板を保持して上記第１もしくは第２搬出側ストッカーに搬送する第２の基板保持部と、上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部を支持して上記検査部と上記ストック部との間に水平移動可能に懸架される搬送ベルトとが備えられ、上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部には、所定の昇降手段により上記搬送ベルトの移動方向と直交する垂直方向に駆動され、上記被検査基板を着脱可能に吸着する吸着ヘッドがそれぞれ設けられており、上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部は、上記ストッカーの配置間隔と同一の間隔をもって上記搬送ベルトに支持され、上記第１，第２の各基板保持部がともにそれらの間隔を一定として移動することを特徴としている。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides an inspection unit that inspects the quality of a substrate to be inspected, a loading stocker that stocks the substrate to be inspected before inspection, and the inspected substrate that has been inspected as a good product and a defective product. The first and second carry-out side stockers that are stocked separately, and a conveying means that conveys the substrate to be inspected from the carry-in side stocker to the inspection unit to the carry-out side stocker. In the substrate inspection apparatus that sorts the inspected substrate inspected into non-defective products and defective products and stores them in one of the carry-out side stockers, the three stockers of the carry-in side stocker and the first and second carry-out side stockers Are juxtaposed in the same stock section arranged on one side of the inspection section with the same interval, and the transport means includes the carry-in side stocker. A first substrate holding unit for holding the substrate to be inspected before inspection and transporting the substrate to be inspected, and the first or second unloading side stocker for holding the substrate to be inspected from the inspection unit. A second substrate holding unit that conveys the first substrate holding unit, and a conveyance belt that supports the first substrate holding unit and the second substrate holding unit and is suspended between the inspection unit and the stock unit so as to be horizontally movable. The first substrate holding portion and the second substrate holding portion are driven in a vertical direction perpendicular to the moving direction of the transport belt by predetermined lifting means, and the substrate to be inspected can be attached and detached. The first substrate holding part and the second substrate holding part are supported by the conveyor belt at the same interval as the placement interval of the stocker, Both second substrate holders It is characterized by moving the interval between these a constant.
本発明において、好ましくは、上記搬入側ストッカーと上記各搬出側ストッカーには、上記搬入側ストッカー内に収納される最上位の上記被検査基板の高さ位置と、上記各搬出側ストッカーに収納される最上位の上記被検査基板の高さ位置を監視する高さ位置監視センサと、上記高さ位置監視センサの出力に応じて上記ストッカーを昇降させるストッカー昇降手段とが設けられており、上記搬入側ストッカー内の最上位の被検査基板の高さと上記各搬出側ストッカー内の最上位の被検査基板の高さとが同じ高さに調整される。 In the present invention, preferably, the carry-in stocker and each carry-out stocker are housed in the height position of the uppermost substrate to be inspected and stored in each carry-out stocker. A height position monitoring sensor for monitoring the height position of the uppermost substrate to be inspected, and a stocker elevating means for elevating the stocker according to the output of the height position monitoring sensor. The height of the uppermost substrate to be inspected in the side stocker and the height of the uppermost substrate to be inspected in each carry-out side stocker are adjusted to the same height.
また、上記第１基板保持部の吸着ヘッドと上記第２基板保持部の吸着ヘッドは、上記昇降手段により同時に同一方向かつ同一移動量で昇降駆動されることが好ましい。 Further, it is preferable that the suction head of the first substrate holding unit and the suction head of the second substrate holding unit are simultaneously driven up and down in the same direction and the same movement amount by the lifting means.
また、本発明の基板検査装置は、少なくとも上記搬送手段、上記昇降手段および上記吸着ヘッドの各動作を制御する制御手段をさらに有し、上記制御手段は、第１ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第１の基板保持部が上記搬入側ストッカー上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドのみを有効として、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドにて上記搬入側ストッカー内の検査前の上記被検査基板を吸着保持させたのち、上記各吸着ヘッドを上昇させ、第２ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第１の基板保持部が上記検査部上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドを無効にして上記検査前の上記被検査基板を上記検査部上に載置して、上記各吸着ヘッドを上昇させ、第３ステップとして、上記検査部にて上記被検査基板の検査を行わせ、第４ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第２の基板保持部が上記検査部上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドのみを有効として、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドにて上記検査部上の検査済み上記被検査基板を吸着保持させたのち、上記各吸着ヘッドを上昇させ、第５ステップとして、上記検査部での良品，不良品の検査結果に応じて、上記搬送ベルトにより上記第２の基板保持部が上記搬出側ストッカーのいずれか一方の上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドを無効にして上記検査済み上記被検査基板を上記いずれか一方の搬出側ストッカー内に収納させ、上記検査前の上記被検査基板ごとに、上記第１ステップないし上記第５ステップを繰り返し実行することを特徴としている。 The substrate inspection apparatus of the present invention further includes a control unit that controls at least the operations of the transport unit, the elevating unit, and the suction head. The control unit uses the transport belt as a first step. After the first and second substrate holders are moved so that the first substrate holder is positioned on the carry-in side stocker, the suction heads are lowered by the elevating means, and the first substrate is lowered. Only the suction head of the holding unit is effective, the suction substrate of the first substrate holding unit sucks and holds the substrate to be inspected before inspection in the loading-side stocker, and then raises each suction head. As a second step, after the first and second substrate holders are moved by the conveyor belt so that the first substrate holder is positioned on the inspection unit, the lifting and lowering means The suction heads are lowered, the suction heads of the first substrate holding part are disabled, the substrate to be inspected before the inspection is placed on the inspection part, the suction heads are raised, As a third step, the inspection substrate is inspected by the inspection unit, and as a fourth step, the first and first substrates are positioned so that the second substrate holding unit is positioned on the inspection unit by the transport belt. After the second substrate holding part is moved, the suction heads are lowered by the lifting means, and only the suction head of the second substrate holding part is enabled, and the suction head of the second substrate holding part is used. After sucking and holding the inspected substrate to be inspected on the inspection unit, the respective suction heads are raised, and as a fifth step, the conveyor belt is used in accordance with the inspection result of non-defective products and defective products in the inspection unit. The second group After the first and second substrate holders are moved so that the holder is positioned on one of the carry-out side stockers, the suction heads are lowered by the elevating means, and the second The suction head of the substrate holding unit is disabled, and the inspected substrate to be inspected is stored in one of the carry-out side stockers, and the first step to the fifth step are performed for each of the inspected substrates before the inspection. It is characterized by repeatedly executing steps.
上記第１の搬出側ストッカーが良品用、上記第２の搬出側ストッカーが不良品用であるとして、特に上記第１ステップないし上記第５ステップを実行するうえで、上記検査部から見て、上記搬入側ストッカー，上記第１の搬出側ストッカー，上記第２の搬出側ストッカーがこの順序で配置されていることが好ましい。 Assuming that the first carry-out side stocker is for a non-defective product and the second carry-out side stocker is for a defective product, particularly when performing the first step to the fifth step, It is preferable that the carry-in side stocker, the first carry-out side stocker, and the second carry-out side stocker are arranged in this order.
本発明によれば、搬入側ストッカーと第１および第２搬出側ストッカーの３つのストッカーを、それぞれ同一の間隔をもって検査部の片側に配置されている同一のストック部内に並置するとともに、搬入側の第１の基板保持部と搬出側の第２の基板保持部とを、上記ストッカーの配置間隔と同一の間隔をもって搬送ベルトに支持させて第１，第２の各基板保持部がともにそれらの間隔を一定として移動するようにしたことにより、基板搬送機構の構成が大幅に簡素化できる。また、検査前基板の検査部への搬入、検査済み基板の検査部からの搬出の一連の工程を合理的に行うことができる。また、装置全体の占有面積を小さくすることができる。さらには、作業者の作業領域が検査部の片側のみとなるため、作業者の作業効率も向上する。 According to the present invention, the three stockers of the carry-in side stocker and the first and second carry-out side stockers are juxtaposed in the same stock part arranged on one side of the inspection part with the same interval, respectively, The first substrate holding unit and the second substrate holding unit on the carry-out side are supported by the transport belt at the same interval as the arrangement interval of the stocker, and the first and second substrate holding units are both spaced apart from each other. By making the movement constant, the configuration of the substrate transport mechanism can be greatly simplified. Further, it is possible to rationally carry out a series of steps of loading the pre-inspection board into the inspection section and unloading the inspected board from the inspection section. In addition, the area occupied by the entire apparatus can be reduced. Furthermore, since the work area of the worker is only on one side of the inspection unit, the work efficiency of the worker is improved.
次に、図１ないし図５により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5, but the present invention is not limited to this.
図１に示すように、この実施形態に係る基板検査装置１Ａは、被検査基板Ｐの良否検査を行う検査部１０と、検査前および検査済の被検査基板Ｐをストックするストック部２０と、この検査システムを制御する制御手段１００とを備えている。制御手段１００には、ＣＰＵ（中央演算処理ユニット）やマイクロコンピュータ等が用いられる。
As shown in FIG. 1, a substrate inspection apparatus 1A according to this embodiment includes an
また、この基板検査装置１Ａは、検査前の被検査基板Ｐをストック部２０から検査部１０に搬入するとともに、検査済の被検査基板Ｐを検査部１０からストック部２０へと搬出する搬送手段３０を備えている。
Further, the substrate inspection apparatus 1A carries a substrate P to be inspected before inspection from the
検査部１０には、被検査基板Ｐが載置される検査テーブルＴ（図４および図５参照）や、図示はされていないが、被検査基板Ｐの電気的検査や画像処理による外観検査等を行う各種検査治具およびこれら検査治具等を制御する制御装置等が備えられている。
The
図１に示すように、本発明において、検査前の被検査基板Ｐおよび検査済の被検査基板Ｐはともに、検査部１０と隣接してその片側に配置されたストック部２０内にストックされる。
As shown in FIG. 1, in the present invention, both the inspected substrate P before inspection and the inspected substrate P that have been inspected are stocked in a
ストック部２０には、検査前の被検査基板Ｐがストックされる１つの搬入側ストッカー２１と、検査済みの被検査基板Ｐがストックされる２つの搬出側ストッカー２２，２３の３つのストッカーが、それぞれ同一の間隔ａをもって一直線上に並置されている。
In the
なお、２つの搬出側ストッカー２２，２３のうち、一方の搬出側ストッカー２２が検査において良品と判断された被検査基板Ｐがストックされる良品用の搬出側ストッカーであり、他方の搬出側ストッカー２３が検査において不良品と判断された被検査基板Ｐがストックされる不良品用の搬出側ストッカーである。
Of the two unloading
ストッカーの配置順としては、検査前の被検査基板Ｐを検査部１０に搬入し、また、検査済みの被検査基板Ｐを検査部１０から搬出するうえで、検査部１０から見て、搬入側ストッカー２１，良品用の搬出側ストッカー２２，不良品用の搬出側ストッカー２３の順序であることが好ましい。これは、一般的に不良品の数が少ないことによる。
The order of placement of the stocker is to carry in the inspected substrate P before inspection into the
搬入側ストッカー２１および搬出側ストッカー２２，２３は、それぞれ上面が開放されたボックス型に形成されており、各ストッカーは、例えば数百枚の被検査基板Ｐを積層してストックし得る容積を備えている。
The carry-in
この実施形態において、搬入側ストッカー２１および搬出側ストッカー２２，２３に積層される最上位の被検査基板Ｐは、それぞれほぼ同一高さ位置（同一平面上）に揃うように、その高さ位置が制御される。
In this embodiment, the uppermost substrates P to be stacked on the carry-in
そのための高さ調整手段として、各ストッカー２１，２２，２３内の最上位の被検査基板Ｐの有無を検知するセンサＳ１，Ｓ２と、被検査基板Ｐを支持して昇降可能な支持脚２４，２５，２６とを備えている。
As height adjustment means therefor, sensors S1 and S2 for detecting the presence or absence of the uppermost inspected substrate P in each
一例として、図２（ａ）に示すように、搬入側ストッカー２１の上端側に設けられるセンサＳ１は、例えば反射型光センサであって、光センサＳ１が発したビームが搬入側ストッカー２１内の最上位の被検査基板Ｐにあたって反射することにより、最上位の被検査基板Ｐの位置を検出する。
As an example, as shown in FIG. 2A, the sensor S <b> 1 provided on the upper end side of the carry-in
一方、図２（ｂ）に示すように、搬出側ストッカー２２，２３の上端側に向かい合って設けられるセンサＳ２は、例えば透過型光センサであって、センサＳ２，Ｓ２間のビームを被検査基板Ｐが遮ることにより、最上位の被検査基板Ｐの位置を検出する。
On the other hand, as shown in FIG. 2B, the sensor S2 provided facing the upper end side of the carry-out
また、支持脚２４，２５，２６は、それぞれ被検査基板Ｐが載置される載置板２４１，２５１，２６１を有し、図示しないモータ等の駆動手段により、被検査基板Ｐの１枚分の厚さに相当するピッチで昇降駆動される。
Each of the
図２（ａ）に示すように、搬入側ストッカー２１から最上位の被検査基板Ｐ１が取り除かれると、センサＳ１がオフになり、これにより上記駆動手段が動作し、次葉の被検査基板ＰによりセンサＳ１がオンになるまで支持脚２４を上昇させる。
As shown in FIG. 2 (a), when the uppermost substrate to be inspected P1 is removed from the carry-in
一方、図２（ｂ）に示すように、搬出側ストッカー２２，２３に最上位となる被検査基板Ｐ２が積層されると、センサＳ２，Ｓ２間のビームが遮られて、センサＳ２がオフになり、これにより上記駆動手段が動作して支持脚２５，２６をセンサＳ２がオンになるまで下降させる。
On the other hand, as shown in FIG. 2B, when the uppermost substrate P2 to be inspected is stacked on the carry-out
このようにして、各ストッカー２１，２２，２３内の最上位の被検査基板Ｐが、それぞれほぼ同一高さ位置（同一平面上）に揃うように、その高さ位置が制御される。
In this way, the height positions of the uppermost substrates P to be inspected in the
搬送手段３０は、図１に示すように、検査部１０とストック部２０との間で水平方向に懸架される搬送ベルト３１と、被検査基板Ｐを真空吸着手段により着脱可能に保持する２つの基板保持部３２，３３とを有している。
As shown in FIG. 1, the transport means 30 includes two
この実施形態において、基板保持部３２，３３は同一構成で、ともに搬送ベルト３１に支持されるが、図１に示すように、基板保持部３２，３３の配置間隔ｂは、上記ストッカーの配置間隔ａと同間隔（ａ＝ｂ）とされ、基板保持部３２，３３は、常に配置間隔ｂを保って移動する。
In this embodiment, the
なお、詳しくは図示されていないが、この実施形態において、搬送ベルト３１には、一対の駆動ローラ間に架け渡された無端ベルトが用いられているが、検査部１０とストック部２０との間に、ガイドレールを水平に架け渡し、基板保持部３２，３３をガイドレールに沿って走行させるようにしてもよい。
Although not shown in detail, in this embodiment, an endless belt spanned between a pair of drive rollers is used as the
基板保持部３２，３３は、所定の駆動手段により搬送ベルト３１の移動方向と直交する垂直方向（Ｚ軸方向）に沿って昇降可能とされるアーム３２１，３３１と、アーム３２１，３３１の下端側に取り付けられた吸着パッド３２２，３３２とを備えている。
The
この実施形態において、アーム３２１，３３１の駆動手段は、図３に示すように、搬送ベルト３１に背板３００を介して取り付けられたモータＭと、モータＭの回転運動を直線運動に変換する送りねじ軸Ｂと従動ナットＮとの組み合わせからなる直動機構とを備え、アーム３２１，３３１は上記直動機構の従動ナットＮに連結され、モータＭによりＺ軸方向に昇降駆動される。
In this embodiment, as shown in FIG. 3, the driving means of the
吸着パッド３２２，３３２は、バキューム配管およびオンオフ切替弁等を介して真空発生器（ともに図示しない）に接続されている。図１に示すように、アーム３２１，３３１には、それぞれ３つの吸着パッド３２２，３３２が設けられているが、吸着パッド３２２，３３２の数は任意であってよい。
The
次に、図４を参照して、この基板検査装置１Ａの動作例について説明する。なお、基板保持部３２，３３のうち、図４（ａ）において、検査部１０に近い方の一方の基板保持部３２が検査前の被検査基板Ｐを検査部１０に搬入する基板搬入用基板保持部で、他方の基板保持部３３が検査済み被検査基板Ｐを検査部１０から搬出する基板搬出用基板保持部である。また、この動作の制御主体は、制御手段１００である。
Next, with reference to FIG. 4, an operation example of the substrate inspection apparatus 1A will be described. Of the
まず、図４（ａ）に示すように、搬送ベルト３１により、基板保持部３２，３３を搬入側ストッカー２１，良品用の搬出側ストッカー２２上に位置決めして、それらのアーム３２１，３３１をともに下降させ、基板保持部３２側の吸着パッド３２２を吸着可能（有効）とし、基板保持部３３側の吸着パッド３３２は吸着不能（無効）として、基板保持部３３の吸着パッド３２２にて搬入側ストッカー２１の最上位の被検査基板Ｐを吸着し、アーム３２１，３３１を降下前の元の位置までともに上昇させる。
First, as shown in FIG. 4A, the
そして、図４（ｂ）に示すように、搬送ベルト３１により、基板保持部３２が検査部１０の検査テーブルＴ上に位置するように、基板保持部３２，３３をストック部２０から検査部１０へと移動させ、それらのアーム３２１，３３１をともに下降させ、基板保持部３２の吸着パッド３２２の吸着を解除（無効）して、被検査基板Ｐを検査テーブルＴに載置したのち、アーム３２１，３３１をともに上昇させる。
Then, as shown in FIG. 4B, the
被検査基板Ｐを検査テーブルＴに載置した後、基板保持部３２，３３は、図４（ｃ）に示すように、被検査基板Ｐの検査終了まで検査テーブルＴ上で待機する。この例では、搬送ベルト３１により、基板保持部３３が被検査基板Ｐの上方に位置する状態で待機している。
After placing the substrate to be inspected P on the inspection table T, the
検査部１０での被検査基板Ｐの検査が終了すると、図４（ｄ）に示すように、基板保持部３２，３３のアーム３２１，３３１をともに下降させ、今度は、基板保持部３３側の吸着パッド３３２を有効とし、基板保持部３３側の吸着パッド３３２は無効として、検査テーブル上の被検査基板Ｐを基板保持部３３の吸着パッド３３２にて吸着し、アーム３２１，３３１をともに上昇させる。
When the inspection of the inspected substrate P in the
次に、搬送ベルト３１により、基板保持部３２，３３を検査部１０からストック部２０へと移動させるが、検査済の被検査基板Ｐが良品である場合には、図４（ｅ）に示すように、基板保持部３３が良品用の搬出側ストッカー２２上に位置するように、基板保持部３２，３３を移動させる。このとき、基板保持部３２は、搬入側ストッカー２１上に位置する。
Next, the
そして、基板保持部３２，３３のアーム３２１，３３１をともに下降させ、基板保持部３３の吸着パッド３３２の吸着を解除して、検査済み良品被検査基板Ｐを良品用の搬出側ストッカー２２へとストックするとともに、図４（ｆ）に示すように、基板保持部３２の吸着パッド３２２を有効として、搬入側ストッカー２１から次に検査する被検査基板Ｐを吸着し、アーム３２１，３３１をともに上昇させる。この一連の動作を各被検査基板Ｐごとに繰り返す。
Then, the
これに対して、検査後の被検査基板Ｐが不良品である場合には、図５（ａ）に示すように、検査済の被検査基板Ｐを基板保持部３３の吸着パッド３３２にて吸着した後、図５（ｂ）に示すように、搬送ベルト３１により、基板保持部３３が不良品用の搬出側ストッカー２３上に位置するように、基板保持部３２，３３を検査部１０からストック部２０へと移動させる。
On the other hand, when the inspected substrate P after the inspection is a defective product, the inspected inspected substrate P is sucked by the
そして、それらのアーム３２１，３３１をともに下降させ、基板保持部３３の吸着パッド３３２の吸着を解除して、被検査基板Ｐを不良品用の搬出側ストッカー２３上にストックさせ、アーム３２１，３３１をともに上昇させる。このとき、基板保持部３２の吸着パッド３２２は無効とされているため、良品用の搬出側ストッカー２３内の被検査基板Ｐを吸着しない。
Then, both the
次に、図５（ｃ）に示すように、搬送ベルト３１により、基板保持部３２が搬入側ストッカー２１上に位置するように、基板保持部３２，３３を移動させた後、それらのアーム３２１，３３１をともに下降させる。
Next, as shown in FIG. 5C, the
そして、基板保持部３２の吸着パッド３２２を有効（このとき、基板保持部３３の吸着パッド３３２は無効）として、図５（ｄ）に示すように、搬入側ストッカー２１から次に検査する被検査基板Ｐを吸着し、アーム３２１，３３１をともに上昇させて、検査部１０へと搬送し、図４（ｂ）〜（ｄ）の動作を経て、検査済の被検査基板Ｐが良品の場合には図４（ｅ）の動作を、検査済の被検査基板Ｐが不良品の場合には図５（ａ），（ｂ）の動作をそれぞれ繰り返す。
Then, the
このように、本発明によれば、基板保持部３２，３３の配置間隔ｂをストッカー２１，２２，２３側の配置間隔ａと同間隔（ａ＝ｂ）とし、また、各ストッカー２１，２２，２３に積層される最上位の被検査基板Ｐが、ほぼ同一水平面上に位置するように高さ調整をしていることにより、検査前の被検査基板Ｐの取り出しと検査済の被検査基板Ｐのストックとを同時に行うことができ、基板搬送時間を短縮することができる。
Thus, according to the present invention, the arrangement interval b of the
また、一般的に不良品の発生数が少ないため、検査部１０から見て、搬入側ストッカー２１，良品用の搬出側ストッカー２２，不良品用の搬出側ストッカー２３の順に各ストッカーを配置することにより、基板保持部３２，３３の移動距離が短くなり、この点も基板搬送時間の短縮に寄与する。
In general, since the number of defective products is small, the stockers are arranged in the order of the carry-in
また、検査前の被検査基板Ｐをストックする搬入側ストッカー２１と、検査済の被検査基板Ｐをストックする搬出側ストッカー２２，２３とを、検査部１０の片側の同一のストック部２０内に配置したことにより、システム全体の専有面積を小さくすることができるとともに、検査部１０への基板搬入と基板搬出の両基板搬送機構の共用化がはかられ、基板搬送機構の構成を大幅に簡素化することができる。
Further, the loading-
さらには、作業者の作業領域が検査部の片側のみとなるため、作業者の作業効率も向上する。 Furthermore, since the work area of the worker is only on one side of the inspection unit, the work efficiency of the worker is improved.
なお、上記実施形態では、制御プログラムの簡素化をはかるうえで、被検査基板Ｐの吸着もしくは解除時に、一律に基板保持部３２，３３のアーム３２１，３３１をほぼ同時に昇降させるようにしているが、例えば図４（ａ）で、基板保持部３２の吸着ヘッド３２２にて搬入側ストッカー２１から被検査基板Ｐを吸着する際、基板保持部３３側のアーム３３１は昇降させないようにしてもよく、このような態様も本発明に含まれる。
In the above-described embodiment, in order to simplify the control program, the
また、上記実施形態では、基板保持部３２，３３を移動させるための搬送手段として、一対の駆動ローラ間に架け渡された無端ベルトを用いているが、本発明の搬送手段には、検査部１０とストック部２０との間に架け渡されたガイドレールで、そのガイドレールに沿って基板保持部３２，３３を上記間隔ｂを保って移動させる態様も含まれる、と理解されたい。
In the above-described embodiment, an endless belt stretched between a pair of drive rollers is used as the transport unit for moving the
１Ａ 基板検査装置
１０ 検査部
２０ ストック部
２１ 搬入側ストッカー
２２ 良品専用の搬出側ストッカー
２３ 不良品専用の搬出側ストッカー
２４，２５，２６ 支持脚
２４１，２５１，２６１ 載置板
２４２，２５２，２６２ 支軸部
３０ 搬送手段
３１ 搬送ベルト
３２，３３ 基板保持部
３２１，３３１ アーム
３２２，３３２ 吸着パッド
Ｐ 被検査基板
Ｔ 検査テーブル
Ｓ センサ
Ｍ モータ
Ｂ ボールねじ
Ｎ 従動ナット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1A Board |
Claims (5)
上記搬入側ストッカーと上記第１および第２搬出側ストッカーの３つのストッカーは、それぞれ同一の間隔をもって上記検査部の片側に配置されている同一のストック部内に並置されており、
上記搬送手段には、上記搬入側ストッカーから検査前の上記被検査基板を保持して上記検査部に搬送する第１の基板保持部と、上記検査部から検査済の上記被検査基板を保持して上記第１もしくは第２搬出側ストッカーに搬送する第２の基板保持部と、上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部を支持して上記検査部と上記ストック部との間に水平移動可能に懸架される搬送ベルトとが備えられ、
上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部には、所定の昇降手段により上記搬送ベルトの移動方向と直交する垂直方向に駆動され、上記被検査基板を着脱可能に吸着する吸着ヘッドがそれぞれ設けられており、
上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部は、上記ストッカーの配置間隔と同一の間隔をもって上記搬送ベルトに支持され、上記第１，第２の各基板保持部がともにそれらの間隔を一定として移動することを特徴とする基板検査装置。 An inspection section for inspecting pass / fail of the substrate to be inspected, a loading side stocker for stocking the substrate to be inspected before inspection, and a first and a second for stocking the substrate to be inspected separately into good and defective products Including two unloading side stockers and a conveying means for conveying the substrate to be inspected to the loading side stocker → the inspecting unit → the unloading side stocker. In the substrate inspection apparatus that sorts out defective products and stores them in one of the carry-out side stockers,
The three stockers of the carry-in side stocker and the first and second carry-out side stockers are juxtaposed in the same stock part arranged on one side of the inspection part with the same interval,
The transport means holds a substrate to be inspected before being inspected from the carry-in stocker and transports the substrate to be inspected to the inspection portion, and holds the substrate to be inspected from the inspection portion. The second substrate holding part transported to the first or second carry-out side stocker, and supporting the first substrate holding part and the second substrate holding part between the inspection part and the stock part And a conveyor belt that is suspended horizontally.
The first substrate holding unit and the second substrate holding unit are driven in a vertical direction perpendicular to the moving direction of the transport belt by predetermined lifting means to suck the substrate to be inspected detachably. Are provided,
The first substrate holding unit and the second substrate holding unit are supported by the conveyor belt at the same interval as the arrangement interval of the stocker, and both the first and second substrate holding units are spaced apart from each other. The substrate inspection apparatus is characterized in that it moves with a constant value.
上記制御手段は、第１ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第１の基板保持部が上記搬入側ストッカー上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドのみを有効として、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドにて上記搬入側ストッカー内の検査前の上記被検査基板を吸着保持させたのち、上記各吸着ヘッドを上昇させ、
第２ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第１の基板保持部が上記検査部上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドを無効にして上記検査前の上記被検査基板を上記検査部上に載置して、上記各吸着ヘッドを上昇させ、
第３ステップとして、上記検査部にて上記被検査基板の検査を行わせ、
第４ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第２の基板保持部が上記検査部上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドのみを有効として、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドにて上記検査部上の検査済み上記被検査基板を吸着保持させたのち、上記各吸着ヘッドを上昇させ、
第５ステップとして、上記検査部での良品，不良品の検査結果に応じて、上記搬送ベルトにより上記第２の基板保持部が上記搬出側ストッカーのいずれか一方の上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドを無効にして上記検査済み上記被検査基板を上記いずれか一方の搬出側ストッカー内に収納させ、
上記検査前の上記被検査基板ごとに、上記第１ステップないし上記第５ステップを繰り返し実行することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の基板検査装置。 At least control means for controlling each operation of the conveying means, the elevating means and the suction head;
As a first step, the control means moves the first and second substrate holders so that the first substrate holder is positioned on the carry-in side stocker by the conveyor belt, and then moves up and down. Each suction head is lowered by means, and only the suction head of the first substrate holding part is made effective, and the substrate to be inspected before inspection in the loading-side stocker by the suction head of the first substrate holding part After sucking and holding the above, each suction head is raised,
As a second step, after the first and second substrate holders are moved by the conveyor belt so that the first substrate holder is positioned on the inspection unit, the suction heads are moved by the elevating means. And lowering the suction head of the first substrate holding part, placing the substrate to be inspected before the inspection on the inspection part, raising the suction heads,
As a third step, the inspection unit is inspected by the inspection unit,
As a fourth step, after the first and second substrate holders are moved by the conveyor belt so that the second substrate holder is positioned on the inspection unit, the suction heads are moved by the elevating means. , The suction head of the second substrate holding part is made effective, and the inspected substrate on the inspection part is sucked and held by the suction head of the second substrate holding part. Raise each suction head,
As a fifth step, the second substrate holding unit is positioned on one of the carry-out side stockers by the conveyor belt according to the inspection result of the non-defective product and the defective product in the inspection unit. After moving the first and second substrate holders, the suction heads are lowered by the elevating means to invalidate the suction heads of the second substrate holder and the inspected substrates to be inspected Store in one of the unloader stockers,
4. The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein the first step to the fifth step are repeatedly executed for each of the substrates to be inspected before the inspection.
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