JP2015200545A - 半導体部品の検査装置 - Google Patents
半導体部品の検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015200545A JP2015200545A JP2014078694A JP2014078694A JP2015200545A JP 2015200545 A JP2015200545 A JP 2015200545A JP 2014078694 A JP2014078694 A JP 2014078694A JP 2014078694 A JP2014078694 A JP 2014078694A JP 2015200545 A JP2015200545 A JP 2015200545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spring
- semiconductor component
- probe
- support member
- inspection apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】半導体部品の電気特性を検査する検査装置において、半導体部品に当接するプローブホルダによって、半導体部品に損傷を与えない検査装置を提供する。
【解決手段】駆動軸12が制御運転されプローブホルダ14は下降すると、搭載部1のステージ5に設置の支持機構60の支持部材6に支持され、第1のバネ9と共に下降を続け、支持部材6の突出部6bと第2のバネ10との間に所定の隙間値Sを形成する状態でプローブホルダ14が停止、テスタ3によって検査を行う。
【選択図】図5
【解決手段】駆動軸12が制御運転されプローブホルダ14は下降すると、搭載部1のステージ5に設置の支持機構60の支持部材6に支持され、第1のバネ9と共に下降を続け、支持部材6の突出部6bと第2のバネ10との間に所定の隙間値Sを形成する状態でプローブホルダ14が停止、テスタ3によって検査を行う。
【選択図】図5
Description
この発明は、半導体部品の検査装置に関するもので、特に半導体部品に通電試験を行うための検査装置に係るものである。
半導体部品は、製造工程の様々な段階においてテストを行うことが要求されている。その例として、ベアチップ状態および半導体チップ状態におけるテストとして、半導体部品の電極端子にプローブを接触させて電気特性を確認するものがある。このような半導体部品のテストを行う従来技術として、プローブカードアセンブルを支持する支持構造が半導体装置の方へ、あるいは半導体装置が前記プローブカードアセンブルの方に移動後、支持構造と半導体装置とが制御装置に電気的に接続されるとともに、プローブカードアセンブルに設けられたオーバトラベルストップアセンブルには、一対の剛直な支柱およびストッププレートが設けられ、支柱は一端において間隔変換器に固定されその対向する端部にストッププレートが取付けられたものが示されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら上記特許文献1に示された技術は、オーバトラベルストップアセンブルのストッププレートが検査対象の半導体装置に接触する構造であるため、半導体装置に傷がつく、もしくは半導体装置が破壊する可能性がある。またプローブカードアセンブルのプローブ治具は、検査対象の半導体装置の仕様によっては電極位置が異なるため、検査対象の半導体装置ごとにプローブ治具を準備する必要があり、とりわけ上記特許文献1に示された構造では、準備するプローブ治具すべてにオーバトラベルストップアセンブルを設ける必要があり、プローブ治具が高価になるという問題点がある。
この発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、半導体部品に損傷を与えることなく、簡易的な構成でかつ、プローブ押し込み量が許容範囲内となる半導体部品の検査装置を提供することを目的とする。
第1の発明は、半導体部品をステージ上に固定する搭載部と、プローブを設置したプローブホルダを上下移動させる駆動部と、テスタとが設けられた半導体部品の検査装置において、プローブホルダは、駆動部の制御駆動によって下降し、搭載部のステージに設けられた支持機構の支持部材によって支持されるとともに、支持機構に設けられた第1のバネが圧縮されて支持部材が下降し、第1のバネの外側に設けられた第2のバネの上面が、支持部材に設けられた突出部と所定の隙間値を有する位置においてプローブホルダが下降停止するように配置され、半導体部品にプローブが当接して押し込まれて、テスタによって半導体部品の検査を行うものである。
第2の発明は、半導体部品をステージ上に固定する搭載部と、プローブを設置したプローブホルダを上下移動させる駆動部と、テスタとが設けられた半導体部品の検査装置において、プローブホルダは、駆動部の制御駆動によって下降し、搭載部のステージに設けられた支持機構の支持部材によって支持されるとともに、支持機構に設けられた第1のバネが圧縮されて支持部材が下降し、支持機構に設けられた第2のバネが支持部材の突出部に当接して、プローブホルダが下降停止するものである。
第1の発明に係る半導体部品の検査装置は、上記のような構成を採用しているので、半導体部品に接触する部材はプローブ先端のみであり、かつプローブが過大な押し込み量で半導体部品に押し込まれないよう第2のバネの上面と支持部材の突出部との間に所定の隙間値を形成する状態でプローブが下降停止されるので、簡単な構造で、コスト低減され、かつ半導体部品表面への傷付きや、半導体部品の破壊を抑制した半導体部品の検査装置となるという効果がある。
第2の発明に係る半導体部品の検査装置は上記のような構成を採用しているので、駆動部に何らかの要因によって動作不良が発生してプローブホルダと支持部材とが下降し続けたとしても、支持部材の突出部に第2のバネが当接することで、第1のバネと第2のバネの反力発生による過負荷を駆動部が検出してプローブホルダを下降停止とするので、プローブホルダや、プローブの破損を回避できるという効果がある。
実施の形態1.
以下、この発明による半導体部品の検査装置を図に基づいて説明する。
図1は実施の形態1による半導体部品の検査装置(以下、検査装置と略す)100を示す概略図であり、後述するチップの搭載部1の上部に駆動部2が離れて配置された状態を示す図である。尚この実施の形態1および後述する実施の形態2において、半導体部品としてウェハからダイシング後のベアチップの例を示すが、これに限定されず樹脂モールド後の半導体チップであってもよい。尚、以下、これら半導体部品をチップと称す。図1において、検査装置100は、チップの搭載部1と駆動部2とテスタ3とから構成されている。前記搭載部1の詳細を図2に、また駆動部2の詳細を図3に示す。図2に示すように搭載部1のステージ5には、ステージ上面5aからステージ下面5bにかけて、図示省略した複数の貫通穴のそれぞれに、前記駆動部2を支持する支持機構60が設けられている。また、同じくステージ上面5aからステージ下面5bにかけて貫通する排気穴11が所定位置に所定数設けられているとともに、このステージ上面5aには検査対象のチップ7が所定数搭載され、前記排気穴11に接続される図示省略の排気装置によって、前記チップ7がステージ上面5aに強固に真空吸着される。尚、排気穴11の大きさと個数はチップ7の寸法や、ステージ5に搭載されるチップ7の個数によって適宜最適なものが選択される。このステージ5の材質は銅または銅合金製とし、耐摩擦性と耐食性の向上のため、金メッキ等のメッキが施されている。
以下、この発明による半導体部品の検査装置を図に基づいて説明する。
図1は実施の形態1による半導体部品の検査装置(以下、検査装置と略す)100を示す概略図であり、後述するチップの搭載部1の上部に駆動部2が離れて配置された状態を示す図である。尚この実施の形態1および後述する実施の形態2において、半導体部品としてウェハからダイシング後のベアチップの例を示すが、これに限定されず樹脂モールド後の半導体チップであってもよい。尚、以下、これら半導体部品をチップと称す。図1において、検査装置100は、チップの搭載部1と駆動部2とテスタ3とから構成されている。前記搭載部1の詳細を図2に、また駆動部2の詳細を図3に示す。図2に示すように搭載部1のステージ5には、ステージ上面5aからステージ下面5bにかけて、図示省略した複数の貫通穴のそれぞれに、前記駆動部2を支持する支持機構60が設けられている。また、同じくステージ上面5aからステージ下面5bにかけて貫通する排気穴11が所定位置に所定数設けられているとともに、このステージ上面5aには検査対象のチップ7が所定数搭載され、前記排気穴11に接続される図示省略の排気装置によって、前記チップ7がステージ上面5aに強固に真空吸着される。尚、排気穴11の大きさと個数はチップ7の寸法や、ステージ5に搭載されるチップ7の個数によって適宜最適なものが選択される。このステージ5の材質は銅または銅合金製とし、耐摩擦性と耐食性の向上のため、金メッキ等のメッキが施されている。
前記支持機構60を構成する支持部材6は、前記ステージ上面5aから突出するように設けられているとともに、その上部には前記駆動部2を支持するための支持面6aを有しており、前記ステージ下面5bに設けられた支持部材受け8の図示省略したリニアブッシュによって支持されている。また支持部材受け8の上部にはバネ受け120が設けられており、このバネ受け120と支持部材6に設けられた突出部6bの下面との間に、支持部材6の外周を取り囲む例えばうず巻き状の第1のバネ9と、この第1のバネ9の外側に設けられた複数のうず巻き状の第2のバネ10とが設けられている。尚、第2のバネ10は図2において2個設ける例を示したが、2個以上であってもよく、また第1のバネ9の外径より大きい内径を有して外周を取り囲む大径のバネであってもよい。これら第1のバネ9の第1のバネ定数aと、第2のバネ10の第2のバネ定数bは異なっており、バネ定数a<バネ定数bとしている。また図1に示したような搭載部1に駆動部2が搭載されていない状態においては、第1のバネ9はバネ受け120を介し、支持部材6の突出部6bの上面がステージ上面5aと同一平面となるよう、長さL1の状態で支持部材6を支持しているとともに、第2のバネ10は無負荷状態での自由長L2で設置されている。すなわちL1>L2とされている。支持部材6は、支持部材受け8に設けられ図示省略のリニアブッシュによって動作方向を制限され、図1に示した駆動部2が動作してプローブホルダ14が下降し、支持部材6の支持面6aに接すると、ステージ5内で下方向に摺動するとともに、プローブホルダ14が支持面6aから離れるに伴い、第1のバネ9の反力によって図2に示す状態に戻る。この動作については後に詳述する。支持部材6の材質は金属が用いられるが、電気的絶縁性を必要とする場合には樹脂とする。この樹脂としてはエンジニアリングプラスチック、例えばポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリフェニルンスルファイド(PPS)等が用いられる。尚この実施の形態1では支持機構60を2個設ける例を示したが、チップ7の寸法や個数によって2個以上設けてもよい。
図3に示すように駆動部2には、モータ4、駆動軸12、ホルダ13、プローブホルダ14、プローブ15が設けられている。駆動源としての前記モータ4はサーボモータ、ステッピングモータ等の電動駆動方式あるいは空圧駆動方式のいずれかより適宜選択され、このモータ4によって駆動軸12が駆動される。この駆動軸12にはプローブホルダ14を固定したホルダ13が設置されており、駆動軸12の駆動によって図1に示した搭載部1に対して前記ホルダ13が上昇下降移動する。プローブホルダ14をホルダ13に固定する方式としては、エアシリンダやトグルクランプ、ボルト締結方式があるが、図3では図示省略したボルトによって固定した場合を示している。プローブホルダ14にはプローブ15が設けられており、このプローブ15は検査対象のチップ7の仕様(大きさ、耐圧特性等)によって、スプリングプローブ、ワイヤプローブ等から最適なものが選択され、また、チップ7の種類や電極数に合わせた本数のプローブ15が設置されている。図3ではプローブ15としてのスプリングプローブがプローブホルダ14から搭載部1の方向に突き出した状態で保持されている。図4はプローブ15の許容する最大押し込み量Sと、第2のバネ10と支持部材6の下面と第2のバネ10との距離Cを示す図である。すなわち駆動部2が下降してプローブ15がチップ7に当接する際、プローブホルダ14に保持されたプローブ15が許容する最大押し込み量Sと、ステージ5に設けられた支持部材6の突出部6bの下面と第2のバネ10との距離Cが、S>Cとなるように組み立てられている。
検査装置100を用いてチップ7のテスト時の様子を図5で説明する。図5(a)に示すように、ステージ上面5aに真空吸着・固定されたチップ7に対して、モータ4を運転制御し駆動軸12を介しプローブホルダ14を下降させ、プローブ15をチップ7の表面に当接した後、さらにプローブホルダ14をチップ7側に下降移動させることで、プローブ15がチップ7に押し込まれる。この押し込み量は第2のバネ10の上面と突出部6bの下面との間に形成される隙間が所定の隙間値Hとなる押し込み量とし、予め駆動部2のモータ4の制御がなされるよう選定されている。そしてこの押し込み量はプローブ15の種類によって異なるが、一般的にはプローブ15の許容最大押し込み量Sの2/3以下に設定されている。プローブ15がスプリングプローブであればスプリングが撓むことによって発生する荷重分、ワイヤプローブであればワイヤプローブ自体が撓むことによって発生する荷重をチップ7に付加させることで、チップ7とプローブ15との接触抵抗が安定化される。
図5(b)に示す状態において、ステージ5とプローブ15に接続しているテスタ3から、所定の電圧、電流をチップ7に供給し、テストを行う。なお、チップ7の表面に形成され、プローブ15の先端と接触する表面電極としては、例えば、ダイオード(Diode)の場合は、アノード電極、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)の場合はエミッタ電極、MOSFET(Metal−oxide Semiconductor Field Effect Transistor)の場合はソース電極などである。図5(b)に示すように、駆動部2が正常に動作をしている場合は、チップ7に接触しているものは、プローブ15のみであり、かつチップ7に対するプローブ15の押し込み量は、常に許容最大押し込み量S以下となる。このとき、ステージ5に組込まれた支持部材6は、第1のバネ9のみを縮めており、第2のバネ10には接触しておらず、支持部材6と第2のバネ10との間には、所定の隙間値Hが存在する。前述したようにこの所定の隙間値Hは、プローブ15の許容最大押し込み量Sの2/3以下の場合に形成される隙間となるようモータ4が制御される。従って、テスト時にチップ7に損傷を与えず歩留りが向上する。
図5(b)に示す状態において、ステージ5とプローブ15に接続しているテスタ3から、所定の電圧、電流をチップ7に供給し、テストを行う。なお、チップ7の表面に形成され、プローブ15の先端と接触する表面電極としては、例えば、ダイオード(Diode)の場合は、アノード電極、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)の場合はエミッタ電極、MOSFET(Metal−oxide Semiconductor Field Effect Transistor)の場合はソース電極などである。図5(b)に示すように、駆動部2が正常に動作をしている場合は、チップ7に接触しているものは、プローブ15のみであり、かつチップ7に対するプローブ15の押し込み量は、常に許容最大押し込み量S以下となる。このとき、ステージ5に組込まれた支持部材6は、第1のバネ9のみを縮めており、第2のバネ10には接触しておらず、支持部材6と第2のバネ10との間には、所定の隙間値Hが存在する。前述したようにこの所定の隙間値Hは、プローブ15の許容最大押し込み量Sの2/3以下の場合に形成される隙間となるようモータ4が制御される。従って、テスト時にチップ7に損傷を与えず歩留りが向上する。
図6は検査装置100の駆動部2に何らかの要因で異常が発生し、図1に示した駆動軸12がオーバランして所定の位置で停止しない状態を示す図である。このような状態でプローブ15のチップ7に対する押し込み量が、プローブ15の許容最大押し込み量Sの2/3を超えると、図6に示すようにステージ5に組込まれた支持部材6の突出部6bの下面は、第1のバネ9に加え、第2のバネ10に接触する。図7にプローブ15のチップ7への押し込み量に対する第1のバネ9ならびに第2のバネ10が支持部材6を介して駆動軸12へ付加する反力との関係を示す。プローブ15の押し込み量に対する第1のバネ9ならびに第2のバネ10から受ける荷重を図7に示すように、プローブ15の許容最大押し込み量Sの(2/3)S+Hを超えたところから、反力を急増させることで、最大押し込み量になる前に、モータ4が過負荷検知を行い運転停止とし、駆動軸12を停止させることができる。また、このような機能を満足させるために、支持部材6の設置本数、第1のバネ9のバネ定数aと第2のバネ10のバネ定数bならびに第1のバネ9と第2のバネ10の設置本数は、適宜最適なものを選択できるものとする。以上のように、この実施形態1によれば、チップ7のテスト時に駆動軸12の動作異常が発生しても、チップ7に対してプローブ15からの過度な負荷の印加ならびにプローブ15以外のものが接触することによる傷付きを防止することが可能であり、チップ7の歩留りが向上する。また、検査装置100は、プローブ15を保持させるだけの安価な構造にすることができる。
実施の形態2.
実施の形態2を図8に示す。この実施の形態2は前述した実施の形態1の支持機構60に設けられたバネ受け120上の第2のバネ10に代替して台座17とこの台座17上の例えばシリコンゴムの弾性板16を設けたものである。この弾性板16は前述の第2のバネ10と同等の第2のバネ定数bを有している。弾性板16と突出部6b下面との距離Cは、実施の形態1と等しいものとする。このような構成を採用することで実施の形態1で示した駆動軸12がオーバランした場合の図7で得られる効果と同様の効果を得ることができる。
実施の形態2を図8に示す。この実施の形態2は前述した実施の形態1の支持機構60に設けられたバネ受け120上の第2のバネ10に代替して台座17とこの台座17上の例えばシリコンゴムの弾性板16を設けたものである。この弾性板16は前述の第2のバネ10と同等の第2のバネ定数bを有している。弾性板16と突出部6b下面との距離Cは、実施の形態1と等しいものとする。このような構成を採用することで実施の形態1で示した駆動軸12がオーバランした場合の図7で得られる効果と同様の効果を得ることができる。
尚、この発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
1 搭載部、2 駆動部、3 テスタ、5 ステージ、6 支持部材、6b 突出部、7 チップ、9 第1のバネ、10 第2のバネ、120 バネ受け、
14 プローブホルダ、15 プローブ、16 弾性板、17 台座、60 支持機構、100 検査装置、H 所定の隙間値。
14 プローブホルダ、15 プローブ、16 弾性板、17 台座、60 支持機構、100 検査装置、H 所定の隙間値。
Claims (11)
- 半導体部品をステージ上に固定する搭載部と、プローブを設置したプローブホルダを上下移動させる駆動部と、テスタとが設けられた前記半導体部品の検査装置において、前記プローブホルダは、前記駆動部の制御駆動によって下降し、前記搭載部の前記ステージに設けられた支持機構の支持部材によって支持されるとともに、前記支持機構に設けられた第1のバネが圧縮されて前記支持部材が下降し、前記第1のバネの外側に設けられた第2のバネの上面が、前記支持部材に設けられた突出部と所定の隙間値を有する位置において前記プローブホルダが下降停止するように配置され、前記半導体部品に前記プローブが当接して押し込まれて、前記テスタによって前記半導体部品の検査を行うことを特徴とする半導体部品の検査装置。
- 半導体部品をステージ上に固定する搭載部と、プローブを設置したプローブホルダを上下移動させる駆動部と、テスタとが設けられた前記半導体部品の検査装置において、前記プローブホルダは、前記駆動部の制御駆動によって下降し、前記搭載部の前記ステージに設けられた支持機構の支持部材によって支持されるとともに、前記支持機構に設けられた第1のバネが圧縮されて前記支持部材が下降し、前記支持機構に設けられた第2のバネが前記支持部材の突出部に当接して、前記プローブホルダが下降停止することを特徴とする半導体部品の検査装置。
- 前記所定の隙間値は、前記プローブが前記半導体部品に当接して押し込まれる際に、前記プローブに許容される最大押し込み量以下の場合に形成される所定の隙間値であることを特徴とする請求項1に記載の半導体部品の検査装置。
- 前記第2のバネに代替して設けられた台座の上面の弾性板が前記支持部材に設けられた突出部に当接して、前記プローブホルダが下降停止するように配設されたことを特徴とする請求項2に記載の半導体部品の検査装置。
- 前記支持機構は、前記ステージに2個以上設けられていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の半導体部品の検査装置。
- 前記半導体部品はベアチップあるいは樹脂モールドされた半導体チップのいずれかであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の半導体部品の検査装置。
- 前記プローブは複数本設置されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の半導体部品の検査装置。
- 前記駆動部は電動駆動方式あるいは空圧駆動方式のいずれかであることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の半導体部品の検査装置。
- 前記第1のバネおよび前記第2のバネはうず巻き状のバネであるとともに、前記第1のバネは前記支持部材の外周を取り囲むように設けられているとともに、前記第2のバネは前記第1のバネの外側に複数個設けられていることを特徴とする請求項1から請求項3および請求項5から請求項8のいずれか1項に記載の半導体部品の検査装置。
- 前記第1のバネおよび前記第2のバネはうず巻き状のバネであるとともに、前記第2のバネは前記第1のバネの外径よりも大きい内径を有して、前記第1のバネを取り囲むように設けられたことを特徴とする請求項1から請求項3および請求項5から請求項8のいずれか1項に記載の半導体部品の検査装置。
- 前記第1のバネのバネ定数<前記第2のバネのバネ定数とすることを特徴とする請求項1から請求項3および請求項5から請求項10のいずれか1項に記載の半導体部品の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014078694A JP2015200545A (ja) | 2014-04-07 | 2014-04-07 | 半導体部品の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014078694A JP2015200545A (ja) | 2014-04-07 | 2014-04-07 | 半導体部品の検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015200545A true JP2015200545A (ja) | 2015-11-12 |
Family
ID=54551924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014078694A Pending JP2015200545A (ja) | 2014-04-07 | 2014-04-07 | 半導体部品の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015200545A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117572220A (zh) * | 2024-01-16 | 2024-02-20 | 深圳市圆朗智能科技有限公司 | 一种半导体测试机 |
-
2014
- 2014-04-07 JP JP2014078694A patent/JP2015200545A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117572220A (zh) * | 2024-01-16 | 2024-02-20 | 深圳市圆朗智能科技有限公司 | 一种半导体测试机 |
CN117572220B (zh) * | 2024-01-16 | 2024-04-30 | 深圳市圆朗智能科技有限公司 | 一种半导体测试机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI522630B (zh) | Probe device | |
KR101985253B1 (ko) | 전기적 접촉자 및 전기적 접속장치 | |
JP6317270B2 (ja) | 電気的接続装置およびポゴピン | |
US9007081B2 (en) | Jig for use in semiconductor test and method of measuring breakdown voltage by using the jig | |
CN102798738B (zh) | 半导体测试夹具 | |
JP5067280B2 (ja) | 半導体ウエハ測定装置 | |
WO2013042467A1 (ja) | プローブ装置 | |
CN108254667B (zh) | 评价装置及评价方法 | |
CN103529249A (zh) | 半导体试验夹具及使用该夹具的半导体试验方法 | |
KR102205376B1 (ko) | 기판 검사 방법 및 기판 검사 장치 | |
JP2011091262A (ja) | プローバおよびプローブ検査方法 | |
CN102998606B (zh) | 半导体元件的特性试验装置和半导体元件的特性试验方法 | |
JP6407128B2 (ja) | 半導体装置の評価装置および半導体装置の評価方法 | |
US20100182029A1 (en) | Electrical testing device and electrical testing method for electronic device | |
KR101416266B1 (ko) | 반도체소자 검사용 전기 연결 소자 | |
JP2015200545A (ja) | 半導体部品の検査装置 | |
KR102063762B1 (ko) | Bga 타입 전자부품 연결용 커넥터 및 그 제조방법 | |
JP6790974B2 (ja) | 半導体素子の検査装置 | |
KR20170091984A (ko) | 반도체 패키지 테스트 장치 | |
JP2014006097A (ja) | ソケット、トレイ、基板組立体、及び電子部品試験装置 | |
CN109844550B (zh) | 检查装置及检查方法 | |
JP2011106980A (ja) | プローブカード | |
KR100787087B1 (ko) | 최종시험공정에서의 반도체 특성 시험용 소켓 핀 | |
US10274535B2 (en) | Electric component socket | |
CN210110714U (zh) | 场效应管贴片元件电性能测试用防管脚变形装置 |