JP2015194585A - 光結合構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】高密度な光配線が可能な多層光導波路の層間を、より高い効率で光結合できるようにした光結合構造を提供する。【解決手段】基板101の上に形成された下部クラッド層102と、下部クラッド層102の上に形成された第1コア層103と、第1コア層103の上に形成された層間クラッド層104と、層間クラッド層104の上に形成された第2コア層105と、第2コア層105の上に形成された上部クラッド層106とを備える。また、第1コア層103と第2コア層105とが互いに平行に重なる結合領域107を備え、結合領域107の第1コア層103および第2コア層105の間の層間クラッド層104に形成された中間コア108を備える。【選択図】図1
Description
本発明は、多層光導波路の層間を光結合する光結合構造に関する。
近年、電子回路の処理能力の向上や消費電力の低減にむけて、電気配線に代えて光配線を電子回路チップ上に構築する技術の開発が進められている。これらの技術においては、電気配線と同様に光配線にも多層配線が求められ、この要求に応えるために、アモルファスシリコンや窒化シリコンを用いた多層光導波路システムが提案されている。通常、光導波路は、平面内に回路を構築するが、上述した多層光導波路システムにおいては、各光導波路層間の光信号の交換、即ち多層光導波路層間の光結合が必要である。
このような多層光導波路層間の光結合構造としては、現在、図6の(a)に示すような、グレーティングカップラを用いた構造が提案されている(非特許文献1)。また、図6の(b)に示す方向性結合器を用いた構造(非特許文献2)、および図6の(c)に示す対向逆テーパーを用いた構造(非特許文献3)なども提案されている。
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しかしながら、上述した多層光導波路層間の光結合構造は、いずれも通信用の1550nm近傍波長帯域で実現されているが、実用上大きな問題をかかえている。まず、グレーティングカップラを用いた光結合構造は、回折を利用するので一般に結合効率が低く、非特許文献1によれば結合効率は20%程度と非常に低い。また、グレーティングカップラを用いた光結合構造は、波長帯域も狭く波長1550nm帯の赤外光における90%動作帯域は計算上でも10nm程度である。
次に、方向性結合器を用いた光結合構造は、そもそも隣接層の光導波路が結合できるよう近づけた層間距離になっているため、隣接層の光導波路は、チップ面内の同じ位置に重ねて並走配置することができない。この問題を避けるため、非特許文献2では、隣接層の光導波路は、光導波路進行方向に対して垂直方向にずらした位置に配置し、曲線光導波路を用いて光結合部だけを重ねる構造となっている。しかしながら、このような構造では光導波路の水平面内の配列間隔を広くせざるを得ず、高密度な光配線が困難となる。
次に、対向逆テーパーを用いた光結合構造は、まず入力側光導波路は途中で消失してしまうため、任意の分岐比での層間結合が不可能であり、光スイッチなどの干渉計を構成することができない。また、非特許文献2の技術と同様に、層間距離が近いため、高密度な光配線は困難である。さらに、非特許文献2の参考文献5にあるように、この種の逆テーパーデバイスでは層間結合に必要な距離は一般に数百μmと非常に長くなり、やはり高密度な光配線が困難となる。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、高密度な光配線が可能な多層光導波路の層間を、より高い効率で光結合できるようにすることを目的とする。
本発明に係る光結合構造は、基板の上に形成された下部クラッド層と、下部クラッド層の上に形成された第1コア層と、第1コア層の上に形成された層間クラッド層と、層間クラッド層の上に形成された第2コア層と、第2コア層の上に形成された上部クラッド層と、第1コア層と第2コア層とが互いに平行に重なる結合領域と、結合領域の第1コア層および第2コア層の間の層間クラッド層に形成された中間コアとを備え、第1コア層と第2コア層との積層方向の間隔は、第1コア層と第2コア層との間に光結合が起きない距離とされ、第1コア層と中間コアとの積層方向の間隔は、第1コア層と中間コアとの間に光結合が可能な距離とされ、第2コア層と中間コアとの積層方向の間隔は、第2コア層と中間コアとの間に光結合が可能な距離とされている。
以上説明したように、中間コアを設けるようにしたので、本発明によれば、高密度な光配線が可能な多層光導波路の層間が、より高い効率で光結合できるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。図1は、本発明の実施の形態における光結合構造の構成を示す断面図である。また、図2は、本発明の実施の形態における光結合構造の一部構成を示す断面図である。
この光結合構造は、基板101の上に形成された下部クラッド層102と、下部クラッド層102の上に形成された第1コア層103と、第1コア層103の上に形成された層間クラッド層104と、層間クラッド層104の上に形成された第2コア層105と、第2コア層105の上に形成された上部クラッド層106とを備える。第1コア層103とこの上下のクラッド層とにより第1光導波路が構成され、第2コア層105とこの上下のクラッド層とにより第2光導波路が構成されている。
また、第1コア層103と第2コア層105とが互いに平行に重なる結合領域107を備え、結合領域107の第1コア層103および第2コア層105の間の層間クラッド層104に形成された中間コア108を備える。中間コア108は、結合領域107において、第1コア層103および第2コア層105の両者に対して平行に延在して配設されている。例えば、中間コア108は、結合領域107にのみ形成されている。
なお、第1コア層103,第2コア層105,中間コア108のコア断面寸法は、これらによる光導波路が単一モードか単一モードに準じるモード条件を満たす状態になることが好ましい。忠、コア幅の広い多モード光導波路の場合でも、最低次モードを選択的に利用することにより本発明の効果を得ることは可能である。
また、第1コア層103と第2コア層105との積層方向の間隔は、第1コア層103と第2コア層105との間に光結合が起きない距離とされている。一方、第1コア層103と中間コア108との積層方向の間隔は、第1コア層103と中間コア108との間に光結合が可能な距離とされている。また、第2コア層105と中間コア108との積層方向の間隔は、第2コア層105と中間コア108との間に光結合が可能な距離とされている。
なお、第1コア層103による光導波路は、第1光導波路を構成する図示しない光配線部に接続し、第2コア層105による光導波路は、第2光導波路を構成する図示しない光配線部に接続している。
例えば、よく知られたSOI(Silicon on Insulator)基板を用い、SOI基板の埋め込み酸化層を下部クラッド層102とすればよい。また、SOI基板の表面シリコン層を、公知のリソグラフィー技術およびエッチング技術によりパターニングすることで、第1コア層103を形成すればよい。また、第1コア層103を形成した後、よく知られた化学的気相成長法やスパッタ法などの堆積法によりSiO2を堆積し、堆積したSiO2膜の表面を公知の平坦化技術により平坦化することで、下側の層間クラッド層104を形成すればよい。
次に、下側の層間クラッド層104を形成した後、化学的気相成長法やスパッタ法などの堆積法によりSiを堆積し、堆積したSi膜を公知のリソグラフィー技術およびエッチング技術によりパターニングすることで、中間コア108を形成すればよい。次に、中間コア108を形成した後、よく知られた化学的気相成長法やスパッタ法などの堆積法によりSiO2を堆積し、堆積したSiO2膜の表面を公知の平坦化技術により平坦化することで、上側の層間クラッド層104を形成すればよい。
次に、上述したように中間コア108が埋め込まれた状態に層間クラッド層104を形成した後、化学的気相成長法やスパッタ法などの堆積法によりSiを堆積し、堆積したSi膜を公知のリソグラフィー技術およびエッチング技術によりパターニングすることで、第2コア層105を形成すればよい。また、第2コア層105を形成した後、よく知られた化学的気相成長法やスパッタ法などの堆積法によりSiO2を堆積し、上部クラッド層106を形成すればよい。
上述した構成とすることで、中間コア108の長さ(結合領域107の長さ)を適宜に決定すれば、中間コア108による光導波路を介し、上下の第1光導波路と第2光導波路との間で、光を任意の結合度で結合(層間結合)させることが可能となる。
以下に、波長1550nm近傍の赤外線において、コアにシリコン(屈折率3.478)、クラッドに酸化シリコン(屈折率1.444)に適用して、上述した実施の形態の光結合構造を形成した場合の例を示す。シリコンコアの断面形状は、第1コア層103,第2コア層105に対して通常の単一モード光導波路を想定し、概ね400×200nm程度とした(非特許文献5)。光伝搬シミュレーションによれば、結合領域107以外の領域において、第1光導波路(第1コア層103)と第2光導波路(第2コア層105)における層間結合は、層間クラッド層104の層厚が1.2μm以上であれば抑制されることが見いだされており、ここでは1.2μmとする。なお、層間結合については、層間クラッド層104を介して上下に各コアが重なっている領域を対象としている。
また、中間コア108の断面形状は、任意に設定可能であるが、ここでは、上述同様に、コア断面形状を400×200nm程度とした。また、入射偏波はTEモードとする。
以上の構造に対して上側の第2光導波路の第2コア層105による光導波路の一端に光を入射した場合の、中間コア108を介した下側の第1光導波路への光透過率の結合領域107(中間コア108)の長さ依存性の計算結果を図3に示す。計算方法は、上段の第2コア層105、下段の第1コア層103、および中間の中間コア108の3層光導波路構造の垂直断面における伝搬固有モード、および上段のみと下段のみの光導波路の伝搬固有モードを有限差分法(FDM法)により求め、上段のみの光導波路の伝搬モードを3層部分の固有モードに展開して、3層部分において固有モード毎に伝搬させ、伝搬後の各固有モードを下段のみの光導波路の伝搬モードに展開し、入力から出力への強度比を求めた(固有モード伝搬法、非特許文献4参照)。
図3に示すように、中間コア108を設けた本発明の光結合構造によれば、上下の光導波路は、結合領域107において光結合が可能となることがわかる。結合度は結合領域107の長さに応じて変化し、結合領域107の長さが42.5μmの時に完全に光は相手側の光導波路に移動する。本発明の光結合構造により、結合領域107の長さは非特許文献3の構造に比べ非常に短くすることが可能である。また、結合効率はほぼ100%であり、非特許文献1のグレーティングカップラの5倍の高効率である。
ところで、中間コア108のコア断面寸法を無限小した場合、言い換えると、中間コア108を備えていない構成についても、上述同様の計算を実施したが、この場合は、層間結合は発生せず、上下の光導波路は独立に伝搬可能であることが判明している。従って、本発明における光結合構造において、結合領域107以外の上下の光導波路は自由に配置でき、上下に隣り合う光導波路を、同じ位置に重ねて並走配置することが可能であり、非特許文献2の課題が解決される。
次に、結合領域107の長さを42.5μmとした場合の、波長依存性について、図4を用いて説明する。図4は、長さを42.5μmとした結合領域107における結合度の波長依存を示す特性図である。図4に示すように、90%動作帯域が、50nm(1.525〜1.575μm)と非常に広い。
次に、結合領域107の長さを42.5μmとした場合の、光の伝搬状態について図5を用いて説明する。図5は、結合領域107の長さを42.5μmとした本発明の光結合構造における、側方から見た波長1550nmの光の伝搬状態を示す説明図である。図5に示すように、上側の第2コア層105による第2光導波路から、中間コア108を開始、下側の第1コア層103による第1光導波路に、光パワーが移行している。
以上に説明したように、本発明によれば、第1コア層と第2コア層とが互いに平行に重なる結合領域に、中間コアを設けるようにしたので、多層光導波路の層間を、より高い効率で光結合できるようになる。また、光配線の層間結合が起きないようにできるため、光配線を自由にレイアウトすることができ、高密度に配線することができる。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。例えば、上述した説明では、シリコンコアおよび酸化シリコンクラッドを用いた場合について例示したが、これに限るものではなく、本発明は様々な材料系に適用可能である。
例えば、コアは、シリコン,窒化シリコン,酸窒化シリコン,インジウム燐系半導体,ガリウムヒ素系半導体などから構成してもよい。また、クラッドは、酸化シリコン,酸窒化シリコン,酸化アルミニウム,アルミニウムとインジウム燐系あるいはガリウムヒ素系半導体との化合物,エポキシ系ポリマー,ポリイミド系ポリマー,アクリル系ポリマーなどから構成してもよい。これらの材料では屈折率はそれぞれ異なるが、本発明の各部分の寸法は材料の屈折率を考慮して任意に設計が可能であることは、本発明の基本原理からして明らかである。
101…基板、102…下部クラッド層、103…第1コア層、104…層間クラッド層、105…第2コア層、106…上部クラッド層、107…結合領域、108…中間コア。
Claims (1)
- 基板の上に形成された下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の上に形成された第1コア層と、
前記第1コア層の上に形成された層間クラッド層と、
前記層間クラッド層の上に形成された第2コア層と、
前記第2コア層の上に形成された上部クラッド層と、
前記第1コア層と前記第2コア層とが互いに平行に重なる結合領域と、
前記結合領域の前記第1コア層および前記第2コア層の間の前記層間クラッド層に形成された中間コアと
を備え、
前記第1コア層と前記第2コア層との積層方向の間隔は、前記第1コア層と前記第2コア層との間に光結合が起きない距離とされ、
前記第1コア層と前記中間コアとの積層方向の間隔は、前記第1コア層と前記中間コアとの間に光結合が可能な距離とされ、
前記第2コア層と前記中間コアとの積層方向の間隔は、前記第2コア層と前記中間コアとの間に光結合が可能な距離とされている
ことを特徴とする光結合構造。
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