JP2015194423A - X線透過検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 装置のダウンタイムを低減でき、X線検出器の長寿命化を図ることができるX線透過検査装置を提供すること。
【解決手段】 試料Sに対してX線Xを照射するX線源2と、試料に対してX線源と反対側に設置され試料を透過したX線を検出する蛍光体3bを用いた検出器3と、検出器の検出面3aに対向して配されX線の一部を遮蔽して検出面上にX線の遮蔽領域A1を部分的に形成する遮蔽部材4と、検出器に対して遮蔽部材を相対的に移動させて遮蔽領域A1の位置を変更可能な部材駆動機構5とを備えている。
【選択図】図1
【解決手段】 試料Sに対してX線Xを照射するX線源2と、試料に対してX線源と反対側に設置され試料を透過したX線を検出する蛍光体3bを用いた検出器3と、検出器の検出面3aに対向して配されX線の一部を遮蔽して検出面上にX線の遮蔽領域A1を部分的に形成する遮蔽部材4と、検出器に対して遮蔽部材を相対的に移動させて遮蔽領域A1の位置を変更可能な部材駆動機構5とを備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、試料中の金属異物等を検出可能なX線透過検査装置に関する。
一般に、試料中の金属異物や厚みむら等を検出するために、試料にX線を照射して取得したX線透過像により検査を行うX線透過検査が用いられている。このX線透過検査に用いる装置では、帯状の試料に対してインラインで検査する際、通常、一方向に流れている製品(試料)を挟みながら、X線を発生させるX線発生器とX線を検出するラインセンサとが対向して設置されている。
例えば、特許文献1では、複数台のX線発生器と、複数台のX線検出器と、X線発生器から照射されるX線が他の領域のX線検出器に照射されないために設けられた複数台の絞り装置又は遮蔽板を有したX線異物検出装置が記載されている。
上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、従来のX線透過による異物検出装置では、より微小な検出を行うためには空間分解能を高める必要があり、必然的にX線を検出するセンサ(検出器)の解像度を上げる必要が出てくる。センサの解像度を上げるということは、センサの画素サイズを小さくすることを意味するが、センサの画素サイズが小さくなるとその画素面積に比例して画素に入射するX線の数が低下してしまう。X線の数が低下すると、X線透過像のノイズが占めるX線の統計変動の割合が大きくなり、X線透過像のノイズが問題となってしまう。そのため、通常はX線発生器の出力の改善等により、入射するX線の数自体を大きくすることが考えられるが、そうするとX線を検出するセンサ内の蛍光体がX線により早く劣化してしまい、求められる寿命まで性能を維持することができないという不都合があった。また、センサが劣化してしまうとセンサ交換やX線照射の停止が必要となり、24時間フル稼働が求められる場合では、装置のダウンタイムが問題となる。
すなわち、従来のX線透過による異物検出装置では、より微小な検出を行うためには空間分解能を高める必要があり、必然的にX線を検出するセンサ(検出器)の解像度を上げる必要が出てくる。センサの解像度を上げるということは、センサの画素サイズを小さくすることを意味するが、センサの画素サイズが小さくなるとその画素面積に比例して画素に入射するX線の数が低下してしまう。X線の数が低下すると、X線透過像のノイズが占めるX線の統計変動の割合が大きくなり、X線透過像のノイズが問題となってしまう。そのため、通常はX線発生器の出力の改善等により、入射するX線の数自体を大きくすることが考えられるが、そうするとX線を検出するセンサ内の蛍光体がX線により早く劣化してしまい、求められる寿命まで性能を維持することができないという不都合があった。また、センサが劣化してしまうとセンサ交換やX線照射の停止が必要となり、24時間フル稼働が求められる場合では、装置のダウンタイムが問題となる。
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、装置のダウンタイムを低減でき、X線検出器の長寿命化を図ることができるX線透過検査装置を提供することを目的とする。
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第1の発明に係るX線透過検査装置は、試料に対してX線を照射するX線源と、前記試料に対して前記X線源と反対側に設置され前記試料を透過した前記X線を検出する蛍光体を用いた検出器と、前記検出器の検出面に対向して配され前記X線の一部を遮蔽して前記検出面上に前記X線の遮蔽領域を部分的に形成する遮蔽部材と、前記検出器に対して前記遮蔽部材を相対的に移動させて前記遮蔽領域の位置を変更可能な部材駆動機構とを備えていることを特徴とする。
このX線透過検査装置では、X線の一部を遮蔽して検出面上にX線の遮蔽領域を部分的に形成する遮蔽部材と、検出器に対して遮蔽部材を相対的に移動させて遮蔽領域の位置を変更可能な部材駆動機構とを備えているので、検出面においてX線が照射される検出領域と遮蔽領域とを時間的に遮蔽部材を移動させて入れ替えることで、検出領域を使って検査をしている間に、遮蔽領域の蛍光体を復活させることができる。
X線が照射された蛍光体は、徐々にX線による発光強度が低下して感度が低くなるが、X線の照射を停止するとアニーリング効果により発光強度が復旧することが知られている。本発明では、X線が照射される検出領域で蛍光体が劣化し発光強度が低下しても、検出領域と遮蔽領域とを部材駆動機構によって時間的に入れ替えることで、劣化した蛍光体を遮蔽領域でアニーリングし、発光強度を復活させることができる。
X線が照射された蛍光体は、徐々にX線による発光強度が低下して感度が低くなるが、X線の照射を停止するとアニーリング効果により発光強度が復旧することが知られている。本発明では、X線が照射される検出領域で蛍光体が劣化し発光強度が低下しても、検出領域と遮蔽領域とを部材駆動機構によって時間的に入れ替えることで、劣化した蛍光体を遮蔽領域でアニーリングし、発光強度を復活させることができる。
第2の発明に係るX線透過検査装置は、第1の発明において、帯状とされた前記試料を延在方向に移動可能な試料移動機構を備え、前記検出器が、TDIセンサであり、前記部材駆動機構が、前記検出器に対して前記遮蔽部材を前記試料の延在方向に相対的に移動可能であることを特徴とする。
すなわち、このX線透過検査装置では、検出器が、TDI(Time Delay Integration)センサであり、部材駆動機構が、検出器に対して遮蔽部材を試料の延在方向に相対的に移動可能であるので、試料の移動方向に例えば200〜1000段の段数分を積算して出力できるTDIセンサにより、感度を段数倍に向上させることができると共に、蛍光体の必要なアニーリング時間に合わせて遮蔽領域を移動方向において段数で区分けして設定することができる。
すなわち、このX線透過検査装置では、検出器が、TDI(Time Delay Integration)センサであり、部材駆動機構が、検出器に対して遮蔽部材を試料の延在方向に相対的に移動可能であるので、試料の移動方向に例えば200〜1000段の段数分を積算して出力できるTDIセンサにより、感度を段数倍に向上させることができると共に、蛍光体の必要なアニーリング時間に合わせて遮蔽領域を移動方向において段数で区分けして設定することができる。
第3の発明に係るX線透過検査装置は、第1又は第2の発明において、帯状とされた前記試料を延在方向に移動可能な試料移動機構を備え、前記検出器が、TDIセンサであり、前記検出面の幅が、前記試料の幅よりも広く設定され、前記部材駆動機構が、前記検出器に対して前記遮蔽部材を前記試料の延在方向に直交する方向に相対的に移動可能であることを特徴とする。
すなわち、このX線透過検査装置では、検出面の幅が、試料の幅よりも広く設定され、部材駆動機構が、検出器に対して遮蔽部材を試料の延在方向に直交する方向に相対的に移動可能であるので、TDIセンサの段数を変えずに遮蔽領域を移動させることができる。
すなわち、このX線透過検査装置では、検出面の幅が、試料の幅よりも広く設定され、部材駆動機構が、検出器に対して遮蔽部材を試料の延在方向に直交する方向に相対的に移動可能であるので、TDIセンサの段数を変えずに遮蔽領域を移動させることができる。
第4の発明に係るX線透過検査装置は、第1から第3の発明のいずれかにおいて、前記部材駆動機構が、一定時間毎に前記遮蔽領域の位置を変更することを特徴とする。
すなわち、このX線透過検査装置では、部材駆動機構が、一定時間毎に遮蔽領域の位置を変更するので、自動的にかつ定期的に遮蔽領域を移動させることができる。
すなわち、このX線透過検査装置では、部材駆動機構が、一定時間毎に遮蔽領域の位置を変更するので、自動的にかつ定期的に遮蔽領域を移動させることができる。
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係るX線透過検査装置によれば、X線の一部を遮蔽して検出面上にX線の遮蔽領域を部分的に形成する遮蔽部材と、検出器に対して遮蔽部材を相対的に移動させて遮蔽領域の位置を変更可能な部材駆動機構とを備えているので、検出面においてX線が照射される検出領域と遮蔽領域とを時間的に遮蔽部材を移動させて入れ替えることで、遮蔽領域で蛍光体の発光強度を復活させることができる。したがって、24時間フル稼働するような装置でも、装置のダウンタイムを低減することができ、検出器の長寿命化を図ることができる。
すなわち、本発明に係るX線透過検査装置によれば、X線の一部を遮蔽して検出面上にX線の遮蔽領域を部分的に形成する遮蔽部材と、検出器に対して遮蔽部材を相対的に移動させて遮蔽領域の位置を変更可能な部材駆動機構とを備えているので、検出面においてX線が照射される検出領域と遮蔽領域とを時間的に遮蔽部材を移動させて入れ替えることで、遮蔽領域で蛍光体の発光強度を復活させることができる。したがって、24時間フル稼働するような装置でも、装置のダウンタイムを低減することができ、検出器の長寿命化を図ることができる。
以下、本発明に係るX線透過検査装置の第1実施形態を、図1を参照しながら説明する。
本実施形態のX線透過検査装置1は、図1に示すように、帯状とされた試料Sに対してX線Xを照射するX線源2と、試料Sに対してX線源2と反対側に設置され試料Sを透過したX線Xを検出する蛍光体3bを用いた検出器3と、検出器3の検出面3aに対向して配されX線Xの一部を遮蔽して検出面3a上にX線Xの遮蔽領域A1を部分的に形成する遮蔽部材4と、検出器3に対して遮蔽部材4を相対的に移動させて遮蔽領域A1の位置を変更可能な部材駆動機構5と、試料Sを延在方向に移動可能な試料移動機構6とを備えている。
また、このX線透過検査装置1は、検出器3を制御し受光したX線Xに対応した異物を検出する制御部Cを備えている。
また、このX線透過検査装置1は、検出器3を制御し受光したX線Xに対応した異物を検出する制御部Cを備えている。
上記試料Sは、例えば帯状に形成されたLiイオンバッテリー用の材料や医薬品系に用いられる材料である。
上記X線源2は、X線を照射可能なX線管球であって、管球内のフィラメント(陰極)から発生した熱電子がフィラメント(陰極)とターゲット(陽極)との間に印加された電圧により加速されターゲットのW(タングステン)、Mo(モリブデン)、Cr(クロム)などに衝突して発生したX線Xをベリリウム箔などの窓から出射するものである。
上記X線源2は、X線を照射可能なX線管球であって、管球内のフィラメント(陰極)から発生した熱電子がフィラメント(陰極)とターゲット(陽極)との間に印加された電圧により加速されターゲットのW(タングステン)、Mo(モリブデン)、Cr(クロム)などに衝突して発生したX線Xをベリリウム箔などの窓から出射するものである。
上記検出器3は、TDI(Time Delay Integration)センサである。このTDIセンサは、検出面3aに配された蛍光体3bと、蛍光体3b下に複数の光ファイバを二次元的に縦横に複数列並べて配したFOP(ファイバオプティクスプレート)3cと、FOP3cの下に配されたSi受光素子3dとを備え、ラインセンサを複数列並べたような構成を有している。例えば、試料Sの送り方向に200〜1000段の単位ラインセンサが並んでTDIセンサ(検出器3)が構成されている。
このTDIセンサでは、CsI(ヨウ化セシウム)、GOS(ガドリニウムオキシ硫化物)又はYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)等の蛍光体3bが用いられている。
このTDIセンサでは、CsI(ヨウ化セシウム)、GOS(ガドリニウムオキシ硫化物)又はYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)等の蛍光体3bが用いられている。
上記制御部Cは、上記各機構、X線源2及び検出器3等に接続され、これらを制御するCPU等で構成されたコンピュータである。
この制御部Cは、TDIセンサ(検出器3)の電荷転送の方向及び速度を試料Sの移動方向及び速度に合わせると共に、遮蔽部材4で遮蔽された遮蔽領域A1以外の領域(検出領域A2)に応じてTDIセンサが受光したX線Xの輝度値を積算する機能を有している。すなわち、制御部Cは、試料Sの速度Vsに対してTDIセンサ(検出器3)の検出領域A2における電荷転送の速度(送りスピード)VTDIを同じに設定し、試料Sの流れとTDIセンサの積算処理とを同期させて制御している。
この制御部Cは、TDIセンサ(検出器3)の電荷転送の方向及び速度を試料Sの移動方向及び速度に合わせると共に、遮蔽部材4で遮蔽された遮蔽領域A1以外の領域(検出領域A2)に応じてTDIセンサが受光したX線Xの輝度値を積算する機能を有している。すなわち、制御部Cは、試料Sの速度Vsに対してTDIセンサ(検出器3)の検出領域A2における電荷転送の速度(送りスピード)VTDIを同じに設定し、試料Sの流れとTDIセンサの積算処理とを同期させて制御している。
上記遮蔽部材4は、X線Xを透過させない材料で形成された板状部材であり、例えばPb(鉛),W(タングステン),SUS(ステンレス)等の材料が用いられる。
上記部材駆動機構5は、検出器3に対して遮蔽部材4を試料Sの延在方向に相対的に移動可能なモータ等である。
また、部材駆動機構5は、一定時間毎に遮蔽領域A1の位置を変更する機能を有している。例えば、部材駆動機構5は、遮蔽領域A1の変更を一日おき又は1月おき等の時間間隔で自動的に行うように設定可能である。
上記部材駆動機構5は、検出器3に対して遮蔽部材4を試料Sの延在方向に相対的に移動可能なモータ等である。
また、部材駆動機構5は、一定時間毎に遮蔽領域A1の位置を変更する機能を有している。例えば、部材駆動機構5は、遮蔽領域A1の変更を一日おき又は1月おき等の時間間隔で自動的に行うように設定可能である。
上記試料移動機構6は、帯状の試料Sをロール・to・ロール方式で延在方向に移動させる少なくとも一対のローラ6aを備えている。すなわち、互いに平行に配置された一対のローラ6aに試料Sが架け渡され、ローラ6aを回転駆動することで、試料Sが一方向に移動される。なお、上記X線源2、遮蔽部材4及び検出器3は、一対のローラ6aの間の領域に設置されている。
なお、図中の矢印Y1は、試料Sの移動方向であり、矢印Y2は、遮蔽部材4の移動方向であり、矢印Y3は、TDIセンサ(検出器3)のTDI駆動向きである。
なお、図中の矢印Y1は、試料Sの移動方向であり、矢印Y2は、遮蔽部材4の移動方向であり、矢印Y3は、TDIセンサ(検出器3)のTDI駆動向きである。
このように本実施形態のX線透過検査装置1では、X線Xの一部を遮蔽して検出面3a上にX線Xの遮蔽領域A1を部分的に形成する遮蔽部材4と、検出器3に対して遮蔽部材4を相対的に移動させて遮蔽領域A1の位置を変更可能な部材駆動機構5とを備えているので、検出面3aにおいてX線Xが照射される検出領域A2と遮蔽領域A1とを時間的に遮蔽部材4を移動させて入れ替えることで、検出領域A2を使って検査をしている間に、遮蔽領域A1の蛍光体3bを復活させることができる。
すなわち、X線Xが照射される検出領域A2で蛍光体3bが劣化し発光強度が低下しても、検出領域A2と遮蔽領域A1とを部材駆動機構5によって時間的に入れ替えることで、劣化した蛍光体3bを遮蔽領域A1でアニーリングし、発光強度を復活させることができる。
また、検出器3が、TDIセンサであり、部材駆動機構5が、遮蔽部材4を試料Sの延在方向に移動可能であるので、試料Sの移動方向に例えば200〜1000段の段数分を積算して出力できるTDIセンサにより、感度を段数倍に向上させることができると共に、蛍光体3bの必要なアニーリング時間に合わせて遮蔽領域A1を移動方向において段数で区分けして設定することができる。
さらに、部材駆動機構5が、一定時間毎に遮蔽領域A1の位置を変更するので、自動的にかつ定期的に遮蔽領域A1を移動させることができる。
また、検出器3が、TDIセンサであり、部材駆動機構5が、遮蔽部材4を試料Sの延在方向に移動可能であるので、試料Sの移動方向に例えば200〜1000段の段数分を積算して出力できるTDIセンサにより、感度を段数倍に向上させることができると共に、蛍光体3bの必要なアニーリング時間に合わせて遮蔽領域A1を移動方向において段数で区分けして設定することができる。
さらに、部材駆動機構5が、一定時間毎に遮蔽領域A1の位置を変更するので、自動的にかつ定期的に遮蔽領域A1を移動させることができる。
次に、本発明に係るX線透過検査装置の第2実施形態について、図2を参照して以下に説明する。なお、以下の実施形態の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。
第2実施形態と第1実施形態との異なる点は、第1実施形態では、部材駆動機構5が、遮蔽部材4を試料Sの延在方向に移動させているが、第2実施形態のX線透過検査装置21では、図2に示すように、検出面3aの幅が、試料Sの幅よりも広く設定され、部材駆動機構25が、遮蔽部材4を試料Sの延在方向に直交する方向に相対的に移動可能である点である。
すなわち、第2実施形態では、部材駆動機構25が、検出器3と遮蔽部材4とを試料Sの延在方向に直交する方向に相互に移動可能であり、常に試料Sの直下に検出領域A2が配されるように設定すると共に試料Sの直下から外れる部分に遮蔽領域A1が配されるように、検出器3と遮蔽部材4とを移動させる。この場合、遮蔽領域A1を移動させても試料Sの移動方向においては常にTDIセンサの段数が変わらない。
このように第2実施形態のX線透過検査装置21では、検出面3aの幅が、試料Sの幅よりも広く設定され、部材駆動機構5が、検出器3に対して遮蔽部材4を試料Sの延在方向に直交する方向に相対的に移動可能であるので、TDIセンサの段数を変えずに遮蔽領域A1を移動させることができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記第1実施形態では、部材駆動機構が遮蔽部材だけを移動させたが、検出器側だけ又は遮蔽部材及び検出器の両方を移動させて遮蔽部材に対する検出器の位置を相対的に変えても構わない。
例えば、上記第1実施形態では、部材駆動機構が遮蔽部材だけを移動させたが、検出器側だけ又は遮蔽部材及び検出器の両方を移動させて遮蔽部材に対する検出器の位置を相対的に変えても構わない。
1,21…X線透過検査装置、2…X線源、3…検出器、3a…検出器の検出面、3b…蛍光体、4…遮蔽部材、5,25…部材駆動機構、6…試料移動機構、A1…遮蔽領域、A2…検出領域、S…試料、X…X線
Claims (4)
- 試料に対してX線を照射するX線源と、
前記試料に対して前記X線源と反対側に設置され前記試料を透過した前記X線を検出する蛍光体を用いた検出器と、
前記検出器の検出面に対向して配され前記X線の一部を遮蔽して前記検出面上に前記X線の遮蔽領域を部分的に形成する遮蔽部材と、
前記検出器に対して前記遮蔽部材を相対的に移動させて前記遮蔽領域の位置を変更可能な部材駆動機構とを備えていることを特徴とするX線透過検査装置。 - 請求項1に記載のX線透過検査装置において、
帯状とされた前記試料を延在方向に移動可能な試料移動機構を備え、
前記検出器が、TDIセンサであり、
前記部材駆動機構が、前記検出器に対して前記遮蔽部材を前記試料の延在方向に相対的に移動可能であることを特徴とするX線透過検査装置。 - 請求項1又は2に記載のX線透過検査装置において、
帯状とされた前記試料を延在方向に移動可能な試料移動機構を備え、
前記検出器が、TDIセンサであり、
前記検出面の幅が、前記試料の幅よりも広く設定され、
前記部材駆動機構が、前記検出器に対して前記遮蔽部材を前記試料の延在方向に直交する方向に相対的に移動可能であることを特徴とするX線透過検査装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載のX線透過検査装置において、
前記部材駆動機構が、一定時間毎に前記遮蔽領域の位置を変更することを特徴とするX線透過検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014072912A JP2015194423A (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | X線透過検査装置 |
KR1020150027092A KR102236842B1 (ko) | 2014-03-31 | 2015-02-26 | X선 투과 검사 장치 |
CN201510111764.2A CN104950002A (zh) | 2014-03-31 | 2015-03-13 | X射线透过检查装置 |
US14/674,133 US9863896B2 (en) | 2014-03-31 | 2015-03-31 | X-ray transmission inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014072912A JP2015194423A (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | X線透過検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015194423A true JP2015194423A (ja) | 2015-11-05 |
Family
ID=54164816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014072912A Pending JP2015194423A (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | X線透過検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9863896B2 (ja) |
JP (1) | JP2015194423A (ja) |
KR (1) | KR102236842B1 (ja) |
CN (1) | CN104950002A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6717784B2 (ja) * | 2017-06-30 | 2020-07-08 | アンリツインフィビス株式会社 | 物品検査装置およびその校正方法 |
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2014
- 2014-03-31 JP JP2014072912A patent/JP2015194423A/ja active Pending
-
2015
- 2015-02-26 KR KR1020150027092A patent/KR102236842B1/ko active IP Right Grant
- 2015-03-13 CN CN201510111764.2A patent/CN104950002A/zh active Pending
- 2015-03-31 US US14/674,133 patent/US9863896B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR102236842B1 (ko) | 2021-04-06 |
CN104950002A (zh) | 2015-09-30 |
US9863896B2 (en) | 2018-01-09 |
US20150276626A1 (en) | 2015-10-01 |
KR20150113819A (ko) | 2015-10-08 |
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