JP2015177047A - 熱電変換モジュール - Google Patents

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征央 根岸
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昌尚 冨永
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正芳 森
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武 山上
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寛治 松本
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Abstract

【課題】熱電変換モジュールにおいて、熱電半導体を破壊や、熱電半導体及び電極間の接合面で剥離を抑制し、耐久性を向上させる。【解決手段】p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12と、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体の高温熱源側の面に設置された高温側電極部13、並びに前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体の低温熱源側の面に設置された低温側電極部14と、前記高温側電極部及び前記低温側電極部の外方においてそれぞれ第1の絶縁部材及び第2の絶縁部材を介して配設されたケース部材19を具える熱電変換モジュールであって、前記高温側電極部の、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体が位置する第1の部分13Aの密度に対して、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体が位置しない第2の部分13Bの密度を低減させ、前記第1の絶縁部材は、前記高温側電極部の前記第1の部分及び前記ケース部材間に配設する。【選択図】図1

Description

本発明は、例えば各種産業機器及び自動車などの廃熱を熱源とする、熱電変換モジュールに関する。
従来の熱電変換モジュール(以下、「モジュール」と略す場合がある)は、複数のp型熱電半導体及びn型熱電半導体の上下面、すなわち高温熱源側の面及び低温熱源側の面に電極を配設して電気回路を構成し、さらに上記電極の外側両面にセラミックスなど電気絶縁板を介して、上記熱電半導体及び電極を収納するケース部材を備える構造が一般的である(特許文献1)。
熱電変換モジュールは、上記電極によって電気的に接続され、互いに対をなすp型熱電半導体及びn型熱電半導体の上下面に温度差を与えることによって発電するため、高温側の電極の熱膨張の度合いは低温側の電極の熱膨張の度合いよりも大きくなる。このため、熱電半導体及びその上下の電極にはせん断応力や引張応力、圧縮応力が作用し、脆弱な熱電半導体を破壊したり、熱電半導体及び電極間の接合面で剥離を生じたりする場合がある。
このような問題は特に自動車や産業廃熱などを想定した使用温度500℃以上の高温用熱電変換モジュールにおいて重大である。
特開2006−49872号
本発明は、熱電変換モジュールにおいて、熱電半導体を破壊や、熱電半導体及び電極間の接合面で剥離を抑制し、耐久性を向上させることを目的とする。
上記目的を達成すべく、本発明は、
少なくとも一対のp型熱電半導体及びn型熱電半導体と、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体の高温熱源側の面に設置され、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体を電気的に直列に接続する高温側電極部、並びに前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体の低温熱源側の面に設置され、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体を電気的に直列に接続する低温側電極部と、前記高温側電極部及び前記低温側電極部の外方においてそれぞれ第1の絶縁部材及び第2の絶縁部材を介して配設され、前記p型熱電半導体、前記n型熱電半導体、前記高温側電極部及び前記低温側電極部を収納するケース部材とを具える熱電変換モジュールであって、
前記高温側電極部の、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体が位置する第1の部分の密度に対して、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体が位置しない第2の部分の密度を低減させ、
前記第1の絶縁部材は、前記高温側電極部の前記第1の部分及び前記ケース部材間に配設したことを特徴とする、熱電変換モジュールに関する。
本発明によれば、p型熱電半導体及びn型熱電半導体と、p型熱電半導体及びn型熱電半導体の高温熱源側の面に設置され、p型熱電半導体及びn型熱電半導体を電気的に直列に接続する高温側電極部、並びにp型熱電半導体及びn型熱電半導体の低温熱源側の面に設置され、p型熱電半導体及びn型熱電半導体を電気的に直列に接続する低温側電極部とを含む熱電変換モジュールにおいて、高温側電極部の、p型熱電半導体及びn型熱電半導体が位置する第1の部分の密度に対して、p型熱電半導体及びn型熱電半導体が位置しない第2の部分の密度を低減させている。
したがって、p型熱電半導体及びn型熱電半導体の上下面に温度差を与えることによって上記熱電変換モジュールを動作させて発電する際に、高温側の電極(高温側電極部)の熱膨張の度合いが低温側の電極(低温側電極部)の熱膨張の度合いよりも十分に大きくなっても、高温側電極部の熱膨張は相当な割合で上記低密度の第2の部分によって吸収されるようになる。このため、高温側電極部の熱膨張の度合いが低温側電極部の熱膨張の度合いよりも大きくなって、熱電半導体及びその上下の電極にはせん断応力や引張応力、圧縮応力が作用し、脆弱な熱電半導体を破壊したり、熱電半導体及び電極間の接合面で剥離を生じたりするのを抑制することができる。
また、高温側電極部とケース部材とを電気的に絶縁する第1の絶縁部材は、高温側電極部の第1の部分とケース部材との間にのみ配設しており、高温側電極部の第2の部分と第1の絶縁部材との間には十分大きな空間が形成されている。したがって、当該第1の絶縁部材は、高温側電極部の第2の部分の変形を妨げることがない。結果として、当該第2の部分の変形による高温側電極部の熱膨張を十分に吸収することができる。
なお、本発明における“低密度”とは、第2の部分自体の密度が第1の部分自体の密度よりも低い場合の他、所定の体積空間を画定した場合に、当該体積空間内に存在している第2の部分の割合、すなわち密度が第1の部分の割合、すなわち密度よりも低い場合を示している。
本発明の一例において、第2の部分は多孔質金属体から構成し、第1の部分は多孔質金属体が圧潰されてなる非多孔質金属体から構成することができる。この場合、第1の部分を非多孔質金属体から構成しているので、p型熱電半導体及びn型熱電半導体との接触抵抗を低減することができ、熱電変換モジュールを動作させて発電させた電力を外部に効率よく取り出すことができるという追加の効果を得ることができる。
なお、上記例は、第2の部分自体の密度が第1の部分自体の密度よりも低い場合に相当する。
また、本発明の一例において、第2の部分は、第1の部分から連続して延在する一対の非多孔質金属体と、当該一対の非多孔質金属体の端部に位置し、これら一対の非多孔質金属体を接続する多孔質金属体とを含むように構成することができる。この場合も、第1の部分を非多孔質金属体から構成しているので、p型熱電半導体及びn型熱電半導体との接触抵抗を低減することができ、熱電変換モジュールを動作させて発電させた電力を外部に効率よく取り出すことができるという追加の効果を得ることができる。
なお、上記例は、所定の体積空間を画定した場合に、当該体積空間内に存在している第2の部分の割合、すなわち密度が第1の部分の割合、すなわち密度よりも低い場合に相当する。
さらに、本発明の一例において、高温側電極部は金属製の複数の膜体から構成し、第2の部分は複数の膜体が互いに分離し、第1の部分は複数の膜体が圧潰してなるように構成することができる。この場合、第2の部分を金属製の複数の膜体が分離するようにして構成しているので、例えば複数の膜体の内、いくつかの膜体が分断したような場合においても、膜体のいくつかは分断せずに残存し、その導電性を担保することができる。したがって、このような第2の部分を有する高温側電極部はその機能を十分に奏することができるという追加の効果も得ることができるようになる。
また、上述のように、第1の部分を複数の膜体を圧潰するように構成しているので、p型熱電半導体及びn型熱電半導体との接触抵抗を低減することができ、熱電変換モジュールを動作させて発電させた電力を外部に効率よく取り出すことができるという追加の効果をも得ることができる。
なお、上記例は、所定の体積空間を画定した場合に、当該体積空間内に存在している第2の部分の割合、すなわち密度が第1の部分の割合、すなわち密度よりも低い場合に相当する。
複数の膜体は、第2の部分を構成する箇所が予めp型熱電半導体及びn型熱電半導体側に湾曲するようにすることができる。この場合、高温側電極部が熱膨張して、当該熱膨張を第2の部分において吸収する際に、当該第2の部分がp型熱電半導体及びn型熱電半導体側にさらに湾曲するようになる。したがって、上記第2の部分がケース部材側に湾曲して当該ケース部材と接触し、第2の部分とケース部材、すなわち高温側電極部とケース部材とが電気的に短絡するのを予め効果的に抑制することができる。
以上、本発明によれば、熱電変換モジュールにおいて、熱電半導体を破壊や、熱電半導体及び電極間の接合面で剥離を抑制し、耐久性を向上させることができる。
第1の実施形態における熱電変換モジュールの一部を拡大して示す断面図である。 第2の実施形態における熱電変換モジュールの一部を拡大して示す断面図である。 第3の実施形態における熱電変換モジュールの一部を拡大して示す断面図である。 第4の実施形態における熱電変換モジュールの一部を拡大して示す断面図である。
以下、本発明の気密ケース入り熱電変換モジュールの詳細並びにその他の特徴について、実施の形態に基づいて説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本実施形態における熱電変換モジュールの一部を拡大して示す断面図である。
図1に示すように、本実施形態の熱電変換モジュール10は、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12と、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12の高温熱源側の面に設置された高温側電極部13と、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12の低温熱源側の面に設置された低温側電極部14とを有している。
なお、図1においては、単一のp型熱電半導体11及びn型熱電半導体12のみが示されているが、実際には複数のp型熱電半導体11及びn型熱電半導体12が配設され、高温側電極部13及び低温側電極部14は、これらp型熱電半導体11及びn型熱電半導体12を電気的に直列に接続している。
また、高温側電極部13の外方には第1の絶縁部材15及び第1の金属部材17が接合されて配設され、この金属部材17とケース部材19−1の壁面とは接合されて配設されている。このように各部材が接合されて配設されているため、高温媒体に接するケース部材19−1からp型熱電半導体11及びn型熱電半導体12に効率よく熱を伝達することができる。また、低温側電極部14の外方には第2の絶縁部材16及び第2の金属部材18が配設され、さらに、第2の金属部材の外方にはケース部材19−2が配設されている。ケース部材19−1及び19−2は、p型熱電半導体11、n型熱電半導体12、高温側電極部13及び低温側電極部14からなるモジュールを収納するためのものである。なお、第2の金属部材18とケース部材19−1との間には図示しない緩衝材を配設することもできる。また、第1の金属部材17及び第2の金属部材18は適宜省略することもできる。
低温側電極14、第2の絶縁部材16、第2の金属部材及びケース部材19−2は、それぞれ当接されて配設されていてもよい。また、低温側電極14、第2の絶縁部材16、第2の金属部材及びケース部材19−2の界面のうち少なくとも一つの界面を当接させて配設し、他の界面を接合して配設することができ、これらの界面のうち一つの界面のみを当接して、他の界面を接合することが好ましい。この場合、一つの界面が力学的にフリーな状態となり、後述する熱膨張に起因する熱応力を吸収するとともに、他の界面が接合されているため接合された部材間の熱伝達が効率よく行うことができる。なお、第2の金属部材18とケース部材19−1との間に緩衝材を配設する場合、緩衝材と第2の金属部材18およびケース部材19−1の少なくとも一方の界面のみ当接して配設し、他の低温側電極14、第2の絶縁部材16、第2の金属部材の間の界面を接合して配設することが好ましい。
本実施形態の熱電変換モジュール10では、高温側電極部13は、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12が位置する第1の部分13Aと、これらp型熱電半導体11及びn型熱電半導体12が位置しない第2の部分13Bとから構成されるようになるが、第2の部分13Bを多孔質金属体から構成し、第1の部分13Aを当該多孔質金属体を圧潰して形成してなる非多孔質金属体から構成するようにしている。したがって、高温側電極部13の第2の部分13Bの密度は、高温側電極部13の第1の部分13Aの密度よりも低くなる。
この結果、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12の上下面に温度差を与えることによって熱電変換モジュール10を動作させて発電する際に、高温側電極部13の熱膨張の度合いが低温側電極部14の熱膨張の度合いよりも十分に大きくなっても、高温側電極部13の熱膨張は相当な割合で上記低密度の第2の部分13Bの相当する熱膨張によって吸収されるようになる。このため、高温側電極部13の熱膨張の度合いが低温側電極部14の熱膨張の度合いよりも大きくなって、熱電半導体11,12及びその上下の電極13,14間にせん断応力や引張応力、圧縮応力が作用し、脆弱な熱電半導体11,12を破壊したり、熱電半導体11,12及び電極13,14間の接合面で剥離を生じたりするのを抑制することができる。
また、本実施形態では、第1の部分13Aを非多孔質金属体から構成しているので、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12との接触抵抗を低減することができ、熱電変換モジュール10を動作させて発電させた電力を外部に効率よく取り出すことができるという追加の効果を得ることができる。
さらに、高温側電極部13とケース部材19−1とを電気的に絶縁する第1の絶縁部材15は、高温側電極部13の第1の部分13Aとケース部材19−1との間にのみ配設している。したがって、高温側電極部13の第2の部分13Bとケース部材19−1との間には十分な大きさの空間が形成されるので、第1の絶縁部材15は、高温側電極部13の第2の部分13Bの熱膨張を妨げることがない。結果として、第2の部分13Bの熱膨張による高温側電極部13の熱膨張を十分に吸収することができる。
なお、第1の絶縁部材15をp型熱電半導体11及びn型熱電半導体12にかけて配設する場合、すなわち第1の絶縁部材15が高温側電極部13の下部に配設される場合、第1の絶縁部材15は、高温側電極部13の第1の部分13Aのみ接合し、高温側電極部13の第2の部分13Bについては接合せず、この部分を力学的にフリーの状態としておくことにより第2の部分13Bの熱膨張による高温側電極部13の熱膨張を十分に吸収することができる。
本実施形態における“低密度”とは、第2の部分13B自体の密度が第1の部分13A自体の密度よりも低い場合を意味している。本実施形態では、第2の部分13Bを多孔質金属体から構成し、第1の部分13Aを非多孔質金属体から構成しているので、例えば、第2の部分13Bの気孔率を97%〜50%とし、第1の部分13Aの気孔率を0%〜49%とすることにより、上記規定を満足することになる。なお、第1の部分13Aは、多孔質金属体の、第2の部分13Bに相当する部分に荷重を付加して該当部分を圧潰することにより上記気孔率とし非多孔質金属体として構成することができる。また、多孔質金属体の第2の部分13Bに相当する部分にろう材等を溶浸して非金属多孔質体と構成してもよい。この場合、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12との接合を同時に達成することができる。さらに、多孔質金属体の、第2の部分13Bに相当する部分に荷重を付加して該当部分を圧潰するとともに、この圧潰した部分にろう材等を溶浸して非金属多孔質体と構成してもよい。
また、本実施形態では、高温側電極部13、具体的にはその第1の部分13Aとケース部材19−1との間に第1の金属部材17を配設しているので、高温側電極部13とケース部材19−1との接合強度を向上させることができる。
p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12は熱伝導率が低く、高温側及び低温側で大きな温度差を得、熱電変換(ゼーベック効果)により大きな電位差を生成する材料から構成することが好ましく、例えば、Bi−Te系,Pb−Te系,Si−Ge系,あるいはMg−Si系、Mn−Si系等の半導体材料から構成する。
高温側電極部13及び低温側電極部14は、耐熱性及び機械的強度に優れるとともに、比較的高い導電性を示すことが要求され、例えば、Mo,Cu,W,Ti,Niおよびこれらの合金あるいはステンレス鋼などから構成することができる。
第1の絶縁部材15及び第2の絶縁部材16は、アルミナ(Al)、ジルコニア(ZrOチッ化アルミニウム(AlN)、炭化ケイ素(SiC)、窒化ケイ素(Si)、ジルコニア(ZrO)等から構成することができる。
ケース部材19−1及び19−2は、熱電変換モジュール10を搭載する各種産業機器及び自動車等の軽量化、耐食性及び剛性の観点から、例えばMg,Al、Mo,Cu,W,Ti,Ni,Fe,ステンレス鋼あるいはこれらの合金から構成することができる。
(第2の実施形態)
図2は、本実施形態における熱電変換モジュールの一部を拡大して示す断面図である。なお、図1に示す熱電変換モジュール10と同一あるいは類似の構成要素については同一の符号を用いている。
本実施形態の熱電変換モジュール20は、図1に示す第1の実施形態の熱電変換モジュール10において、高温側電極部13の構成を以下のような高温側電極部23に変化させたことを除き、同一の構成を採っている。したがって、以下においては、本実施形態の熱電変換モジュール20の特徴である高温側電極部23の構成及びその作用効果について説明する。
本実施形態の熱電変換モジュール20においては、高温側電極部23を構成する第2の部分23Bを、高温側電極部23の第1の部分23Aから連続して延在する一対の非多孔質金属体24B−1と、当該一対の非多孔質金属体24B−1の端部に位置し、これら一対の非多孔質金属体24B−1を接続する多孔質金属体24B−2とを含むように構成している。
この場合も、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12の上下面に温度差を与えることによって熱電変換モジュール20を動作させて発電する際に、高温側電極部23の熱膨張の度合いが低温側電極部14の熱膨張の度合いより十分に大きくなっても、高温側電極部23の熱膨張は相当な割合で上記低密度の第2の部分23Bの多孔質金属体24B−2における相当する熱膨張によって吸収されるようになる。このため、高温側電極部23の熱膨張の度合いが低温側電極部14の熱膨張の度合いよりも大きくなって、熱電半導体11,12及びその上下の電極23,14間にせん断応力や引張応力、圧縮応力が作用し、脆弱な熱電半導体11,12を破壊したり、熱電半導体11,12及び電極23,14間の接合面で剥離を生じたりするのを抑制することができる。
また、本実施形態では、第1の部分23Aを非多孔質金属体から構成しているので、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12との接触抵抗を低減することができ、熱電変換モジュール20を動作させて発電させた電力を外部に効率よく取り出すことができるという追加の効果を得ることができる。
本実施形態における“低密度”とは、所定の体積空間を画定した場合に、当該体積空間内に存在している第2の部分23Bの割合、すなわち密度が第1の部分23Aの割合、すなわち密度よりも低い場合を示している。例えば、第1の部分23Aの体積を所定の体積空間として画定した場合、当該体積空間に多孔質金属体23B−2を含む第2の部分23Bを配置した場合に、上記要件が満足されることになる。
なお、その他の特徴及び作用効果については第1の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
(第3の実施形態)
図3は、本実施形態における熱電変換モジュールの一部を拡大して示す断面図である。なお、図1に示す熱電変換モジュール10と同一あるいは類似の構成要素については同一の符号を用いている。
本実施形態の熱電変換モジュール30は、図1に示す第1の実施形態の熱電変換モジュール10において、高温側電極部13の構成を以下のような高温側電極部33に変化させたことを除き、同一の構成を採っている。したがって、以下においては、本実施形態の熱電変換モジュール20の特徴である高温側電極部33の構成及びその作用効果について説明する。
本実施形態の熱電変換モジュール30においては、高温側電極部33を金属製の複数の膜体33−1,33−2,33−3,33−4から構成し、第2の部分33Bは複数の膜体33−1〜33−4が互いに分離し、第1の部分33Aは複数の膜体33−1〜33−4が圧潰してなるように構成している。
この場合も、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12の上下面に温度差を与えることによって熱電変換モジュール30を動作させて発電する際に、高温側電極部33の熱膨張の度合いが低温側電極部14の熱膨張の度合いより十分に大きくなっても、高温側電極部33の熱膨張は相当な割合で上記低密度の第2の部分33Bにおける相当する熱膨張によって吸収されるようになる。このため、高温側電極部33の熱膨張の度合いが低温側電極部14の熱膨張の度合いよりも大きくなって、熱電半導体11,12及びその上下の電極33,14間にせん断応力や引張応力、圧縮応力が作用し、脆弱な熱電半導体11,12を破壊したり、熱電半導体11,12及び電極33,14間の接合面で剥離を生じたりするのを抑制することができる。
また、本実施形態では、第2の部分33Bを金属製の複数の膜体33−1〜33−4が分離するようにして構成しているので、例えば複数の膜体33−1〜33−4の内、膜体33−1及び33−3が分断したような場合においても、残存する膜体33−2及び33−4によってその導電性を担保することができる。したがって、このような第2の部分33Bを有する高温側電極部33はその機能を十分に奏することができるという追加の効果も得ることができるようになる。
また、上述のように、第1の部分33Aを複数の膜体33−1〜33−4を圧潰するように構成しているので、p型熱電半導体11及びn型熱電半導体12との接触抵抗を低減することができ、熱電変換モジュール30を動作させて発電させた電力を外部に効率よく取り出すことができるという追加の効果をも得ることができる。
なお、本実施形態では、膜体の数を4としたが、必要に応じて任意の数とすることができる。また、膜体の厚さは必要に応じて任意の値に設定することができるが、例えば0.001mm〜0.3mmとすることができる。
本実施形態における“低密度”とは、所定の体積空間を画定した場合に、当該体積空間内に存在している第2の部分33Bの割合、すなわち密度が第1の部分33Aの割合、すなわち密度よりも低い場合を示している。例えば、第1の部分33Aの体積を所定の体積空間として画定した場合、当該体積空間に第2の部分33Bを配置した場合に、上記要件が満足されることになる。
なお、その他の特徴及び作用効果については第1の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
(第4の実施形態)
図4は、本実施形態における熱電変換モジュールの一部を拡大して示す断面図である。なお、図1に示す熱電変換モジュール10と同一あるいは類似の構成要素については同一の符号を用いている。
本実施形態の熱電変換モジュール40においては、ケース部材19−1の面上に例えばシート状の絶縁膜からなる絶縁層35が一様に形成され、この絶縁層35上において接合層37を介して高温側電極部13が配設されている。
本実施形態では、ケース部材19−1上に、シート状の絶縁膜からなる絶縁層35を一様に形成した場合においても、高温側電極部13とケース部材19−1との間には金属層37が配設されているので、高温側電極部13の第2の部分13Bと絶縁層35との間には十分な大きさの空間が形成される。したがって、絶縁層35は、高温側電極部13の第2の部分13Bの熱膨張を妨げることがない。結果として、第2の部分13Bの熱膨張による高温側電極部13の熱膨張を十分に吸収することができる。
なお、その他の特徴及び作用効果については第1の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
以上、本発明を上記具体例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。
10,20,30 熱電変換モジュール
11 p型熱電半導体
12 n型熱電半導体
13,23,33 高温側電極部
14 低温側電極部
15 第1の絶縁部材
16 第2の絶縁部材
17 第1の金属部材
18 第2の金属部材
19−1,19−2 ケース部材
35 絶縁層
37 金属層

Claims (6)

  1. 少なくとも一対のp型熱電半導体及びn型熱電半導体と、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体の高温熱源側の面に設置され、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体を電気的に直列に接続する高温側電極部、並びに前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体の低温熱源側の面に設置され、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体を電気的に直列に接続する低温側電極部と、前記高温側電極部及び前記低温側電極部の外方においてそれぞれ第1の絶縁部材及び第2の絶縁部材を介して配設され、前記p型熱電半導体、前記n型熱電半導体、前記高温側電極部及び前記低温側電極部を収納するケース部材を具える熱電変換モジュールであって、
    前記高温側電極部の、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体が位置する第1の部分の密度に対して、前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体が位置しない第2の部分の密度を低減させ、
    前記第1の絶縁部材は、前記高温側電極部の前記第1の部分及び前記ケース部材間に配設したことを特徴とする、熱電変換モジュール。
  2. 前記第2の部分は多孔質金属体からなり、前記第2の部分は前記多孔質金属体が圧潰されてなる非多孔質金属体からなることを特徴とする、請求項1に記載の熱電変換モジュール。
  3. 前記第1の部分の気孔率が0%〜49%であり、前記第2の部分の気孔率が50%〜97%であることを特徴とする、請求項2に記載の熱電変換モジュール。
  4. 前記第2の部分は、前記第1の部分から連続して延在する一対の非多孔質金属体と、当該一対の非多孔質金属体の端部に位置し、これら一対の非多孔質金属体を接続する多孔質金属体とを含むことを特徴とする、請求項1に記載の熱電変換モジュール。
  5. 前記高温側電極部は金属製の複数の膜体からなり、前記第2の部分は前記複数の膜体が互いに分離してなり、前記第1の部分は前記複数の膜体が圧潰してなることを特徴とする、請求項1に記載の熱電変換モジュール。
  6. 前記複数の膜体は、前記第2の部分を構成する箇所が予め前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体側に湾曲していることを特徴とする、請求項4に記載の熱電変換モジュール。
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