JP2015176904A - 半導体受光素子 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかる半導体受光素子20を示す断面図である。半導体受光素子20は、表面6aおよび裏面6bを有しn型InPからなる半導体基板6を備えている。半導体基板6の表面6a上に、InGaAsからなる光吸収層5、およびInPからなる窓層4が積層される。光吸収層5は、入射光より小さいバンドギャップを持つ。窓層4の一部には、Zn選択拡散等により受光部3が形成されており、この部分が光を受光可能な部分となる。
図4は、本発明の実施の形態2にかかる半導体受光素子120を示す断面図である半導体受光素子120は、アバランシェフォトダイオードである。図4に示すように、半導体受光素子120は、n型InPからなる半導体基板108の表面108aに、増倍層107、電界緩和層106を備えている。電界緩和層106には光吸収層5およびInP窓層4がこの順に積層されている。半導体基板108の裏面108bに反射防止膜8が設けられている。その他は受光部3の受光径サイズを50μm以下とするなど実施の形態1と同様の構造を備えており、図1と図4において実施の形態1、2で同様の構造には同じ符号を付し、説明を省略する。半導体受光素子120はアバランシェフォトダイオードなので一般的に印加する電圧が高いものの、実施の形態1と同様に高速応答性の改善が可能である。
Claims (5)
- 表面と裏面を備えた半導体基板と、
前記表面に積層された光吸収層と、
前記光吸収層に積層され、不純物注入された受光部を備える窓層と、
を備え、
前記裏面は前記表面よりも荒れており、かつ前記受光部の直径が50um以下である半導体受光素子。 - 前記裏面の二乗平均粗さが1〜20nmである請求項1に記載の半導体受光素子。
- 前記裏面の二乗平均粗さが1〜10nmである請求項1に記載の半導体受光素子。
- 10Gb/s以上の高速通信に用いられる請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体受光素子。
- 前記半導体基板と前記光吸収層との間に増倍層および電解緩和層を備えるアバランシェフォトダイオードである請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体受光素子。
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- 2014-03-13 JP JP2014050339A patent/JP2015176904A/ja active Pending
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