JP2015175701A5 - - Google Patents

Description

リークセンサ４０は、第２回路基板７０に取り付けられた光源である発光素子（図示略）から光ファイバ４０ａにより導かれる照射光を内部空間Ｓに向けて照射する。この照射光は、内部空間Ｓの樹脂ヘッド４０ｂ近傍に液体が存在しない場合には、樹脂ヘッド４０ｂと内部空間Ｓとの境界面で樹脂ヘッド４０ｂ内部に向けて反射し、光ファイバ４０ａを介して受光素子に導かれる。一方、照射光は、内部空間Ｓの樹脂ヘッド４０ｂ近傍に液体が存在する場合には、樹脂ヘッド４０ｂと液体の境界面から内部空間Ｓに向けて反射する。後者の場合、反射光は光ファイバ４０ａに導かれず受光素子は反射光を受光しない。

封止栓５３の中央部には、軸線Ｘに直交する径方向に延びる貫通孔である連通流路５３ａが設けられている。連通流路５３ａにより、内部空間Ｓと圧力センサ１００の外部（外気）とが、連通した状態となる。したがって、内部空間Ｓが大気圧に維持された状態となり、ダイヤフラム３０の変形が内部空間Ｓの圧力によって妨げられことがなく変形し易い状態が維持される。

本実施形態のボディ部５０ａには、環状凹部５１の底部近傍からボディ部５０ａの外周面に通じる連通流路４００が設けられている。連通流路４００により、内部空間Ｓと圧力センサ１００’’の外部（外気）とが、連通した状態となる。したがって、内部空間Ｓが大気圧に維持された状態となり、ダイヤフラム３０’の変形が内部空間Ｓの圧力によって妨げられことがなく変形し易い状態が維持される。

Claims (9)

1. 主流路を流通する液体の圧力を検出する圧力センサであって、
   前記主流路から液体が導入される導入流路と、
   受圧面を有するとともに該受圧面が受ける前記導入流路内の液体の圧力を検出する圧力検出部と、
   前記導入流路の下流側端部に設けられるとともに前記導入流路内の液体と前記受圧面との接触を遮断しつつ液体の圧力を前記受圧面に伝達するダイヤフラムと、
   前記受圧面に連通する内部空間への液体の漏れを検出する漏れ検出部とを備えることを特徴とする圧力センサ。
2. 前記導入流路と、前記ダイヤフラムとが、単一の部材により一体的に成型されたことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記内部空間と前記圧力センサの外部とを連通する連通流路を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧力センサ。
4. 前記ダイヤフラムを平面視した形状が略円環形状であり、
   該ダイヤフラムの内周縁部に接続されるとともに前記ダイヤフラムが配置される面よりも前記受圧面側に突出する突起部を備え、
   前記ダイヤフラムが、前記突起部を介して液体の圧力を前記受圧面に伝達することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の圧力センサ。
5. 前記ダイヤフラムを平面視した形状が略円形状であり、
   前記ダイヤフラムが、前記導入流路に導入される液体の圧力に応じて変形することにより、液体の圧力を前記受圧面に伝達することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の圧力センサ。
6. 前記ダイヤフラムを断面視した形状が波形形状となっていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の圧力センサ。
7. 前記圧力検出部を収容するハウジングを備え、
   前記受圧面を平面視した形状が略円形状であり、
   前記受圧面の外周縁部と前記ハウジングとが接触する接触部に、前記内部空間から前記圧力検出部への液体の流入を遮断するＯリングが設けられていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の圧力センサ。
8. 前記漏れ検出部は、光源から前記内部空間に向けて照射された照射光に対する前記内部空間からの反射光の検出結果により前記内部空間内への液体の漏れを検出する反射型検出器であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の圧力センサ。
9. 前記ハウジングおよび前記漏れ検出部は、前記内部空間と接する部分がそれぞれフッ素樹脂で形成されており、
   前記受圧面は、前記内部空間と接する部分がサファイヤで形成されていることを特徴とする請求項７に記載の圧力センサ。