JP2015172547A5 - - Google Patents

Description

防湿体７は、空気中に含まれる水蒸気により、反射層６の特性やシンチレータ層５の特性が劣化するのを抑制するために設けられている。
防湿体７は、反射層６を覆うように設けられている。なお、反射層６が設けられていない場合には、防湿体７は、シンチレータ層５のＸ線の入射面を覆うように設けられている。
防湿体７は、膜状または箔状または薄板状を呈している。
防湿体７は、透湿係数の小さい材料から形成することができる。防湿体7はアルミニウム、又はアルミニウム合金の資材や薄板などで形成することができる。

防湿体７の材料として例示をしたアルミニウムの箔材は、水蒸気バリア性能が高く、Ｘ線透過への影響も小さい。
この場合、熱膨張係数の差による熱応力の影響を小さくすることを考慮すると、防湿体７の材料は、水蒸気バリア性能が高く、且つ、ヤング率などの剛性係数（Ｅ）の小さいものとすることもできる。
例えば、防湿体７は、水蒸気バリアフィルムなどから形成することもできる。
水蒸気バリアフィルムは、例えば、無機材料からなる膜と、樹脂からなる膜とが積層された構造を有するものとすることができる。
無機材料からなる膜は、例えば、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）膜、酸化シリコン（ＳｉＯ_２）膜、アルミニウム蒸着膜などとすることができる。

図３は、比較例に係るＸ線検出器１０１の模式断面図である。
図３に示すように、Ｘ線検出器１０１には、ハット形状を有した防湿体１０７が設けられている。
防湿体１０７は、表面部１０７ａ、周面部１０７ｂ、および、つば部１０７ｃを有する。
表面部１０７ａおよび周面部１０７ｂにより形成された空間の内部には、シンチレータ層５と反射層６が設けられる。

ハット形状を有する防湿体１０７とすれば、高い防湿性能を得ることができる。
しかしながら、ハット形状を有する防湿体１０７とすれば、つば部１０７ｃを接着するためのスペースが必要となる。
また、接着層１０９の厚み寸法を小さくすれば、接着層１０９を介した水蒸気の侵入を抑制することができる。
ところが、接着層１０９の厚み寸法を小さくするために、つば部１０７ｃを基板２ａに接着する際の加圧力を大きくすれば、つば部１０７ｃから外側にはみ出す接着剤１０９ａの量が多くなる。
そのため、有効画素エリアの周辺に設けることが必要となる領域がさらに広くなるおそれがある。

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