JP2015171964A - 圧電セラミックス - Google Patents
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Abstract
【課題】材料強度及び耐電圧性を向上すると共に、駆動に必要な電圧を低減した、非鉛系の圧電セラミックスを提供すること。
【解決手段】圧電セラミックスが、組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3(式中、0<x≦1、0<y<1、0≦z≦0.5)で表されるペロブスカイト化合物、K、Co、及びTaを含む酸化物からなる焼結助剤、及び、銀の化合物、を含有し、前記ペロブスカイト化合物、及び、前記焼結助剤に含まれるCo原子の合計100モル%に対し、前記銀の化合物がAg原子基準で1.0〜4.0モル%である。
【選択図】なし
【解決手段】圧電セラミックスが、組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3(式中、0<x≦1、0<y<1、0≦z≦0.5)で表されるペロブスカイト化合物、K、Co、及びTaを含む酸化物からなる焼結助剤、及び、銀の化合物、を含有し、前記ペロブスカイト化合物、及び、前記焼結助剤に含まれるCo原子の合計100モル%に対し、前記銀の化合物がAg原子基準で1.0〜4.0モル%である。
【選択図】なし
Description
本発明は、圧電セラミックスに関する。
圧電体は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換可能な材料として、フィルタやアクチュエータなどの様々な分野で応用されている。現在、圧電材料の主流は、ジルコン酸チタン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)を中心とした鉛系ペロブスカイト化合物である。この化合物については、鉛(特にPbO)を含むため、自然環境等への配慮から鉛系の圧電材料に代わる材料として、非鉛系の圧電セラミックスが検討されている。
非鉛系の圧電セラミックスとして、ニオブ酸カリウムナトリウム((K,Na)NbO3)からなる材料が、電気機械結合係数や機械的品質係数等の圧電特性が優れているものとして知られている。
このような圧電セラミックスを製造するにあたっては、長時間の焼結が必要になるが、揮発性の高いK,Na成分が蒸発することによって組成にずれを生じてしまう問題がある。そこで、焼結を短時間で完了し生産性を向上させることを目的として、圧電セラミックスに焼結助剤を添加することが行われている。
例えば、特許文献1では、組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3(式中、0<x≦1、0<y<1、0≦z≦0.5)で表されるペロブスカイト化合物に対して、焼結助剤として、CuとTa又はNbとを含む酸化物と、組成式MTiO3(式中、MはCa又はSr)で表される単純ペロブスカイト化合物とを配合した、圧電セラミックスが開示されている。また、特許文献2では、組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3(式中、0<x≦1、0<y<1、0≦z≦0.5)で表されるペロブスカイト化合物に対して、焼結助剤として、K、Co、及びTaを含む酸化物を配合した、圧電セラミックスが開示されている。
従来の焼結助剤を添加した組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3(式中、0<x≦1、0<y<1、0≦z≦0.5)で表されるペロブスカイト化合物非鉛系の圧電セラミックスは、鉛系の圧電材料に比べ、材料の信頼性が未知数であるとの課題がある。(ただし、1000℃以上の高温で焼結する場合、その焼結中にアルカリ金属が揮発するために、自然にy<1の条件は達成される。)例えば、圧電セラミックスを、インクジェットプリンターの圧電アクチュエータに応用する場合などには、材料強度及び耐電圧性の向上、並びに、駆動に必要な電圧の低減が求められている。
本発明は、以上に鑑み、材料強度及び耐電圧性を向上すると共に、駆動に必要な電圧を低減した、非鉛系の圧電セラミックスを提供することを課題とする。
本発明者らは上記課題を解決するため、圧電セラミックスの組成を種々検討したところ、組成式が(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3で表されるペロブスカイト化合物に対し、特定元素を含む酸化物からなる焼結助剤及び銀の化合物を配合することにより、材料強度及び耐電圧性を向上すると共に、駆動に必要な電圧を低減した、非鉛系の圧電セラミックスが得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3(式中、0<x≦1、0<y<1、0≦z≦0.5)で表されるペロブスカイト化合物、K、Co、及びTaを含む酸化物からなる焼結助剤、及び、銀の化合物、を含有し、前記ペロブスカイト化合物、及び、前記焼結助剤に含まれるCo原子の合計100モル%に対し、前記銀の化合物がAg原子基準で1.0〜4.0モル%である、圧電セラミックスに関する。
本発明に係る圧電セラミックスは、高い密度および圧電定数を有する。高い密度を有するため材料強度及び耐電圧性に優れ、高い圧電定数を有するとは駆動に必要な電圧が低いということである。
以下では、本発明の実施形態を具体的に説明する。
<<組成>>
本発明に係る圧電セラミックスは、組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3で表されるペロブスカイト化合物を主成分とした非鉛系の圧電セラミックスであり、この主成分に対し、少なくとも、K、Co、及びTaを含む酸化物からなる焼結助剤、及び、銀の化合物を含んでなるものである。
本発明に係る圧電セラミックスは、組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3で表されるペロブスカイト化合物を主成分とした非鉛系の圧電セラミックスであり、この主成分に対し、少なくとも、K、Co、及びTaを含む酸化物からなる焼結助剤、及び、銀の化合物を含んでなるものである。
組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3で表されるペロブスカイト化合物は、本発明に係る圧電セラミックスの主成分を構成する。
前記組成式におけるxは、1以下の正の数を表すが、より好適には0.4〜0.6程度であり、最も好適には0.5である。すなわち、ペロブスカイト化合物は、(K0.5Na0.5)y(Nb1−zBz)O3で表されるものが最も好適に用いられる。このペロブスカイト化合物においては、Kの割合が多くなると焼結性が低下する一方、Naの割合が多くなると圧電特性が低下する傾向にある。そのため、xの適当な値はこれらの兼ね合いで決定すればよいが、一般的には0.5程度に設定すると、適度な焼結性及び圧電特性を両立することができる。
ペロブスカイト化合物では、ペロブスカイト化合物のAサイトの元素(KxNa1−x)よりもBサイトの元素(Nb1−zTaz)の方が過剰になっている。(ただし、1000℃以上の高温で焼結する場合、その焼結中にアルカリ金属が揮発するために、自然にy<1の条件は達成される。)前記組成式において、両サイトの割合を示すyは、1未満の正の数を表すが、0.9以上であることが好ましい。このようにすれば、Bサイトの元素(Nb,Ta)の過剰量すなわち化学量論比からのずれが適度に留められているので、yが0.9未満である場合と比較してより優れた圧電特性を発揮することが可能となる。より好ましくは、yは、0.999未満である。すなわち、Bサイト・イオンをAサイト・イオンに対して0.1モル%以上過剰とすることによって、そうでない場合と比較してより優れた圧電特性を達成できる。
前記組成式におけるzは、0以上0.5以下の数を表す。より好ましくは、0.4以下である。このようにすれば、Taが過剰になることに起因して電気機械結合係数等の圧電特性が低下することが抑制されるので、一層高特性の圧電セラミックスが得られる。一般に、NbがTaで置換されていると誘電率が向上するが、焼結性は低下して密度が低くなる傾向にあり、この時zが一定量以上では圧電特性も低下する。そのため、誘電率の増加のためには、zの値を可及的に大きくすることが望まれるが、zの値を短時間での焼結が可能になる範囲で小さく留めることが望ましい。さらに本発明では、zの値は0.33付近(例えば0.30以上0.35以下程度)であることが最も好ましい。本発明ではK、Co、及びTaを含む酸化物を焼結助剤として添加することにより、このようにzが小さい数値であっても、良好な圧電特性を発揮することが可能となる。このzの値を調節することにより、電気機械結合係数kp、機械的品質係数Qm、比誘電率ε、誘電損失tanδ、圧電定数などの圧電特性を調節することが可能である。
本発明の圧電セラミックスが焼結助剤として含有する成分:K、Co、及びTaを含む酸化物は、上述したペロブスカイト化合物の溶融を抑制すると共に、異常粒成長を抑制した条件下で焼結性を改善する。特許文献1に記載のCuを含む酸化物と比較すると、本発明に用いる酸化物は、固溶の仕方が異なるCoを含むため、ペロブスカイト化合物に配合したときに、酸素欠陥が少なくなる。そのため、Cuを含む酸化物を使用した場合と比較すると、より機械的品質係数Qmが低くソフトな圧電セラミックスを提供できるものと考えられる。
前記K、Co、及びTaを含む酸化物は、組成式:KaCobTacOdで表される酸化物であることが好ましい。この組成式において、a,b,c,dは、それぞれ、任意の正の数を表す。この酸化物を焼結助剤として添加することにより、Cuを含む酸化物を添加する場合と比較して、機械的品質係数Qmが低く、ソフトな圧電セラミックスを提供することができる。なお、前記酸化物は、単一の化合物であってもよいが、各種酸化物の混合物であってもよい。混合物である時には、混合物全体としての組成がK、Co、Ta、及びOを含むものであればよい。
当該組成物に含まれる各元素の適切な組成割合は、当業者が、圧電セラミックスの製造可能性(焼結可能性)や、圧電セラミックスが示す圧電特性の観点から、実験により決定することができる。従って、前記酸化物におけるK、Co、及びTaの組成割合は特に限定しないが、以下では好ましい割合範囲について説明する。
前記酸化物においては、K、Co、及びTaの合計モル数に対するKのモル比率が約4/13以下であることが好ましい。前記酸化物におけるKの割合がこれより多くなると、焼結時に液相が生成しやすくなるため、焼結時に成形体が融解したり成形体の形状が崩壊したりすることで、焼結体である圧電セラミックスを製造できない恐れがある。
また、前記酸化物においては、K、Co、及びTaの合計モル数に対するCoのモル比率が約1/2以下であることが好ましく、約3/10以下であることがより好ましい。前記酸化物におけるCoの割合が多くなりすぎる(逆にKやTaの割合が少なくなりすぎる)と、機械的品質係数Qmが大きくなり、ソフトな圧電セラミックスを得ることができず、また、圧電定数も小さいものになる恐れがある。
さらに、前記酸化物においては、K、Co、及びTaの合計モル数に対するTaのモル比率が約3/10以上であることが好ましく、約1/2以上であることがより好ましい。前記酸化物におけるTaの割合が低くなりすぎると、焼結時に成形体が融解したり成形体の形状が崩壊したりすることで、焼結体である圧電セラミックスを製造できない恐れがある。また、Taの割合を高めることで、よりソフトで、圧電定数が大きい圧電セラミックスを得ることができる。
本発明の圧電セラミックスにおける前記酸化物の配合割合は特に限定されない。当業者が、圧電セラミックスの製造可能性(焼結可能性)や、圧電セラミックスが示す圧電特性の観点から、実験により決定することができる。前記酸化物の好ましい配合割合についても、前記酸化物における各元素の組成比により変動し得るため、一概に規定することはできない。また、他の焼結助剤を併用するか否か、及び、他の焼結助剤の配合割合によっても変動し得る。
しかし一例を挙げると、前記酸化物の配合割合は、前記ペロブスカイト化合物のモル数と当該酸化物のモル数(Co原子を基準としたモル数)との合計を100モル%とした時に、Coの割合が約0.1%を超え2.0モル%未満程度になるような量であることが好ましい。より好ましくは約0.3モル%以上1.0モル%以下である。前記酸化物の配合割合が少なすぎると、焼結助剤としての役割を発揮できず、短時間での焼結が不可能となる恐れがあり、逆に、前記酸化物の配合割合が多すぎると、主成分たるペロブスカイト化合物が発揮する圧電特性を阻害する恐れがある。このような観点から、実験により、適切な配合割合を決定することができる。
本発明の圧電セラミックスでは、添加剤として、前記K、Co、及びTaを含む酸化物以外の化合物を適宜配合してもよい。そのような化合物としては、組成式MTiO3で表される単純ペロブスカイト化合物、酸化マンガン(Mn3O4)、酸化亜鉛(ZnO)、LaMnO3等が挙げられる。これらの添加剤を配合することで、圧電セラミックスが示す圧電定数をさらに大きくすることができる。
本発明の圧電セラミックスは、Pbを含まないものであるため、環境負荷の観点で優れている。さらには、In、Sc、Y、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Yb、及びLuからなる群より選択される元素を含有することなく、大きい圧電定数を達成することができる。
本発明の圧電セラミックスにおける前記銀の化合物の種類は特に限定されない。銀の化合物としては、例えば、酸化物、銀とパラジウムの合金、及び有機銀化合物などが挙げられる。これらの中でも特に、取扱いが容易なため、酸化物であることが好ましい。
本発明の圧電セラミックスにおける前記銀の化合物は、前記ペロブスカイト化合物、及び、前記焼結助剤に含まれるCo原子の合計100モル%に対し、前記銀の化合物がAg原子基準で1.0〜4.0モル%であることが好ましい。1.0モル%未満であると圧電定数が低下する。4.0モル%を超えると、銀の化合物を含有しない場合と比べ、密度および圧電定数のいずれも低下する。
本発明の圧電セラミックスにおいて、前記銀の化合物は、K、Co、及びTaを含む酸化物からなる焼結助剤と共に含まれることにより、圧電セラミックスの密度および圧電定数を高めることができる。
<<製造方法>>
次に、本発明に係る圧電セラミックスの製造方法について説明する。
次に、本発明に係る圧電セラミックスの製造方法について説明する。
本発明の圧電セラミックスは、組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3で表されるペロブスカイト化合物を生成するための主成分と、K、Co、及びTaを含む酸化物と、銀の化合物とを含む原料混合物を所定形状に成形して常圧で焼結することにより製造することができる。この原料混合物には、必要に応じ、他の焼結助剤又はこれを生成するための成分を含めることができる。
配合する銀の化合物としては、無機化合物又は有機化合物のいずれでもよく、有機化合物としては、例えばシュウ酸銀、コハク酸銀などが挙げられる。
前記K、Co、及びTaを含む酸化物は、例えば、KHCO3(又はK2CO3)、NaHCO3、CoO及びTa2O5等の原料を用意し、これら原料を所定の割合で湿式混合した後、得られた混合物を大気雰囲気中で仮焼することにより製造できる。前記湿式混合は、エタノール等を分散媒とし、48時間程度ボールミルで混合して行うことができる。また、仮焼時の条件としては800℃程度の温度を2時間継続すればよいが、特に限定されない。仮焼により、原料中の炭酸水素イオンを分解させると共に他の成分との反応を進行させ、目的の酸化物を形成することができる。
組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3で表されるペロブスカイト化合物を生成するための主成分と、K、Co、及びTaを含む酸化物と、銀の化合物と、必要に応じて他の焼結助剤等とを含む原料混合物を調製する際には、各原料を所定の割合で湿式混合した後、100℃程度での乾燥及び分級処理を行うことができる。前記湿式混合は、エタノール等を分散媒とし、48時間程度ボールミルで混合して実施することができる。
原料混合物の成形には、一般的なセラミックスの各種成形方法を用いることができるが、特に湿式静水圧成形(CIP)を用いることが好ましい。その際の圧力としては例えば180MPa程度がよい。
その後、得られた成形物を常圧で焼結することにより圧電セラミックスを得る。この焼結は空気中又は酸素気流中、1050−1200℃程度の温度で1時間実施すればよい。
<<用途等>>
本発明の圧電セラミックスは、用途に応じた種々の形態を成すものであり、その寸法および形状は特に限定されない。形状としては、例えば、円板状、角柱状や矩形板状等が挙げられる。
本発明の圧電セラミックスは、用途に応じた種々の形態を成すものであり、その寸法および形状は特に限定されない。形状としては、例えば、円板状、角柱状や矩形板状等が挙げられる。
本発明の圧電セラミックスの用途は特に限定されないが、例えば、圧電アクチュエータ等に好適に用いられる。本発明に係る圧電アクチュエータは、例えば、超音波モーター、超音波洗浄器、超音波センサ、プリンターに用いられるインクジェットヘッドに搭載される圧電アクチュエータであってもよい。例えば、円板状の圧電セラミックスを本実施形態に係る圧電セラミックスの製造方法より製造し、該圧電セラミックスの所定の領域に導電材料からなる電極膜を形成することにより駆動電極と接地電極を形成し、圧電アクチュエータとすることができる。
本発明の圧電セラミックスを用いたプリンターの圧電アクチュエータは、電圧印加時の変位特性に優れる。
本発明の圧電セラミックス及びプリンターの圧電アクチュエータをインクジェットプリンターに用いる場合、例えば、図1〜4に示すようなインクジェットプリンターのインクジェットヘッド内の圧電アクチュエータとして用いることができる。その他、インクジェットヘッドとしては、例えば、特開2011−134933号公報、または特開2012−11615公報等に記載のインクジェットヘッドを挙げることができる。
インクジェットプリンター1は、所定の走査方向(図1の左右方向)に沿って往復移動可能に構成されたキャリッジ2と、このキャリッジ2に搭載されたインクジェットヘッド3と、記録用紙Pを走査方向と直交する搬送方向に搬送する搬送機構4などを備えている。
インクジェットヘッド3は、ノズル30や圧力室24を含むインク流路が形成された流路ユニット6と、圧力室24内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ7と、を有している。
圧電アクチュエータ7について説明する。図2〜図4に示すように、圧電アクチュエータ7は、複数の圧力室24を覆うように流路ユニット6(キャビティプレート20)の上面に配置された振動板40と、この振動板40の上面に、複数の圧力室24と対向するように配置された圧電層41と、振動板40と圧電層41の間に配置された共通電極43と、圧電層41の上面に配置された複数の個別電極42と、を有している。
振動板40及び圧電層41には、ともに、本発明の圧電セラミックスを用いることができ、矩形状の平面形状を有するほぼ同じ厚みのシート状をしている。そして、振動板40及び圧電層41は、互いに積層された状態で、キャビティプレート20の上面に複数の圧力室24を覆うように複数の圧力室24に跨って連続的に配設された状態で、キャビティプレート20に接合されている。この圧電層41は、少なくとも圧力室24と対向する領域において厚み方向に分極されている。
共通電極43は、振動板40と圧電層41の間において、これらのほぼ全域に複数の圧力室24に跨って連続的に配置されている。共通電極43は、圧電アクチュエータ7を駆動するヘッドドライバ(図示省略)のグランド配線に接続されて、常にグランド電位に保持される。
複数の個別電極42は、圧電層41の上面において、複数の圧力室24と対向する領域にそれぞれ配置されている。各々の個別電極42は圧力室24よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有し、圧力室24の中央部と対向している。また、複数の個別電極42の端部からは、複数の接点部45が個別電極42の長手方向に沿ってそれぞれ引き出されている。これら複数の接点部45は、図示しないフレキシブルプリント配線板(Flexible Printed Circuit:FPC)を介してヘッドドライバ(図示省略)と電気的に接続されている。これにより、ヘッドドライバから複数の個別電極42に対して、所定の駆動電位とグランド電位の2種類の電位のうち、何れか一方の電位を選択的に付与することが可能となっている。
これら2つの電極のうち、共通電極43には、圧電アクチュエータ7の製造工程の焼成工程における高温によって融解しにくい銀とパラジウムの合金(Ag−Pd)を用いる。また、個別電極42には、圧電アクチュエータ7の表面に露出し外気と接するため、防錆性の高い金属材料であり、加えて、マイグレーションしにくい金属材料である金(Au)を用いる。
そして、個別電極42と共通電極43に挟まれた圧電層41の、少なくとも圧力室24と対向する部分は、厚み方向に分極されて活性部R1となっている。
以下に実施例を掲げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
原料としてKHCO3、CoO及びTa2O5を、それぞれモル比で4:1:8となる割合で使用し、上述した手順で仮焼を行い、組成式K4CoTa8O23を持つ酸化物を得た。なお、この酸化物は、単一の化合物ではなく、KTaO3、K2Ta4O11、Ta2O5、CoTa2O9などの混合物であり、混合物全体として組成式K4CoTa8O23を持つ。すなわち、この組成は混合物全体における平均組成である。次いで、この酸化物と、銀の化合物としてAg2Oと、(K0.5Na0.5)(Nb0.7Ta0.3)O3(以下、略してKNNTともいう)、さらに添加剤としてZnOを上述した手順で湿式混合した後に、乾燥及び分級処理を行った。CIPにより成形を行った後、空気中1160℃で1時間の焼結を行い、圧電セラミックスを得た。
原料としてKHCO3、CoO及びTa2O5を、それぞれモル比で4:1:8となる割合で使用し、上述した手順で仮焼を行い、組成式K4CoTa8O23を持つ酸化物を得た。なお、この酸化物は、単一の化合物ではなく、KTaO3、K2Ta4O11、Ta2O5、CoTa2O9などの混合物であり、混合物全体として組成式K4CoTa8O23を持つ。すなわち、この組成は混合物全体における平均組成である。次いで、この酸化物と、銀の化合物としてAg2Oと、(K0.5Na0.5)(Nb0.7Ta0.3)O3(以下、略してKNNTともいう)、さらに添加剤としてZnOを上述した手順で湿式混合した後に、乾燥及び分級処理を行った。CIPにより成形を行った後、空気中1160℃で1時間の焼結を行い、圧電セラミックスを得た。
なお、KNNTと上記酸化物の割合は、99.5KNNT:0.5(1/h(KgCohTaiOj)となるように、すなわちKNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合にCo量が0.5モル%となるように設定した。また、Ag2O及びZnOの割合は、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、それぞれAgが1.5モル%、Znが0.5モル%となるように設定した。
得られたセラミックスを厚さ1mmの円板状に加工した後、100℃に保持し2kV/mmの印加電圧で分極処理を施した。その後、室温で24時間放置することによってエージングした後に密度および圧電特性の評価を行った。密度はアルキメデス法により評価した。圧電特性は、日本電子材料工業会標準規格「圧電セラミックス振動子の電気的試験法(EMAS−6100)」に従い、インピーダンス・アナライザーを用いた共振反共振法によって実施した(誘電率εr、誘電損失tanδ、機械的品質係数Qm、電気機械結合係数kp)。また、圧電定数d33は、圧電メータPiezometer system PM300, 100Hzにより評価した。結果は表1に示す。
(実施例2)
銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが3.0モル%となるように設定し、焼結温度を1140℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが3.0モル%となるように設定し、焼結温度を1140℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(実施例3)
銀の化合物として銀とパラジウムの合金Ag:Pd=70:30の市販電極ペーストを、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが1.5モル%となるように0.132g配合した以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
銀の化合物として銀とパラジウムの合金Ag:Pd=70:30の市販電極ペーストを、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが1.5モル%となるように0.132g配合した以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例1)
銀の化合物を配合しなかった以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
銀の化合物を配合しなかった以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例2)
銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが0.3モル%となるように設定した以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが0.3モル%となるように設定した以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例3)
銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが4.5モル%となるように設定し、焼結温度を1140℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが4.5モル%となるように設定し、焼結温度を1140℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例4)
原料としてKHCO3、CuO及びTa2O5を、それぞれモル比で4:1:8となる割合で使用し、上述した手順で仮焼を行い、組成式K4CuTa8O23を持つ酸化物を得た。酸化物として、この組成式K4CuTa8O23を持つ酸化物を用い、KNNTと上記酸化物の割合は、99.5KNNT:0.5(1/h(KgCuhTaiOj)となるように、すなわちKNNTと上記酸化物中のCuの合計モル数を100モル%とした場合にCu量が0.5モル%となるように設定し、銀の化合物を配合せず、焼結温度を1100℃とした以外は実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
原料としてKHCO3、CuO及びTa2O5を、それぞれモル比で4:1:8となる割合で使用し、上述した手順で仮焼を行い、組成式K4CuTa8O23を持つ酸化物を得た。酸化物として、この組成式K4CuTa8O23を持つ酸化物を用い、KNNTと上記酸化物の割合は、99.5KNNT:0.5(1/h(KgCuhTaiOj)となるように、すなわちKNNTと上記酸化物中のCuの合計モル数を100モル%とした場合にCu量が0.5モル%となるように設定し、銀の化合物を配合せず、焼結温度を1100℃とした以外は実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例5)
酸化物として比較例4で得られた酸化物を用い、銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが0.3モル%となるように設定し、焼結温度を1120℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
酸化物として比較例4で得られた酸化物を用い、銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが0.3モル%となるように設定し、焼結温度を1120℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例6)
酸化物として比較例4で得られた酸化物を用い、焼結温度を1120℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
酸化物として比較例4で得られた酸化物を用い、焼結温度を1120℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例7)
酸化物として比較例4で得られた酸化物を用い、銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが3.0モル%となるように設定し、焼結温度を1100℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
酸化物として比較例4で得られた酸化物を用い、銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが3.0モル%となるように設定し、焼結温度を1100℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例8)
酸化物として比較例4で得られた酸化物を用い、銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが4.5モル%となるように設定し、焼結温度を1100℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
酸化物として比較例4で得られた酸化物を用い、銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、Agが4.5モル%となるように設定し、焼結温度を1100℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例9)
銀の化合物を配合せず、パラジウムを、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、0.5モル%となるように設定し、焼結温度を1120℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
銀の化合物を配合せず、パラジウムを、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、0.5モル%となるように設定し、焼結温度を1120℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例10)
銀の化合物を配合せず、パラジウムを、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、1.5モル%となるように設定し、焼結温度を1100℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
銀の化合物を配合せず、パラジウムを、KNNTと上記酸化物中のCoの合計モル数を100モル%とした場合に、1.5モル%となるように設定し、焼結温度を1100℃とした以外は、実施例1と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例11)
(K0.5Na0.5)(Nb0.7Ta0.3)O3と、添加剤としてZnOを上述した手順で湿式混合した後に、乾燥及び分級処理を行った。CIPにより成形を行った後、空気中1140℃で1時間の焼結を行い、圧電セラミックスを得た。なお、ZnOの割合は、KNNTを99.5モル%とした場合に、Znが0.5モル%となるように設定した。圧電セラミックスを得た以降は、実施例1と同様にして、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(K0.5Na0.5)(Nb0.7Ta0.3)O3と、添加剤としてZnOを上述した手順で湿式混合した後に、乾燥及び分級処理を行った。CIPにより成形を行った後、空気中1140℃で1時間の焼結を行い、圧電セラミックスを得た。なお、ZnOの割合は、KNNTを99.5モル%とした場合に、Znが0.5モル%となるように設定した。圧電セラミックスを得た以降は、実施例1と同様にして、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例12)
銀の化合物としてAg2Oと、(K0.5Na0.5)(Nb0.7Ta0.3)O3と、さらに添加剤としてZnOを上述した手順で湿式混合した後に、乾燥及び分級処理を行った。CIPにより成形を行った後、空気中1120℃で1時間の焼結を行い、圧電セラミックスを得た。なお、Ag2O及びZnOの割合は、KNNTを99.5モル%とした場合に、それぞれAgが1.5モル%、Znが0.5モル%となるように設定した。圧電セラミックスを得た以降は、実施例1と同様にして、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
銀の化合物としてAg2Oと、(K0.5Na0.5)(Nb0.7Ta0.3)O3と、さらに添加剤としてZnOを上述した手順で湿式混合した後に、乾燥及び分級処理を行った。CIPにより成形を行った後、空気中1120℃で1時間の焼結を行い、圧電セラミックスを得た。なお、Ag2O及びZnOの割合は、KNNTを99.5モル%とした場合に、それぞれAgが1.5モル%、Znが0.5モル%となるように設定した。圧電セラミックスを得た以降は、実施例1と同様にして、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
(比較例13)
銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTを99.5モル%とした場合に、Agが3.0モル%となるように設定した以外は、比較例12と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
銀の化合物としてAg2Oの割合を、KNNTを99.5モル%とした場合に、Agが3.0モル%となるように設定した以外は、比較例12と同様にして、圧電セラミックスを得、密度および圧電特性の評価を行った。結果は表1に示す。
表1に示すように、比較例1と実施例1〜3を比較すると、Ag原子基準で1.0〜4.0モル%の銀の化合物を配合した実施例1〜3の圧電セラミックスでは、密度が5.20g/cm3以上と高い数値を示し、かつ、圧電定数d33が185以上と高い値を示した。すなわち、実施例1〜3では、材料強度及び耐電圧性に優れ、駆動に必要な電圧を低い圧電セラミックスを製造することができた。
また、銀の化合物がAg原子基準で1.0〜4.0モル%の範囲内ではない比較例2及び3では、銀の化合物の配合により圧電定数d33が低下した。このことは、銀の化合物を配合しない比較例1との比較によりわかる。また、焼結助剤として、K、Co、及びTaを含む酸化物からなる焼結助剤を用いていない比較例4〜7では、銀の化合物の配合により、密度は低下し、圧電定数d33の値は、銀の配合量が多いほど低下した。比較例8では、分極ができなかったため圧電特性の測定ができなかった。
比較例1と比較例9〜10の比較によれば、銀の化合物を配合せず、パラジウム単体のみを配合した場合、密度は高い数値を示すが、圧電定数d33が低下した。
比較例11と比較例12〜13の比較によれば、K、Co、及びTaを含む酸化物からなる焼結助剤を含まない場合は、銀の化合物を配合しても、密度は高くならず、圧電定数d33は大きく低下した。
P 記録用紙、1 インクジェットプリンター、2 キャリッジ、3 インクジェットヘッド、4 搬送機構、6 流路ユニット、7 圧電アクチュエータ、10 リニアエンコーダ、11 フォトセンサ、12 給紙ローラ、13 排紙ローラ、14 給紙モータ、15 排紙モータ、17 ガイド軸、18 無端ベルト、19 キャリッジ駆動モータ、20 キャビティプレート、21 ベースプレート、22 マニホールドプレート、23 ノズルプレート、24 圧力室、25、26 連通孔、27 マニホール、28 インク供給口、29 連通孔、30 ノズル、31 個別インク流路、40 振動板、41 圧電層、42 個別電極、43 共通電極、45 接点部
Claims (3)
- 組成式(KxNa1−x)y(Nb1−zTaz)O3(式中、0<x≦1、0<y<1、0≦z≦0.5)で表されるペロブスカイト化合物、
K、Co、及びTaを含む酸化物からなる焼結助剤、及び、
銀の化合物、
を含有し、
前記ペロブスカイト化合物、及び、前記焼結助剤に含まれるCo原子の合計100モル%に対し、前記銀の化合物がAg原子基準で1.0〜4.0モル%である、
圧電セラミックス。 - 前記銀の化合物は、銀の酸化物である、請求項1に記載の圧電セラミックス。
- 請求項1又は2に記載の圧電セラミックスを用いた、プリンターの圧電アクチュエータ。
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JP2014024698A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Nagoya Univ | 圧電セラミックス |
JP2018506190A (ja) * | 2015-11-27 | 2018-03-01 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 多層デバイスおよび多層デバイスを製造するための方法 |
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JP2004244299A (ja) * | 2003-01-23 | 2004-09-02 | Denso Corp | 圧電磁器組成物及びその製造方法,並びに圧電素子及び誘電素子 |
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2014
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