JP2015169563A - 差圧/静圧複合センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の保持部材4に、静圧用ダイアフラム3の一方の受圧面に対向する空間(円環状の空間)として第1の室6を設け、第2の保持部材5に、静圧用ダイアフラム3の他方の受圧面に対向する空間(円環状の空間)として第2の室7を設ける。差圧用ダイアフラム2の一方の面への測定圧力P1を第1の保持部材4の周縁部に設けられた第1の室6に分岐して導く。静圧用ダイアフラム3の一方の受圧面の幅W1を他方の受圧面の幅W2の所定倍以上(例えば、1.5倍以上、2倍以上)とする。
【選択図】 図1
Description
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (5)
- 基板と、
前記基板の中央部に設けられた差圧用ダイアフラムと、
前記差圧用ダイアフラムを囲むようにして設けられた静圧用ダイアフラムと、
前記基板の一方の面および他方の面にその周縁部を前記静圧用ダイアフラムを挟んで対面させて接合された第1および第2の保持部材と、
前記第1の保持部材に設けられ前記差圧用ダイアフラムの一方の受圧面に第1の測定圧力を導く第1の導圧孔と、
前記第2の保持部材に設けられ前記差圧用ダイアフラムの他方の受圧面に第2の測定圧力を導く第2の導圧孔と、
前記第1の保持部材の周縁部に、前記静圧用ダイアフラムの一方の受圧面に対向する空間として設けられ、内部に前記差圧用ダイアフラムの一方の受圧面への第1の測定圧力が分岐して導かれる第1の室と、
前記第2の保持部材の周縁部に、前記静圧用ダイアフラムの他方の受圧面に対向する空間として設けられ、内部が基準圧とされる第2の室とを備えた差圧/静圧複合センサにおいて、
前記静圧用ダイアフラムは、
前記第1の室に対向する一方の受圧面の幅が前記第2の室に対向する他方の受圧面の幅の所定倍以上とされている
ことを特徴とする差圧/静圧複合センサ。 - 請求項1に記載された差圧/静圧複合センサにおいて、
前記静圧用ダイアフラムは、
前記差圧用ダイアフラムの周囲を囲むようにして連続して設けられた環状のダイアフラムとされている
ことを特徴とする差圧/静圧複合センサ。 - 請求項1に記載された差圧/静圧複合センサにおいて、
前記静圧用ダイアフラムは、
前記差圧用ダイアフラムの周囲を囲むようにして分割して設けられた環状のダイアフラムとされている
ことを特徴とする差圧/静圧複合センサ。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載された差圧/静圧複合センサにおいて、
前記静圧用ダイアフラムは、
前記第1の室に対向する一方の受圧面の幅が前記第2の室に対向する他方の受圧面の幅の1.5倍以上とされている
ことを特徴とする差圧/静圧複合センサ。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載された差圧/静圧複合センサにおいて、
前記静圧用ダイアフラムは、
前記第1の室に対向する一方の受圧面の幅が前記第2の室に対向する他方の受圧面の幅の2倍以上とされている
ことを特徴とする差圧/静圧複合センサ。
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JP2010091384A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-04-22 | Yamatake Corp | 圧力センサ |
US20130277772A1 (en) * | 2010-09-20 | 2013-10-24 | Fairchild Semiconductor Corporation | Microelectromechanical pressure sensor including reference capacitor |
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