JP2015160273A - ブレードカバー - Google Patents
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Abstract
【課題】後ろカバーに対する前カバーの脱着を容易に行えるブレードカバーを提供する。
【解決手段】ブレードカバー20は、スピンドルハウジング13に固定される後ろカバー200aと、後ろカバー200aに対して取り外し可能に固定される前カバー200bと、前カバー200bと後ろカバー200aとを固定する固定手段21と、前カバー200bと後ろカバー200aとの横ずれを防止する位置決め手段25とを備え、固定手段21は、前カバー200bに永久磁石22aが埋設されるとともに、後ろカバー200aに強磁性体23aが埋設された構成となっているため、前カバー200bと後ろカバー200aとを磁力によって固定することができる。これにより、後ろカバー200aに対する前カバー200bの脱着時にネジを締めたり緩めたりする作業が必要なくなり、従来に比べて前カバー200bの脱着作業が容易に行うことができる。
【選択図】図2
【解決手段】ブレードカバー20は、スピンドルハウジング13に固定される後ろカバー200aと、後ろカバー200aに対して取り外し可能に固定される前カバー200bと、前カバー200bと後ろカバー200aとを固定する固定手段21と、前カバー200bと後ろカバー200aとの横ずれを防止する位置決め手段25とを備え、固定手段21は、前カバー200bに永久磁石22aが埋設されるとともに、後ろカバー200aに強磁性体23aが埋設された構成となっているため、前カバー200bと後ろカバー200aとを磁力によって固定することができる。これにより、後ろカバー200aに対する前カバー200bの脱着時にネジを締めたり緩めたりする作業が必要なくなり、従来に比べて前カバー200bの脱着作業が容易に行うことができる。
【選択図】図2
Description
本発明は、切削ブレードを覆うブレードカバーに関する。
切削ブレードを有し被加工物に切削を施す切削装置においては、被加工物の切削によって発生する加工熱を冷却するとともに、切削によって生じる切削屑を被加工物上から排出するために、当該切削ブレードに向けて切削液を供給しながら切削を実施する。切削液は、切削ブレードを覆うブレードカバーに設けられたノズルから供給される。
ブレードカバーは、例えば前カバーと後ろカバーとにより構成されており、切削ブレードを回転可能に収容できるスペースを有している。ブレードカバーは、後ろカバーをスピンドルハウジングにネジ締結して固定した後、スピンドルの先端に切削ブレードを装着し、次いで、後ろカバーに前カバーをネジ締結して固定することにより、スピンドルハウジングに装着される(例えば、下記の特許文献1を参照)。
切削ブレードにより被加工物の切削加工を続けると、切削ブレードの外周部に形成された切り刃が磨耗するため、交換が必要になった切削ブレードは新品の切削ブレードへと交換される。この際、作業者が後ろカバーから前カバーを外して新しい切削ブレードへと交換した後、再度、前カバーを後ろカバーに装着している。
しかし、上記したようなブレードカバーにおいては、後ろカバーに対して前カバーを脱着する際に、その都度ネジを締めたり緩めたりする作業を行っているため、非常に手間がかかり、作業性が悪いという問題がある。
本発明は、上記の事情をかんがみてなされたものであり、ブレードカバーに関し、後ろカバーに対する前カバーの脱着を容易に行えるようにすることを目的とする。
本発明は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードが装着され該切削ブレードを回転させるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に収容するスピンドルハウジングと、を少なくとも備えた切削装置において、該切削ブレードを覆うブレードカバーであって、該スピンドルハウジングに固定される後ろカバーと、該後ろカバーに対して取り外し可能に固定される前カバーと、該前カバーと該後ろカバーとを固定する固定手段と、該前カバーと該後ろカバーとの横ずれを防止する位置決め手段と、を備え、該固定手段は、該前カバーまたは該後ろカバーに配設された第一磁石と該後ろカバーまたは該前カバーにおいて少なくとも該第一磁石に対向した位置に配設された第二磁石または強磁性体とを有する。
本発明にかかるブレードカバーは、前カバーもしくは後ろカバーに配設された第一磁石と、前カバーもしくは後ろカバーにおいて該第一磁石と対向した位置に配設された第二磁石または強磁性体とにより構成される固定手段を備えるため、前カバーを後ろカバーに取り付ける際は、磁力によって前カバーと後ろカバーとが固定されるため、後ろカバーに対する前カバーの脱着時に逐一ネジを締めたり緩めたりする作業が必要なくなり、従来に比べて前カバーの脱着作業を容易に行うことができる。
図1に示す切削装置1は、切削装置の一例であり、装置ベース2を有している。装置ベース2の前部には、複数の被加工物を収容するカセット3が配設されている。装置ベース2の上面2aには、カセット3から切削前の被加工物を搬出するとともにカセット3に切削後の被加工物を搬入する搬入出手段4と、被加工物が仮置きされる仮置き領域5と、被加工物を保持しつつX軸方向に移動可能な保持手段7とが配設されている。カセット3の近傍には、仮置き領域5と保持手段7との間で被加工物を搬送する第1の搬送手段6aが配設されている。
保持手段7の移動経路の上方には、被加工物の切削すべき領域を認識するための撮像手段8と、被加工物に切削を施す切削手段10とを備えている。撮像手段8は、光学系の撮像素子を有している。装置ベース2の中央には、切削手段10によって切削された被加工物の洗浄を行う洗浄領域9と、保持手段7から洗浄領域9に切削後の被加工物を搬送する第2の搬送手段6bとが配設されている。
切削手段10は、図2に示すように、被加工物を切削する切削ブレード11と、切削ブレード11が装着され切削ブレード11を回転させるスピンドル12と、スピンドル12を回転可能に収容するスピンドルハウジング13とを少なくとも備えている。スピンドル12の先端にはマウントフランジ14が装着されている。マウントフランジ14は、雄ねじが形成された円柱状のマウント部14aと、マウント部14aより拡径したフランジ部14bとから構成されている。スピンドルハウジング13の端面である装着面130には、ボルトを嵌合させる嵌合穴13aが少なくとも2つ形成されている。
切削ブレード11は、中央に開口部を有するハブ基台ボス部15と、これに連接したハブ基台テーパー部16と、ハブ基台テーパー部16の外周部に固着された切り刃18とから構成されており、切削ブレード11は、マウントフランジ14のマウント部14aに挿入され、ハブ基台テーパー部16がフランジ部14bに当接し、固定ナット17がマウント部14aの雄ねじに螺着されることによってマウントフランジ14に固定され、スピンドル12と一体化した状態で使用される。そして、図示しないモータによってスピンドル12を所定の回転速度で回転させることにより、切削ブレード11を所定の回転速度で回転させることができる。
図1に示す切削装置1は、上記のように構成される切削ブレード11を回転可能に覆うブレードカバー20を備えている。ブレードカバー20は、図2に示すように、スピンドルハウジング13に固定される後ろカバー200aと、後ろカバー200aに対して取り外し可能に固定される前カバー200bと、前カバー200bと後ろカバー200aとを固定する固定手段21と、前カバー200bと後ろカバー200aとを固定する際に前カバー200bと後ろカバー200aとの横ずれを防止する位置決め手段25とを備えている。
前カバー200b及び後ろカバー200aの中央には、スピンドル12の先端に装着される切削ブレード11を回転可能に収容するスペースが形成されている。前カバー200bは、一方の面が、後ろカバー200aに取り付けられる取り付け面205となっている。後ろカバー200aは、スピンドルハウジング13の装着面130に装着される面が第一の面201となっており、第一の面201と反対側の面が前カバー200bの取り付け面205に取り付けられる第二の面202となっている。
また、後ろカバー200aには、スピンドルハウジング13に形成された各嵌合穴13aと対応する位置に嵌合穴203が形成されている。後ろカバー200aの底部204及び前カバー200bの底部206には、切削液を切削ブレード11に向けて噴出するノズル28がそれぞれ配設されている。
固定手段21は、前カバー200bに埋設された永久磁石22aと、永久磁石22aと対向した位置で後ろカバー200aに埋設された強磁性体23aとにより構成されている。
強磁性体23aとしては、耐食性のあるステンレス鋼材(例えばSUS430)を使用する。なお、永久磁石22a及び強磁性体23aは、それぞれカバー内部に埋設されているため、永久磁石22a及び強磁性体23aに錆が発生するのを防止できる。
強磁性体23aとしては、耐食性のあるステンレス鋼材(例えばSUS430)を使用する。なお、永久磁石22a及び強磁性体23aは、それぞれカバー内部に埋設されているため、永久磁石22a及び強磁性体23aに錆が発生するのを防止できる。
固定手段21は、図示の例における構成に限定されるものではなく、永久磁石22aと強磁性体23aとを逆の配置にしてもよい。すなわち、前カバー200bに強磁性体23aを配設して後ろカバー200aに永久磁石22aを配設するようにしてもよい。また、永久磁石22aを電磁石に替えてもよく、強磁性体23aは、永久磁石や電磁石に替えてもよい。このように構成される固定手段21は、後ろカバー200aに対する前カバー200bの脱着を作業者に容易に遂行させることができる。
位置決め手段25は、前カバー200bの取り付け面205に配設された位置決めピン26aと、後ろカバー200aの第二の面202に形成され位置決めピン26aを嵌合させる嵌合穴27aとにより構成されている。前カバー200bを後ろカバー200aに取り付けるとき、位置決めピン26aが嵌合穴27aに嵌合することにより、前カバー200bと後ろカバー200aとが横ずれするのを防止できる。
位置決め手段25は、図示の例における構成に限定されるものではない。例えば、上下もしくは左右に開く蝶番で構成してもよいし、前カバー200bもしくは後ろカバー200aのいずれか一方に凸部を形成して、他方に該凸部が嵌る凹部を形成した構成でもよい。
このように構成される図1で示したブレードカバー20をスピンドルハウジング13に装着する動作について説明する。まず、作業者は、図2に示すように、嵌合穴203と嵌合穴13aとが連通するように、スピンドルハウジング13の装着面130に後ろカバー200aの第一の面201を合わせ、ボルト24を嵌合穴203から挿入するとともに嵌合穴13aに螺着して固定する。その後、マウントフランジ14をスピンドル12の先端に装着してネジ止めにより固定し、マウントフランジ14のマウント部14aに切削ブレード11を挿入し、固定ナット17をマウントフランジ14のマウント部14aに形成された雄ねじ部に螺着しスピンドル12の先端に切削ブレード11を固定し、前カバー200bを後ろカバー200aに取り付ける。
作業者が、後ろカバー200aに前カバー200bを接近させると、前カバー200bに埋設された永久磁石22aが、後ろカバー200aに埋設された強磁性体23aを磁力によって引き寄せ、後ろカバー200aの第二の面202に前カバー200bの取り付け面205を合わせて後ろカバー200aと前カバー200bとを容易に固定できる。
このとき、位置決めピン26aが、後ろカバー200aに形成された嵌合穴27aに嵌合することにより、前カバー200bが後ろカバー200aに対して所定の位置に案内され、前カバー200bと後ろカバー200aとが横ずれすることが防止される。その結果、図3に示すように、前カバー200bと後ろカバー200aとが一体となって図2に示した切削ブレード11の切り刃18の刃先18aを覆うブレードカバー20として形成される。このようにして、切削ブレード11に対してブレードカバー20の装着を行う。
次に、図1に示す切削装置1において、ブレードカバー20が装着された切削ブレード11によってウェーハWに切削を施す動作について説明する。ウェーハWは、被加工物の一例であり、テープTを介して環状のフレームFと一体となった状態でカセット3に複数収容されている。まず、搬入出手段4は、フレームFと一体となったウェーハWをカセット3から引き出して仮置き領域5に仮置きする。
仮置き領域5に仮置きされたウェーハWを第1の搬送手段6aによって保持手段7に搬送する。図示しない吸引源が作動することにより、保持手段7でウェーハWを吸引保持しつつ、保持手段7をX軸方向に移動させ、ブレードカバー20が装着された切削手段10の下方に移動させる。切削手段10の下方に保持手段7を移動させつつ、図2で示したスピンドル12が回転し、切削ブレード11を所定の回転速度で回転させるとともに、切削手段10をZ軸方向に下降させる。そして、回転する切削ブレード11をウェーハWの上面に切り込ませて切削を行い、ウェーハWを個々のデバイスに分割する。
ウェーハWの切削が完了した後、図1に示す第2の搬送手段6bによって切削後のウェーハWが洗浄領域9に搬送されて洗浄された後、第1の搬送手段6aによって仮置き領域5にウェーハWが仮置きされ、洗浄後のウェーハWは搬入出手段4によりカセット3に収容される。このような動作を、カセット3に収容されたすべてのウェーハWに対して行う。
ここで、切削ブレード11で複数のウェーハWの切削加工を続けると、切削ブレード11の切り刃18の刃先18aが磨耗するため、切削ブレード11を適宜新たな切削ブレードに交換する。具体的には、作業者が、図2に示した前カバー200bを後ろカバー200aから取り外すとともに、スピンドル12の先端のマウントフランジ14から磨耗した切削ブレード11を取り外す。前カバー200bは、磁力のみによって後ろカバー200aに取り付けられているため、ネジを緩めたりすることなく容易に取り外すことができる。その後、新たな切削ブレードを固定ナット17によってスピンドル12の先端のマウントフランジ14に固定したら、再度、前カバー200bを後ろカバー200aに取り付ける。このとき、上記同様に、前カバー200bに埋設された永久磁石22aが後ろカバー200aに埋設された強磁性体23aを磁力によって引き寄せ、後ろカバー200aの第二の面202に前カバー200bの取り付け面205を合わせて後ろカバー200aと前カバー200bとを容易に固定できる。このようにして切削ブレードの交換作業を行う。
図4に示す箱状のブレードカバー30は、図2に示した切削ブレード11を回転可能に覆うブレードカバーの変形例である。ブレードカバー30は、スピンドルハウジング13に取り付けられる後ろカバー300aと、後ろカバー300aと対面して後ろカバー300aに取り付けられる前カバー300bと、前カバー300bと後ろカバー300aとを固定する図2に示した固定手段21と、前カバー300bと後ろカバー300aとを固定する際に前カバー300bと後ろカバー300aとの横ずれを防止する図2に示した位置決め手段25とを備えている。前カバー300bの外周側面には、前カバー300bの取外しを容易にするグリップ用の溝31が形成されている。一方、後ろカバー300aの外周側面には、被加工物の上面に対して切削液を供給する切削液供給手段41が配設されている。
ブレードカバー30の底部301には、図5に示すように、図2に示した切削ブレード11の切り刃18の厚さ方向に所定の幅Lを有するスリット状開口部32が形成されている。ブレードカバー30の内部に図2で示した切削ブレード11を収容すると、スリット状開口32から切削ブレード11の切り刃18の刃先18a(図2参照)が僅かに突出するようになっている。スリット状開口部32の幅Lは、切削ブレード11の先端形状よりも僅かに大きい幅を有していればよく、例えば1mm以下の幅となっている。
ブレードカバー30の底部301には、スリット状開口部32に連通してエアー取り込み路33が形成されている。エアー取り込み路33は、切削ブレード11の回転方向と逆方向側(上流側)にブレードカバー30の外側にむけて伸張しており、ブレードカバー30の底部301の一端に至るまで形成されている。すなわち、エアー取り込み路33は、底部301の一端において開口している。
図6(a)及び(b)に示すように、後ろカバー300a及び前カバー300bの内部には、一端がスリット状開口部32に連通するとともに他端が排出口36を介して吸引源38に連通する排出路35が形成されている。排出路35は、ブレードカバー30の底部301に対して傾斜を設けて図2で示した切削ブレード11の回転方向における先頭側に形成されている。吸引源38側の排出路35の先端にはパイプ37が挿入されており、そのパイプ37の露出部分がブレードカバー30の外側に突出している。排出路35にパイプ37が挿入されていることにより、後ろカバー300aと前カバー300bとの合わせ面からエアーが漏れて吸引圧力が低下するのを防止している。
スリット状開口部32の一端で、かつ排出路35の延長線上には、吸引開口部34が形成されている。吸引開口部34は、図5に示すように、スリット状開口部32の幅Lよりも広い幅を有している。図示の例における吸引開口部34は、楕円形に形成されているが、この形状に限定されるものではない。このように、スリット状開口部32の一端に幅広の吸引開口部34を形成することにより、切削時に使用される切削液を排出路35に効率よく取り込むことができる。
図4に示したブレードカバー30に備える固定手段(不図示)の構成は、図2に示した固定手段21と同様となっている。すなわち、固定手段21は、図6(b)に示す前カバー300bに埋設された永久磁石22bと、前カバー300bに埋設された永久磁石22bと対向した位置で図6(a)に示す後ろカバー300aに埋設された強磁性体23bとにより構成されている。図2に示した切削ブレード11に対して図4に示すブレードカバー30を脱着する際には、上記ブレードカバー20と同様、前カバー300bに埋設された永久磁石22bが後ろカバー300aに埋設された強磁性体23bを磁力によって引き寄せるため、後ろカバー300aに対する前カバー300bの脱着を作業者に容易に遂行させることができる。なお、永久磁石22bを電磁石に替えてもよい。
また、ブレードカバー30に備える位置決め手段(不図示)の構成は、図2に示した位置決め手段25と同様となっている。すなわち、図6(b)に示す前カバー300bに形成された位置決めピン26bと、図6(a)に示す後ろカバー300aに形成され位置決めピン26bを嵌合させる嵌合穴27bとにより構成されている。そして、前カバー300bを後ろカバー300aに取り付けるとき、位置決めピン26bが嵌合穴27bに嵌合することにより、前カバー300bと後ろカバー300aとが横ずれするのを防止できる。
図7に示すように、後ろカバー300a及び前カバー300bの中央には、スピンドル12をブレードカバー30の内部に挿入させるスピンドル用挿入孔39が形成されている。また、ブレードカバー30には、スピンドル用挿入孔39に連通してマウントフランジ収容部40が形成されている。マウントフランジ収容部40は、スピンドル12の先端に連結されたマウントフランジ14と、固定ナット17によってマウントフランジ14に固定された切削ブレード11とを収容できるスペースを有している。このようにブレードカバー30は、その内部において、被加工物に接触する切削ブレード11の切り刃の一部分だけをスリット状開口部32から突出させ、突出部分以外の切削ブレード11を覆うようにして収容できる構成となっている。
図8に示すように、切削液供給手段41は、ブレードカバー30の側部に取り付けられた供給部42と、ブレードカバー30の底部301に形成された複数の切削液供給口43と、一端が切削液供給口43に接続されるとともに他端が供給部42を介して切削液供給源46に接続された切削液供給路44とを備えている。
複数の切削液供給口43は、図5に示すスリット状開口部32の伸張方向と平行に一直線上に整列し、当該一直線上に複数の切削液供給口43が整列した部分が切削液供給領域47a、47bとして構成されている。この切削液供給領域47a、47bは、底部301においてスリット状開口部42を挟んで少なくとも2つ形成されている。なお、切削液供給口43の個数や形状は特に限定されるものではない。また、切削液供給領域は、2組以上配設されていてもよい。
以上のとおり、本発明のブレードカバー20,30は、前カバー200b,300bに永久磁石22a,22bを埋設するとともに、後ろカバー200a,300aに強磁性体23a,23bを埋設した構成となっているため、前カバー200b,300bを後ろカバー200a,300aに接近させると、磁力によって前カバー200b,300bと後ろカバー200a,300aとが固定されるため、後ろカバー200a,300aに対する前カバー200b,300bの脱着時に逐一ネジを締めたり緩めたりする作業が必要なくなり、作業効率が向上する。
1:切削装置 2:装置ベース 2a:上面 3:カセット 4:搬入出手段
5:仮置き領域 6a:第1の搬送手段 6b:第2の搬送手段 7:保持手段
8:撮像手段 9:洗浄領域
10:切削手段 11:切削ブレード 12:スピンドル
13:スピンドルハウジング 13a:嵌合穴 130:装着面
14:マウントフランジ 15:ハブ基台ボス部 16:ハブ基台テーパー部
17:固定ナット 18:切り刃 18a:刃先
20:ブレードカバー 200a:後ろカバー 200b:前カバー
201:第一の面 202:第二の面 203:嵌合穴 204:底部
205:取り付け面 206:底部
21:固定手段 22a,22b:永久磁石 23a,23b:強磁性体
24:ボルト 25:位置決め手段 26a,26b:位置決めピン
27a,27b:嵌合穴 28:ノズル
30:ブレードカバー 300a:後ろカバー 300b:前カバー
301:底部 31:溝 32:スリット状開口部
33:エアー取り込み路 34:吸引開口部 35:排出路 36:排出口
37:排出カバー 38:吸引源 39:スピンドル用挿入孔
40:マウントフランジ収容部
41:切削液供給手段 42:供給部 43:切削液供給口 44:切削液供給路
45:接続供給路 46:切削液供給源 47:切削液供給領域
5:仮置き領域 6a:第1の搬送手段 6b:第2の搬送手段 7:保持手段
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Claims (1)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードが装着され該切削ブレードを回転させるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に収容するスピンドルハウジングと、を少なくとも備えた切削装置において、該切削ブレードを覆うブレードカバーであって、
該スピンドルハウジングに固定される後ろカバーと、
該後ろカバーに対して取り外し可能に固定される前カバーと、
該前カバーと該後ろカバーとを固定する固定手段と、
該前カバーと該後ろカバーとの横ずれを防止する位置決め手段と、を備え、
該固定手段は、該前カバーまたは該後ろカバーに配設された第一磁石と該後ろカバーまたは該前カバーにおいて少なくとも該第一磁石に対向した位置に配設された第二磁石または強磁性体とを有するブレードカバー。
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JP2014036563A JP2015160273A (ja) | 2014-02-27 | 2014-02-27 | ブレードカバー |
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JP2014036563A JP2015160273A (ja) | 2014-02-27 | 2014-02-27 | ブレードカバー |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021013965A (ja) * | 2019-07-10 | 2021-02-12 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008049469A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Saito Shokai:Kk | 集じんカバー |
JP2011020231A (ja) * | 2009-07-17 | 2011-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
-
2014
- 2014-02-27 JP JP2014036563A patent/JP2015160273A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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JP7454920B2 (ja) | 2019-07-10 | 2024-03-25 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
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