JP2015159108A - 荷電粒子ビーム装置および試料観察方法 - Google Patents
荷電粒子ビーム装置および試料観察方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015159108A JP2015159108A JP2015007781A JP2015007781A JP2015159108A JP 2015159108 A JP2015159108 A JP 2015159108A JP 2015007781 A JP2015007781 A JP 2015007781A JP 2015007781 A JP2015007781 A JP 2015007781A JP 2015159108 A JP2015159108 A JP 2015159108A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- charged particle
- piece
- electron beam
- fib
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 392
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 71
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 35
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 18
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 10
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001198 high resolution scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005464 sample preparation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
- G01N23/2251—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/32—Polishing; Etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
- H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
- H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching
- H01J37/3056—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching for microworking, e.g. etching of gratings, trimming of electrical components
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
- G01N2223/309—Accessories, mechanical or electrical features support of sample holder
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/40—Imaging
- G01N2223/418—Imaging electron microscope
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/612—Specific applications or type of materials biological material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2007—Holding mechanisms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
- H01J2237/20214—Rotation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2802—Transmission microscopes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
- H01J2237/31749—Focused ion beam
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
【解決手段】荷電粒子ビーム装置は、電子ビーム鏡筒1とFIB鏡筒2とを備え、電子ビーム鏡筒1とFIB鏡筒2とは、それぞれの照射軸が試料6上で互いに直交または略直交し、電子ビーム鏡筒1とFIB鏡筒2とが干渉することなく配置されている。また、第一の試料ステージ8と第二の試料ステージ11とが、それぞれ独立して設けられ、D1、D2およびD3方向に移動し、軸方向に傾斜可能である。試料6を第一の試料ステージ8で移動させ、試料から切り離した試料片6aを、軸方向を中心として回転可能なプローブ12の先端に固定させ、移動させることによりカーテン効果の影響を軽減した試料片6aを作製する。
【選択図】図1
Description
図7から図9の試料片6aの移設の説明図を用いて試料片6aの姿勢制御方法を説明する。実施例1は、試料片6aが180°回転することを示している。
図10から図11を用いて、試料片6aが180°回転する実施例2を説明する。実施例1と異なる点は、第一の試料ステージ8の傾斜がFIB照射軸に対し20°であり、第一の試料ステージ8の試料ホルダ7の先端に固定されている試料6も20°傾斜している。
図12から図16を用いて、試料片6aが90°回転する実施例3を説明する。
図17から図18を用いて、平面TEM試料作製の一例を説明する。
図19から図22を用いて、平面TEM試料作製の他の一例を説明する。実施例4と異なる点は、第二の試料ステージ11、TEM試料ホルダ10の固定部31及び試料片6aをFIB照射軸に対し10°傾斜させていることである。
図23は荷電粒子ビーム装置の他の実施形態を示す。本実施形態の荷電粒子ビーム装置は、さらに気体イオンビーム鏡筒14を備える。気体イオンビーム鏡筒14は気体イオンビームを試料6に照射することにより、試料6のダメージ層の除去や観察面のクリーニングを実施することができる。なお、気体イオンビームのイオン種はアルゴン、キセノン、酸素などを用いる。気体イオンビーム鏡筒14はFIB鏡筒2と第二の試料ステージ11との間に配置される。気体イオンビーム鏡筒14は、D2方向とD3方向からなる面内、つまり、水平方向に気体イオンビームを照射できる。
1a:電子ビーム
2:FIB(イオンビーム)鏡筒
2a:FIB(イオンビーム)
3:試料室
4:二次電子検出器
5:透過電子検出器
6:試料
6a:試料片
6b:デバイス構造
7:試料ホルダ
8:第一の試料ステージ
9:傾斜機構
10:TEM試料ホルダ
11:第二の試料ステージ
12:プローブ
13:プローブ駆動部
14:気体イオンビーム鏡筒
20:入力部
21:制御部
22:電子ビーム制御部
23:FIB制御部
24:像形成部
25:試料ステージ制御部
26:プローブ制御部
27:表示部
Claims (6)
- 試料に電子ビームを照射する電子ビーム鏡筒と、
前記電子ビーム鏡筒に対し略直交するように配置され、前記試料にイオンビームを照射し、エッチング加工するイオンビーム鏡筒と、
前記試料から発生する荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器の検出信号から荷電粒子像を形成する像形成部と、
前記試料を保持し、傾斜可能な第一の試料ステージと、
前記試料から切り出した試料片を保持し、傾斜可能な第二の試料ステージと、
前記試料片を保持しつつ、軸方向を中心として回転可能なプローブと、を有する荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置であって、
前記第一の試料ステージの傾斜軸と前記第二の試料ステージの傾斜軸とが略並行に配置される荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置であって、
前記プローブが前記第一の試料ステージ及び前記第二の試料ステージと独立に駆動する荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置であって、
前記プローブが前記第一の試料ステージよりも前記イオンビーム鏡筒の近くに配置されている荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置であって、
前記検出器は、前記試料を前記第一の試料ステージで保持した状態および前記試料を前記第二の試料ステージで保持した状態で、前記荷電粒子を検出する透過電子検出器である荷電粒子ビーム装置。 - 試料に電子ビームを照射するステップと、
前記電子ビームに略直交するように前記試料にイオンビームを照射し、エッチング加工するステップと、
前記試料から発生する荷電粒子を検出するステップと、
検出器の検出信号から荷電粒子像を形成するステップと、
前記試料を保持するステップと、
前記試料から切り出した試料片を保持するステップと、
前記試料片を保持しつつ軸方向を中心として回転するステップと、
を備える試料観察方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015007781A JP6529264B2 (ja) | 2014-01-22 | 2015-01-19 | 荷電粒子ビーム装置および試料観察方法 |
US14/601,478 US9384941B2 (en) | 2014-01-22 | 2015-01-21 | Charged particle beam apparatus and sample observation method |
KR1020150009978A KR102056507B1 (ko) | 2014-01-22 | 2015-01-21 | 하전 입자 빔 장치 및 시료 관찰 방법 |
TW104102101A TWI642079B (zh) | 2014-01-22 | 2015-01-22 | Charged particle beam device and sample observation method |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014009915 | 2014-01-22 | ||
JP2014009915 | 2014-01-22 | ||
JP2015007781A JP6529264B2 (ja) | 2014-01-22 | 2015-01-19 | 荷電粒子ビーム装置および試料観察方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015159108A true JP2015159108A (ja) | 2015-09-03 |
JP6529264B2 JP6529264B2 (ja) | 2019-06-12 |
Family
ID=53545420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015007781A Active JP6529264B2 (ja) | 2014-01-22 | 2015-01-19 | 荷電粒子ビーム装置および試料観察方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9384941B2 (ja) |
JP (1) | JP6529264B2 (ja) |
KR (1) | KR102056507B1 (ja) |
TW (1) | TWI642079B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180040664A (ko) * | 2015-11-18 | 2018-04-20 | 미즈호 죠호 소켄 가부시키가이샤 | 치료 지원 시스템 및 이의 작동 방법, 및 치료 지원 프로그램을 기억하는 기억 매체 |
WO2018235194A1 (ja) * | 2017-06-21 | 2018-12-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置およびクリーニング方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9679743B2 (en) * | 2015-02-23 | 2017-06-13 | Hitachi High-Tech Science Corporation | Sample processing evaluation apparatus |
JP6711655B2 (ja) * | 2016-03-18 | 2020-06-17 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 集束イオンビーム装置 |
JP6753679B2 (ja) * | 2016-03-25 | 2020-09-09 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 制御装置、荷電粒子ビーム装置、プログラム及び加工品を生産する方法 |
JP7031859B2 (ja) * | 2018-02-20 | 2022-03-08 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置、試料加工観察方法 |
JP7171010B2 (ja) * | 2018-03-07 | 2022-11-15 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 断面加工観察装置、断面加工観察方法及びプログラム |
US11398365B1 (en) * | 2018-03-15 | 2022-07-26 | Mochii, Inc. | Positioning samples for microscopy, inspection, or analysis |
CZ2018157A3 (cs) * | 2018-03-29 | 2019-10-09 | Tescan Brno, S.R.O. | Zařízení pro vytvoření a uložení lamely |
JP7360871B2 (ja) * | 2019-09-24 | 2023-10-13 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム照射装置、及び制御方法 |
JP2024011578A (ja) * | 2022-07-15 | 2024-01-25 | 日本電子株式会社 | 試料加工用ホルダ及び試料加工方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002141382A (ja) * | 2000-11-02 | 2002-05-17 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置および試料作製装置 |
JP2010190808A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Sii Nanotechnology Inc | 集束イオンビーム装置、及びそれを用いた試料の加工方法 |
JP2011222426A (ja) * | 2010-04-13 | 2011-11-04 | Sii Nanotechnology Inc | 複合荷電粒子ビーム装置 |
JP2012074194A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Sii Nanotechnology Inc | 荷電粒子ビーム装置、薄膜作製方法、欠陥修正方法及びデバイス作製方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101266909B (zh) * | 2001-10-05 | 2010-09-01 | 佳能株式会社 | 截面评估方法 |
WO2007067296A2 (en) * | 2005-12-02 | 2007-06-14 | Alis Corporation | Ion sources, systems and methods |
JP5017059B2 (ja) | 2007-10-29 | 2012-09-05 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 試料作成装置および試料姿勢転換方法 |
JP5564299B2 (ja) | 2010-03-18 | 2014-07-30 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 試料加工観察方法 |
JP5386453B2 (ja) * | 2010-08-24 | 2014-01-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置および試料観察方法 |
KR101470267B1 (ko) * | 2010-11-05 | 2014-12-05 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 이온 밀링 장치 |
JP5872922B2 (ja) * | 2012-02-21 | 2016-03-01 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 試料作製方法及び装置 |
JP5990016B2 (ja) * | 2012-03-23 | 2016-09-07 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 断面加工観察装置 |
-
2015
- 2015-01-19 JP JP2015007781A patent/JP6529264B2/ja active Active
- 2015-01-21 US US14/601,478 patent/US9384941B2/en active Active
- 2015-01-21 KR KR1020150009978A patent/KR102056507B1/ko active IP Right Grant
- 2015-01-22 TW TW104102101A patent/TWI642079B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002141382A (ja) * | 2000-11-02 | 2002-05-17 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置および試料作製装置 |
JP2010190808A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Sii Nanotechnology Inc | 集束イオンビーム装置、及びそれを用いた試料の加工方法 |
JP2011222426A (ja) * | 2010-04-13 | 2011-11-04 | Sii Nanotechnology Inc | 複合荷電粒子ビーム装置 |
JP2012074194A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Sii Nanotechnology Inc | 荷電粒子ビーム装置、薄膜作製方法、欠陥修正方法及びデバイス作製方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180040664A (ko) * | 2015-11-18 | 2018-04-20 | 미즈호 죠호 소켄 가부시키가이샤 | 치료 지원 시스템 및 이의 작동 방법, 및 치료 지원 프로그램을 기억하는 기억 매체 |
KR102041059B1 (ko) | 2015-11-18 | 2019-11-05 | 미즈호 죠호 소켄 가부시키가이샤 | 치료 지원 시스템 및 이의 작동 방법, 및 치료 지원 프로그램을 기억하는 기억 매체 |
WO2018235194A1 (ja) * | 2017-06-21 | 2018-12-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置およびクリーニング方法 |
US11458513B2 (en) | 2017-06-21 | 2022-10-04 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam apparatus and cleaning method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102056507B1 (ko) | 2020-01-22 |
KR20150087809A (ko) | 2015-07-30 |
US20150206706A1 (en) | 2015-07-23 |
US9384941B2 (en) | 2016-07-05 |
TW201541496A (zh) | 2015-11-01 |
TWI642079B (zh) | 2018-11-21 |
JP6529264B2 (ja) | 2019-06-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6529264B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置および試料観察方法 | |
JP6224612B2 (ja) | 断面観察薄片の裏側薄化用の高スループットtem調製プロセスおよびハードウェア | |
US8642958B2 (en) | Composite charged particle beam apparatus and sample processing and observing method | |
JP5101845B2 (ja) | 集束イオンビーム装置ならびにそれを用いた試料断面作製方法および薄片試料作製方法 | |
JP5142240B2 (ja) | 荷電ビーム装置及び荷電ビーム加工方法 | |
JP5222507B2 (ja) | イオンビーム加工装置及び試料加工方法 | |
JP2007164992A (ja) | 複合荷電粒子ビーム装置 | |
JP6974820B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置、試料加工方法 | |
CN109841534B (zh) | 截面加工观察方法、带电粒子束装置 | |
JP6207081B2 (ja) | 集束イオンビーム装置 | |
JP6487225B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置および欠陥検査システム | |
TWI831904B (zh) | 薄膜試樣片製作方法和帶電粒子束裝置 | |
JP4845452B2 (ja) | 試料観察方法、及び荷電粒子線装置 | |
TWI813760B (zh) | 試料加工觀察方法 | |
TWI813629B (zh) | 試料製造裝置及試料片的製造方法 | |
JP7214262B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置、試料加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181002 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190423 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190514 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6529264 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |