JP2024011578A - 試料加工用ホルダ及び試料加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態に係る試料加工用ホルダは、ホルダ本体、第1サブホルダ、及び、第2サブホルダを有する。第1サブホルダは、ホルダ本体に設けられ、第1イオンビームを部分的に遮蔽して整形後の第1イオンビームを生じさせる遮蔽部材を備える。第1サブホルダは、整形後の第1イオンビームにより加工される一次試料を保持する。第2サブホルダは、ホルダ本体に設けられ、第2イオンビームを用いた一次試料の加工により作製された二次試料を保持する。
図1には、第1試料加工装置10が模式的に示されている。第1試料加工装置10は、断面加工装置であり、つまり一次加工装置である。第1試料加工装置10は、真空室としての第1試料室12を有する。第1試料室12内に可動ステージ(試料ステージ)14が設けられている。可動ステージ14には、第1実施形態に係る試料加工用ホルダ(以下、単にホルダという。)16が取り付けられる。可動ステージ14は、水平移動機構、垂直移動機能等を有している。
Claims (12)
- ホルダ本体と、
前記ホルダ本体に設けられた第1サブホルダであって、第1イオンビームを部分的に遮蔽して整形後の第1イオンビームを生じさせる遮蔽部材を備え、前記整形後の第1イオンビームにより加工される一次試料を保持する第1サブホルダと、
前記ホルダ本体に設けられ、第2イオンビームを用いた前記一次試料の加工により作製された二次試料を保持する第2サブホルダと、
を含むことを特徴とする試料加工用ホルダ。 - 請求項1記載の試料加工用ホルダにおいて、
直交関係にあるx方向、y方向及びz方向を有し、
前記z方向は、前記第1イオンビームの中心軸に平行であり、
前記遮蔽部材は、前記y方向及び前記z方向に沿って広がる遮蔽面を有し、
前記第1サブホルダ及び前記第2サブホルダは、前記z方向に並んでいる、
ことを特徴とする試料加工用ホルダ。 - 請求項2記載の試料加工用ホルダにおいて、
前記第2サブホルダは、前記第1イオンビームが進行する向きに従って前記z方向における上流側及び下流側を定義した場合、前記z方向において前記第1サブホルダの下流側に設けられている、
ことを特徴とする試料加工用ホルダ。 - 請求項3記載の試料加工用ホルダにおいて、
前記第1サブホルダは、前記一次試料の加工端部を前記遮蔽面よりも突出させつつ前記一次試料を保持し、
前記第2サブホルダは、前記二次試料が取り付けられる支持端部を有する支持部材を直接的又は間接的に保持し、
前記加工端部と前記支持端部との間に汚染防止板が設けられている、
ことを特徴とする試料加工用ホルダ。 - 請求項4記載の試料加工用ホルダにおいて、
前記汚染防止板は、前記x方向及び前記y方向に広がっている、
ことを特徴とする試料加工用ホルダ。 - 請求項2記載の試料加工用ホルダにおいて、
前記ホルダ本体は、
前記x方向を向く上面と、
前記上面に連なる第1開口を有し、前記第1サブホルダを収容する第1井戸と、
前記上面に連なる第2開口を有し、前記第2サブホルダを収容する第2井戸と、
を含み、
前記第1井戸及び前記第2井戸は、前記z方向に並んでいる、
ことを特徴とする試料加工用ホルダ。 - 請求項1記載の試料加工用ホルダにおいて、
前記二次試料が取り付けられる支持部材を保持したカートリッジを含み、
前記第2サブホルダは前記カートリッジを保持する、
ことを特徴とする試料加工用ホルダ。 - 請求項7記載の試料加工用ホルダにおいて、
前記カートリッジは、
前記支持部材を保持した可動台と、
前記可動台を傾斜運動させる傾斜機構と、
を含み、
前記第2サブホルダは、
前記カートリッジが挿入される収容部と、
前記収容部への前記カートリッジの挿入過程で前記傾斜機構に当接して前記傾斜機構を動作させる部分と、
を含む、
ことを特徴とする試料加工用ホルダ。 - 一次試料を保持する第1サブホルダ及び支持部材を保持する第2サブホルダを含む試料加工用ホルダを用意する工程と、
第1試料加工装置の第1試料室内に前記試料加工用ホルダが設置された第1状態において、前記一次試料を加工する工程と、
前記一次試料の加工後に、前記第1試料室内から第2試料加工装置の第2試料室内へ前記試料加工用ホルダを搬送する工程と、
前記第2試料室内に前記試料加工用ホルダが設置された第2状態おいて、加工後の一次試料から二次試料を作製する工程と、
前記第2状態において、前記二次試料を前記支持部材上へ移す工程と、
前記支持部材上の前記二次試料から観察用試料を作製する工程と、
を含むことを特徴とする試料加工方法。 - 請求項9記載の試料加工方法において、
前記第2サブホルダは、前記支持部材を含むカートリッジを保持し、
前記観察用試料を作製する工程の後、前記カートリッジが前記第2サブホルダから取り外され、前記取り外されたカートリッジが観察用ホルダに取り付けられる、
ことを特徴とする試料加工方法。 - 請求項9記載の試料加工方法において、
前記試料加工用ホルダを搬送する前に、前記試料加工用ホルダに対してキャップが取り付けられ、
前記第2状態において、前記加工後の一次試料から前記二次試料を作製する前に、前記試料加工用ホルダから前記キャップが取り外される、
ことを特徴とする試料加工方法。 - 請求項9記載の試料加工方法において、
前記一次試料の加工により生じる汚染物質が、前記一次試料と前記支持部材との間に設けられた汚染防止板により捕獲される、
ことを特徴とする試料加工方法。
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