JP2019174204A - デポジション膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】集束イオンビームによる試料の加工時に、試料の任意の領域を確実に保護することが可能であり、かつ材質の限定の少ないデポジション膜の形成方法を提供する。【解決手段】集束イオンビームを照射する集束イオンビーム鏡筒14と、加工観察対象の試料Sを載置する試料台25と、集束イオンビーム鏡筒14および試料台25を収容する真空チャンバ11と、を備えた荷電粒子ビーム装置10を用いて、試料Sの表面にデポジション膜を形成するデポジション膜の形成方法であって、試料台25にターゲット材Tと試料Sとを配置し、ターゲット材Tに向けて集束イオンビームを照射してターゲット材Tを放散させた放散物を試料Sの表面に堆積させて、試料Sの表面にデポジション膜を形成する。【選択図】図1
Description
本発明は、荷電粒子ビーム装置を用いて、試料の表面に任意の材料でデポジション膜を形成するデポジション膜の形成方法に関するものである。
例えば、半導体デバイス等の試料の内部構造を解析したり、立体的な観察を行ったりする手法の1つとして、集束イオンビーム(Focused Ion Beam;FIB)鏡筒と電子ビーム(Electron Beam;EB)鏡筒を搭載した荷電粒子ビーム複合装置を用いて、FIBによる断面形成加工と、形成した断面を走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope;SEM)により観察を行う試料断面加工観察方法が知られている(例えば、特許文献1を参照)。
こうした荷電粒子ビーム複合装置の集束イオンビームとしては、一般的にガリウムをイオン源にしたガリウムイオンビームが使用される。ガリウムイオンビームを用いて試料の断面形成などの加工を行う際に、観察領域を保護するために、試料にデポジション膜(保護膜)を形成する。こうしたデポジション膜は、化合物ガス(デポジションガス)を用いることによって形成できる。
即ち、荷電粒子ビーム複合装置のガス銃を用いて、デポジション膜を形成する領域に向けて化合物ガスを供給する。同時にこの領域にFIBを照射すると、試料から二次電子が発生する。この二次電子が化合物ガスの分解に寄与し、化合物ガスが気体成分と固体成分に分離する。気体成分は真空排気され、固体成分は試料表面に堆積しデポジション膜を形成する。
こうしたデポジション膜を形成する材料は、二次電子によって分解して固体成分を生じる化合物ガスが存在するものに限られる。荷電粒子ビーム複合装置で観察する試料のデポジション膜として一般的に用いられるものとしては、カーボン、タングステン、白金、スズ、シリコン酸化物などである。
しかしながら、ガリウムイオンビームは、化学的反応性が高いことや、ガリウムイオンの衝突によるダメージが大きいため、従来用いられている化合物ガスによって形成したデポジション膜では、ガリウムイオンビームによって一部が削り取られるなど、試料を確実に保護することができないという課題があった。
また、化合物ガスが存在しない材料によってデポジション膜を形成することができないため、試料の材質によってはデポジション膜の存在によって断面観察や分析の妨げになるという課題もあった。
また、試料台に近づくほど窄まる形状の試料、例えば球形の試料などでは、試料台に接する試料の下部領域に充分に化合物ガスを行き渡らせることが難しい。このため、試料の下部領域に所望の厚みでデポジション膜を形成することが困難であるという課題もあった。
この発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、集束イオンビームによる試料の加工時に、試料の任意の領域を確実に保護することが可能であり、かつ材質の限定の少ないデポジション膜の形成方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本実施形態の態様は、以下のようなデポジション膜の形成方法を提供した。
すなわち、本発明のデポジション膜の形成方法は、集束イオンビームを照射する集束イオンビーム鏡筒と、加工観察対象の試料を載置する試料台と、前記集束イオンビーム鏡筒および前記試料台を収容する真空チャンバと、を備えた荷電粒子ビーム装置を用いて、前記試料にデポジション膜を形成するデポジション膜の形成方法であって、前記試料台にターゲット材と前記試料とを配置し、前記ターゲット材に向けて集束イオンビームを照射して前記ターゲット材を放散させた放散物を、前記試料のうち前記真空チャンバ内の雰囲気に露呈した領域の表面に堆積させて、前記試料にデポジション膜を形成することを特徴とする。
すなわち、本発明のデポジション膜の形成方法は、集束イオンビームを照射する集束イオンビーム鏡筒と、加工観察対象の試料を載置する試料台と、前記集束イオンビーム鏡筒および前記試料台を収容する真空チャンバと、を備えた荷電粒子ビーム装置を用いて、前記試料にデポジション膜を形成するデポジション膜の形成方法であって、前記試料台にターゲット材と前記試料とを配置し、前記ターゲット材に向けて集束イオンビームを照射して前記ターゲット材を放散させた放散物を、前記試料のうち前記真空チャンバ内の雰囲気に露呈した領域の表面に堆積させて、前記試料にデポジション膜を形成することを特徴とする。
本発明のデポジション膜の形成方法によれば、デポジション膜を形成したい試料とターゲット材を並べて配置し、ターゲット材に向けて集束イオンビームを照射するだけで、ターゲット材の放散物が試料の表面に堆積し、デポジション膜を容易に形成することができる。こうしたデポジション膜の形成にあたっては、コストの高い化合物ガスを用いる必要が無く、デポジション膜として所望する材料からなるターゲット材を試料に近接して配置するだけなので、低コストにデポジション膜を形成することができる。
また、本発明のデポジション膜の形成方法によれば、分解後に固体を生じる化合物ガスが存在しない材料であってもデポジション膜を形成することができるので、試料の材質に応じて最適な材料からなるデポジション膜を形成することができ、デポジション膜が試料の断面観察や分析の妨げになることがない。
さらに、ターゲット材を放散させた放散物を、試料のうち真空チャンバ内の雰囲気に露呈した領域の表面に堆積させているので、試料の載置方法等によって真空チャンバ内の雰囲気に露呈した領域を調整することによって、試料の所望の位置にデポジション膜を形成することができる。
さらに、ターゲット材を放散させた放散物を、試料のうち真空チャンバ内の雰囲気に露呈した領域の表面に堆積させているので、試料の載置方法等によって真空チャンバ内の雰囲気に露呈した領域を調整することによって、試料の所望の位置にデポジション膜を形成することができる。
また、本発明では、前記ターゲット材は、銅、アルミニウム、金、ケイ素のうち、少なくとも1種を含むことが好ましい。
また、本発明では、前記デポジション膜は、前記試料の表面のうち、少なくとも前記試料台に接する下部領域に形成することが好ましい。
本発明によれば、集束イオンビームによる試料の加工時に、試料の任意の領域を確実に保護することが可能であり、かつ材質の限定の少ないデポジション膜の形成方法を提供することができる。
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態であるデポジション膜の形成方法について説明する。なお、以下に示す各実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
図1は、本発明のデポジション膜の形成方法に用いることができる荷電粒子ビーム装置の一例を示す構成図である。
荷電粒子ビーム装置(荷電粒子ビーム複合装置)10は、内部を真空状態に維持可能な試料室(真空チャンバ)11と、試料室11の内部において試料台25を固定可能なステージ12と、ステージ12を駆動するステージ駆動機構13と、を備えている。
試料台25には、後述するデポジション膜の形成時に、加工および観察対象の試料Sと、デポジション膜を形成するためのターゲット材Tとが近接して載置される。
試料室(真空チャンバ)11は、例えば真空ポンプ(図示略)などによって、内部が真空環境に保たれる。
荷電粒子ビーム装置(荷電粒子ビーム複合装置)10は、内部を真空状態に維持可能な試料室(真空チャンバ)11と、試料室11の内部において試料台25を固定可能なステージ12と、ステージ12を駆動するステージ駆動機構13と、を備えている。
試料台25には、後述するデポジション膜の形成時に、加工および観察対象の試料Sと、デポジション膜を形成するためのターゲット材Tとが近接して載置される。
試料室(真空チャンバ)11は、例えば真空ポンプ(図示略)などによって、内部が真空環境に保たれる。
荷電粒子ビーム装置10は、試料室11の内部における所定の照射領域内の照射対象に集束イオンビーム(FIB)を照射する集束イオンビーム鏡筒14を備えている。
集束イオンビーム鏡筒14は、イオンを発生させるイオン源31、イオン源31から引き出されたイオンを集束させて集束イオンビームFIBを形成するコンデンサレンズ(第1静電レンズ)32、集束イオンビームFIBを偏向させる偏向電極33、および対物レンズ(第2静電レンズ)34などを備えている。
集束イオンビームFIBとしては、例えばガリウムをイオン源としたガリウムイオンビームが用いられる。
集束イオンビーム鏡筒14は、イオンを発生させるイオン源31、イオン源31から引き出されたイオンを集束させて集束イオンビームFIBを形成するコンデンサレンズ(第1静電レンズ)32、集束イオンビームFIBを偏向させる偏向電極33、および対物レンズ(第2静電レンズ)34などを備えている。
集束イオンビームFIBとしては、例えばガリウムをイオン源としたガリウムイオンビームが用いられる。
荷電粒子ビーム装置10は、試料室11の内部における所定の照射領域内の照射対象に電子ビームEBを照射する電子ビーム鏡筒15を備えている。
電子ビーム鏡筒15は、例えばセミインレンズ型であり、電子を発生させる電子源41、電子源41から射出された電子ビームEBを集束させるコンデンサレンズ42、電子ビーム(EB)を偏向させる偏向電極43、および対物レンズ44などを備えている。
なお、電子ビーム鏡筒15は、セミインレンズ型以外にも、例えば、アウトレンズ型やインレンズ型であってもよい。
電子ビーム鏡筒15は、例えばセミインレンズ型であり、電子を発生させる電子源41、電子源41から射出された電子ビームEBを集束させるコンデンサレンズ42、電子ビーム(EB)を偏向させる偏向電極43、および対物レンズ44などを備えている。
なお、電子ビーム鏡筒15は、セミインレンズ型以外にも、例えば、アウトレンズ型やインレンズ型であってもよい。
荷電粒子ビーム装置10は、集束イオンビームFIBまたは電子ビームEBの照射によって、照射対象例えば試料Sから発生する二次電子Rを検出する二次電子検出器16を備えている。
荷電粒子ビーム装置10は、照射対象に向けて気体イオンビームGBを照射する気体イオンビーム鏡筒17を備えている。気体イオンビームGBとしては、例えば、希ガスであるアルゴンを適用したアルゴンイオンビームが用いられる。
気体イオンビーム鏡筒17は、気体イオンを発生させる気体イオン源51、気体イオン源51から引き出された気体イオンを集束させて気体イオンビームGBを形成するコンデンサレンズ52、気体イオンビームGBを偏向させる偏向電極53、および対物レンズ54などを備えている。
気体イオンビーム鏡筒17は、気体、例えばアルゴンガスをイオン化して、1.0keV程度の低加速電圧で照射することができる。こうしたアルゴンイオンビームは、ガリウムイオンビームに比べて集束性が低いため、試料Sに対するエッチングレートが低くなる。従って、アルゴンイオンビームは、ガリウムイオンビームによって試料Sの断面形成を行った後、この断面の精密な仕上げ加工に好適である。
荷電粒子ビーム装置10は、試料台25に固定された試料Sから微小な試料片を取り出し、試料片を保持して試料片ホルダ(図示略)に移設するニードル18と、ニードル18を駆動して試料片を搬送するニードル駆動機構19と、を備えている。
ニードル駆動機構19は、ニードル18が接続された状態で試料室11の内部に収容されており、制御信号に応じてニードル18を変位させる。ニードル駆動機構19は、ステージ12と一体に設けられており、ステージ12と一体に移動する。
ニードル駆動機構19は、ニードル18が接続された状態で試料室11の内部に収容されており、制御信号に応じてニードル18を変位させる。ニードル駆動機構19は、ステージ12と一体に設けられており、ステージ12と一体に移動する。
荷電粒子ビーム装置10は、二次電子検出器16によって検出された二次電子Rに基づく画像データなどを表示する表示装置20と、コンピュータ21と、入力デバイス22と、を備えている。
コンピュータ21は、入力デバイス22から出力される信号または予め設定された自動運転制御処理によって生成される信号などによって、荷電粒子ビーム装置10の動作を統合的に制御する。
コンピュータ21は、入力デバイス22から出力される信号または予め設定された自動運転制御処理によって生成される信号などによって、荷電粒子ビーム装置10の動作を統合的に制御する。
なお、集束イオンビーム鏡筒14、電子ビーム鏡筒15、および気体イオンビーム鏡筒17の照射対象は、試料台25に固定された試料Sおよびターゲット材T、および照射領域内に存在するニードル18などである。
このような構成の荷電粒子ビーム装置10は、照射対象である試料Sの表面に集束イオンビームFIBを走査しながら照射することによって、被照射部の画像化や各種の加工(掘削、トリミング加工など)と、後ほど詳述するデポジション膜の形成などが実行可能である。
次に、上述したような荷電粒子ビーム装置10を用いた、本発明のデポジション膜の形成方法について説明する。
図2は、試料へのデポジション膜の形成を模式的に示した模式図である。
本発明によって試料Sの表面にデポジション膜を形成する際には、試料台25にターゲット材Tと試料Sとを近接するように並べて載置する。本実施形態では、観察対象である試料Sとして球形の銅粒子、ターゲット材Tとしてメダル状のケイ素を用いた。
図2は、試料へのデポジション膜の形成を模式的に示した模式図である。
本発明によって試料Sの表面にデポジション膜を形成する際には、試料台25にターゲット材Tと試料Sとを近接するように並べて載置する。本実施形態では、観察対象である試料Sとして球形の銅粒子、ターゲット材Tとしてメダル状のケイ素を用いた。
次に、この試料台25を試料室(真空チャンバ)11内のステージ12に固定する。
そして、試料室11内を真空環境にした後、集束イオンビーム鏡筒14からターゲット材Tに向けて、集束イオンビームFIBであるガリウムイオンビームを照射する。ターゲット材Tは、ガリウムイオンビームが照射されると表面からエッチングされ、ターゲット材Tの微粒子Ts、即ちケイ素微粒子が周囲に放散する。これにより、ターゲット材Tに近接して配置されている試料Sの表面にケイ素微粒子が堆積し、デポジション膜Pが形成される。
そして、試料室11内を真空環境にした後、集束イオンビーム鏡筒14からターゲット材Tに向けて、集束イオンビームFIBであるガリウムイオンビームを照射する。ターゲット材Tは、ガリウムイオンビームが照射されると表面からエッチングされ、ターゲット材Tの微粒子Ts、即ちケイ素微粒子が周囲に放散する。これにより、ターゲット材Tに近接して配置されている試料Sの表面にケイ素微粒子が堆積し、デポジション膜Pが形成される。
試料Sに対するデポジション膜Pの形成領域は、ガリウムイオンビームのターゲット材Tに対する照射角度、ガリウムイオンビームの照射時間、ガリウムイオンビームの出力などを調節することによって制御可能である。また、デポジション膜Pの厚みは、ガリウムイオンビームの照射時間を調節することによって制御可能である。
こうしたターゲット材Tにガリウムイオンビームを照射した時に生じるケイ素微粒子は、試料台25の表面付近から所定の高さ領域まで幅広く放散するので、本実施形態のように試料Sが球形であっても、試料台25に接する下部領域まで、所定の厚みでデポジション膜Pを形成することができる。
この後、試料台25の位置を動かして集束イオンビーム鏡筒14のビーム光軸を試料Sに合わせてから、形成したデポジション膜Pをマスクにして、試料Sの断面観察をしたい位置まで集束イオンビームFIBを照射して、試料Sの断面を形成する。そして、気体イオンビーム鏡筒17から気体イオンビームGBを断面に向けて照射して、断面の仕上加工を行う。このようにして形成した観察断面に向けて、電子ビーム鏡筒15から電子ビームEBを照射して、試料Sから生じた二次電子Rを二次電子検出器16によって検出して画像を形成することで、試料Sの観察断面のSEM像を得ることができる。
以上、本発明のデポジション膜の形成方法によれば、デポジション膜Pを形成したい試料Sに近接してターゲット材Tを配置し、このターゲット材Tに向けて集束イオンビームFIBを照射するだけで、ターゲット材Tの放散物が試料Sの表面に堆積し、デポジション膜Pを容易に形成することができる。こうしたデポジション膜Pの形成にあたっては、コストの高い化合物ガスを用いる必要が無く、デポジション膜Pとして所望する材料からなるターゲット材Tを試料Sに近接して載置するだけなので、低コストにデポジション膜Pを形成することができる。
また、分解された後に固体を生じる化合物ガスが存在しない材料であっても、試料Sにデポジション膜Pを形成することができるので、試料Sの材質に応じて最適な材料からなるデポジション膜Pを形成することができ、デポジション膜Pが試料Sの断面観察や分析の妨げになることがない。
なお、本実施形態では、ターゲット材Tとしてケイ素を例示しているが、集束イオンビームFIBによってエッチングされて放散物が試料Sに堆積可能な固体材料であれば、どのようなものであってもデポジション膜Pを形成することができる。例えば、ターゲット材Tとしては、銅、アルミニウム、金などであってもよい。
また、本実施形態では、球形の試料Sを用いているが、試料Sの形状は球形に限定されるものでは無く、例えば、平板状、円筒形状、直方体状、多角形状、不定形状など各種形状の試料Sに対して、任意の領域にデポジション膜Pを形成することができる。
本発明の実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
(実施例1)
ケイ素をターゲット材として集束イオンビームを照射し、半球状の銅粒子の表面にケイ素のデポジション膜を形成した試料を作成し、この試料の断面を観察した。図2に、実施例1のSEM写真を示す。実施例1によれば、図2の写真の実線で示されたケイ素のデポジション膜は、半球状の銅粒子の上部から下部に至るまで途切れることなく覆っている。従来の化合物ガスの分解では形成が難しかった、試料台に近い試料の下部領域まで、確実にデポジション膜を形成できることが確認された。
ケイ素をターゲット材として集束イオンビームを照射し、半球状の銅粒子の表面にケイ素のデポジション膜を形成した試料を作成し、この試料の断面を観察した。図2に、実施例1のSEM写真を示す。実施例1によれば、図2の写真の実線で示されたケイ素のデポジション膜は、半球状の銅粒子の上部から下部に至るまで途切れることなく覆っている。従来の化合物ガスの分解では形成が難しかった、試料台に近い試料の下部領域まで、確実にデポジション膜を形成できることが確認された。
(実施例2)
試料として、集束イオンビームによって削られやすいスズメッキ材を用い、スズメッキ層の表面にアルミニウムのデポジション膜を形成した。図3に実施例2の加工条件を示す。そして、アルミニウムをターゲット材として集束イオンビームを照射して、スズメッキ材の表面にアルミニウムのデポジション膜を形成した。
試料として、集束イオンビームによって削られやすいスズメッキ材を用い、スズメッキ層の表面にアルミニウムのデポジション膜を形成した。図3に実施例2の加工条件を示す。そして、アルミニウムをターゲット材として集束イオンビームを照射して、スズメッキ材の表面にアルミニウムのデポジション膜を形成した。
この実施例2の試料に電子ビームを照射して、52°傾斜したSEM観察像を得た。デポジション膜の形成前、デポジション膜の形成後のSEM観察像を図4に示す。また、この試料のデポジション膜の形成後のエネルギー分散型X線分析((Energy dispersive X-ray spectrometry:EDS)の結果を図5に示す。なお、図5(b)は、図5(a)の要部拡大写真である。
図4、図5に示す結果によれば、アルミニウムのターゲット材に向けて集束イオンビームを照射することで、ターゲット材の近傍に配置されたスズメッキ材の最表面にアルミニウムが堆積し、スズメッキ材を覆うアルミニウムのデポジション膜が形成されていることが確認できた。
10…荷電粒子ビーム装置
11…試料室(真空チャンバ)
12…ステージ(試料ステージ)
13…ステージ駆動機構
14…集束イオンビーム鏡筒
15…電子ビーム鏡筒
16…二次電子検出器
17…気体イオンビーム鏡筒
18…ニードル
19…ニードル駆動機構
20…表示装置
25…試料台
T…ターゲット材
S…試料
11…試料室(真空チャンバ)
12…ステージ(試料ステージ)
13…ステージ駆動機構
14…集束イオンビーム鏡筒
15…電子ビーム鏡筒
16…二次電子検出器
17…気体イオンビーム鏡筒
18…ニードル
19…ニードル駆動機構
20…表示装置
25…試料台
T…ターゲット材
S…試料
Claims (3)
- 集束イオンビームを照射する集束イオンビーム鏡筒と、加工観察対象の試料を載置する試料台と、前記集束イオンビーム鏡筒および前記試料台を収容する真空チャンバと、を備えた荷電粒子ビーム装置を用いて、前記試料にデポジション膜を形成するデポジション膜の形成方法であって、
前記試料台にターゲット材と前記試料とを配置し、前記ターゲット材に向けて集束イオンビームを照射して前記ターゲット材を放散させた放散物を、前記試料のうち前記真空チャンバ内の雰囲気に露呈した領域の表面に堆積させて、前記試料にデポジション膜を形成することを特徴とするデポジション膜の形成方法。 - 前記ターゲット材は、銅、アルミニウム、金、ケイ素のうち、少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1記載のデポジション膜の形成方法。
- 前記デポジション膜は、前記試料の表面のうち、少なくとも前記試料台に接する下部領域に形成することを特徴とする請求項1または2記載のデポジション膜の形成方法。
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