JP2015153431A - Ａｇ合金膜、Ａｇ合金反射膜、Ａｇ合金導電膜及びＡｇ合金半透過膜 - Google Patents

Abstract

【課題】反射率や透過率等の光学特性に優れるとともに低い比抵抗値を有し、かつ、耐熱性、耐環境性等の各種耐性に優れ、熱処理後においても反射率が大きく変化せず、高温高湿の使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しないＡｇ合金膜を提供する。
【解決手段】本発明のＡｇ合金膜は、Ｓｂを０．０１原子％以上１．００原子％以下、Ｍｇを０．０５原子％以上１．００原子％以下含有し、残部がＡｇ及び不可避不純物とからなる組成を有することを特徴とする。
【選択図】なし

Description

本発明は、タッチパネル等の配線部、ディスプレイや照明に使用される発光素子及び光記録用ディスク等の光反射層、赤外線カットフィルムや透明導電膜等に使用されるＡｇ合金膜、および、このＡｇ合金膜からなるＡｇ合金反射膜、Ａｇ合金導電膜、Ａｇ合金半透過膜に関するものである。

一般に、有機ＥＬや反射型液晶等のディスプレイや、ＬＥＤ等の発光素子、あるいは光記録用ディスク等には、光取り出し効率を向上させる目的で光反射層が形成されている。ここで、Ａｇ及びＡｇ合金からなるＡｇ膜及びＡｇ合金膜は、反射率が高いことから、上述の光反射層として広く使用されている。
例えば、特許文献１には、有機ＥＬ素子の反射電極の構成材料としてＡｇ合金を用いることが開示されている。
特許文献２には、半導体発光素子の電極の構成材料として、高効率で光を反射するＡｇまたはＡｇ合金を用いることが開示されている。
特許文献３には、光記録媒体の反射層の構成材料として、ＡｇまたはＡｇ合金を用いることが開示されている。
また、Ａｇ膜及びＡｇ合金膜は、上述の用途のみでなく、光学機器用反射ミラー、太陽電池用反射膜、照明装置のリフレクタ等にも利用されている。

また、上述のＡｇ膜及びＡｇ合金膜は、導電性にも優れていることから、例えば特許文献４に開示されているように、タッチパネルの引き出し配線としても使用されている。
さらに、特許文献５に記載されているように、膜厚の薄いＡｇ膜は半透過膜としても用いられている。Ａｇからなる半透明膜は、ディスプレイ用の透明導電膜やボトムエミッション方式の有機ＥＬのアノードとしても使用されている。

特開２０１２−０５９５７６号公報 特開２００６−２４５２３０号公報 特開２００４−３２２５５６号公報 特開２００９−０３１７０５号公報 特許第４３９５８４４号公報

ところで、純ＡｇからなるＡｇ膜は、反射率や透過率等の光学特性に優れているものの、耐環境性（耐湿環境への耐性）が不十分であることから、高温高湿の使用環境下において反射率や透過率等の光学特性が低下するため、長時間使用時の信頼性に問題を有していた。
また、上述の発光素子やディスプレイにおいては、その製造過程で高温の熱処理が行われることがあるため、熱処理後にＡｇ膜またはＡｇ合金膜の反射率が低下し、十分な特性を発揮できなくなるおそれがあった。このため、できるだけ純Ａｇ膜に近い高反射率を維持しつつ、熱処理後においても、反射率が低下しないＡｇ合金膜が求められている。
さらに、純ＡｇからなるＡｇ膜を配線として使用した場合には、高温高湿環境下において粒成長が生じ、比抵抗値が変動してしまうといった問題があった。また、純Ａｇは、耐塩水性、耐湿性等の各種耐性が不十分なため、高温高湿の使用環境下や製造プロセスにおいて、Ａｇ膜が変質してしまうおそれがあった。

この発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、反射率や透過率等の光学特性に優れるとともに低い比抵抗値を有し、かつ、耐熱性、耐環境性等の各種耐性に優れ、熱処理後においても反射率が大きく変化せず、高温高湿の使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しないＡｇ合金膜、および、このＡｇ合金膜からなるＡｇ合金反射膜、Ａｇ合金導電膜、Ａｇ合金半透過膜を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明のＡｇ合金膜は、Ｓｂを０．０１原子％以上１．００原子％以下、Ｍｇを０．０５原子％以上１．００原子％以下含有し、残部がＡｇと不可避不純物とからなる組成を有することを特徴としている。

このような構成とされた本発明のＡｇ合金膜においては、Ｓｂの含有量が０．０１原子％以上とされているので、耐熱性、耐環境性を向上させることができ、成膜後の製造過程で熱処理などが行われても反射率が大きく変化することを抑制できるとともに、長時間使用時においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化することがない。また、Ｓｂの含有量が１．００原子％以下とされているので、成膜直後においても優れた光学特性と低い比抵抗値を確保することができる。
また、Ｍｇの含有量が０．０５原子％以上とされているので、Ａｇの粒成長を抑制でき、Ｓｂとの相乗効果によって、耐熱性を大幅に向上させることができるとともに、耐塩水性も向上させることができる。また、Ｍｇの含有量が１．００原子％以下とされているので優れた光学特性と低い比抵抗値を確保できるとともに、高温高湿環境下で反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化することを抑制できる。

ここで、本発明のＡｇ合金膜においては、含有されるＳｂとＭｇの原子比がＳｂ／Ｍｇ≧０．１であることが好ましい。
この場合、高温高湿環境下における反射率及び抵抗値の変化がより少ないＡｇ合金膜とすることができる。

本発明のＡｇ合金反射膜は、前記組成を有することを特徴としている。
この構成のＡｇ合金反射膜においては、成膜直後の反射率が高く、かつ、成膜後の製造過程での熱処理などによっても反射率が大きく変化せず、高温高湿の使用環境下においても反射率が大きく変化しない。よって、本発明のＡｇ合金反射膜は、ディスプレイ、発光素子等の光反射層に特に適している。また、比抵抗値が低いことから反射導電膜として用いることもできる。

本発明のＡｇ合金導電膜は、前記組成を有することを特徴としている。
この構成のＡｇ合金導電膜においては、成膜直後の比抵抗値が低く、かつ、高温高湿の使用環境下においても比抵抗値が大きく変化しない。また、耐塩水性にも優れている。よって、本発明のＡｇ合金導電膜は、タッチパネルのパネル面周縁部に形成される配線等に特に適している。

本発明のＡｇ合金半透過膜は、前記組成を有することを特徴としている。
この構成のＡｇ合金半透過膜においては、成膜直後の透過率が高く、かつ、高温高湿の使用環境下においても透過率が大きく変化しない。また、成膜直後の比抵抗値が低く、かつ、高温高湿の使用環境下においても比抵抗値が大きく変化しない。よって、本発明のＡｇ合金半透過膜は、透明導電膜や赤外線カットフィルムに用いられる半透過膜として特に適している。

ここで、本発明のＡｇ合金反射膜においては、波長４０５〜５５０ｎｍの最小反射率が９０％以上であることが好ましい。なお、波長４０５〜５５０ｎｍの最小反射率とは、波長４０５〜５５０ｎｍの波長領域における反射率の最小値であり、本発明では、この波長領域において反射率が９０％以上となっていることが好ましい。
また、本発明のＡｇ合金導電膜においては、比抵抗が７μΩ・ｃｍ以下であることが好ましい。
さらに、本発明のＡｇ合金半透過膜においては、膜厚１５ｎｍ以下でかつ波長３５０〜８５０ｎｍにおける平均透過率が４０％以上、抵抗値が１０μΩ・ｃｍ以下であることが好ましい。

以上のように、本発明によれば、反射率や透過率等の光学特性に優れるとともに低い比抵抗値を有し、かつ、耐熱性、耐環境性等の各種耐性に優れ、熱処理後においても反射率が大きく変化せず、高温高湿の使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しないＡｇ合金膜、および、このＡｇ合金膜からなるＡｇ合金反射膜、Ａｇ合金導電膜、Ａｇ合金半透過膜を提供することが可能となる。

実施例２において恒温恒湿試験後の外観観察結果が「○」と評価される例を示す写真である。 実施例２において恒温恒湿試験後の外観観察結果が「×」と評価される例を示す写真である。 実施例２において塩水試験後の外観観察結果および光学顕微鏡観察結果が「◎」と評価される例を示す写真である。 実施例２において塩水試験後の外観観察結果および光学顕微鏡観察結果が「○」と評価される例を示す写真である。 実施例２において塩水試験後の外観観察結果および光学顕微鏡観察結果が「×」と評価される例を示す写真である。

以下に、本発明の一実施形態であるＡｇ合金膜について説明する。
本実施形態であるＡｇ合金膜は、例えばディスプレイ、発光素子等の光反射層を構成するＡｇ合金反射膜、タッチパネルのパネル面周縁部に形成される配線を構成するＡｇ合金導電膜、透明導電膜や赤外線カットフィルムに用いられるＡｇ半透過膜として使用される。

＜Ａｇ合金膜＞
本実施形態であるＡｇ合金膜は、Ｓｂを０．０１原子％以上１．００原子％以下、Ｍｇを０．０５原子％以上１．００原子％以下含有し、残部がＡｇと不可避不純物とからなる組成を有するＡｇ合金からなる。
以下に、本実施形態であるＡｇ合金膜の組成を上述のように規定した理由について説明する。

Ｓｂ：０．０１原子％以上１．００原子％以下
Ｓｂは、耐熱性、耐環境性（高温高湿環境への耐性）を向上させる作用効果を有する元素である。
ここで、Ａｇ合金膜におけるＳｂの含有量が０．０１原子％未満の場合には、耐熱性、耐環境性が十分に向上しない。一方、Ａｇ合金膜におけるＳｂの含有量が１．００原子％を超えた場合には、成膜直後においても反射率が低くなり、反射膜としての特性を確保できなくなるおそれがある。また、比抵抗値が高くなるとともに透過率が低くなり、導電膜又は半透過膜としての特性を確保できなくなるおそれがある。
このような理由から、本実施形態では、Ａｇ合金膜におけるＳｂの含有量を、０．０１原子％以上１．００原子％以下の範囲内に設定している。なお、上述の作用効果を確実に奏功せしめるためには、Ａｇ合金膜におけるＳｂの含有量を、反射膜用途においては０．０１原子％以上１．００原子％以下、導電膜用途においては０．０１原子％以上０．５０原子％以下、半透過膜用途においては０．０１原子％以上０．５０原子％以下の範囲内とすることが好ましい。

Ｍｇ：０．０５原子％以上１．００原子％以下
Ｍｇは、高温高湿環境下においてＡｇの粒成長を抑制する作用効果を有する元素である。また、Ｓｂを上述のように含有することとの相乗効果によって、高温における耐熱性を向上させる作用効果も有する。また、耐塩水性も向上させる作用効果も有する。
ここで、Ａｇ合金膜におけるＭｇの含有量が０．０５原子％未満の場合には、粒成長を十分に抑制できず、耐熱性・耐湿性を向上させることができなくなるおそれがある。また、耐塩水性も向上させることができなくなるおそれがある。一方、Ａｇ合金膜におけるＭｇの含有量が１．００原子％を超えた場合には、高温高湿環境下で反射率が大きく低下し、反射膜としての特性を確保できなくなるおそれがある。また、比抵抗値が高くなるとともに透過率が低くなり、導電膜又は半透過膜としての特性を確保できなくなるおそれがある。
このような理由から、本実施形態では、Ａｇ合金膜におけるＭｇの含有量を、０．０５原子％以上１．００原子％以下の範囲内に設定している。なお、上述の作用効果を確実に奏功せしめるためには、Ａｇ合金膜におけるＭｇの含有量を、反射膜用途においては０．０５原子％以上０．５０原子％以下、導電膜用途においては０．０５原子％以上１．００原子％以下、半透過膜用途においては０．０５原子％以上０．２０原子％以下の範囲内とすることが好ましい。

また、Ｍｇの含有量は、Ｓｂに対して原子比でＳｂ／Ｍｇ≧０．１とすることで、高温高湿環境下においての反射率や抵抗値の変化をより少なくすることができる。

以上のような構成とされた本実施形態であるＡｇ合金膜によれば、Ｓｂの含有量が０．０１原子％以上１．００原子％以下とされているので、成膜直後において反射率や透過率等の光学特性に優れ、かつ、低い比抵抗値を有するとともに、耐熱性に優れており、熱処理後であっても反射率が大きく変化することを抑制できる。さらに、耐環境性に優れているので、長時間使用時においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しない。
また、Ｍｇの含有量が０．０５原子％以上１．００原子％以下とされているので、成膜直後において反射率や透過率等の光学特性に優れ、かつ、低い比抵抗値を有するとともに、Ａｇの粒成長を抑制でき、耐熱性、耐環境性、耐塩水性を向上させることができる。

以上のように、本実施形態であるＡｇ合金膜は、成膜直後の反射率や透過率等の光学特性に優れ、かつ、低い比抵抗値を有するとともに、成膜後の製造過程での熱処理などによっても反射率が大きく変化せず、高温高湿の使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しない。よって、ディスプレイ、発光素子等の光反射層を構成するＡｇ合金反射膜、タッチパネルのパネル面周縁部に形成される配線を構成するＡｇ合金導電膜、透明導電膜や赤外線カットフィルムに用いられるＡｇ半透過膜として特に適している。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、その発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、本実施形態のＡｇ合金膜は、ディスプレイ、発光素子等の光反射層を構成するＡｇ合金反射膜、タッチパネルのパネル面周縁部に形成される配線を構成するＡｇ合金導電膜、透明導電膜や赤外線カットフィルムに用いられるＡｇ半透過膜として使用されるものとして説明したが、これに限定されることはなく、その他の用途に適用してもよい。

（実施例１）
以下に、本発明に係るＡｇ合金膜の作用効果について評価した評価試験の結果について説明する。

＜Ａｇ合金膜の成膜＞
溶解原料として、純度９９．９質量％以上のＡｇと、純度９９．９質量％以上のＳｂ，Ｍｇと、を準備し、各種組成となるように秤量した。
次に、溶解炉を用いて、Ａｇを不活性ガス雰囲気中で溶解し、得られたＡｇ溶湯に、Ｓｂ，Ｍｇを添加し、不活性ガス雰囲気中で溶解した。その後、鋳型へと注湯して鋳造インゴットを製造した。より具体的には、Ａｇの溶解時には、雰囲気を一度真空（５×１０^−２Ｐａ以下）にしたあとＡｒガスで置換した雰囲気で行った。また、Ｓｂ，Ｍｇの添加は、Ａｒガス雰囲気中で実施した。これにより、Ｓｂを０．００１〜３．００原子％、Ｍｇを０．０５〜３．００原子％含有し、残部がＡｇ及び不可避不純物からなる成分組成の鋳造インゴットを作製した。

次いで、得られた鋳造インゴットに対して、圧下率７０％で冷間圧延を行って板材を得た後、大気中で６００℃、２時間保持の熱処理を実施した。そして、機械加工を実施することにより、直径１５２．４ｍｍ、厚さ６ｍｍ寸法を有するスパッタリングターゲット素材を作製した。
また、純Ａｇ（純度９９．９質量％以上）からなる上記と同一寸法のスパッタリングターゲット素材を準備した。
そして、上述のスパッタリングターゲット素材を、無酸素銅製のバッキングプレートにインジウム半田を用いて半田付けしてスパッタリングターゲットとした。

上述したスパッタリングターゲットを用いて、以下の条件でＡｇ合金膜を成膜した。
上述したスパッタリングターゲットをスパッタ装置に装着し、ガラス基板（コーニング社製イーグルＸＧ）との距離：７０ｍｍ、電力：直流３００Ｗ、到達真空度：５×１０^−５Ｐａ、Ａｒガス圧：０．３Ｐａの条件でスパッタリングを実施し、ガラス基板の表面に、厚さ：１００ｎｍを有するＡｇ合金膜を形成した試料を作製した。
なお、従来例として、上述の純Ａｇ（純度９９．９質量％以上）からなるスパッタリングターゲットを用いて、上記と同様の条件でガラス基板上に厚さ：１００ｎｍのＡｇ膜を形成した試料を作製した。

＜Ａｇ合金膜の組成分析＞
上述のようにして得られたＡｇ合金膜の組成は、同一のスパッタリングターゲットを用いて、上記と同様の条件でＳｉ基板上に膜厚３μｍの厚膜を形成し、この厚膜を全量溶解してＩＰＣ発光分光分析法により分析することによって求めた。Ａｇ合金膜の組成分析結果を表１に示す。

＜反射率の測定＞
上述のようにして得られた成膜直後のＡｇ合金膜およびＡｇ膜の反射率Ｒ_０を、分光光度計を用いて、波長８００ｎｍから４００ｎｍの範囲の光を用いて測定した。波長４０５ｎｍの光の反射率を表１に、波長４５０ｎｍの光の反射率を表２に、波長５５０ｎｍの光の反射率を表３に示す。

＜耐熱試験＞
上述の試料を、窒素雰囲気中で温度５００℃、保持時間１時間の熱処理を行った。
この耐熱試験後のＡｇ合金膜およびＡｇ膜の反射率Ｒ_１を上述と同様の方法で測定した。そして、耐熱試験前後の反射率の変化量（Ｒ_１−Ｒ_０）を求めた。耐熱試験後の波長４０５ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表１に、耐熱試験後の波長４５０ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表２に、耐熱試験後の波長５５０ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表３に示す。

＜恒温恒湿試験＞
上述の試料を、温度８５℃、湿度８５％の恒温恒湿槽中に２５０時間放置した。
この恒温恒湿試験後のＡｇ合金膜およびＡｇ膜の反射率Ｒ_２を上述と同様の方法で測定した。そして、恒温恒湿試験前後の反射率の変化量（Ｒ_２−Ｒ_０）を求めた。恒温恒湿試験後の波長４０５ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表１に、恒温恒湿試験後の波長４５０ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表２に、恒温恒湿試験後の波長５５０ｎｍの光の反射率及び反射率の変化量を表３に示す。

Ａｇ合金膜におけるＳｂの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例１は、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれにおいても、耐熱試験後の反射率が低く、恒温恒湿試験前後における反射率の変化量が大きかった。
Ａｇ合金膜におけるＳｂの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例２は、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれにおいても、成膜直後の反射率が低かった。
Ａｇ合金膜におけるＭｇの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例３は、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれにおいても、耐熱試験後の反射率が低かった。
Ａｇ合金膜におけるＭｇの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例４は、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれにおいても、恒温恒湿試験前後で反射率が大きく変化した。
純Ａｇからなる従来例は、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれにおいても、耐熱試験後の反射率が低く、恒温恒湿試験前後における反射率の変化量も大きかった。

これに対して、Ａｇ合金膜におけるＳｂ，Ｍｇの含有量が本発明の範囲内とされた本発明例１〜９においては、成膜直後の反射率が、波長４０５ｎｍ，４５０ｎｍ，５５０ｎｍのいずれでも高く、耐熱試験後の反射率も高いままであった。また、恒温恒湿試験前後における反射率の変化量も小さく、反射率が安定していることが確認された。
以上のことから、本発明によれば、反射率が高く、かつ、耐熱性、耐環境性に優れ、反射膜として特に適したＡｇ合金膜を提供可能であることが確認された。

（実施例２）
次に、実施例１のＡｇ合金膜の作用効果についてさらに評価した評価試験の結果について説明する。

＜成膜後の比抵抗値＞
上述のようにして得られたＡｇ合金膜およびＡｇ膜のシート抵抗値を四探針法によって測定し、比抵抗値を算出した。得られた成膜後の比抵抗値を表４に示す。

＜恒温恒湿試験＞
上述の試料を、温度８５℃、湿度８５％の恒温恒湿槽中に２５０時間放置した。
この恒温恒湿試験後の試料外観を目視し、恒温恒湿試験前後で外観に変化がないものを「○」、腐食による斑点や白濁が認められたものを「×」と評価した。評価結果を表４に示す。なお、「○」と評価される外観観察結果の一例を図１に、「×」と評価される外観観察結果の一例を図２に示す。ここで、図１，２の黒い影は、カメラのレンズの影であり、図２の大小の白い丸が白濁点を示している。

＜塩水試験＞
基板をＩＴＯ膜（厚さ１０ｎｍ）付のガラス基板として、上述した条件でＡｇ合金膜（Ａｇ合金導電膜）およびＡｇ膜を成膜して、試料を作製した。
この試料を、５％ＮａＣｌ水溶液に１２時間浸漬し、取り出した後の外観を目視および光学顕微鏡にて観察した。光学顕微鏡観察でも外観変化が認められないものを「◎」、目視では光沢が失われていないが光学顕微鏡観察により黒い斑点が確認されたものを「○」、目視で腐食による白濁が確認されたものを「×」と評価した。評価結果を表４に示す。なお、「◎」と評価される外観観察結果及び光学顕微鏡観察結果の一例を図３に、「○」と評価される外観観察結果及び光学顕微鏡観察結果の一例を図４に、「×」と評価される外観観察結果及び光学顕微鏡観察結果の一例を図５に示す。

Ａｇ合金膜におけるＳｂの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例１１においては、恒温恒湿試験後の外観観察で腐食が認められており、耐湿性が不十分であることが確認された。
Ａｇ合金膜におけるＳｂの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例１２においては、成膜後の比抵抗値が高くなっていた。
Ａｇ合金膜におけるＭｇの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例１３においては、塩水試験後の外観観察で腐食が認められており、耐塩水性が不十分であることが確認された。
Ａｇ合金膜におけるＭｇの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例１４においては、成膜後の比抵抗値が高くなっていた。

純Ａｇからなる従来例においては、恒温恒湿試験後、塩水試験後の外観観察で腐食が認められており、耐湿性、耐塩水性が不十分であった。

これに対して、Ａｇ合金膜におけるＳｂ，Ｍｇの含有量が本発明の範囲内とされた本発明例１１〜１７においては、成膜後の比抵抗値が低く、恒温恒湿試験後、塩水試験後の外観観察で腐食は認められなかった。
以上のことから、本発明によれば、比抵抗値が低く、かつ、耐湿性、耐塩水性に優れ、導電膜として特に適したＡｇ合金膜を提供可能であることが確認された。

（実施例３）
次に、実施例１のスパッタリングターゲットを用いて形成したＡｇ合金膜の作用効果について評価した評価試験の結果について説明する。

膜厚を変更した以外は、実施例１と同様に成膜を行った。組成分析、比抵抗値の評価も実施例１，２と同様に行った。測定結果を表５に示す。なお、半透過膜においては、膜厚が増加すると透過率が低下するため、膜厚１５ｎｍ以下としている。

＜Ａｇ合金膜の膜厚測定＞
上述のようにして得られたＡｇ合金膜の膜厚は、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）により膜の断面を観察することによって確認した。ＴＥＭによる断面を観察するための試料作製は、例えばクロスセクションポリッシャー（ＣＰ）や集積イオンビーム法（ＦＩＢ）などを用いることができる。

＜透過率測定＞
分光光度計（日本分光株式社製Ｕｂｅｓｔシリーズ）により波長８５０ｎｍ〜３５０ｎｍの範囲でＡｇ合金膜およびＡｇ膜の透過率を測定した。透過率測定の際には、最初に基板をセットしない中空の状態で測定を行って、分光光度計のキャリブレーションを行った。続いてＡｇ合金膜およびＡｇ膜が成膜されていないガラス基板の透過率Ｔｓを測定し、その後、Ａｇ合金膜およびＡｇ膜が成膜されたガラス基板の透過率Ｔｔを測定し、Ａｇ合金膜およびＡｇ膜の透過率Ｔｆ_０を Ｔｆ_０=Ｔｔ／Ｔｓ として計算した。表５に測定結果を示す。なお、表５に示す透過率は、波長８５０ｎｍ〜３５０ｎｍの範囲の平均値である。

＜恒温恒湿試験＞
上述の試料を、温度８５℃、湿度８５％の恒温恒湿槽中に２５０時間放置した。
この恒温恒湿試験後のＡｇ合金膜およびＡｇ膜の比抵抗値と透過率Ｔｆ_１を、上述と同様の方法で測定した。測定結果を表５に示す。
そして、恒温恒湿試験前後の比抵抗値の変化率を求めた。また、恒温恒湿前後の変化量（Ｔｆ_１−Ｔｆ_０）を求めた。恒温恒湿試験前後の比抵抗値の変化率および透過率の変化量を表５に示す。

Ａｇ合金膜におけるＳｂの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例２１においては、恒温恒湿試験前後で比抵抗値が大きく変化した。
Ａｇ合金膜におけるＳｂの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例２２においては、成膜後の比抵抗値が高く、かつ、透過率が低かった。

Ａｇ合金膜におけるＭｇの含有量が本発明の範囲よりも少ない比較例２３においては、恒温恒湿試験前後で透過率が大きく変化した。
Ａｇ合金膜におけるＭｇの含有量が本発明の範囲よりも多い比較例２４においては、成膜後の比抵抗値が高く、かつ、透過率が低かった。さらに、恒温恒湿試験前後で比抵抗値が大きく変化した。

純Ａｇからなる従来例においては、恒温恒湿試験前後で比抵抗値、透過率が大きく変化した。

これに対して、Ａｇ合金膜におけるＳｂ，Ｍｇの含有量が本発明の範囲内とされた本発明例２１〜２７においては、成膜後の比抵抗値が低く、かつ、透過率が高く、恒温恒湿試験前後で比抵抗値および透過率が大きく変化せずに安定していた。
以上のことから、本発明によれば、比抵抗値が低いとともに透過率が高く、かつ、耐湿性に優れ、半透過膜として特に適したＡｇ合金膜を提供可能であることが確認された。

Claims (8)

1. Ｓｂを０．０１原子％以上１．００原子％以下、Ｍｇを０．０５原子％以上１．００原子％以下含有し、残部がＡｇ及び不可避不純物とからなる組成を有することを特徴とするＡｇ合金膜。
2. 含有されるＳｂとＭｇの原子比がＳｂ／Ｍｇ≧０．１であることを特徴とする請求項１に記載のＡｇ合金膜。
3. 請求項１又は請求項２に記載の組成を有することを特徴とするＡｇ合金反射膜。
4. 請求項１又は請求項２に記載の組成を有することを特徴とするＡｇ合金導電膜。
5. 請求項１又は請求項２に記載の組成を有することを特徴とするＡｇ合金半透過膜。
6. 波長４０５〜５５０ｎｍの最小反射率が９０％以上であることを特徴とする請求項３に記載のＡｇ合金反射膜。
7. 比抵抗が７μΩ・ｃｍ以下であることを特徴とする請求項４に記載のＡｇ合金導電膜。
8. 膜厚１５ｎｍ以下でかつ波長３５０〜８５０ｎｍにおける平均透過率が４０％以上、比抵抗値が１０μΩ・ｃｍ以下であることを特徴とする請求項５に記載のＡｇ合金半透過膜。