JP2015152231A

JP2015152231A - 熱処理炉

Info

Publication number: JP2015152231A
Application number: JP2014026471A
Authority: JP
Inventors: 大西　雅也; Masaya Onishi; 雅也大西; 惣介波多野; Sosuke Hatano
Original assignee: NGK Insulators Ltd; NGK Kilntech Corp
Current assignee: NGK Insulators Ltd; NGK Kilntech Corp
Priority date: 2014-02-14
Filing date: 2014-02-14
Publication date: 2015-08-24
Anticipated expiration: 2034-02-14
Also published as: JP6289149B2

Abstract

【課題】炉体への外気の流入や外部への雰囲気ガスの流出を十分抑制する。【解決手段】熱処理炉１０は、内部で被処理物９６の熱処理を行う炉体１１と、被処理物９６を、外部と炉体１１との間で搬送するための搬送路２９と、炉体１１内部に雰囲気ガスとして不活性ガスを供給するガス供給装置２２と、炉体１１内部の雰囲気を外気より高い温度にするヒーター２０と、搬送路２９のうち第１搬送路３０の鉛直上側に設けられ、鉛直下側に開口して第１搬送路３０内に連通する上方空間６３を形成する上方空間形成部６０と、第１搬送路３０の鉛直下側に設けられ、鉛直上側に開口して第１搬送路３０内に連通する下方空間７３を形成する下方空間形成部７０と、下方空間７３を吸引する吸引装置７７と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、熱処理炉に関する。

従来、被処理物を熱処理する熱処理炉として、所定の雰囲気で加熱する熱処理炉が知られている。例えば、特許文献１には、繊維強化熱可塑性樹脂シートの熱処理炉であって、装置内の空気を不活性ガスで置換して、体積酸素濃度を９％未満とした雰囲気で加熱を行うものが記載されている。こうすることで、シート材表面の樹脂の酸化劣化を防止しつつ、速やかにシート材を加熱することができるとしている。

特開平７−１３２５２２号公報

ところで、このような所定の雰囲気で熱処理を行う場合、雰囲気を保ちやすくするため、外気の流入を抑制したり、外部への雰囲気ガスの流出を抑制することが望まれていた。

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、炉体への外気の流入や外部への雰囲気ガスの流出を十分抑制することを主目的とする。

本発明の熱処理炉は、
被処理物の熱処理を行う熱処理炉であって、
内部で前記被処理物の熱処理を行う炉体と、
前記被処理物を含む被搬送物を、外部と前記炉体との間で搬送するための搬送路と、
前記炉体内部に雰囲気ガスとして不活性ガスを供給するガス供給手段と、
前記炉体内部の雰囲気を外気より高い温度にする加熱手段と、
前記搬送路の鉛直上側に設けられ、鉛直下側に開口して該搬送路内に連通する上方空間を形成する上方空間形成部と、
前記搬送路の鉛直下側に設けられ、鉛直上側に開口して該搬送路内に連通する下方空間を形成する下方空間形成部と、
前記下方空間を吸引する下方空間吸引手段と、
を備えたものである。

この本発明の熱処理炉では、炉体に不活性ガスが供給され、炉体の雰囲気ガスが外気より高い温度に加熱されている。そのため、炉体から搬送路に流出する雰囲気ガスがある場合に、その雰囲気ガスは搬送路の鉛直上側に設けられた上方空間に溜まりやすい。これにより、搬送路を通過して雰囲気ガスが外部へ流出することが抑制される。また、雰囲気ガスが溜まることで上方空間は炉体内部よりも高圧の状態になりやすい。これにより、炉体内部から流出する雰囲気ガスを炉体内部へ押し戻そうとする力が働き、雰囲気ガスの流出が抑制される。さらに、搬送路の鉛直下側に設けられた下方空間を吸引することで、上方空間から搬送路を経由して下方空間に向かうガスの流れができる。そのため、この流れがエアカーテンとして働いて外部と炉体内部との間の搬送路でガスの流出入を抑制できる。以上により、炉体への外気の流入や外部への雰囲気ガスの流出を十分抑制することができる。ここで、搬送路は、被処理物を含む被搬送物を外部から炉体に搬入するためのものであってもよいし、被搬送物を炉体から外部に搬出するためのものであってもよい。被搬送物は被処理物のみであってもよいし、被処理物を載置するセッターなどを含んでいてもよい。また、前記ガス供給手段が前記加熱手段を兼ねるものとしてもよい。例えば、前記ガス供給手段が外気より高い温度の不活性ガスを供給するものとしてもよい。さらに、前記下方空間吸引手段及び前記ガス供給手段は、前記上方空間が前記炉体内部よりも高圧に保たれるように、前記下方空間の吸引及び前記不活性ガスの供給をそれぞれ行うものとしてもよい。こうすれば、炉体内部から流出する雰囲気ガスを炉体内部へ押し戻そうとする力が働きやすくなる。

本発明の熱処理炉において、前記被搬送物の搬送方向に垂直且つ水平方向に平行な方向を左右方向として、前記被搬送物が前記搬送路を搬送される際の該搬送路の左端から前記被搬送物までの前記左右方向の隙間の大きさを左隙間幅Ｗ_Lとし、前記被搬送物が前記搬送路を搬送される際の該搬送路の右端から前記被搬送物までの前記左右方向の隙間の大きさを右隙間幅Ｗ_Rとしたときに、前記左隙間幅Ｗ_Lの最小値Ｗ_Lmin及び前記右隙間幅Ｗ_Rの最小値Ｗ_Rminがいずれも２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下としてもよい。最小値Ｗ_Lmin及び最小値Ｗ_Rminを３０ｍｍ以下とすることで、搬送路において搬送路に沿った方向にガスが流れるのを抑制できるため、ガスの流出入をより抑制できる。

この場合において、左隙間幅Ｗ_L及び右隙間幅Ｗ_Rがいずれも２０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下の範囲としてもよい。左隙間幅Ｗ_L及び右隙間幅Ｗ_Rをいずれも２０ｍｍ以上とすることで、上方空間から搬送路を経由して下方空間に向かうガスの流量が大きくなる。そのため、この流れがエアカーテンとして働きやすくなり、ガスの流出入をより抑制できる。また、左隙間幅Ｗ_L及び右隙間幅Ｗ_Rをいずれも１５０ｍｍ以下とすることで、搬送路において搬送路に沿った方向にガスが流れるのを抑制できるため、ガスの流出入をより抑制できる。なお、搬送路のうち鉛直上側に前記上方空間形成部が設けられ鉛直下側に前記下方空間形成部が設けられた部分における左隙間幅Ｗ_L及び右隙間幅Ｗ_Rがいずれも２０ｍｍ以上であれば、上方空間から搬送路を経由して下方空間に向かうガスの流れがエアカーテンとして働きやすくなりガスの流出入をより抑制できる効果は得られる。

本発明の熱処理炉において、往路側と復路側とが共に外部から前記搬送路の外部開口面を通過して少なくとも該搬送路内まで配置されたリング状のワイヤーを複数有し、該複数のワイヤーにより前記搬送路内で前記被搬送物を搬送するワイヤーコンベア、を備え、前記被搬送物を搬送していない状態での、前記外部開口面における前記複数のワイヤーの各々の往路側と復路側との鉛直方向の距離Ｖ１は、２０ｍｍ〜２００ｍｍとしてもよい。距離Ｖ１を２００ｍｍ以下とすることで、外部開口面の鉛直方向の隙間をより小さくしやすくなるため、外部開口面を介したガスの流出入をより抑制しやすい。また、距離Ｖ１を２０ｍｍ以上とすることで、被搬送物が載置された状態でワイヤーの往路側と復路側とが接触してしまうなどの不具合の発生をより抑制できる。

本発明の熱処理炉は、往路側と復路側とが共に前記搬送路内に配置されたリング状のワイヤーを複数有し、該複数のワイヤーにより前記搬送路内で前記被搬送物を搬送するワイヤーコンベアと、前記搬送路内で前記複数のワイヤーのうち隣接するワイヤー間を前記ワイヤーコンベアの搬送方向に気体が流通することを抑制する流通抑制部材と、を備えていてもよい。こうすれば、搬送路を介したガスの流出入を流通抑制部材によってより抑制できる。

本発明の熱処理炉において、前記搬送路は、鉛直上側に前記上方空間形成部が設けられ鉛直下側に前記下方空間形成部が設けられた第１搬送路と、前記被搬送物を、前記第１搬送路と前記炉体との間で搬送する搬送路であり、搬送方向長さＬが１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下である第２搬送路と、を備えていてもよい。第２搬送路の搬送方向長さＬを１００ｍｍ以上とすることで、炉体の雰囲気ガスの流出をより抑制できる。

本発明の熱処理炉において、前記上方空間形成部は、前記炉体に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した前記上方空間を形成していてもよい。外気より高い温度の雰囲気ガスが炉体から流出したときには、この雰囲気ガスの流れる向きは炉体に対して遠ざかるほど上昇する向きとなる。そのため、上方空間が炉体に対して上部が遠ざかる方向に傾斜していることで、炉体からの雰囲気ガスが上方空間に導かれやすくなり、外部への流出をより抑制できる。

この場合において、前記上方空間形成部は、前記炉体に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した部材であり前記上方空間を前記被搬送物の搬送方向に沿って複数の区画空間に区画する区画部材を有していてもよい。こうすれば、複数の区画部材が前記炉体に対して上部が遠ざかる方向に傾斜していることで、炉体からの雰囲気ガスが上方空間に導かれやすくなる。この場合において、前記複数の区画空間は、前記上方空間のうち上方で互いに連通していてもよい。こうすれば、炉体からの雰囲気ガスが搬送路に流れたときに、雰囲気ガスが複数の区画空間のうちいずれかを通って上方空間のうち上方に流れ、そこから他の区画空間を流れて炉体に戻る、という流れが生じやすくなり、雰囲気ガスを炉体に戻して外部への流出を抑制する効果が高まる。

本発明の熱処理炉において、前記下方空間形成部は、前記炉体に対して下部が近づく方向に傾斜した前記下方空間を形成していてもよい。外気が搬送路に流れたとき、炉体の雰囲気ガスの方が温度が高いため、この外気の流れる向きは炉体に対して近づくほど下降する向きとなる。そのため、下方空間が炉体に対して下部が近づく方向に傾斜していることで、外気が下方空間に導かれやすくなり、炉体への流入をより抑制できる。

熱処理炉１０の縦断面図である。図１のＡ視図である。図２のＢ−Ｂ断面図である。変形例の熱処理炉１１０の縦断面図である。図４のＣ視図である。試験炉２１０の縦断面図である。

次に、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態である熱処理炉１０の縦断面図である。図２は、図１のＡ視図である。図３は、図２のＢ−Ｂ断面図である。熱処理炉１０は、炉体１１と、搬送路２９と、上方空間形成部６０と、下方空間形成部７０と、ワイヤーコンベア８０と、コントローラー９０と、を備えている。また、搬送路２９は、第１搬送路３０と、第２搬送路４０と、第３搬送路５０と、を備えている。この熱処理炉１０は、炉体１１の処理空間１１ａ内でシート状の被処理物９６を搬送しながら被処理物９６に対する熱処理を行う装置として構成されている。

炉体１１は、略直方体に形成された断熱構造体であり、内部の空間である処理空間１１ａと、炉体の前端面１２（図１の左端面）及び後端面１３（図１の右端面）にそれぞれ形成され外部から処理空間１１ａへの出入口となる開口１４，１５を有している。処理空間１１ａ内には、ワイヤーコンベア８０の複数のワイヤー８１を上下から挟むように、炉体１１の天井及び底部に複数のヒーター２０が配置されている。ヒーター２０は、長手方向が搬送方向に直交する方向（左右方向）となるように配置されており、ワイヤーコンベア８０の搬送方向（図１の左から右に向かう方向）に沿って複数配置されている。ヒーター２０は、処理空間１１ａ内を通過する被処理物９６や処理空間１１ａの雰囲気を加熱するものであり、例えばＳｉＣヒーターなどのセラミックスヒーターとして構成されている。なお、ヒーター２０に限らず、ガスバーナーなど、被処理物９６の熱処理を行うことができる加熱装置であればよい。また、本実施形態ではヒーター２０は円筒状ヒーターとしたが、面状ヒーターとするなど、他の形状のヒーターを用いてもよい。

また、炉体１１の底部のうち後端面１３側には、ガス供給装置２２と接続され処理空間１１ａに雰囲気ガスを供給可能なガス供給口１６が形成されている。炉体１１の底部の前端面１２側には、ガス供給装置２４と接続され処理空間１１ａに雰囲気ガスを供給可能なガス供給口１７が形成されている。なお、ガス供給装置２２，２４は、雰囲気ガスとして例えば窒素などの不活性ガスを処理空間１１ａに供給する。炉体１１の天井部分のうち前端面１２側には、流量調整弁２６と接続され処理空間１１ａの雰囲気を流出可能な流出口１８が形成されている。流量調整弁２６は、配管を介してガス供給装置２２，２４に接続されており、処理空間１１ａの雰囲気をガス供給装置２２，２４の吸気として循環させる。なお、流量調整弁２６を通過したガスは、フィルターなどにより不活性ガス以外の不要成分（例えば酸素，水など）が除去された上でガス供給装置２２，２４に供給されてもよい。炉体１１の天井のうち流出口１８の後方には、排気弁２８と接続され処理空間１１ａの雰囲気を排気可能な排気口１９が形成されている。なお、流出口１８，排気口１９の配置はこれに限られない。例えば排気口１９を流出口１８よりも前端面１２側に配置してもよい。

搬送路２９は、外部から炉体１１の開口１４までの被処理物９６の搬入路となるものである。搬送路２９の第１搬送路３０，第２搬送路４０，第３搬送路５０は、外部から炉体１１に向かって、第３搬送路５０，第１搬送路３０，第２搬送路４０の順に並んでいる。以下、この順に説明する。

第３搬送路５０は、被処理物９６を外部から第１搬送路３０まで搬送するための搬入路であり、管路として構成されている。この第３搬送路５０は、外部からの搬入口となる搬送口５２を有している。第３搬送路５０は、この搬送口５２の内側に遮蔽板８５を備えている。遮蔽板８５については後述する。

第１搬送路３０は、被処理物９６を第３搬送路５０から第２搬送路４０まで搬送するための搬入路であり、管路として構成されている。

この第１搬送路３０の鉛直上側には、上方空間形成部６０が設けられている。この上方空間形成部６０は、下方向が開口した箱状の外壁６２を有しており、この外壁６２の内部の空間として、鉛直下側に開口し第１搬送路３０内に連通する上方空間６３が形成されている。外壁６２は下方向の開口以外は気密な構造をしており、第１搬送路３０を介さない外部との気体の流出入がほとんど生じないようになっている。なお、外壁６２は、前方（図１の左方）の壁部及び後方（図１の右方）の壁部が、炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜している。これにより、上方空間６３は炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した形状の空間となっている。また、上方空間形成部６０は、外壁６２の内部に、炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した区画部材６４ａ，６４ｂを備えている。この区画部材６４ａ，６４ｂは、前方から後方に向けてこの順に配置された平板状の部材であり、図示は省略するが左右方向の両端が外壁６２の左右の壁部に例えば溶接などにより取り付けられている。区画部材６４ａ，６４ｂ，外壁６２の前方の壁部及び後方の壁部は、いずれも前方から上方に向けて同じ角度θ１だけ傾斜している。傾斜の角度θ１は０°超過〜９０°未満であればよい。特に限定するものではないが、例えば角度θ１を３０〜６０°としてもよい。この区画部材６４ａ，６４ｂにより、上方空間６３の一部が区画空間６５ａ〜６５ｃに区画されている。区画空間６５ａは、外壁６２の前方の壁部と区画部材６４ａとで区画された空間である。区画空間６５ｂは、区画部材６４ａと区画部材６４ｂとで区画された空間である。区画空間６５ｃは、区画部材６４ｂと外壁６２の後方の壁部とで区画された空間である。これらの区画空間６５ａ〜６５ｃは、いずれも下方が第１搬送路３０内に開口している。また、区画部材６４ａ，６４ｂは、いずれも外壁６２の天井には接していない。そのため、区画空間６５ａ〜６５ｃは、上方空間６３のうち上方（外壁６２の天井付近）で互いに連通している。

また、第１搬送路３０の鉛直下側には、下方空間形成部７０が設けられている。この下方空間形成部７０は、上方向が開口した箱状の外壁７２を有しており、この外壁７２の内部の空間として、鉛直上側に開口し第１搬送路３０内に連通する下方空間７３が形成されている。外壁７２は上方向の開口以外は気密な構造をしており、第１搬送路３０を介さない外部との気体の流出入がほとんど生じないようになっている。なお、外壁７２は、前方（図１の左方）の壁部及び後方（図１の右方）の壁部が、炉体１１に対して下部が近づく（上部が遠ざかる）方向に傾斜している。これにより、下方空間７３は炉体１１に対して下部が近づく方向に傾斜した形状の空間となっている。また、下方空間形成部７０は、外壁７２の内部に、炉体１１に対して下部が近づく方向に傾斜した区画部材７４ａ，７４ｂを備えている。この区画部材７４ａ，７４ｂは、後方から前方に向けてこの順に配置された平板状の部材であり、図示は省略するが左右方向の両端が外壁７２の左右の壁部に例えば溶接などにより取り付けられている。区画部材７４ａ，７４ｂ，外壁７２の前方の壁部及び後方の壁部は、いずれも後方から下方に同じ角度θ２だけ傾斜している。傾斜の角度θ２は０°超過〜９０°未満であればよい。特に限定するものではないが、例えば角度θ２を３０〜６０°としてもよい。この区画部材７４ａ，７４ｂにより、下方空間７３の一部が区画空間７５ａ〜７５ｃに区画されている。区画空間７５ａは、外壁７２の後方の壁部と区画部材７４ａとで区画された空間である。区画空間７５ｂは、区画部材７４ａと区画部材７４ｂとで区画された空間である。区画空間７５ｃは、区画部材７４ｂと外壁７２の前方の壁部とで区画された空間である。これらの区画空間７５ａ〜７５ｃは、いずれも上方が第１搬送路３０内に開口している。また、区画部材７４ａ，７４ｂは、いずれも外壁７２の底部には接していない。そのため、区画空間７５ａ〜７５ｃは、下方空間７３のうち下方（外壁７２の底部付近）で互いに連通している。なお、外壁７２の底部には、吸引装置７７と接続され下方空間７３を吸引するための吸引口７６が形成されている。吸引装置７７は、吸引口７６を介して下方空間７３内のガスを吸引して排気する。

第２搬送路４０は、被処理物９６を第１搬送路３０から炉体１１の開口１４まで搬送するための搬入路であり、管路として構成されている。

なお、第１搬送路３０と第３搬送路５０とは、連続した管路として構成されている。本実施形態では、上方空間形成部６０の開口の前端部と下方空間形成部７０の開口の前端部とを結んだ線分Ｄ１を、第１搬送路３０と第３搬送路５０との境界とした。同様に、第１搬送路３０と第２搬送路４０とは、連続した管路として構成されている。本実施形態では、上方空間形成部６０の開口の後端部と下方空間形成部７０の開口の後端部とを結んだ線分Ｄ２を、第１搬送路３０と第２搬送路４０との境界とした。また、第２搬送路４０は、搬送方向長さＬが、１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下になるように構成されている。搬送方向長さＬは、第２搬送路４０に隣接する開口１４と第１搬送路３０との間の距離である。本実施形態では、搬送方向長さＬは、図１に示すように、開口１４の開口端（＝前端面１２）から、外壁６２の傾斜が始まる部分（上方空間形成部６０の開口の後端部）までの搬送方向の長さとした。

ワイヤーコンベア８０は、複数（本実施形態では２４本）のワイヤー８１で被処理物９６を搬送方向に搬送するものである。ワイヤーコンベア８０は、水平方向のうち搬送方向に直交する方向（左右方向）に等間隔に配置されたワイヤー８１（ワイヤー８１ａ〜８１ｘ）と（図２，図３参照）、搬送口５２の前方に配置された従動ローラー８２と、開口１５の後方に配置された駆動ローラー８３と、複数（本実施形態では２個）の支持ローラー８４ａ、８４ｂと、を備えている。ワイヤー８１ａ〜８１ｘは、それぞれ従動ローラー８２と駆動ローラー８３とを両端としてリング状に掛け渡されている。このワイヤー８１ａ〜８１ｘは、図１に示すように、搬送口５２よりも前方から開口１５よりも後方までに亘って掛け渡されて、搬送路２９及び炉体１１を搬送方向に貫通している。また、ワイヤー８１ａ〜８１ｘは、いずれも往路側（図１の上側）の部分と復路側（図１の下側）の部分とが共に搬送路２９内及び炉体１１内を通過している。ワイヤーコンベア８０は、駆動ローラー８３を回転駆動する図示しないモーターなどを備えている。従動ローラー８２は、自身を前方に引っ張る図示しないばねなどの弾性体を備えている。この弾性体は、炉体１１の前方に向けて引っ張る張力を従動ローラー８２を介してワイヤー８１に作用させることで、ワイヤー８１の張りを一定に保っている。支持ローラー８４ａ，８４ｂは、ワイヤー８１ａ〜８１ｘの往路側を下方から支持するものである。支持ローラー８４ａは、搬送方向で従動ローラー８２と搬送口５２との間に配置されている。支持ローラー８４ｂは、搬送方向で開口１５と駆動ローラー８３との間に配置されている。

複数のワイヤー８１は、図２に示すように、隣接するワイヤー８１間の左右方向の距離を距離Ｗ１とすると、いずれのワイヤー８１間の距離Ｗ１も３０〜１００ｍｍの範囲内にあることが好ましい。距離Ｗ１を１００ｍｍ以下とすることで、ワイヤー間が左右に離れすぎて搬送される被処理物９６がたわむのを抑制することができる。また、被搬送物９６を搬送していない状態（ワイヤー８１に何も載せていない状態）での、搬送口５２の端面（前端面）における複数のワイヤーの各々の往路側と復路側との鉛直方向の距離を距離Ｖ１とすると、距離Ｖ１が２０ｍｍ〜２００ｍｍとなっていることが好ましい。なお、例えば従動ローラー８２及び駆動ローラー８３の直径を調整したり、従動ローラー８２，駆動ローラー８３，支持ローラー８４ａ，８４ｂなどのローラーの配置（搬送口５２の端面からの距離）を調整したりすることで、距離Ｖ１を調整することができる。

遮蔽板８５は、搬送口５２の開口部分を塞いで、搬送口５２を介した外気や炉体１１内の雰囲気の流出入を抑制する板状の部材である。遮蔽板８５は、上側遮蔽板８６と、下側遮蔽板８７とを備えている。上側遮蔽板８６は、搬送口５２におけるワイヤー８１よりも上側に配置されており、上側遮蔽板８６の上端及び左右端はそれぞれ第３搬送路５０の内周面の上面及び左右面と接している。これにより、上側遮蔽板８６は、ワイヤー８１に搬送される被処理物９６の上端と搬送口５２の上端との間の隙間を狭くしている。下側遮蔽板８７は、搬送口５２において上側遮蔽板８６の下に取り付けられており、上端が上側遮蔽板８６の下端に接している。また、下側遮蔽板８７は、左右端が第３搬送路５０の内周面の左右面に接している。下側遮蔽板８７には、上端側から下方向に向けて形成された切り欠き部８７ａが形成されている。また、下側遮蔽板８７には、切り欠き部８７ａの下端からさらに下方向に向けて切り欠き部８８ａ〜８８ｘが形成されている。左右方向に隣接する切り欠き部８８ａ〜８８ｘの間は、切り欠きが形成されずに残った凸状部８９ａ〜８９ｗとなっている。この上側遮蔽板８６と下側遮蔽板８７とが搬送口５２内に配置されることで、上側遮蔽板８６が切り欠き部８７ａの上側を塞ぐ形になり、遮蔽板８５は切り欠き部８７ａ，切り欠き部８８ａ〜８８ｘの部分だけを残して搬送口５２を塞いでいる。切り欠き部８８ａ〜８８ｘの数はワイヤー８１の本数に対応しており、切り欠き部８８ａ〜８８ｘがそれぞれワイヤー８１ａ〜８１ｘに対応している。ワイヤーコンベア８０のワイヤー８１ａ〜８１ｘの復路側（下側）は、それぞれ切り欠き部８８ａ〜８８ｘの部分を通過することで搬送口５２を貫通している。なお、ワイヤー８１ａ〜８１ｘのうち往路側（上側）は、図２では切り欠き部８７ａの部分を通過しているが、少なくとも一部が切り欠き部８７ａの部分を通過していればよい。例えば、ワイヤー８１ａ〜８１ｘの往路側の一部が切り欠き部８８ａ〜８８ｘの部分を通過してもよい。換言すると、ワイヤー８１ａ〜８１ｘの往路側の上端が切り欠き部８７ａの部分を通過していればよい。

被搬送物９６を搬送していない状態での、搬送口５２の端面（前端面）におけるワイヤー８１ａ〜８１ｘの下端と外部開口面の下端（下側遮蔽板８７の切り欠き部８８ａ〜８８ｘの下端）との鉛直方向（上下方向）の距離を距離Ｖ２とすると、距離Ｖ２はワイヤー８１ａ〜８１ｘのいずれも１０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲であることが好ましい。距離Ｖ２を５０ｍｍ以下とすることで、搬送口５２の鉛直方向の隙間をより小さくでき、搬送口５２を介した外気や炉体１１内の雰囲気の流出入をより抑制できる。また、距離Ｖ２を１０ｍｍ以上とすることで、ワイヤー８１の復路側（下側）が下側遮蔽板８７に接触することをより抑制できる。

コントローラー９０は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサーとして構成されている。このコントローラー９０は、ガス供給装置２２，２４に制御信号を出力して、ガス供給口１６，ガス供給口１７を介した炉体１１への不活性ガスの供給量を個別に制御する。コントローラー９０は、流量調整弁２６に制御信号を出力して流出口１８からガス供給装置２２，ガス供給装置２４へ循環させるガスの量を制御したり、排気弁２８に制御信号を出力して処理空間１１ａから排気する雰囲気ガスの量を制御したりする。また、コントローラー９０は、吸引装置７７に制御信号を出力して、吸引口７６を介した下方空間７３からのガスの吸引量（吸引速度）を制御する。さらに、コントローラー９０は、ヒーター２０に制御信号を出力して処理空間１１ａの温度を調整したり、ワイヤーコンベア８０の図示しないモーターに駆動信号を出力して、駆動ローラー８３を回転させることでワイヤー８１を回転させる。

被処理物９６は、例えば炭素繊維入り樹脂シートとして構成されたシート状のものである。この被処理物９６は、例えば炉体１１内を通過する間にヒーター２０からの熱により加熱されて軟化した状態になり、その後にプレス機に搬送されて所望形状にプレス成形される。特に限定するものではないが、被処理物９６の左右方向の幅は、例えば１０００ｍｍ程度である。

次に、こうして構成された熱処理炉１０を用いて被処理物９６の熱処理を行う様子について説明する。まず、コントローラー９０は、図示しないモーターを動作させてワイヤーコンベア８０の駆動ローラー８３を回転させワイヤー８１を回転させると共に、ヒーター２０に通電してヒーター２０を発熱させる。駆動ローラー８３の回転速度（ワイヤー８１の送り速度）は、被処理物９６の熱処理に要する時間に基づいて予め定められている。ヒーター２０の出力は、処理空間１１ａ内での被処理物９６の熱処理時の温度（例えば１０００℃前後など）に基づいて予め定められているものとした。続いて、被処理物９６を用意し、第３搬送路５０の搬送口５２の外側のワイヤー８１の上に載置する。被処理物９６は、ワイヤー８１により第３搬送路５０，第１搬送路３０，第２搬送路４０をこの順に搬送され、開口１４から炉体１１内に搬入される。そして、被処理物９６が炉体１１内を通過している間に、被処理物９６に対する熱処理が行われ、被処理物９６は加熱及び軟化される。その後、被処理物９６は開口１５から搬出される。このように、熱処理炉１０では、被処理物９６をワイヤー８１により搬送しながら、ヒーター２０により熱処理を行う。開口１５から搬出された被処理物９６は、例えばプレス機へ搬入されて、所望形状にプレス成形される。なお、被処理物９６は開口１４から順次搬入され、複数の被処理物９６について連続的に熱処理が行われる。

なお、被処理物９６を搬送している間、コントローラー９０は、ガス供給装置２２を制御して炉体１１内に不活性ガスを供給させると共に、流量調整弁２６及び排気弁２８を制御して炉体１１から雰囲気ガスを流出，排出させる。また、コントローラー９０は、吸引装置７７を制御して下方空間７３からガスを吸引させる。これらの供給や吸引等の量（速度）は、処理空間１１ａを所定の雰囲気に保つことができるよう例えば実験などにより予め定められているものとしてもよいし、例えば図示しない温度センサなどのセンサからの検出信号に基づいてコントローラー９０が処理空間１１ａの情報（温度など）を取得し、この情報に基づいてコントローラー９０が供給量等を調整してもよい。なお、ガス供給装置２４は、何らかの不具合により被処理物９６が連続的に供給されず、搬送路２９内で被処理物９６の列が途切れてしまった場合などに使用される。被処理物９６が存在しない場合には、第１搬送路３０，第２搬送路４０，第３搬送路５０の空間がその分広がることになるため、外気が炉体１１に流入しやすくなる。そこで、このような場合には、コントローラー９０はガス供給装置２４からも不活性ガスを供給させて、処理空間１１ａ内の雰囲気を保つようにする。なお、ガス供給装置２４を用いる代わりにガス供給装置２２からの供給量を増大させてもよい。

ここで、被処理物９６が搬送されている際の、被処理物９６と搬送路２９との隙間について説明する。本実施形態では、熱処理を行うために被処理物９６が搬送されている際における隙間高さＨの最小値Ｈｍｉｎ、左隙間幅Ｗ_Lの最小値Ｗ_Lmin、右隙間幅Ｗ_Rの最小値Ｗ_Rminがそれぞれ所定範囲になるように、第１搬送路３０，第２搬送路４０，第３搬送路５０，遮蔽板８５の形状や被処理物９６の形状及び配置の仕方が定められている。以下、これらの値について説明する。

隙間高さＨは、被処理物９６が搬送路２９を搬送される際の、搬送路２９内における被処理物９６の鉛直上方向の隙間の大きさである（図１参照）。そして、搬送路２９内におけるこの隙間高さＨの最小値が、最小値Ｈｍｉｎである。ここで、図１に示すように、本実施形態の搬送路２９は、遮蔽板８５で塞がれている部分が最も被処理物９６の鉛直上方向の隙間が小さくなっている。そのため、この被処理物９６の鉛直上方向の遮蔽板８５までの隙間が、最小値Ｈｍｉｎとなる（図１，図２参照）。この最小値Ｈｍｉｎが小さいほど、搬送路２９をガスが通過しにくくなるため、炉体１１への外気の流入や外部への雰囲気ガスの流出をより抑制できる。一方、最小値Ｈｍｉｎが大きいほど、例えば搬送時の振動などにより被処理物９６が搬送路２９の上側部分（本実施形態では、上側遮蔽板８６）に接触してしまうことをより抑制できる。最小値Ｈｍｉｎは、これらを考慮して適宜定めることができる。例えば、最小値ｍｉｎは５ｍｍ超過２０ｍｍ以下としてもよい。

左隙間幅Ｗ_Lは、被処理物９６が搬送路２９を搬送される際の搬送路２９の左端から被処理物９６までの左右方向の隙間の大きさである（図３参照）。同様に、右隙間幅Ｗ_Rは、被処理物９６が搬送路２９を搬送される際の搬送路２９の右端から被処理物９６までの左右方向の隙間の大きさである。そして、搬送路２９内におけるこの左隙間幅Ｗ_L及び右隙間幅Ｗ_Rの最小値が、最小値Ｗ_Lmin、最小値Ｗ_Rminである。ここで、図３に示すように、本実施形態の搬送路２９は、遮蔽板８５で塞がれている部分が最も左右方向の隙間が小さくなっている。そのため、被処理物９６から遮蔽板８５（下側遮蔽板８７）までの左右方向の隙間が、最小値Ｗ_Lmin、最小値Ｗ_Rminとなる（図２，図３参照）。そして、このように定まる最小値Ｗ_Lmin、最小値Ｗ_Rminは、いずれも２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下となることが好ましい。なお、左隙間幅Ｗ_L及び右隙間幅Ｗ_Rが、搬送路２９の全体に亘っていずれも２０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下の範囲にあることが好ましい。

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の被処理物９６が本発明の被処理物及び被搬送物に相当し、炉体１１が炉体に相当し、搬送路２９が搬送路に相当し、ガス供給装置２２がガス供給手段に相当し、ヒーター２０が加熱手段に相当し、上方空間形成部６０が上方空間形成部に相当し、下方空間形成部７０が下方空間形成部に相当し、吸引装置７７が下方空間吸引手段に相当する。また、搬送口５２の前端面が搬送路の外部開口面に相当し、遮蔽板８５（凸状部８９ａ〜８９ｗ）が流通抑制部材に相当する。

以上説明した本実施形態の熱処理炉１０では、熱処理時において炉体１１にガス供給装置２２から不活性ガスが供給され、ヒーター２０により炉体１１の雰囲気ガスが外気より高い温度に加熱されている。そのため、炉体１１から開口１４を通って搬送路２９側に流出する雰囲気ガスがある場合に、その雰囲気ガスは搬送路２９（第１搬送路３０）の鉛直上側に設けられた上方空間６３に溜まりやすい。これにより、搬送路２９を通過して雰囲気ガスが外部へ流出することが抑制される。また、雰囲気ガスが溜まることで上方空間６３は炉体１１内部よりも高圧の状態になりやすい。これにより、炉体１１内部から流出する雰囲気ガスを炉体１１内部へ押し戻そうとする力が働き、雰囲気ガスの流出が抑制される。さらに、搬送路２９（第１搬送路３０）の鉛直下側に設けられた下方空間７３を吸引装置７７が吸引することで、上方空間６３から第１搬送路３０を経由して（被処理物９６が搬送されている場合には被処理物９６の左右の隙間を経由して）下方空間７３に向かうガスの流れができる。そのため、この流れがエアカーテンとして働いて外部と炉体１１内部との間の第１搬送路３０でガスの流出入を抑制できる。以上により、炉体１１への外気の流入や外部への雰囲気ガスの流出を十分抑制することができる。なお、外気が流入すると、例えば炉体１１内に酸素，水，微粒子などの不要成分が流入して熱処理に悪影響を与える場合があるため、それを抑制したいという要望がある。また、炉体１１内部の雰囲気ガスには、例えば不活性ガスや被処理物９６から生じたガスなどが含まれるため、外部に流出させたくないという要望がある。本発明の熱処理炉では、ガスの流出入を抑制することから、これらの要望を満たしやすい。

さらに、熱処理炉１０において、左隙間幅Ｗ_Lの最小値Ｗ_Lmin及び右隙間幅Ｗ_Rの最小値Ｗ_Rminをいずれも２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下とすれば、最小値Ｗ_Lmin及び最小値Ｗ_Rminを３０ｍｍ以下とすることで、搬送路２９において搬送路２９に沿った方向にガスが流れるのを抑制できるため、ガスの流出入をより抑制できる。また、左隙間幅Ｗ_L及び右隙間幅Ｗ_Rをいずれも２０ｍｍ以上とすることで、上方空間６３から搬送路２９を経由して下方空間７３に向かうガスの流量が大きくなる。そのため、この流れがエアカーテンとして働きやすくなり、ガスの流出入をより抑制できる。また、左隙間幅Ｗ_L及び右隙間幅Ｗ_Rをいずれも１５０ｍｍ以下とすることで、搬送路２９において搬送路２９に沿った方向にガスが流れるのを抑制できるため、ガスの流出入をより抑制できる。

さらにまた、熱処理炉１０は、往路側と復路側とが共に外部から搬送路２９の外部開口面である搬送口５２の前端面を通過して少なくとも搬送路２９内まで配置されたリング状のワイヤー８１を複数有し、複数のワイヤー８１により搬送路２９内で被搬送物９６を搬送するワイヤーコンベア８０、を備えている。そして、被搬送物９６を搬送していない状態での、外部開口面における複数のワイヤー８１の各々の往路側と復路側との鉛直方向の距離Ｖ１を２００ｍｍ以下とすると、外部開口面の鉛直方向の隙間（例えば遮蔽板８５の切り欠き部８８ａ〜８８ｘ）をより小さくしやすくなり、外部開口面を介したガスの流出入をより抑制しやすくなる。また、距離Ｖ１を２０ｍｍ以上とすることで、被搬送物９６が載置された状態でワイヤー８１の往路側と復路側とが接触してしまうなどの不具合の発生をより抑制できる。

そしてまた、熱処理炉１０は、搬送路２９内で複数のワイヤー８１のうち隣接するワイヤー８１間をワイヤーコンベア８０の搬送方向（前後方向）に気体が流通することを抑制する遮蔽板８５の凸状部８９ａ〜８９ｗを備えている。そのため、搬送路２９を介したガスの流出入をこの凸状部８９ａ〜８９ｗによってより抑制できる。

また、熱処理炉１０は、被処理物９６を、第１搬送路３０と炉体１１との間で搬送するための搬送路であり、搬送方向長さＬが１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下である第２搬送路４０、を備えている。第２搬送路４０の搬送方向長さＬを１００ｍｍ以上とすることで、炉体１１からの雰囲気ガスの流出をより抑制できる。

そしてまた、上方空間形成部６０は、炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した上方空間６３を形成している。外気より高い温度の雰囲気ガスが炉体１１から流出したときには、この雰囲気ガスの流れる向きは炉体１１に対して遠ざかるほど上昇する向きとなる。そのため、上方空間６３が炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜していることで、炉体１１からの雰囲気ガスが上方空間６３に導かれやすくなり、外部への流出をより抑制できる。

そしてまた、上方空間形成部６０は、炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した部材であり上方空間６３を被処理物９６の搬送方向に沿って複数の区画空間６５ａ〜６５ｃに区画する区画部材６４ａ，６４ｂを有している。そのため、複数の区画部材６４ａ，６４ｂが炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜していることで、炉体１１からの雰囲気ガスが上方空間６３に導かれやすくなる。しかも、複数の区画空間６５ａ〜６５ｃは、上方空間６３のうち上方で互いに連通している。そのため、炉体１１からの雰囲気ガスが第１搬送路３０に流れたときに、雰囲気ガスが複数の区画空間６５ａ〜６５ｃのうちいずれかを通って上方空間６３のうち上方に流れ、そこから他の区画空間を流れて炉体に戻る、という流れが生じやすくなる。例えば、第１搬送路３０から区画空間６５ａ，６５ｂを上方に流れていき、上方空間６３のうち上方を通って区画空間６５ｃを下方に流れ、炉体１１に戻ろうとする流れが生じる。これにより、雰囲気ガスを炉体１１に戻して外部への流出を抑制する効果が高まる。

そしてまた、下方空間形成部７０は、炉体１１に対して下部が近づく方向に傾斜した下方空間７３を形成している。外気が第１搬送路３０に流れたとき、炉体１１の雰囲気ガスの方が温度が高いため、この外気の流れる向きは炉体１１に対して近づくほど下降する向きとなる。そのため、下方空間７３が炉体１１に対して下部が近づく方向に傾斜していることで、外気が下方空間７３に導かれやすくなり、炉体１１への流入をより抑制できる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

上述した実施形態では、遮蔽板８５は搬送口５２に設けられているものとしたが、これに限らず搬送路２９における被処理物９６が搬送される空間を塞ぐように設けられていればよい。また、遮蔽板８５を複数設けてもよい。なお、遮蔽板８５は少なくとも搬送口５２に設けることが好ましい。

上述した実施形態では、遮蔽板８５は上側遮蔽板８６と下側遮蔽板８７とを備えるものとしたが、これに限られない。例えば、遮蔽板８５は被処理物９６及びワイヤー８１が通過可能な穴（切り欠き部８７ａ及び切り欠き部８８ａ〜８８ｘに相当）を備えた１つの部材としてもよい。あるいは、遮蔽板８５を３以上の部材から構成してもよい。また、上述した実施形態では、遮蔽板８５は上側遮蔽板８６と下側遮蔽板８７との上下に分割された構成としているが、左右に分割された構成などとしてもよい。

上述した実施形態では、ワイヤーコンベア８０のワイヤー８１は、搬送口５２よりも前方から開口１５よりも後方までに亘って掛け渡されて、搬送路２９及び炉体１１を搬送方向に貫通しているものとしたが、これに限られない。例えば、ワイヤー８１が外部から搬送口５２を通過して搬送路２９内まで配置されており、炉体１１内の搬送は別のワイヤーコンベアや別の搬送手段（搬送ローラーなど）で行ってもよい。あるいは、ワイヤー８１が搬送路２９内に配置されて、搬送口５２から外部には出ていないものとしてもよい。

上述した実施形態では、搬送路２９（第１搬送路３０，第２搬送路４０，第３搬送路５０）は、外部から炉体１１の開口１４までの被処理物９６の搬入路となるものとしたが、搬出路となるものとしてもよい。また、上述した実施形態では、開口１４側にのみ第１搬送路３０，第２搬送路４０，第３搬送路５０，上方空間形成部６０，下方空間形成部７０を備えるものとしたが、開口１５側にもこれらと同様の構成を備えるものとしてもよい。図４は、この場合の変形例の熱処理炉１１０の縦断面図である。図５は、図４のＣ視図である。なお、図４，図５では、図１，図２と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。熱処理炉１１０は、熱処理炉１０に加えて、炉体１１の開口１５から外部までの搬出路となる搬送路１２９を備えている。搬送路１２９は、開口１５から支持ローラー８４ｂまでの間に位置している。搬送路１２９の第１搬送路１３０の鉛直上側には上方空間形成部１６０が設けられている。搬送路１２９の第１搬送路１３０の鉛直下側には、下方空間形成部１７０が設けられている。下方空間形成部１７０の外壁１７２の底部には、吸引装置１７７が接続されている。搬送路１２９の第３搬送路１５０は、外部への搬出口となる搬送口１５２を有している。第３搬送路１５０は、この搬送口１５２の内側に遮蔽板１８５を備えている。なお、搬送路１２９，上方空間形成部１６０，下方空間形成部１７０，吸引装置１７７，遮蔽板１８５は、それぞれ搬送路２９，上方空間形成部６０，下方空間形成部７０，吸引装置７７，遮蔽板８５と前後方向に対称な構造をしている。そのため、搬送路１２９，上方空間形成部１６０，下方空間形成部１７０，吸引装置１７７，遮蔽板１８５の構成要素については搬送路２９，上方空間形成部６０，下方空間形成部７０，吸引装置７７，遮蔽板８５に値１００を加えた符号を付して、詳細な説明を省略する。なお、線分Ｄ３は上方空間形成部１６０の開口の後端部と下方空間形成部１７０の開口の後端部とを結んだ線分であり、搬送路２９における線分Ｄ１に相当する。線分Ｄ４は上方空間形成部１６０の開口の前端部と下方空間形成部１７０の開口の前端部とを結んだ線分であり、搬送路２９の線分Ｄ２に相当する。角度θ３は、区画部材１６４ａ，１６４ｂ，外壁１６２の前方の壁部及び後方の壁部の傾斜の角度であり、上方空間形成部６０における角度θ１に相当する。角度θ４は、区画部材１７４ａ，１７４ｂ，外壁１７２の前方の壁部及び後方の壁部の傾斜の角度であり、下方空間形成部７０における角度θ２に相当する。この熱処理炉１１０では、炉体１１内と外部との開口１４を介したガスの流出入を抑制できるだけでなく、炉体１１内と外部との開口１５を介したガスの流出入も抑制できる。なお、図５に示す被処理物９６と遮蔽板１８５との距離Ｖ_L及び距離Ｖ_Rは、図２に示した距離Ｖ_L及び距離Ｖ_Rと同様に２０ｍｍ以上とすることが好ましい。なお、図４，５では、搬送路２９等と搬送路１２９等とは前後方向に対称な構成としたが、これに限られない。例えば、角度θ１と角度θ３とが異なっていてもよいし、角度θ２と角度θ４とが異なっていてもよい。また、上述した区画部材の数などについても、前後方向に対称でなくともよい。

上述した実施形態では、炉体１１の底部にガス供給口１６，１７を形成したが、これに限られない。例えば、ガス供給口を炉体１１の天井部及び底部に形成し、このガス供給口を介して上下から被処理物９６にガスを吹き付けるように供給してもよい。

［実施例１］
実施例１の熱処理炉として、図６に示す試験炉２１０を作製した。この試験炉２１０は、炉体１１内にヒーター２０を備えない点、開口１５を有さない点、及びワイヤーコンベア８０の支持ローラー８４ｂ及び駆動ローラー８３が炉体１１内の搬送路２９側に配置されている点、以外は上述した実施形態の熱処理炉１０と同様の構成をしている。この試験炉２１０は、遮蔽板８５を除いた搬送口５２の寸法が、上下方向の高さが２４０ｍｍ，左右方向の幅が１１００ｍｍとした。また、第２搬送路４０の搬送方向長さＬを２００ｍｍ、第１搬送路３０と第３搬送路５０との搬送方向長さの合計（＝搬送口５２から第２搬送路４０までの長さ）を５００ｍｍとした。炉体１１の寸法は上下方向高さが３００ｍｍ、前後方向長さが５００ｍｍ，左右方向幅が１５００ｍｍとした。上方空間形成部６０の傾斜の角度θ１を４５°、下方空間形成部７０の傾斜の角度θ２を４５°とした。上方空間形成部６０の容積は０．０８ｍ³、下方空間形成部７０の容積は０．０４ｍ³とした。遮蔽板８５は、厚さ１ｍｍの板とし、上側遮蔽板８６及び下側遮蔽板８７が切り欠き部８７ａ及び切り欠き部８８ａ〜８８ｘ以外で搬送口５２を全て塞ぐような形状とした。上側遮蔽板８６の上下方向高さは３０ｍｍとした。ワイヤー８１の搬送方向に沿って見たときの切り欠き部８７ａの形状は、上下方向高さが３０ｍｍ，左右方向幅が１０４０ｍｍの矩形とした。下側遮蔽板８７の左端から切り欠き部８７ａまでの左右方向の距離は３０ｍｍとし、下側遮蔽板８７の右端から切り欠き部８７ａまでの左右方向の距離は３０ｍｍとした。ワイヤー８１の搬送方向に沿って見たときの切り欠き部８８ａ〜８８ｘの形状は、いずれも上下方向高さ１５４ｍｍ，左右方向幅が３０ｍｍの矩形とした。また、被処理物９６をワイヤー８１に載置しない状態における、ワイヤー８１ａ〜８１ｘの各距離Ｖ１をいずれも１５０ｍｍとし、各距離Ｖ２をいずれも２０ｍｍとし、隣接するワイヤー８１間の距離Ｗ１をいずれも４１ｍｍとした。ワイヤー８１ａ〜８１ｘの直径はいずれも２ｍｍとした。ワイヤー８１ａ〜８１ｘは、それぞれ切り欠き部８８ａ〜８８ｘの左右方向の中央に位置するものとした。

この試験炉２１０において、以下の条件で試験を行った。まず、搬送口５２を含む搬送路２９内のワイヤー８１上に被処理物９６を配置した。被処理物９６の左右方向の幅は１０００ｍｍとし、厚さは２ｍｍとし、前後方向長さは１５０ｍｍとした。このときの最小値Ｈｍｉｎは８ｍｍであり、最小値Ｗ_Lminは２０ｍｍであり、最小値Ｗ_Rminは２０ｍｍであった。また、距離Ｖ_L，Ｖ_Rはいずれも２０ｍｍであった。この状態で、被処理物９６の搬送は行わず、吸引装置７７の吸引力を５００Ｌ／ｍｉｎ、炉体１１内の温度を８０℃、ガス供給装置２２からの窒素ガスの供給量を１００Ｌ／ｍｉｎとして１〜２時間経過した後の、炉体１１内の酸素濃度及び、搬送口５２から外部への窒素の漏れ量を測定した。なお、ガス供給装置２２から供給される窒素ガスの酸素濃度は１ｐｐｍ以下とした。また、試験中は流量調整弁２６を開放とし排気弁２８を全閉として、流出口１８による雰囲気ガスの循環のみ行い排気口１９からの雰囲気ガスの排気はない状態とした。試験後の炉体１１内の酸素濃度は１０００ｐｐｍであった。また、外部への窒素ガスの漏れ量は、検出されなかった。

１０，１１０熱処理炉、１１炉体、１１ａ処理空間、１２前端面、１３後端面、１４，１５開口、１６、１７ガス供給口、１８流出口、１９排気口、２０ヒーター、２２，２４ガス供給装置、２６流量調整弁、２８排気弁、２９，１２９搬送路、３０第１搬送路、４０第２搬送路、５０第３搬送路、５２搬送口、６０，１６０上方空間形成部、６２外壁、６３上方空間、６４ａ，６４ｂ区画部材、６５ａ〜６５ｃ区画空間、７０，１７０下方空間形成部、７２外壁、７３下方空間、７４ａ，７４ｂ区画部材、７５ａ〜７５ｃ区画空間、７６吸引口、７７，１７７吸引装置、８０ワイヤーコンベア、８１，８１ａ〜８１ｘワイヤー、８２従動ローラー、８３駆動ローラー、８４ａ，８４ｂ支持ローラー、８５，１８５遮蔽板、８６上側遮蔽板、８７下側遮蔽板、８７ａ切り欠き部、８８ａ〜８８ｘ切り欠き部、８９ａ〜８９ｗ凸状部、９０コントローラー、９６被処理物、２１０試験炉、Ｄ１，Ｄ２線分。

Claims

被処理物の熱処理を行う熱処理炉であって、
内部で前記被処理物の熱処理を行う炉体と、
前記被処理物を含む被搬送物を、外部と前記炉体との間で搬送する搬送路と、
前記炉体内部に雰囲気ガスとして不活性ガスを供給するガス供給手段と、
前記炉体内部の雰囲気を外気より高い温度にする加熱手段と、
前記搬送路の鉛直上側に設けられ、鉛直下側に開口して該搬送路内に連通する上方空間を形成する上方空間形成部と、
前記搬送路の鉛直下側に設けられ、鉛直上側に開口して該搬送路内に連通する下方空間を形成する下方空間形成部と、
前記下方空間を吸引する下方空間吸引手段と、
を備えた熱処理炉。
前記被搬送物の搬送方向に垂直且つ水平方向に平行な方向を左右方向として、前記被搬送物が前記搬送路を搬送される際の該搬送路の左端から前記被搬送物までの前記左右方向の隙間の大きさを左隙間幅Ｗ_Lとし、前記被搬送物が前記搬送路を搬送される際の該搬送路の右端から前記被搬送物までの前記左右方向の隙間の大きさを右隙間幅Ｗ_Rとしたときに、前記左隙間幅Ｗ_Lの最小値Ｗ_Lmin及び前記右隙間幅Ｗ_Rの最小値Ｗ_Rminがいずれも２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下である、
請求項１に記載の熱処理炉。
請求項１又は２に記載の熱処理炉であって、
往路側と復路側とが共に外部から前記搬送路の外部開口面を通過して少なくとも該搬送路内まで配置されたリング状のワイヤーを複数有し、該複数のワイヤーにより前記搬送路内で前記被搬送物を搬送するワイヤーコンベア、
を備え、
前記被搬送物を搬送していない状態での、前記外部開口面における前記複数のワイヤーの各々の往路側と復路側との鉛直方向の距離Ｖ１は、２０ｍｍ〜２００ｍｍである、
熱処理炉。
請求項１〜３のいずれか１項に記載の熱処理炉であって、
往路側と復路側とが共に前記搬送路内に配置されたリング状のワイヤーを複数有し、該複数のワイヤーにより前記搬送路内で前記被搬送物を搬送するワイヤーコンベアと、
前記搬送路内で前記複数のワイヤーのうち隣接するワイヤー間を前記ワイヤーコンベアの搬送方向に気体が流通することを抑制する流通抑制部材と、
を備えた熱処理炉。