JP2015150683A - 高性能化学機械研磨調整器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板、前記基板に設置される結合層、及び結合層により前記基板に直接固定され、或いは各々が金属固定座に設置され、且つ前記基板は複数の凹部或いは複数の貫通孔を有し、前記金属固定座はこれら前記凹部或いはこれら前記貫通孔中に納置されると共に前記結合層により前記基板に固定される複数の研磨砥粒を備える。また、前記研磨砥粒は表面加工処理が施されることにより特定の切削刃角、結晶形構造、先端部高さ、或いは先端部方向性を有する。これにより、本発明は各研磨砥粒の外形を制御でき、最も好ましい研磨性能を達成させる。
【選択図】図2
Description
[第1実施形態]
[第2実施形態]
[第3実施形態]
2化学機械研磨調整器
3化学機械研磨調整器
10基板
20基板
30基板
11結合層
21結合層
31結合層
12研磨砥粒
22研磨砥粒
32研磨砥粒
23金属固定座
33金属固定座
24凹部
34凹部
25貫通孔
35貫通孔
Claims (22)
- 基板と、
前記基板上に設置される結合層と、
前記結合層により前記基板に直接固定され、或いは各々が金属固定座に設置され、且つ前記基板は複数の凹部或いは複数の貫通孔を有し、前記金属固定座はこれら前記凹部或いはこれら前記貫通孔中に納置されると共に前記結合層により前記基板に固定される複数の研磨砥粒とを備え、
ここでは、前記研磨砥粒は表面加工処理が施されることにより特定の切削刃角、結晶形構造、先端部高さ、及び先端部方向性を有し、或いは前記研磨砥粒は加工処理が施されない研磨砥粒であることを特徴とする高性能化学機械研磨調整器。 - これら前記研磨砥粒の切削刃角は30度から150度であることを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- これら前記研磨砥粒の切削刃角は60度或いは90度であることを特徴とする、請求項2記載の高性能化学機械研磨調整器。
- これら前記研磨砥粒の結晶形構造は六面体或いは八面体であることを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- これら前記研磨砥粒は同じ先端部高さを有することを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- これら前記研磨砥粒は異なる先端部高さを有することを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- 各研磨砥粒は研磨材結合層により前記金属固定座に固定されることを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- これら前記研磨砥粒は平面底部或いは非平面底部を有することを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- 前記金属固定座は平面上部或いは凹部上部を有することを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- これら前記研磨砥粒は人工ダイヤモンド、天然ダイヤモンド、多結晶ダイヤモンド、或いは立方晶窒化ホウ素であることを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- これら前記研磨砥粒の粒径は30マイクロメートルから2000マイクロメートルであることを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- 前記結合層の構成はセラミック材料、硬質はんだ材料、電気めっき材料、金属材料、或いは高分子材料であることを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- 前記研磨材結合層の構成はセラミック材料、硬質はんだ材料、電気めっき材料、金属材料、或いは高分子材料であることを特徴とする、請求項7記載の高性能化学機械研磨調整器。
- 前記硬質はんだ材料は鉄、コバルト、ニッケル、クロム、マンガン、ケイ素、アルミニウム、及びこれらの組み合わせで構成されるグループの内の少なくとも何れか1つであることを特徴とする、請求項12ないし13の何れか1項記載の高性能化学機械研磨調整器。
- 前記高分子材料はエポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアクリル樹脂、或いはフェノール樹脂のいずれかの1つであることを特徴とする、請求項12ないし13の何れか1項記載の高性能化学機械研磨調整器。
- 前記基板はステンレス鋼基板、ダイス鋼基板、金属合金基板、セラミック基板、高分子基板、或いはこれらの組み合わせであることを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- 前記基板は前記金属固定座が納置される複数の凹部を有することを特徴とする、請求項1記載の高性能化学機械研磨調整器。
- 複数の研磨砥粒、及び結合層を有する基板を提供する方法と、
表面加工処理が施されることで前記研磨砥粒が特定の切削刃角、結晶形構造、先端部高さ、先端部方向性を有する方法と、
各研磨砥粒が前記結合層により前記基板に直接固定され、或いは各研磨砥粒が金属固定座に設置され、且つ前記金属固定座が前記結合層により前記基板に固定される方法と、を含むことを特徴とする高性能化学機械研磨調整器の製造方法。 - 前記表面加工処理は機械研磨法、化学エッチング法、或いはレーザー加工法のいずれかの1つであることを特徴とする、請求項18記載の高性能化学機械研磨調整器の製造方法。
- 前記結合層の固定方法はセラミック焼結法、硬質はんだ溶接法、電気めっき法、金属焼結法、或いは高分子硬化法のいずれかの1つであることを特徴とする、請求項18記載の高性能化学機械研磨調整器の製造方法。
- 前記各研磨砥粒は研磨材結合層により前記金属固定座に固定されることを特徴とする、請求項18記載の高性能化学機械研磨調整器の製造方法。
- 前記研磨材結合層の固定方法はセラミック焼結法、金属硬質はんだ法、電気めっき法、金属焼結法、或いは高分子硬化法のいずれかの1つであることを特徴とする、請求項21記載の高性能化学機械研磨調整器の製造方法。
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