JP2015145515A - 成膜装置、成膜方法、高温部品、及びガスタービン - Google Patents
成膜装置、成膜方法、高温部品、及びガスタービン Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】成膜装置20は、基材11を支持する支持装置21と、溶射材Tを溶射して、基材11上に遮熱コーティング膜13を形成する溶射装置22と、基材11の温度を調整する温度調整装置23と、溶射処理の開始から終了までの溶射期間の少なくとも一部において基材11が冷却されるように温度調整装置23を制御する制御装置25と、を備える。
【選択図】図4
Description
第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るガスタービン1の一例を示す模式図である。ガスタービン1は、燃焼用空気を圧縮する圧縮機2と、圧縮機2から供給された圧縮空気に燃料を噴射して燃焼させ、燃焼ガスFGを生成する燃焼器3と、燃焼器3から供給された燃焼ガスFGにより駆動するタービン部4と、発電機6と、圧縮機2、タービン部4、及び発電機6に配置される回転軸5とを備えている。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
2 圧縮機
3 燃焼器
4 タービン部
5 回転軸
6 発電機
7 タービン静翼
8 タービン動翼
9 分割環
10 車室
20 成膜装置
21 支持装置
22 溶射装置
23 温度調整装置
23C 冷却装置
23CS 供給装置
23H 加熱装置
25 制御装置
26 検出装置
M 高温部品
Claims (20)
- 基材を支持する支持装置と、
溶射材を溶射して、前記基材上に遮熱コーティング膜を形成する溶射装置と、
前記基材の温度を調整する温度調整装置と、
溶射処理の開始から終了までの溶射期間の少なくとも一部において前記基材が冷却されるように前記温度調整装置を制御する制御装置と、
を備える成膜装置。 - 前記溶射処理は、溶射材を溶射して遮熱コーティング膜を形成した後、形成された前記遮熱コーティング膜に前記溶射材を溶射する溶射動作を複数回行って、前記基材上に遮熱コーティング膜を複数層形成する処理を含み、
前記溶射処理の開始は、第1回の前記溶射動作の開始を含み、
前記溶射処理の終了は、最終回の前記溶射動作の終了を含む、請求項1に記載の成膜装置。 - 前記制御装置は、前記最終回の前記溶射動作の終了時に前記基材が規定温度以下になるように前記温度調整装置を制御する請求項2に記載の成膜装置。
- 前記制御装置は、第1回の前記溶射動作の開始前に、前記規定温度よりも高い温度になるように前記温度調整装置を用いて前記基材を予熱する請求項3に記載の成膜装置。
- 前記制御装置は、第1回の溶射動作の少なくとも一部において、前記規定温度よりも高い温度になるように前記温度調整装置を用いて前記基材を加熱する請求項3又は請求項4に記載の成膜装置。
- 前記制御装置は、第1回の前記溶射動作の終了後に前記基材の冷却を開始する請求項2から請求項5のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 前記温度調整装置は、前記支持装置に冷却媒体を供給する供給装置を含み、
前記制御装置は、前記冷却媒体の温度を調整する請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の成膜装置。 - 前記溶射材の溶射終了時点から次の溶射材の溶射開始時点までのインターバル期間が設定され、
前記制御装置は、前記インターバル期間を調整して、前記基材の温度を調整する請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の成膜装置。 - 前記基材の温度を検出する検出装置を備え、
前記制御装置は、前記検出装置の検出結果に基づいて前記基材の温度を調整する請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の成膜装置。 - 溶射材を溶射して、基材上に遮熱コーティング膜を形成することと、
溶射処理の開始から終了までの溶射期間の少なくとも一部において前記基材を冷却することと、
を含む成膜方法。 - 前記溶射処理は、溶射材を溶射して遮熱コーティング膜を形成した後、形成された前記遮熱コーティング膜に前記溶射材を溶射する溶射動作を複数回行って、前記基材上に遮熱コーティング膜を複数層形成することを含み、
前記溶射処理の開始は、第1回の前記溶射動作の開始を含み、
前記溶射処理の終了は、最終回の前記溶射動作の終了を含む、請求項10に記載の成膜方法。 - 前記最終回の前記溶射動作の終了時に前記基材が規定温度以下になるように前記冷却が行われる請求項11に記載の成膜方法。
- 第1回の前記溶射動作の開始前に、前記規定温度よりも高い温度になるように前記基材を予熱することを含む請求項12に記載の成膜方法。
- 第1回の溶射動作の少なくとも一部において、前記規定温度よりも高い温度になるように前記基材を加熱することを含む請求項12又は請求項13に記載の成膜方法。
- 第1回の前記溶射動作の終了後に前記基材の冷却が開始される請求項11から請求項14のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記基材を冷却することは、前記基材を支持する支持装置に冷却媒体を供給することを含む請求項10から請求項15のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記基材を冷却することは、前記溶射材の溶射終了時点から次の溶射材の溶射開始時点までのインターバル期間を設定することを含む請求項10から請求項16のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記基材の温度を検出することを含み、
前記検出の結果に基づいて前記基材の温度が調整される請求項10から請求項17のいずれか一項に記載の成膜方法。 - 請求項10から請求項18のいずれか一項に記載の成膜方法により製造される高温部品。
- 請求項19に記載の高温部品を備えるガスタービン。
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