JP2015144153A - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
従来の配線基板Bは、例えば4層の絶縁層21が積層されるとともに各絶縁層21の間、および最表層の絶縁層21の上下面に配線導体層22が形成されている。さらに最表層の絶縁層21および配線導体層22の表面にはソルダーレジスト層23が形成されている。
そして、半導体素子と回路基板との間で配線導体層22を介して電気信号の伝送をすることで半導体素子が作動する。
プリプレグ28Pの一方の主面は製品形成用主面Fとなり、他方の主面は分離用主面Gとなる。また、それぞれのプリプレグ28Pは、中央部に製品形成用領域Xと、外周部に捨て代領域Yとを有している。
分離可能金属箔30は、第1の金属箔30aと第2の金属箔30bとが、間に接着層(不図示)を介して互いに分離可能に保持されたものである。第1の金属箔30aは、製品形成用領域Xよりも若干大きい。第2の金属層30bは、第1の金属層30aよりも大きく、その外周部が第1の金属層30aの周囲にはみ出している。
そして、切抜き部に露出する支持基板にドリル加工により貫通孔から成るIDマークを形成するため、貫通孔内壁面に分離可能金属箔と支持基板との境界が露出することがない。このため、薬液が分離可能金属箔と支持基板との境界から両者間に滲入し、さらには第1の金属箔と第2の金属箔との間に滲入することを防止できる。その結果、ビルドアップ部と支持基板との密着力が低下してビルドアップ部が剥がれてしまうことなく、製造効率の高い配線基板の製造方法を提供することができる。
そして、半導体素子と回路基板との間で配線導体層2を介して電気信号の伝送をすることで半導体素子が作動する。
プリプレグ8Pは、厚みが0.1〜0.2mm程度であり、縦横の寸法が400〜1000mm程度の略四角形である。プリプレグ8Pには、例えばガラス繊維にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させて半硬化状態とした板状のものが用いられる。
分離フィルム9は、例えば銅箔等の金属箔や、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム等の耐熱フィルム等から成るのが好ましい。
なお、図5に示すように、分離可能金属箔10には、後述するIDマークMおよびその周辺の支持基板8を露出する切抜き部Hが形成されている。切抜き部Hは、四角形状であり一辺の長さがおよそ5〜15mm程度である。
第1の金属箔10aは、厚みが1〜7μm程度であり、製品形成用領域Xよりも大きく、かつ第2の金属箔10bよりも小さな寸法をしている。第2の金属箔10bは、厚みが10〜30μm程度であり、第1の金属箔10aよりも縦横がそれぞれ10〜20mm程度大きな寸法をしている。第1の金属箔10aおよび第2の金属箔10bは、例えば銅等の良導電性金属から成るのが好ましい。
また、接着層は配線基板Aの形成中にかかる熱負荷に耐え得る上で、例えばシリコン樹脂系、アクリル樹脂系等の耐熱性粘着材、あるいはニッケル系の金属層から成るのが好ましい。このような接着層は、後述するビルドアップ部12を支持基板8から分離するときに、第1の金属箔10aと第2の金属箔10bとの間で相互に剥がれ残りなく分離する上で、粘着力が1〜10N/m程度であるのが好ましい。
このとき、各プリプレグ8Pの外周部が分離フィルム9により被覆されないように配置することが好ましい。
なお、プリプレグ8Pの外周部には分離フィルム9で被覆されない領域が残されているので、この領域のプリプレグ8P同士が接合されることで2枚の支持基板8同士が固定される。また、製品形成用領域Xでは、分離フィルム9同士は、互いに接着せずに重なりあったままの状態である。
このとき、IDマークMは、分離可能金属箔10に形成された切抜き部H内に形成されるため、貫通孔の内壁面に分離可能金属箔10と支持基板8との境界が露出しない。
貫通孔の直径は、およそ0、3〜0、4mm程度である。
そして、切抜き部Hに露出する支持基板8にドリル加工により貫通孔から成るIDマークMを形成するため、貫通孔内壁面に分離可能金属箔10と支持基板8との境界が露出することがない。このため、薬液が分離可能金属箔10と支持基板8との境界から両者間に滲入し、さらには第1の金属箔10aと第2の金属箔10bとの間に滲入することを防止できる。その結果、ビルドアップ部12と支持基板8との密着力が低下してビルドアップ部12が剥がれてしまうことなく、製造効率の高い配線基板の製造方法を提供することができる。
2 配線導体層
8 支持基板
10 分離可能金属箔
10a 第1の金属箔
10b 第2の金属箔
12 ビルドアップ部
A 配線基板
M IDマーク
X 製品形成用領域
Y 捨て代領域
Claims (2)
- 中央部に製品形成用領域および外周部に前記製品形成用領域を取り囲む枠状の捨て代領域を有する平板状の支持基板表面に、第1の金属箔および第2の金属箔が互いに分離可能に密着されて成る分離可能金属箔を、前記製品形成用領域およびその周囲の前記捨て代領域を覆うように、前記第1の金属箔を前記支持基板側にして固着させた後、前記支持基板の捨て代領域の一部にドリル加工により貫通孔から成るIDマークを形成するとともに、前記分離可能金属箔上を含む前記支持基板上に絶縁層と配線導体層とを交互に複数積層固着して前記絶縁層と前記配線導体層とから成るビルドアップ部を形成する工程を含む配線基板の製造方法であって、前記分離可能金属箔は、前記IDマークおよびその周辺の前記支持基板を露出する切抜き部が形成されているとともに、該切抜き部の側面における前記第1および第2の金属箔の境界部が前記支持基板内に埋設していることを特徴とする配線基板の製造方法。
- 前記第1の金属箔が、前記第2の金属箔よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の配線基板の製造方法。
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