JP2015140450A - 酸化物焼結体、酸化物半導体膜及び薄膜トランジスタ - Google Patents
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- 239000010408 film Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 31
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 37
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 37
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 37
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 24
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 18
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 15
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 6
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000009694 cold isostatic pressing Methods 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 108091006149 Electron carriers Proteins 0.000 description 1
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
Description
1)インジウム(In)、ガリウム(Ga)及び亜鉛(Zn)を有する酸化物焼結体であって、ジルコニウム(Zr)を200wtppm〜1500wtppm含有し、バルク抵抗が1mΩcm以上、40mΩcm以下であることを特徴とする酸化物焼結体。
2)相対密度が95%以上であることを特徴とする上記1)記載の酸化物焼結体。
3)インジウム(In)、ガリウム(Ga)及び亜鉛(Zn)を有する酸化物半導体膜であって、ジルコニウム(Zr)を200wtppm〜1500wtppm含有することを特徴とする酸化物半導体膜。
4)Hall移動度が10cm2/Vs以上であることを特徴とする上記3)記載の酸化物半導体膜。
5)上記3)又は4)記載の酸化物半導体膜を活性層として備える薄膜トランジスタ。
なお、本発明の酸化物焼結体には、原料純度や製造工程に由来する不可避的不純物も含まれる。また、ジルコニウム(Zr)は、原料の純度や製造工程にもよるが、不可避的に80wtppm程度混入する。
また、In:Ga:Znの原子数比率が、1:1:1からIn又はZnリッチに変動することでも、バルク抵抗値は低下することになるが、あまりにも低いバルク抵抗値を示す焼結体の場合には、その組成比が上記の範囲から外れることになる。したがって、焼結体のバルク抵抗値は上記の数値範囲とする。
本発明の酸化物焼結体はスパッタリングターゲットとして使用することが可能であり上記のようなバルク抵抗値とすることで、DC(直流)スパッタリングによる安定で、高速な成膜が可能となる。このような成膜速度の向上は生産のスループットを改善することができるので、生産コストの削減に大きく寄与することができる。
原料として、酸化インジウム(In2O3)、酸化ガリウム(Ga2O3)、及び酸化亜鉛(ZnO)を用意する。また併せて、酸化ジルコニウム(ZrO2)を用意する。不純物による電気特性への悪影響を避けるため、純度4N以上の原料を用いることが望ましい。各々の原料を所定の組成比となるように秤量する。なお、これらの原料には不可避的に含有される不純物が含まれる。
In2O3粉、Ga2O3粉、ZnO粉からなる基本材料(母材)を、各金属元素の比率In:Ga:Znが1:1:1となるように混合した後、この母材にZrO2粉を所定の割合で添加し、湿式で混合・微粉砕した後、スプレードライヤーで乾燥・造粒して、原料粉を得た。次に、この原料粉を酸素雰囲気中、温度1430℃で焼結した。得られた焼結体には、ジルコニウムが460wtppm含有していた。また、この焼結体の相対密度は、99.3%と高密度であり、バルク抵抗値は、36.8mΩ・cmと低抵抗のものが得られた。以上の結果を表1に示す。なお、ジルコニウムの分析には、ICP−MS(SIIナノテクノロジー社製SPQ−9100型)を用い、バルク抵抗は四探針法、相対密度はアルキメデス法により求めた。
In2O3粉、Ga2O3粉、ZnO粉からなる基本材料(母材)を、各金属元素の比率In:Ga:Znが1:1:1となるように混合した後、この母材にZrO2粉を所定の割合で添加し、湿式で混合・微粉砕した後、スプレードライヤーで乾燥・造粒し原料粉を得た。次に、この原料粉を酸素雰囲気中、温度1430℃で焼結した。得られた焼結体には、ジルコニウムが1020wtppm含有していた。また、この焼結体の相対密度は、99.3%と高密度であり、バルク抵抗値は、20.9mΩ・cmと低抵抗のものが得られた。以上の結果を表1に示す。
In2O3粉、Ga2O3粉、ZnO粉からなる基本材料(母材)を、各金属元素の比率In:Ga:Znが1:1:1となるように混合した。この母材にジルコニウムは添加しなかった。次に、この混合粉末を湿式で混合・微粉砕した後、スプレードライヤーで乾燥・造粒し原料粉を得た。次に、この原料粉を酸素雰囲気中、温度1430℃で焼結した。得られた焼結体には、不可避的不純物としてジルコニウムが80wtppm含有していた。また、この焼結体の相対密度は、99.3%と高密度であったが、バルク抵抗値は、42.6mΩ・cmと比較的高かった。以上の結果を表1に示す。
In2O3粉、Ga2O3粉、ZnO粉からなる基本材料(母材)を各金属元素の比率In:Ga:Znが1:1:1となるように混合し、この母材にジルコニウムを所定の割合で添加、混合した。次に、この混合粉末を湿式で混合・微粉砕した後、スプレードライヤーで乾燥・造粒し原料粉を得た。次に、この混合粉末を湿式で混合・微粉砕した後、スプレードライヤーで乾燥・造粒し原料粉を得た。次に、この原料粉を酸素雰囲気中、温度1430℃で焼結した。得られた焼結体には、ジルコニウムが1720wtppm含有していた。また、この焼結体の相対密度は、86.4%と低密度であり、バルク抵抗値は、5×108mΩ・cm超と極めて高かった。次に、焼結体を機械加工してスパッタリングターゲットに仕上げた。しかし、このターゲットは抵抗値が高く、DCスパッタができなかった。
Claims (5)
- インジウム(In)、ガリウム(Ga)及び亜鉛(Zn)を有する酸化物焼結体であって、ジルコニウム(Zr)を200wtppm〜1500wtppm含有し、バルク抵抗が1mΩcm以上、40mΩcm以下であることを特徴とする酸化物焼結体。
- 相対密度が95%以上であることを特徴とする請求項1記載の酸化物焼結体。
- インジウム(In)、ガリウム(Ga)及び亜鉛(Zn)を有する酸化物半導体膜であって、ジルコニウム(Zr)を200wtppm〜1500wtppm含有することを特徴とする酸化物半導体膜。
- Hall移動度が10cm2/Vs以上であることを特徴とする請求項3記載の酸化物半導体膜。
- 請求項3又は4記載の酸化物半導体膜を活性層として備える薄膜トランジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014013034A JP6305775B2 (ja) | 2014-01-28 | 2014-01-28 | 酸化物焼結体、酸化物半導体膜及び薄膜トランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014013034A JP6305775B2 (ja) | 2014-01-28 | 2014-01-28 | 酸化物焼結体、酸化物半導体膜及び薄膜トランジスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015140450A true JP2015140450A (ja) | 2015-08-03 |
JP6305775B2 JP6305775B2 (ja) | 2018-04-04 |
Family
ID=53771022
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014013034A Active JP6305775B2 (ja) | 2014-01-28 | 2014-01-28 | 酸化物焼結体、酸化物半導体膜及び薄膜トランジスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6305775B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6144858B1 (ja) * | 2016-04-13 | 2017-06-07 | 株式会社コベルコ科研 | 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット、並びにそれらの製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11276590B2 (en) | 2017-05-17 | 2022-03-15 | Applied Materials, Inc. | Multi-zone semiconductor substrate supports |
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WO2011040028A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 出光興産株式会社 | In-Ga-Zn-O系酸化物焼結体 |
-
2014
- 2014-01-28 JP JP2014013034A patent/JP6305775B2/ja active Active
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WO2017179278A1 (ja) * | 2016-04-13 | 2017-10-19 | 株式会社コベルコ科研 | 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット、並びにそれらの製造方法 |
JP2017193477A (ja) * | 2016-04-13 | 2017-10-26 | 株式会社コベルコ科研 | 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット、並びにそれらの製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP6305775B2 (ja) | 2018-04-04 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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