JP2015138910A - 流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
、セラミック焼結体からなる隔壁部3に、一端が流路4とつながるとともに、流体が流れる方向に垂直な断面において、一端と他端とが隔壁部3の高さ方向または幅方向にずれており、少なくとも一部が傾斜している孔部5が設けられている。なお、以下の説明においては、特に断りのない限り図1に示す流路部材10を用いて説明する。なお、図3(a)においては、孔部5の一端のみが流路4つながっている孔部5aを、図3(b)においては、孔部の両端が隣接する流路4につながっている孔部5bを示している。
率を向上することもできる。
3の幅方向にずれており、一部が傾斜している形状とすればよい。この場合においても、上述と同様に、スムーズに脱脂を行なうことができ、流路部材にクラックが発生することを抑制することができる。
る。
の気体または液体等の流体を、流路部材10,20,30,40,50,60の内部に有する流路4に流すことによってウェハWの加熱または冷却を行なう。
原料を用意し、これに焼結助剤、バインダ、溶媒および分散剤等を所定量添加して混合したスラリーを噴霧造粒法(スプレードライ法)により噴霧乾燥して造粒し、1次原料とする。
することで、本実施形態の流路部材10,20,30,40,50,60を作製することができる。
の粉末と、焼結助剤として、炭化硼素およびカルボン酸塩の粉末とを準備する。そして、各粉末を、例えば、炭化珪素の粉末100質量%に対して、炭化硼素の粉末を0.12質量%以
上1.4質量%以下、カルボン酸塩の粉末を1質量%以上3.4質量%以下となるように秤量して混合する。
口6および排出口7を、フライス盤などを用いてドリル加工を施すほか、流路を設ける場合には、グリーンシートに孔等を加工するときに供給口6および排出口7となる孔を加工しても良い。
法で形成するか、活性金属法やロウ付け法を用いて接合すればよい。さらに、蓋体部1の内部に金属部材62を設けるには、蓋体部1の内部に孔等を形成し、形成された孔等に、タングステン、モリブデン、銀、銅やアルミニウムを充填すればよい。このように形成することによって熱交換器61を得ることができる。
1:蓋体部
2:底板部
3:隔壁部
4:流路
5a,5b,5c,5d,5e,5f:孔部
6:供給口
7:排出口
61:熱交換器
62:金属部材
70:半導体製造装置
71:供給チューブ
72:排出チューブ
73:上部電極
W:ウェハ
Claims (8)
- 蓋体部と、底板部と、セラミック焼結体からなる隔壁部とを備え、内部に流体が流れる流路を有するとともに、前記隔壁部に一端が前記流路とつながる孔部が設けられており、前記孔部は、前記流体が流れる方向に垂直な断面において、一端と他端とが前記隔壁部の高さ方向または幅方向にずれており、少なくとも一部が傾斜していることを特徴とする流路部材。
- 前記流体が流れる方向に垂直な断面において、前記流路が複数設けられているとともに、前記孔部は、隣り合う前記流路につながっていることを特徴とする請求項1に記載の流路部材。
- 前記流体が流れる方向に垂直な断面において、前記孔部が、一方の前記流路から前記他方の流路に向けて連続して傾斜していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の流路部材。
- 前記流体が流れる方向に垂直な断面において、前記流路が一方向に複数設けられているとともに、前記一方向に沿った断面視において、前記孔部が隣り合う前記流路と傾斜してつながっていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のうちいずれかに記載の流路部材。
- 前記流体が流れる方向に垂直な断面において、前記流路が一方向に複数設けられており、隣り合う前記流路の間における前記隔壁部に複数の前記孔部が設けられているとともに、該孔部の太さが異なっていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちいずれかに記載の流路部材。
- 蓋体部と、底板部と、隔壁部とを備え、内部に流体が流れる流路を有するとともに、前記隔壁部に一端が前記流路とつながる孔部が設けられており、前記流体が流れる方向に垂直な断面において、前記流路が一方向に複数設けられているとともに、前記一方向に沿った断面視において、前記孔部が屈曲する部位を有していることを特徴とする流路部材。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の流路部材の前記蓋体部の表面または内部に金属部材が設けられていることを特徴とする熱交換器。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の流路部材の前記蓋体部の内部に金属部材が設けられている熱交換器を備えることを特徴とする半導体製造装置。
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