JP2015137996A - 計測システム、ファブリーペロー共振器及び計測方法 - Google Patents
計測システム、ファブリーペロー共振器及び計測方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
本例は、単一のエタロン16を計測システム10に対して取り付ける態様を示す。
本例は、エタロン16(ファブリーペロー共振器)が複数設けられ、これらの複数のエタロン16はそれぞれ異なる光透過帯域(特にFSR)を有し、低コヒーレンス光源12からの低コヒーレンス光Lを受光させるエタロンが択一的に決められる。
Claims (9)
- 低コヒーレンス光を射出する低コヒーレンス光源と、
周波数に関して離散的な光透過帯域を持ち、前記低コヒーレンス光を受光して特定の光周波数成分のみを透過するファブリーペロー共振器と、
前記ファブリーペロー共振器を透過した前記特定の光周波数成分を使用する計測器とを備える計測システム。 - 周波数に関して隣接する前記ファブリーペロー共振器の光透過帯域の間隔は一定である請求項1に記載の計測システム。
- オフセット周波数をf0とし、繰り返し周波数をfrepとし、0以上の整数をNとすると、前記ファブリーペロー共振器の光透過帯域は、f=f0+N×frepで表される複数の周波数を含む請求項1又は2に記載の計測システム。
- 前記ファブリーペロー共振器は複数設けられ、当該複数のファブリーペロー共振器はそれぞれ異なる光透過帯域を有し、
前記計測器は、前記複数のファブリーペロー共振器のうちのいずれか1つを透過した前記特定の光周波数成分を使用する請求項1〜3のいずれか一項に記載の計測システム。 - 前記複数のファブリーペロー共振器の各々に光路を介して接続されるスイッチデバイスであって、前記光路を切り換えて前記複数のファブリーペロー共振器のうちのいずれか1つに前記低コヒーレンス光を誘導して受光させるスイッチデバイスを備える請求項4に記載の計測システム。
- 前記ファブリーペロー共振器は、離間して配置される第1の反射部及び第2の反射部と、前記第1の反射部と前記第2の反射部との間の反射域とを有し、
前記第1の反射部は前記低コヒーレンス光を透過し、前記第2の反射部は前記特定の光周波数成分のみを透過する請求項1〜5のいずれか一項に記載の計測システム。 - 前記ファブリーペロー共振器は、第1の光誘導路が設けられる第1の取り付け部と、第2の光誘導路が設けられる第2の取り付け部とを有し、前記第1の取り付け部を介して前記低コヒーレンス光源に接続され、前記第2の取り付け部を介して前記計測器に接続され、
前記第1の光誘導路は前記低コヒーレンス光源からの前記低コヒーレンス光を前記第1の反射部に誘導し、前記第2の光誘導路は前記第2の反射部を透過した前記特定の光周波数成分を前記計測器に誘導する請求項6に記載の計測システム。 - 低コヒーレンス光源と計測器とに接続されるファブリーペロー共振器であって、
前記低コヒーレンス光源に接続される第1の取り付け部と、
前記計測器に接続される第2の取り付け部と、
周波数に関して離散的な光透過帯域を持ち、前記低コヒーレンス光源からの低コヒーレンス光を受光して特定の光周波数成分のみを透過する光共振部とを備えるファブリーペロー共振器。 - 低コヒーレンス光源から低コヒーレンス光を射出するステップと、
周波数に関して離散的な光透過帯域を持つファブリーペロー共振器に、前記低コヒーレンス光を入射して特定の光周波数成分を前記ファブリーペロー共振器から射出するステップと、
前記ファブリーペロー共振器から射出した前記特定の光周波数成分を使用して計測を行うステップとを含む計測方法。
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