JP2015127795A - Substrate bonding apparatus, apparatus for manufacturing display panel, and method for manufacturing display panel - Google Patents

Substrate bonding apparatus, apparatus for manufacturing display panel, and method for manufacturing display panel Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To uniformly pressurize an adhesive layer to bring the adhesive layer into tight contact with a substrate, and to decrease generation of voids.SOLUTION: A substrate bonding apparatus 20 bonds a liquid crystal panel S1 and a protective panel S2 via an adhesive layer R1 formed on a surface of the liquid crystal panel S1, and the apparatus includes: a lower plate 22 as a supporting part to support the liquid crystal panel S1; an upper plate 23 as a holding part to hold the protective panel S2 at a position opposing to the liquid crystal panel S1; a lift mechanism 25 for bonding the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2 via the adhesive layer R1 by driving the upper plate 23; and an elastic sheet 24 which is disposed on a surface of the lower plate 22, has a similar shape to an approximately equal size to the adhesive layer R1, and presses only an area of the liquid crystal panel S1 where the adhesive layer R1 is formed.

Description

本発明は、基板貼合装置と基板貼合装置を備えた表示パネル製造装置、並びに表示パネル製造方法に関する。   The present invention relates to a display panel manufacturing apparatus including a substrate bonding apparatus and a substrate bonding apparatus, and a display panel manufacturing method.

液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等に用いられる表示パネルは、二つの基板、例えば液晶パネルや有機ELパネル等の表示用パネルと、保護パネル(カバーパネル)を積層した構成となっている。これら二つの基板は、例えば、接着層を介して貼り合わされる。このような表示パネルの製造装置は、接着層形成部と貼り合せ部を備えている。接着層は、例えば、接着剤や粘着性のフィルム等の接着材によって形成される。例えば、接着材として接着剤を使用した場合、接着層形成部において、少なくとも一方の基板の表面に接着剤が塗布され、所定の厚みを有する接着層が形成される。そして、貼り合せ部において、二つの基板は接着層を間に挟んで積層され、貼り合わされる。   A display panel used for a liquid crystal display, an organic EL display, or the like has a configuration in which two substrates, for example, a display panel such as a liquid crystal panel or an organic EL panel, and a protective panel (cover panel) are stacked. These two substrates are bonded together through an adhesive layer, for example. Such a display panel manufacturing apparatus includes an adhesive layer forming portion and a bonding portion. The adhesive layer is formed of an adhesive such as an adhesive or a sticky film, for example. For example, when an adhesive is used as the adhesive, the adhesive is applied to the surface of at least one of the substrates in the adhesive layer forming portion, and an adhesive layer having a predetermined thickness is formed. And in a bonding part, two board | substrates are laminated | stacked on both sides of an adhesive layer, and are bonded together.

特開2012−73300号公報JP 2012-73300 A

貼り合せ部は、二つの基板を挟んで押圧する。この押圧部分が平行でなかったり、平面でなかったりした場合、貼り合せの際に不均一な力が基板にかかってしまい、接着層と基板の間が密着せずにボイドが発生してしまう可能性がある。ボイドの発生を防ぐためには、貼り合せ部を構成する基板貼合装置の各部の精度を高くして、基板に対して均一に圧力をかけて積層することが考えられる。しかしそのような精度の高い装置は、コストがかかる。   The bonding part presses with the two substrates sandwiched therebetween. If this pressed part is not parallel or flat, non-uniform force is applied to the substrates during bonding, and voids may occur without the adhesive layer and the substrate being in close contact with each other. There is sex. In order to prevent the generation of voids, it is conceivable to increase the accuracy of each part of the substrate bonding apparatus that constitutes the bonding part, and to apply a uniform pressure to the substrate for lamination. However, such a highly accurate device is expensive.

さらに、基板は、その表面が必ずしも均一な平面になっていないことがあり、あるいは表面にうねりが存在することもある。そのような場合、基板を均一の力で押圧しても、押圧力が伝達されない部分や、あるいは押圧力がかかりすぎてしまう部分が生じることがある。さらに、基板を挟み込んで押圧する上下のプレートの平行度や平面度に誤差が生じる場合もある。そのような場合、基板と接着層が密着せず、ボイドが発生してしまう可能性もある。特に、接着材として接着剤を使用した場合、基板表面に形成される接着層は変形しやすい。そのような接着層に不均一な力がかかると、接着層と基板の間にボイドが生じる可能性はより高くなる。   Further, the surface of the substrate may not necessarily be a uniform plane, or undulation may exist on the surface. In such a case, even if the substrate is pressed with a uniform force, a portion where the pressing force is not transmitted or a portion where the pressing force is excessively applied may occur. Furthermore, an error may occur in the parallelism and flatness of the upper and lower plates that sandwich and press the substrate. In such a case, there is a possibility that voids are generated because the substrate and the adhesive layer are not in close contact with each other. In particular, when an adhesive is used as the adhesive, the adhesive layer formed on the substrate surface is easily deformed. When a non-uniform force is applied to such an adhesive layer, there is a higher possibility that voids will occur between the adhesive layer and the substrate.

本発明は、上述のような問題点を解決するために提案されたものであり、低いコストで、基板貼り合せの際に接着層を均一に押圧し、基板と接着層を密着させてボイドの発生を低減することができる基板貼合装置、基板貼合装置を備える表示パネル製造装置及び表示パネル製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been proposed in order to solve the above-described problems. At low cost, the adhesive layer is uniformly pressed at the time of bonding the substrates, and the substrate and the adhesive layer are brought into close contact with each other. It aims at providing the display panel manufacturing apparatus and display panel manufacturing method provided with the board | substrate bonding apparatus which can reduce generation | occurrence | production, and a board | substrate bonding apparatus.

上述の目的を達成するために、本発明の基板貼り合せ装置は、一対の基板を、少なくとも一方の基板の表面に形成された接着層を介して貼り合わせるものであって、第1の基板を支持する支持部と、第2の基板を、前記第1の基板に対向する位置において保持する保持部と、前記支持部及び保持部の少なくとも一方を駆動することにより、前記接着層を介して一対の基板を貼り合わせる駆動部と、前記支持部又は前記保持部の表面上に設けられ、前記接着層と相似形状で略同じ大きさを有し、前記第1又は第2の基板の前記接着層が形成された部分のみを押圧する弾性シートと、を備える。   In order to achieve the above-described object, a substrate bonding apparatus according to the present invention bonds a pair of substrates through an adhesive layer formed on the surface of at least one of the substrates. By driving at least one of the support portion, the holding portion, the holding portion that holds the second substrate at a position facing the first substrate, and at least one of the support portion and the holding portion, a pair is provided via the adhesive layer. A driving unit for bonding the substrates, and the adhesive layer of the first or second substrate, which is provided on the surface of the support unit or the holding unit, has a shape similar to that of the adhesive layer and substantially the same size And an elastic sheet that presses only the portion on which is formed.

本発明において、前記弾性シートは、前記第1又は第2の基板と接する面が、前記接着層の前記第1又は第2の基板に付着する面と、相似形状で略同じ大きさを有する。   In the present invention, the surface of the elastic sheet that is in contact with the first or second substrate has a similar shape and substantially the same size as the surface of the adhesive layer that adheres to the first or second substrate.

本発明の一態様として、前記弾性シートは、独立孔を有する発泡樹脂から構成される。   As one aspect of the present invention, the elastic sheet is made of a foamed resin having independent holes.

本発明の表示パネル製造装置は、表示用パネルを含む一対の基板が接着層を介して貼り合わされた表示パネルを製造するものであり、一対の基板の、少なくとも一方の基板の表面に接着層を形成する接着層形成部と、前記一対の基板を、前記接着層を介して貼り合わせる貼り合せ部と、前記一対の基板を、前記塗布部、前記貼り合せ部及び前記硬化部の間で搬送する搬送部と、を有し、前記貼り合せ部は、第1の基板を支持する支持部と、第2の基板を、前記第1の基板に対向する位置において支持する保持部と、前記支持部及び前記保持部の少なくとも一方を駆動することにより、前記接着層を介して一対の基板を貼り合わせる駆動部と、前記支持部又は前記保持部の表面上に設けられ、前記接着層と相似形状で略同じ大きさを有し、前記第1又は第2の基板の前記接着層が形成された部分のみを押圧する弾性シートと、を備える。   The display panel manufacturing apparatus of the present invention manufactures a display panel in which a pair of substrates including a display panel are bonded via an adhesive layer, and an adhesive layer is provided on the surface of at least one of the pair of substrates. An adhesive layer forming portion to be formed, a bonding portion for bonding the pair of substrates through the adhesive layer, and the pair of substrates are conveyed between the application portion, the bonding portion, and the curing portion. A transfer unit, and the bonding unit includes a support unit that supports the first substrate, a holding unit that supports the second substrate at a position facing the first substrate, and the support unit. And at least one of the holding portions, the driving portion for bonding the pair of substrates through the adhesive layer, and the support portion or the holding portion, provided on the surface of the holding portion, and having a similar shape to the adhesive layer Have substantially the same size, And a resilient sheet for pressing only the portion where the adhesive layer is formed of first or second substrate.

本発明の一態様として、前記接着層形成部は、接着剤を前記少なくとも一方の基板の表面に塗布して前記接着層を形成する接着剤塗布装置を備え、前記接着剤塗布装置は、前記接着剤の塗布領域を調整して、前記少なくとも一方の基板の表面に、前記弾性シートの前記第1又は第2の基板と接する面と相似形状で略同じ大きさの面を持つ接着層を形成する。   As an aspect of the present invention, the adhesive layer forming unit includes an adhesive application device that applies an adhesive to the surface of the at least one substrate to form the adhesive layer, and the adhesive application device includes the adhesive An adhesive application region is adjusted to form an adhesive layer having a surface that is similar in shape to the surface of the elastic sheet in contact with the first or second substrate and has the same size as the surface of the elastic sheet. .

本発明の表示パネルの製造方法は、表示用パネルを含む一対の基板を接着層を介して貼り合わせて表示パネルの製造を行なう方法であって、一対の基板の、少なくとも一方の基板の表面に接着層を形成する工程と、第1の基板を支持部により支持する工程と、第2の基板を、前記第1の基板に対向する位置において保持部により保持する工程と、前記支持部及び前記保持部の少なくとも一方を駆動部により駆動することにより、前記接着層を介して一対の基板を貼り合わせる工程と、を備え、前記一対の基板を貼り合わせる工程において、前記支持部又は前記保持部の表面上に設けられた前記接着層と相似形状で略同じ大きさを有する弾性シートにより、前記第1又は第2の基板の前記接着層が形成された部分のみを押圧する。   A method for manufacturing a display panel according to the present invention is a method for manufacturing a display panel by bonding a pair of substrates including a display panel via an adhesive layer, on the surface of at least one of the pair of substrates. A step of forming an adhesive layer, a step of supporting the first substrate by a support portion, a step of holding the second substrate by a holding portion at a position facing the first substrate, the support portion and the And a step of bonding a pair of substrates through the adhesive layer by driving at least one of the holding portions by a driving unit, and in the step of bonding the pair of substrates, the support portion or the holding portion Only a portion of the first or second substrate on which the adhesive layer is formed is pressed by an elastic sheet having a shape similar to that of the adhesive layer provided on the surface and having substantially the same size.

本発明によれば、弾性シートを介して基板を貼り合せることにより、基板の表面に不均一な部分やうねりがあったり、基板を押圧するプレートの平行度や平面度に誤差があっても、基板の間の接着層に押圧力を均一に伝達することができる。また、弾性シートを接着層と相似形状で略同じ大きさとすることによって、弾性シートは、基板の接着層が形成された部分のみを押圧する。したがって、接着層は基板を介して均一に押圧され、さらに他の箇所には余分な力が掛からないため、接着層は十分に伸展して基板と密着し、ボイドの発生を低減することができる。これによって、低いコストで、品質の高い液晶表示パネルを製造することが可能であり、さらに製造効率を向上させた基板貼合装置、表示パネル製造装置及び表示パネル製造方法を提供することができる。   According to the present invention, by laminating the substrate via the elastic sheet, even if there is an uneven portion or undulation on the surface of the substrate, or there is an error in the parallelism or flatness of the plate that presses the substrate, A pressing force can be uniformly transmitted to the adhesive layer between the substrates. In addition, by making the elastic sheet substantially the same size as the adhesive layer, the elastic sheet presses only the portion of the substrate where the adhesive layer is formed. Therefore, since the adhesive layer is pressed uniformly through the substrate and no extra force is applied to other portions, the adhesive layer can be sufficiently extended and closely adhered to the substrate to reduce the generation of voids. . Accordingly, a high-quality liquid crystal display panel can be manufactured at low cost, and a substrate bonding apparatus, a display panel manufacturing apparatus, and a display panel manufacturing method with improved manufacturing efficiency can be provided.

本発明の実施形態に係る表示パネル製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the display panel manufacturing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 表示パネル製造装置の塗布部の構造及び作用を示す図である。It is a figure which shows the structure and effect | action of an application part of a display panel manufacturing apparatus. 表示パネル製造装置の貼り合せ部の構造及び作用を示す図である。It is a figure which shows the structure and effect | action of the bonding part of a display panel manufacturing apparatus. 貼り合せ時の弾性シートの作用を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the effect | action of the elastic sheet at the time of bonding. 弾性シートを設けない貼り合せの状態を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the state of bonding which does not provide an elastic sheet. 弾性シートを設けた貼り合せの状態を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the state of bonding which provided the elastic sheet. 比較例として、弾性シートが接着層より大きい場合の貼り合せの状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state of bonding when an elastic sheet is larger than an adhesive layer as a comparative example. 比較例として、弾性シートが接着層より小さい場合の貼り合せの状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state of bonding when an elastic sheet is smaller than an adhesive layer as a comparative example. 表示パネル製造装置の硬化部の構造及び作用を示す図である。It is a figure which shows the structure and effect | action of the hardening part of a display panel manufacturing apparatus. 圧力分布測定試験における塗布部の構成及び作用を示す図である。It is a figure which shows the structure and effect | action of an application part in a pressure distribution measurement test. (A)は実施例1の圧力分布図であり、(B)は実施例4の圧力分布図である。(A) is a pressure distribution diagram of Example 1, and (B) is a pressure distribution diagram of Example 4. FIG. (A)は比較例2の圧力分布図であり、(B)は比較例3の圧力分布図である。(A) is a pressure distribution diagram of Comparative Example 2, and (B) is a pressure distribution diagram of Comparative Example 3. (A)は試験2における実施例1の圧力測定試験1回目の圧力分布図であり、(B)は実施例1の圧力測定試験600回目の圧力分布図である。(A) is a pressure distribution diagram of the first pressure measurement test of Example 1 in Test 2, and (B) is a pressure distribution diagram of the 600th pressure measurement test of Example 1. FIG. (A)は試験2における実施例2の圧力測定試験1回目の圧力分布図であり、(B)は実施例2の圧力測定試験600回目の圧力分布図である。(A) is a pressure distribution diagram of the first pressure measurement test of Example 2 in Test 2, and (B) is a pressure distribution diagram of the 600th pressure measurement test of Example 2. FIG. (A)は試験2における実施例4の圧力測定試験1回目の圧力分布図であり、(B)は実施例4の圧力測定試験600回目の圧力分布図である。(A) is a pressure distribution diagram of the first pressure measurement test of Example 4 in Test 2, and (B) is a pressure distribution diagram of the 600th pressure measurement test of Example 4. FIG.

本発明の実施の形態(以下、実施形態と呼ぶ)について、図面を参照して具体的に説明する。なお、実施形態では、表示パネル製造装置において製造される表示パネルの例として、液晶表示パネルを用いる。また、基板貼合装置において貼り合せされる一対の基板の例として、表示用パネルである液晶パネルと、液晶パネルをカバーする保護パネルを用いる。すなわち、液晶パネルと保護パネルを、接着層を介して積層して貼り合せることによって、液晶表示パネルが構成される。   Embodiments of the present invention (hereinafter referred to as embodiments) will be specifically described with reference to the drawings. In the embodiment, a liquid crystal display panel is used as an example of a display panel manufactured in a display panel manufacturing apparatus. In addition, as an example of a pair of substrates to be bonded in the substrate bonding apparatus, a liquid crystal panel that is a display panel and a protective panel that covers the liquid crystal panel are used. That is, a liquid crystal display panel is formed by laminating and bonding a liquid crystal panel and a protective panel via an adhesive layer.

接着層は、液晶パネル及び保護パネルのいずれか一方の表面、あるいは両方の表面に接着材を付与することによって形成することができる。接着材は、例えば樹脂を用いた接着剤や、粘着フィルムを用いることができる。本実施形態の表示パネル製造装置においては、接着剤を使用して接着層を形成する場合を主に説明する。   The adhesive layer can be formed by applying an adhesive to one or both surfaces of the liquid crystal panel and the protective panel. As the adhesive, for example, an adhesive using a resin or a pressure-sensitive adhesive film can be used. In the display panel manufacturing apparatus of this embodiment, the case where an adhesive layer is formed using an adhesive will be mainly described.

[構成]
(表示パネル製造装置)
図1に示すように、表示パネル製造装置100は、塗布部1、貼り合せ部2、硬化部3及び搬送部4を備える。表示パネル製造装置100は、また、制御装置7を備えている。制御装置7は、各部を構成する装置の動作の制御や、基板の搬送タイミングの制御を行う。
[Constitution]
(Display panel manufacturing equipment)
As shown in FIG. 1, the display panel manufacturing apparatus 100 includes a coating unit 1, a bonding unit 2, a curing unit 3, and a transport unit 4. The display panel manufacturing apparatus 100 also includes a control device 7. The control device 7 controls the operation of the devices constituting each unit and the substrate transport timing.

搬送部4は、液晶パネルS1及び保護パネルS2を各部へ搬送する搬送手段とその駆動機構から構成される。搬送手段は、たとえば、ターンテーブル、コンベア等が考えられるが、上記各部の間で基板を搬送可能なものであれば、どのような装置であってもよい。   The transport unit 4 includes a transport unit that transports the liquid crystal panel S1 and the protection panel S2 to each unit and a driving mechanism thereof. For example, a turntable, a conveyor, or the like can be used as the transfer means, but any apparatus may be used as long as it can transfer the substrate between the above-described units.

液晶パネルS1及び保護パネルS2は、ローダ5によって表示パネル製造装置100に搬入され、搬送部4で搬送される。搬送部4に沿って塗布部1、貼り合せ部2及び硬化部3が配置されており、不図示のピックアップ手段によって、液晶パネルS1及び保護パネルS2の各部への搬入及び搬出がなされる。各部での、以下に詳述する工程を経て、液晶表示パネルLが製造され、アンローダ6によって表示パネル製造装置100から搬出される。   The liquid crystal panel S <b> 1 and the protection panel S <b> 2 are carried into the display panel manufacturing apparatus 100 by the loader 5 and are carried by the carrying unit 4. A coating unit 1, a bonding unit 2 and a curing unit 3 are arranged along the transport unit 4, and are carried into and out of each part of the liquid crystal panel S1 and the protection panel S2 by pick-up means (not shown). The liquid crystal display panel L is manufactured through the steps described below in detail, and is unloaded from the display panel manufacturing apparatus 100 by the unloader 6.

(塗布部)
塗布部1は、図2に示すように、基板の表面に接着剤Rを塗布する接着剤塗布装置10を備える。塗布部1は、本実施形態において、基板の表面に接着剤Rにより接着層を形成する接着層形成部として作用する。接着剤Rの塗布は、液晶表示パネルを構成する液晶パネルS1と保護パネルS2のいずれか一方に行っても良く、あるいは双方に行っても良い。本実施形態では、液晶パネルS1の表面に接着剤Rを塗布する例について説明する。
(Applying part)
As shown in FIG. 2, the application unit 1 includes an adhesive application device 10 that applies an adhesive R to the surface of the substrate. In the present embodiment, the application unit 1 functions as an adhesive layer forming unit that forms an adhesive layer with the adhesive R on the surface of the substrate. The adhesive R may be applied to either one of the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2 constituting the liquid crystal display panel, or to both. In the present embodiment, an example in which the adhesive R is applied to the surface of the liquid crystal panel S1 will be described.

接着剤塗布装置10は、搬送部4で搬送され、不図示のピックアップ手段によって塗布部1に搬入された液晶パネルS1が載置されるステージ11と、ステージ11上に配置された塗布ユニット12とUV照射ユニット13を備える。   The adhesive coating device 10 is transported by the transport unit 4, and a stage 11 on which the liquid crystal panel S 1 carried into the coating unit 1 by a pickup unit (not shown) is placed, and a coating unit 12 disposed on the stage 11. A UV irradiation unit 13 is provided.

塗布ユニット12は、液晶パネルS1に対して接着剤Rを塗布する。塗布ユニット12は、接着剤Rを収容するタンクTと、配管を介してタンクTに接続されたディスペンサ14とを備えている、ディスペンサ14として、たとえば、先端にスリット上のノズルを備えたスリットコータを用いることができる。ディスペンサ14は走査装置(図示せず)によってステージ11上を移動可能に構成され、タンクTに収容された接着剤Rを液晶パネルS1に吐出する。また、走査装置によって接着剤Rの塗布領域を調整可能である。また、塗布ユニット12は、不図示の進退駆動手段を備えており、塗布ユニット12をステージ11に対して進退可能に駆動する。もちろん、塗布ユニット12とステージ11が相対的に移動されれば良く、ステージ11が駆動されても良い。   The application unit 12 applies the adhesive R to the liquid crystal panel S1. The application unit 12 includes a tank T for storing the adhesive R and a dispenser 14 connected to the tank T through a pipe. As the dispenser 14, for example, a slit coater having a nozzle on a slit at the tip. Can be used. The dispenser 14 is configured to be movable on the stage 11 by a scanning device (not shown), and discharges the adhesive R accommodated in the tank T to the liquid crystal panel S1. Further, the application region of the adhesive R can be adjusted by the scanning device. Further, the coating unit 12 includes an advancing / retreating drive unit (not shown), and drives the coating unit 12 so as to be able to advance and retract with respect to the stage 11. Of course, the coating unit 12 and the stage 11 may be moved relatively, and the stage 11 may be driven.

図2(A)に示すように、塗布ユニット12がステージ11上に進入し、ディスペンサ14のノズルから液晶パネルS1に接着剤Rを吐出する。このディスペンサ14を、走査装置によって走査することによって、液晶パネルS1の表面全体に、接着剤Rが行き渡るように供給していく。なお、ディスペンサ14としてスリットコータを用いた場合、図2(B)に示すように、外縁部に盛り上がりが生じる。塗布が完了すると、塗布ユニット12はステージ11上から退避する。   As shown in FIG. 2A, the coating unit 12 enters the stage 11 and discharges the adhesive R from the nozzle of the dispenser 14 to the liquid crystal panel S1. By scanning the dispenser 14 with a scanning device, the adhesive R is supplied over the entire surface of the liquid crystal panel S1. In addition, when a slit coater is used as the dispenser 14, as shown in FIG. When the application is completed, the application unit 12 is retracted from the stage 11.

UV照射ユニット13は、紫外線(UV)を発することができる1つまたは複数のランプやLED等から構成されており、ステージ11上に配置されている。図2(C)に示すように、UV照射ユニット13は、液晶パネルS1の表面に塗布された接着剤Rに対して、UV照射を行う。   The UV irradiation unit 13 includes one or a plurality of lamps and LEDs that can emit ultraviolet rays (UV), and is disposed on the stage 11. As shown in FIG. 2C, the UV irradiation unit 13 performs UV irradiation on the adhesive R applied to the surface of the liquid crystal panel S1.

本実施形態において、接着剤Rは紫外線(UV)硬化樹脂を用いる。そのため、UV照射によって接着剤Rは硬化する。ただし、この塗布部1におけるUV照射は、弱い照射強度で、あるいは酸素阻害が起きるように大気下で行われている。そのため、接着剤Rは、未硬化部分が残留した状態を広く含む、いわゆる仮硬化の状態となる。すなわち、UV照射ユニット13は表示パネル製造装置の仮硬化部として機能する。これによって、図2(D)に示すように、液晶パネルS1の表面には、接着剤Rが仮硬化された、所定の厚みを有する接着層R1が形成される。なお、上述したようにディスペンサ14としてスリットコータを用いた場合には、接着層R1の上面側の外縁部は盛り上がり、そのすぐ内側には凹みが生じる。   In the present embodiment, the adhesive R uses an ultraviolet (UV) curable resin. Therefore, the adhesive R is cured by UV irradiation. However, the UV irradiation in this application part 1 is performed in the atmosphere with weak irradiation intensity or oxygen inhibition. Therefore, the adhesive R is in a so-called temporarily cured state that widely includes a state in which an uncured portion remains. That is, the UV irradiation unit 13 functions as a temporary curing unit of the display panel manufacturing apparatus. As a result, as shown in FIG. 2D, an adhesive layer R1 having a predetermined thickness, in which the adhesive R is temporarily cured, is formed on the surface of the liquid crystal panel S1. As described above, when a slit coater is used as the dispenser 14, the outer edge portion on the upper surface side of the adhesive layer R1 rises, and a dent is formed immediately inside.

仮硬化の状態となることによって、接着層R1の流動が抑制され、後述する貼り合せまでの搬送等の時間や貼り合せにおいて、塗布形状のくずれやパネル外への接着層R1のはみ出しが防止される。なおかつ、未硬化部分が残留しているため、接着層R1の接着性やクッション性は維持される。   By being in the pre-cured state, the flow of the adhesive layer R1 is suppressed, and the application shape is prevented from being broken and the adhesive layer R1 is not protruded outside the panel during the time and the time of conveyance until the bonding described later. The In addition, since the uncured portion remains, the adhesiveness and cushioning properties of the adhesive layer R1 are maintained.

ただし、仮硬化状態でも、接着層R1には若干の流動性が残る。上述したように、接着剤Rは液晶パネルS1の表面全体に行き渡るように塗布されるが、液晶パネルS1の縁部分をわずかに残すように塗布は行われる。これによって、後述の貼り合せにおいて、接着層R1はパネルのわずかに残った部分にも行き渡るとともにパネル外への過大なはみ出しが防止される。   However, even in the temporarily cured state, some fluidity remains in the adhesive layer R1. As described above, the adhesive R is applied so as to spread over the entire surface of the liquid crystal panel S1, but is applied so as to leave a slight edge portion of the liquid crystal panel S1. As a result, in bonding, which will be described later, the adhesive layer R1 spreads over a slightly remaining portion of the panel and prevents excessive protrusion to the outside of the panel.

なお、図2の例では、貼り合せ時に接着層R1が伸展することを考慮して、接着剤Rは液晶パネルS1の縁の部分をわずかに残すように塗布されるが、これはあくまで一例である。接着剤Rの粘度や仮硬化後の接着層R1の固さによっては、液晶パネルS1の縁まで届くように塗布しても良い。   In the example of FIG. 2, the adhesive R is applied so as to leave a slight portion of the edge of the liquid crystal panel S1 in consideration of the extension of the adhesive layer R1 during bonding, but this is only an example. is there. Depending on the viscosity of the adhesive R and the hardness of the adhesive layer R1 after temporary curing, the adhesive may be applied so as to reach the edge of the liquid crystal panel S1.

接着層R1が形成された液晶パネルS1は、不図示のピックアップ手段によって塗布部1から搬出され、搬送部4で搬送され、貼り合せ部2に搬入される。ここで、保護パネルS2も、貼り合せ部2に搬入される。液晶パネルS1と保護パネルS2の搬送タイミングは、貼り合せ部2で合流することができるように調整すれば良く、一つに限定されるものではない。   The liquid crystal panel S1 on which the adhesive layer R1 is formed is unloaded from the coating unit 1 by pick-up means (not shown), is transported by the transport unit 4, and is transported to the bonding unit 2. Here, the protective panel S <b> 2 is also carried into the bonding unit 2. The conveyance timing of the liquid crystal panel S1 and the protection panel S2 may be adjusted so that the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2 can be joined at the bonding unit 2, and is not limited to one.

例えば、保護パネルS2を液晶パネルS1と同時に表示パネル製造装置100に搬入するが、塗布部1は通過して先に貼り合せ部2に搬入する。そして、液晶パネルS1が塗布部1で接着剤Rを塗布されている間は、貼り合せ部2において待機していても良い。あるいは、保護パネルS2は、液晶パネルS1よりも後のタイミングで表示パネル製造装置100に搬入し、塗布部1での塗布が完了した液晶パネルS1と同じタイミングで貼り合せ部2に搬入するようにしても良い。   For example, the protective panel S2 is carried into the display panel manufacturing apparatus 100 simultaneously with the liquid crystal panel S1, but the coating unit 1 passes through and is carried into the bonding unit 2 first. And while liquid crystal panel S1 is apply | coating the adhesive agent R in the application part 1, you may stand by in the bonding part 2. FIG. Alternatively, the protective panel S2 is carried into the display panel manufacturing apparatus 100 at a timing later than the liquid crystal panel S1, and is carried into the bonding unit 2 at the same timing as the liquid crystal panel S1 that has been applied by the coating unit 1. May be.

なお、接着材として粘着フィルムを用いた場合には、表示パネル製造装置100に、塗布部1の代わりにフィルム貼着部を備えるようにすると良い。フィルム貼着部において、例えば、液晶パネルS1の表面に粘着フィルムを貼着する。粘着フィルムは両面に粘着面が形成され、一方の粘着面には剥離紙が貼着されたものを使用する。剥離紙が貼着されていない粘着面を液晶パネルS1の表面に重ね合わせて貼着し、剥離紙をはがすことによって、接着層を形成することができる。粘着フィルムの貼着及び剥離紙の剥離については、既存の装置を用いることができる。また、フィルム貼着部を設ける代わりに、表示パネル製造装置100への搬入前に、予め液晶パネルS1に粘着フィルムを貼着していてもよい。   In addition, when an adhesive film is used as the adhesive, the display panel manufacturing apparatus 100 may be provided with a film sticking part instead of the application part 1. In a film sticking part, an adhesive film is stuck on the surface of liquid crystal panel S1, for example. The pressure-sensitive adhesive film has a pressure-sensitive adhesive surface formed on both sides, and one of the pressure-sensitive adhesive surfaces is attached with a release paper. An adhesive layer can be formed by overlapping and sticking the adhesive surface to which the release paper is not attached to the surface of the liquid crystal panel S1, and peeling the release paper. An existing apparatus can be used for sticking the adhesive film and peeling the release paper. Moreover, instead of providing a film sticking part, before carrying in to the display panel manufacturing apparatus 100, you may stick the adhesive film to liquid crystal panel S1 previously.

(貼り合せ部)
貼り合せ部2は、図3(A)に示すように、液晶パネルS1と保護パネルS2を積層して貼り合せる基板貼合装置20を備える。基板貼合装置20は、チャンバ21内に下側プレート22と上側プレート23を対向配置した構成となっている。チャンバ21は上下動が可能であり、上方に移動すると下側プレート22と上側プレート23が外部に開放され液晶パネルS1と保護パネルS2が搬入可能となる。下方に移動すると下側プレート22と上側プレート23はチャンバ21内に収容され、チャンバ21内部に密閉空間が形成される。チャンバ21は不図示の排気手段によって内部圧力を調整可能となっている。つまり、液晶パネルS1と保護パネルS2が搬入されると、チャンバ21が下降して内部が密閉された上で減圧され、減圧雰囲気下で貼り合せが行われるようになっている。
(Lamination part)
As shown in FIG. 3A, the bonding unit 2 includes a substrate bonding apparatus 20 that laminates and bonds the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2. The substrate bonding apparatus 20 has a configuration in which a lower plate 22 and an upper plate 23 are disposed to face each other in a chamber 21. The chamber 21 can move up and down. When the chamber 21 moves upward, the lower plate 22 and the upper plate 23 are opened to the outside, and the liquid crystal panel S1 and the protection panel S2 can be carried in. When moved downward, the lower plate 22 and the upper plate 23 are accommodated in the chamber 21, and a sealed space is formed inside the chamber 21. The chamber 21 can be adjusted in internal pressure by an exhaust means (not shown). That is, when the liquid crystal panel S1 and the protection panel S2 are carried in, the chamber 21 is lowered, the inside is sealed, the pressure is reduced, and the bonding is performed in a reduced pressure atmosphere.

下側プレート22は、支持部として、プレート上に載置された基板を支持する。上側プレート23は、保持部として、基板を保持機構により保持する。本実施形態では、例として、下側プレート22に、接着剤Rが塗布された液晶パネルS1が支持され、上側プレート23に保護パネルS2が保持される場合を説明する。   The lower plate 22 supports a substrate placed on the plate as a support portion. The upper plate 23 holds the substrate by a holding mechanism as a holding portion. In the present embodiment, as an example, a case will be described in which the liquid crystal panel S1 coated with the adhesive R is supported on the lower plate 22 and the protective panel S2 is held on the upper plate 23.

上側プレート23の保持機構として、たとえば、静電チャック、メカチャック、真空チャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構が適用可能である。複数のチャックを併用することも可能である。上側プレート23には、駆動部として、昇降機構25が備えられている。この昇降機構25によって、上側プレート23は下側プレート22に接離可能に移動し、図3(B)に示すように、上側プレート23に保持された保護パネルS2を下側プレート22に支持された液晶パネルS1に押し付けて積層する。液晶パネルS1と保護パネルS2は、液晶パネルS1の表面に形成された接着層R1を介して貼り合わされ、積層パネルS10が形成される。   As the holding mechanism for the upper plate 23, any holding mechanism that can be used at present or in the future, such as an electrostatic chuck, a mechanical chuck, a vacuum chuck, and an adhesive chuck, can be used. A plurality of chucks can be used in combination. The upper plate 23 is provided with an elevating mechanism 25 as a drive unit. By this elevating mechanism 25, the upper plate 23 is moved so as to be able to contact and separate from the lower plate 22, and the protective panel S2 held by the upper plate 23 is supported by the lower plate 22 as shown in FIG. The liquid crystal panel S1 is pressed and laminated. The liquid crystal panel S1 and the protective panel S2 are bonded together via an adhesive layer R1 formed on the surface of the liquid crystal panel S1, thereby forming a laminated panel S10.

下側プレート22は、載置された液晶パネルS1の位置がずれないように、上側プレート23と同様の保持機構を備えていても良い。下側プレート22の、液晶パネルS1が載置される表面には、弾性シート24が取り付けられている。弾性シート24は所定の厚みを有するシートであり、厚みの分だけ下側プレート22の表面から突出している。したがって、下側プレート22は、この弾性シート24を介して液晶パネルS1を支持することになる。   The lower plate 22 may be provided with a holding mechanism similar to the upper plate 23 so that the position of the placed liquid crystal panel S1 does not shift. An elastic sheet 24 is attached to the surface of the lower plate 22 on which the liquid crystal panel S1 is placed. The elastic sheet 24 is a sheet having a predetermined thickness, and protrudes from the surface of the lower plate 22 by the thickness. Therefore, the lower plate 22 supports the liquid crystal panel S1 through the elastic sheet 24.

弾性シート24は、例えば、軟質樹脂から構成することができる。軟質樹脂としては、例えば、発泡樹脂を使用することができる。発泡樹脂は内部に空孔が多数形成され、その空孔に気体が内包されるため、弾力性が高い。さらに、発泡樹脂の内部に形成される空孔は独立孔であることが望ましい。独立孔は、一つ一つが閉塞され独立した孔である。一方、一つの空孔が他の空孔に繋がって連続しているものを連続孔という。空孔が連続孔であった場合、内包された気体が抜けやすく、弾性も維持しにくい。空孔が独立孔であれば、内包された気体が抜けにくく、安定した弾性を長期間維持することができる。独立孔が形成される発泡樹脂として、例えば、発泡シリコンを用いることができる。軟質樹脂として、他にも、例えば、ニトリルゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム等の樹脂ゴムやシリコンゲル等の樹脂ゲルを用いることができる。   The elastic sheet 24 can be made of, for example, a soft resin. As the soft resin, for example, a foamed resin can be used. The foamed resin has a high elasticity because a large number of pores are formed inside and gas is contained in the pores. Furthermore, it is desirable that the pores formed inside the foamed resin are independent holes. The independent holes are independent holes that are closed one by one. On the other hand, a continuous hole in which one hole is connected to another hole is called a continuous hole. When the holes are continuous holes, the contained gas is easy to escape and the elasticity is difficult to maintain. If the pores are independent holes, the contained gas is difficult to escape and stable elasticity can be maintained for a long period of time. For example, foamed silicon can be used as the foamed resin in which the independent holes are formed. In addition, for example, resin rubber such as nitrile rubber, fluorine rubber, and urethane rubber, or resin gel such as silicon gel can be used as the soft resin.

なお、必ずしも発泡樹脂のすべての空孔が独立孔である必要はなく、概ね80%以上が独立孔であれば、連続孔が存在していても良い。また、弾性シート24の表裏面には孔が存在せず、内部のみに存在していてもよい。また、表裏面に連続孔が形成され、内部が独立孔が形成されていても良い。この場合は、内部の空孔の概ね80以上が独立孔であれ良い。   In addition, it is not always necessary that all the pores of the foamed resin are independent holes. If approximately 80% or more are independent holes, continuous holes may exist. Moreover, the hole may not exist in the front and back of the elastic sheet 24, and you may exist only inside. Moreover, the continuous hole may be formed in the front and back, and the inside may be formed with the independent hole. In this case, approximately 80 or more of the internal holes may be independent holes.

弾性シート24は、液晶パネルS1の表面に形成された接着層R1と相似形状かつ略同じ大きさになるように決定される。具体的には、弾性シート24の上面、すなわち液晶パネルS1と接触する面が、接着層R1の液晶パネルS1に付着している側の面と、相似形状かつ略同じ大きさを持つ。なお、下側プレート22に接触する弾性シート24の下面も、上面と相似形状で略同じ大きさ、すなわち接着層R1と相似形状で略同じ大きさであることが好ましい。弾性シート24の厚みは、接着層R1と同じでも良いが、異なっていても良い。液晶パネルS1が下側プレート22上に載置される際に、液晶パネルS1の表面に形成された接着層R1が、下側プレート22上に配置された弾性シート24と、上面から見て概ね重なるように、液晶パネルS1の位置合わせが行われる。   The elastic sheet 24 is determined so as to have a shape similar to and substantially the same size as the adhesive layer R1 formed on the surface of the liquid crystal panel S1. Specifically, the upper surface of the elastic sheet 24, that is, the surface in contact with the liquid crystal panel S1, has a similar shape and substantially the same size as the surface of the adhesive layer R1 that is attached to the liquid crystal panel S1. The lower surface of the elastic sheet 24 that contacts the lower plate 22 is also preferably similar in shape to the upper surface, that is, approximately the same size as the adhesive layer R1. The thickness of the elastic sheet 24 may be the same as that of the adhesive layer R1, but may be different. When the liquid crystal panel S1 is placed on the lower plate 22, the adhesive layer R1 formed on the surface of the liquid crystal panel S1 is substantially the same as the elastic sheet 24 disposed on the lower plate 22 and the top surface. The liquid crystal panel S1 is aligned so as to overlap.

この弾性シート24が貼り合せの際にどのように作用するかについて、図4を用いて説明する。図4(A)に示すように、上側プレート23が下降し、両パネルを介して下側プレート22を押圧すると、下側プレート22から上側プレート23を押圧する反力が生じる。ここで、下側プレート22と液晶パネルS1の間には弾性シート24が介在しているため、反力は弾性シート24を介して、液晶パネルS1から接着層R1に伝達される。接着層R1は押圧力を受けて伸展する。図4(B)に示すように、接着層R1の外縁部の盛り上がりも押し潰されて、パネル外縁に及ぶ。弾性シート24も、同様に押圧力を受け、弾性により伸展する。   How the elastic sheet 24 acts during bonding will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 4A, when the upper plate 23 descends and presses the lower plate 22 via both panels, a reaction force that presses the upper plate 23 from the lower plate 22 is generated. Here, since the elastic sheet 24 is interposed between the lower plate 22 and the liquid crystal panel S1, the reaction force is transmitted from the liquid crystal panel S1 to the adhesive layer R1 via the elastic sheet 24. The adhesive layer R1 extends under pressure. As shown in FIG. 4B, the rise of the outer edge portion of the adhesive layer R1 is also crushed and reaches the outer edge of the panel. Similarly, the elastic sheet 24 receives a pressing force and extends due to elasticity.

ここで、基板貼合装置20が弾性シート24を備えておらず、液晶パネルS1が下側プレート22上に直接載置された場合に、生じ得る事態について説明する。図5(A)に示すように、液晶パネルS1にうねりやしなりがあってその表面が不均一な状態であった場合には、下側プレート22と液晶パネルS1の間にはわずかな隙間が生じる。この隙間によって、接着層R1に下側プレート22の押圧力が接着層R1に均一に伝達されない可能性がある。特に、上述したように、接着剤Rの塗布にスリットコートを用いた場合には、接着層R1の外縁部に盛り上がりが生じ、さらにその内側に凹んだ部分が生じることがある。この盛り上がりを十分に伸展できなければ、図5(B)に示すように、盛り上がりの内側の凹んだ部分が残ってしまう可能性がある。特に、接着剤の塗布後貼り合せ前に仮硬化を行った場合、接着剤は伸展し難くなるので、その影響は顕著となる。   Here, a situation that may occur when the substrate bonding apparatus 20 does not include the elastic sheet 24 and the liquid crystal panel S1 is directly placed on the lower plate 22 will be described. As shown in FIG. 5A, when the liquid crystal panel S1 has waviness and its surface is not uniform, a slight gap is formed between the lower plate 22 and the liquid crystal panel S1. Occurs. Due to this gap, the pressing force of the lower plate 22 may not be uniformly transmitted to the adhesive layer R1. In particular, as described above, when a slit coat is used for applying the adhesive R, the outer edge portion of the adhesive layer R1 may be raised, and a recessed portion may be further formed on the inner side thereof. If this swell cannot be extended sufficiently, a recessed portion inside the swell may remain as shown in FIG. In particular, when pre-curing is performed after application of the adhesive and before bonding, the adhesive becomes difficult to extend, and the effect becomes significant.

上述したように、チャンバ21内部は減圧されているため、基板の間に空気が入り込むことは多くはないが、このように接着層R1を伸展しきれず凹んだ部分が残ると、気泡状の間隙(真空泡)が形成されることがある。なお、このような真空泡の多くは貼り合せ部2から搬出されて大気圧に戻されると、大気圧によって押し潰されて消滅するが、接着剤の状態、特に表面形状によっては潰しきれずに残るものもある。   As described above, since the inside of the chamber 21 is depressurized, air does not often enter between the substrates, but if the adhesive layer R1 cannot be fully extended and a recessed portion remains, a bubble-like gap is left. (Vacuum bubbles) may be formed. Many of these vacuum bubbles are removed from the bonding section 2 and returned to atmospheric pressure, but are crushed and disappeared by atmospheric pressure. However, depending on the state of the adhesive, particularly the surface shape, it cannot be completely crushed. Some remain.

一方、大気下で貼り合せを行った場合には、接着層R1が伸展しきれず残った凹みの部分には、当然空気が存在し、さらにこの空気が反発力を持つことによって、気泡が発生する可能性がより高まる。なお、上述の気泡状の間隙すなわち真空泡や気泡を合わせて、本実施形態ではボイドとして表現する。   On the other hand, when the bonding is performed in the atmosphere, air naturally exists in the remaining concave portion where the adhesive layer R1 cannot be fully extended, and bubbles are generated due to the repulsive force of the air. More possibilities. In the present embodiment, the above-described bubble-shaped gaps, that is, vacuum bubbles and bubbles are combined and expressed as voids.

一方、弾性シート24がある場合には、図6(A)に示すように、弾性シート24が撓んでうねりやしなりに沿うため、下側プレート22の押圧力は、接着層R1全面に均一に伝達される。図6(B)に示すように、接着層R1の外縁部は十分に伸展され、内側の凹んだ部分を含め均されて均一にされる。これによって、ボイドの発生が低減される。   On the other hand, when the elastic sheet 24 is present, as shown in FIG. 6A, the elastic sheet 24 bends and follows the undulation, so that the pressing force of the lower plate 22 is uniform over the entire surface of the adhesive layer R1. Is transmitted to. As shown in FIG. 6 (B), the outer edge portion of the adhesive layer R1 is sufficiently extended, and is uniformed and made uniform including the inner recessed portion. This reduces the generation of voids.

さらに、上述したように、弾性シート24は接着層R1と相似形状かつ略同じ大きさであり、液晶パネルS1は、上面から見て接着層R1が弾性シート24と概ね重なるように位置合わせされる。これによって、液晶パネルS1の、接着層R1が形成されている部分のみが押圧されることになり、その他の部分には余分な力がかからない。あるいは、接着層R1が形成されている部分のうちの一部が十分に押圧されない、ということも回避できる。結果として、接着層R1が十分に伸展しなかったり、あるいは伸展を阻害されるという事態を防止することができる。   Furthermore, as described above, the elastic sheet 24 has a similar shape and substantially the same size as the adhesive layer R1, and the liquid crystal panel S1 is aligned so that the adhesive layer R1 substantially overlaps the elastic sheet 24 when viewed from above. . As a result, only the portion of the liquid crystal panel S1 where the adhesive layer R1 is formed is pressed, and no extra force is applied to the other portions. Alternatively, it can be avoided that a part of the portion where the adhesive layer R1 is formed is not sufficiently pressed. As a result, it is possible to prevent a situation where the adhesive layer R1 does not sufficiently extend or is obstructed.

ここで、比較例として、弾性シート24が接着層R1より大きい場合と、接着層R1より小さい場合に生じ得る事態について、図7及び図8を使って説明する。   Here, as a comparative example, a situation that may occur when the elastic sheet 24 is larger than the adhesive layer R1 and smaller than the adhesive layer R1 will be described with reference to FIGS.

図7に示すように、弾性シート24が接着層R1より大きい場合、弾性シート24により、液晶パネルS1の、接着層R1が形成されていない縁の部分が、弾性シート24によって余分に押し上げられることになる。それによって、液晶パネルS1の縁の部分がしなって、接着層R1を内側に押す力がはたらく。これによって接着層R1のパネル外縁方向への伸展が阻害され、外縁部の盛り上がりが十分に押し潰されず、凹み部分が残り、ボイドが生じてしまう可能性がある。   As shown in FIG. 7, when the elastic sheet 24 is larger than the adhesive layer R <b> 1, the elastic sheet 24 excessively pushes up the edge portion of the liquid crystal panel S <b> 1 where the adhesive layer R <b> 1 is not formed. become. As a result, the edge portion of the liquid crystal panel S1 is bent, and a force that presses the adhesive layer R1 inward is applied. As a result, extension of the adhesive layer R1 toward the outer edge of the panel is hindered, and the rise of the outer edge is not sufficiently crushed, leaving a recessed portion, which may cause a void.

図8に示すように、弾性シート24が接着層R1より小さい場合、接着層R1には弾性シート24によって押圧されない部分が生じる。特に接着層R1の外縁部が押圧されなければ、外縁部の盛り上がりは押し潰されず、その内側の凹みの部分も残ってしまい、ボイドが発生する可能性がある。   As shown in FIG. 8, when the elastic sheet 24 is smaller than the adhesive layer R1, a portion that is not pressed by the elastic sheet 24 occurs in the adhesive layer R1. In particular, if the outer edge portion of the adhesive layer R1 is not pressed, the bulge of the outer edge portion is not crushed, and the recessed portion inside thereof may remain and voids may be generated.

以上述べたように、弾性シート24が接着層R1より大きい場合及び小さい場合のいずれも、接着層R1が十分に伸展せず、ボイドが発生する可能性が高まる。一方、本実施形態では、弾性シート24が接着層R1と相似形状かつ略同じ大きさであるため、接着層R1は弾性シート24を介して万遍なく押圧され、かつ接着層R1の形成されていないパネル部分に余分な力はかからない。これによって、接着層R1はパネル外縁まで伸展し、外縁部の盛り上がりや凹みをきちんと押し潰すことができるため、ボイドの発生が低減される。   As described above, in both cases where the elastic sheet 24 is larger and smaller than the adhesive layer R1, the adhesive layer R1 does not sufficiently extend, and the possibility that voids are generated increases. On the other hand, in the present embodiment, since the elastic sheet 24 has a similar shape and approximately the same size as the adhesive layer R1, the adhesive layer R1 is uniformly pressed through the elastic sheet 24 and the adhesive layer R1 is formed. No extra force is applied to the non-panel part. As a result, the adhesive layer R1 extends to the outer edge of the panel, and the bulge and dent of the outer edge can be properly crushed, thereby reducing the generation of voids.

なお、本実施形態の目的から当然に導き出されることであるが、「相似形状で略同じ大きさ」とは、接着層R1と弾性シート24の形状及び大きさが同一であっても良いが、完全に同一である必要はないことを意味する。接着層R1と弾性シート24の形状及び大きさに多少の違いがあっても、図7及び図8に示したように、液晶パネルS1の接着層R1が形成されていない部分に余分な力がかかってボイドが生じたり、あるいは、接着層R1に押圧されない部分があることによってボイドが生じたりする現象が起こらない程度であれば、「相似形状で略同じ大きさ」に含まれる。   In addition, although it is naturally derived from the object of the present embodiment, the “similar shape and substantially the same size” may mean that the shape and size of the adhesive layer R1 and the elastic sheet 24 may be the same, This means that they do not have to be completely identical. Even if there are some differences in the shape and size of the adhesive layer R1 and the elastic sheet 24, as shown in FIGS. 7 and 8, an extra force is applied to the portion of the liquid crystal panel S1 where the adhesive layer R1 is not formed. If the phenomenon is such that a void is not generated, or a phenomenon in which a void is not generated due to a portion that is not pressed against the adhesive layer R1, it is included in the “similar shape and substantially the same size”.

なお、基板の形状及び大きさに応じて、その表面に形成される接着層R1の形状及び大きさも変化する。そこで、弾性シート24は、基板の種類に応じて交換可能とすると良い。例えば、ベースを用意し、両面テープ等でベースに貼り付けておいて、プレートに対してベースごと着脱可能にしても良い。あるいは、交換の都度下側プレート22に直接貼り付けてもよい。   Note that, depending on the shape and size of the substrate, the shape and size of the adhesive layer R1 formed on the surface also changes. Therefore, the elastic sheet 24 is preferably exchangeable depending on the type of substrate. For example, a base may be prepared and attached to the base with a double-sided tape or the like, and the base may be detachable from the plate. Or you may affix directly on the lower plate 22 at every exchange.

弾性シート24は、少なくともアスカーC硬度計で硬度を測定可能なものが良い。より好ましくは、弾性シートの硬度を15以上85以下としても良い。弾性シート24が柔らかすぎると、伸展し過ぎてしまい、図7に示したように、弾性シート24が接着層R1よりも大きくなり、接着層R1の伸展が阻害される可能性があるからである。また、弾性シート24の材料によっては、伸展した弾性シート24が基板側にはみ出して貼りつき、押圧解放後に接着層R1の一部を引きはがし、結果としてボイドが発生する可能性もある。さらに、弾性シート24が押圧によって極端に潰れてしまい、弾性を失ってしまう。反対に、弾性シート24の硬度が高すぎると、液晶パネルS1のうねりやしなりに沿わなくなる可能性がある。さらに、弾性シート24を経時変化の影響を受けにくいものとするためには、弾性シート24の硬度を35としても良い。   The elastic sheet 24 is preferably one that can measure the hardness with at least an Asker C hardness meter. More preferably, the hardness of the elastic sheet may be 15 or more and 85 or less. This is because if the elastic sheet 24 is too soft, the elastic sheet 24 extends too much, and as shown in FIG. 7, the elastic sheet 24 becomes larger than the adhesive layer R1, and the extension of the adhesive layer R1 may be hindered. . Further, depending on the material of the elastic sheet 24, the stretched elastic sheet 24 may protrude and stick to the substrate side, and part of the adhesive layer R1 may be peeled off after releasing the pressure, resulting in the generation of voids. Further, the elastic sheet 24 is extremely crushed by the press and loses elasticity. On the contrary, if the hardness of the elastic sheet 24 is too high, there is a possibility that the liquid crystal panel S1 does not follow the undulation. Further, the hardness of the elastic sheet 24 may be set to 35 in order to make the elastic sheet 24 less susceptible to changes with time.

なお、接着材として粘着フィルムを用いた場合には、接着剤Rを用いた場合のように接着層R1に盛り上がりが生じることは考えにくい。ただし、液晶パネルS1にうねりやしなりが生じて不均一な状態であれば、粘着フィルムと液晶パネルS1との間にボイドが生じる可能性はある。したがって、接着剤Rの場合と同様に弾性シート24を用いることで、ボイドの発生を低減することができる。   In addition, when an adhesive film is used as the adhesive, it is unlikely that the adhesive layer R1 is raised as in the case where the adhesive R is used. However, if the liquid crystal panel S1 is undulated and uneven, a void may be generated between the adhesive film and the liquid crystal panel S1. Therefore, the generation of voids can be reduced by using the elastic sheet 24 as in the case of the adhesive R.

液晶パネルS1と保護パネルS2を貼り合せて形成された積層パネルS10は、不図示のピックアップ手段によって貼り合せ部2から搬出され、搬送部4を搬送され、硬化部3に搬入される。   The laminated panel S10 formed by bonding the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2 is unloaded from the bonding unit 2 by pick-up means (not shown), is conveyed through the conveyance unit 4, and is loaded into the curing unit 3.

(硬化部)
図9に示すように、硬化部3は、塗布部1において仮硬化された接着層R1を本硬化する硬化装置30を備える。硬化装置30は、積層パネルS10が載置されるステージ31と、ステージ31上に配置されたUV照射ユニット33を備える。UV照射ユニット33は、紫外線(UV)を発することができる1つまたは複数のUVランプやLED等から構成されている。UV照射ユニット33の照射強度は、塗布部1において仮硬化された接着層R1を完全に硬化するのに必要な紫外線を照射することができるように調節されている。もちろん、仮硬化を伴わない接着層を完全に硬化する場合も同様である。
(Curing part)
As shown in FIG. 9, the curing unit 3 includes a curing device 30 that fully cures the adhesive layer R <b> 1 temporarily cured in the application unit 1. The curing device 30 includes a stage 31 on which the laminated panel S10 is placed, and a UV irradiation unit 33 disposed on the stage 31. The UV irradiation unit 33 is composed of one or a plurality of UV lamps, LEDs, and the like that can emit ultraviolet rays (UV). The irradiation intensity of the UV irradiation unit 33 is adjusted so that the ultraviolet rays necessary for completely curing the adhesive layer R1 temporarily cured in the application unit 1 can be irradiated. Of course, the same applies to the case where the adhesive layer without temporary curing is completely cured.

なお、接着材として粘着フィルムを用いる場合は、硬化部3は不要である。また、表示パネル製造装置は、塗布部1、貼り合せ部2及び硬化部3の前後又はその間に別の工程を行っても良い。そのために、表示パネル製造装置は、例えば、塗布部1の前段又は貼り合せ部2の前段で基板の外観を撮像して位置合わせを行う位置合わせ部や、完成した液晶表示パネルを梱包するテーピングユニット等を備えても良い。   In addition, when using an adhesive film as an adhesive material, the hardening part 3 is unnecessary. In addition, the display panel manufacturing apparatus may perform another process before or after the application unit 1, the bonding unit 2 and the curing unit 3. For this purpose, the display panel manufacturing apparatus is, for example, a positioning unit that images and aligns the appearance of the substrate before the coating unit 1 or the bonding unit 2, and a taping unit that packs the completed liquid crystal display panel. Etc. may be provided.

[作用]
以上のような構成を有する本実施形態の作用を説明する。
[Action]
The operation of the present embodiment having the above configuration will be described.

まず、図1に示すように、液晶パネルS1及び保護パネルS2が、ローダ5によって表示パネル製造装置100に搬入され、搬送部4を搬送される。液晶パネルS1が不図示のピックアップ手段によって塗布部1に搬入され、図2に示すように、接着剤塗布装置10のステージ11に載置される。   First, as shown in FIG. 1, the liquid crystal panel S <b> 1 and the protection panel S <b> 2 are carried into the display panel manufacturing apparatus 100 by the loader 5 and are conveyed through the conveyance unit 4. The liquid crystal panel S1 is carried into the applicator 1 by pick-up means (not shown) and placed on the stage 11 of the adhesive applicator 10 as shown in FIG.

液晶パネルS1がステージ11に載置されると、塗布ユニット12がステージ11上に進入する。タンクTに収容された接着剤Rがディスペンサ14を介して液晶パネルS1の表面に塗布される(図2(A))。走査装置で走査することによって、図2(B)に示すように、接着剤Rは液晶パネルS1の縁の部分をわずかに残して全面に行き渡るように塗布される。接着剤Rの塗布が終わると、塗布ユニット12はステージ11上から退避する。   When the liquid crystal panel S <b> 1 is placed on the stage 11, the coating unit 12 enters the stage 11. The adhesive R accommodated in the tank T is applied to the surface of the liquid crystal panel S1 through the dispenser 14 (FIG. 2A). By scanning with the scanning device, as shown in FIG. 2B, the adhesive R is applied so as to spread over the entire surface, leaving a slight marginal portion of the liquid crystal panel S1. When the application of the adhesive R is finished, the application unit 12 is retracted from the stage 11.

次いで、UV照射ユニット13によって、接着剤Rに対してUV照射が行われ、接着剤Rは仮硬化の状態となる(図2(C)及び(D))。これによって液晶パネルS1の表面に所定の厚みを有する接着層R1が形成される。   Next, UV irradiation is performed on the adhesive R by the UV irradiation unit 13, and the adhesive R is in a temporarily cured state (FIGS. 2C and 2D). As a result, an adhesive layer R1 having a predetermined thickness is formed on the surface of the liquid crystal panel S1.

接着層R1が形成された液晶パネルS1は、塗布部1から搬出され、再び搬送部4を搬送される。続いて、不図示のピックアップ手段によって貼り合せ部2に搬入され、図3(A)に示すように、基板貼合装置20の下側プレート22に載置される。このとき、接着層R1が形成された表面が上を向くように載置される。保護パネルS2も貼り合せ部2に搬入され、上側プレート23に受け渡されて保持機構により保持される。このとき、チャンバ21は上方に移動しているため、下側プレート22と上側プレート23は開放されている。両パネルの搬送が完了するとチャンバ21は下方に位置するように駆動され、下側プレート22と上側プレート23をチャンバ21の内部に収容する。チャンバ21内部には密閉空間が形成され、図示しない排気手段によって密閉空間内が減圧される。   The liquid crystal panel S1 on which the adhesive layer R1 is formed is unloaded from the coating unit 1 and is conveyed through the conveyance unit 4 again. Then, it carries in to the bonding part 2 by the pick-up means not shown, and is mounted in the lower plate 22 of the board | substrate bonding apparatus 20 as shown to FIG. 3 (A). At this time, it is placed so that the surface on which the adhesive layer R1 is formed faces upward. The protective panel S2 is also carried into the laminating section 2, transferred to the upper plate 23, and held by the holding mechanism. At this time, since the chamber 21 moves upward, the lower plate 22 and the upper plate 23 are opened. When the conveyance of both panels is completed, the chamber 21 is driven to be positioned below, and the lower plate 22 and the upper plate 23 are accommodated in the chamber 21. A sealed space is formed inside the chamber 21, and the inside of the sealed space is depressurized by an exhaust means (not shown).

そして、図3(B)に示すように、上側プレート23が下側プレート22に向かって下降し、上側プレート23に保持されている保護パネルS2を、下側プレート22に支持されている液晶パネルS1に押し付ける。液晶パネルS1表面に形成された接着層R1は、液晶パネルS1を介して下側プレート22に押圧され、両パネルに密着することにより、両パネルを貼り合せる。貼り合せの際に、上側および下側プレートの平行度や平面度に多少の誤差があっても、また、液晶パネルS1の表面にうねりやしなりがあっても、下側プレート22に取り付けられた弾性シート24がうねりやしなりに沿う為、接着層R1は均一に押圧される。また、弾性シート24は接着層R1と相似形状で略同じ大きさとなっているため、液晶パネルS1のうち、接着層R1が形成された部分のみが押圧され、他の箇所に余分な力が掛からない。これによって接着層R1は液晶パネルS1と保護パネルS2に密着し、ボイドの発生が低減される。   Then, as shown in FIG. 3B, the upper plate 23 descends toward the lower plate 22, and the protective panel S <b> 2 held by the upper plate 23 is supported by the lower plate 22. Press against S1. The adhesive layer R1 formed on the surface of the liquid crystal panel S1 is pressed against the lower plate 22 via the liquid crystal panel S1, and adheres to both panels, thereby bonding the two panels together. Even when there is a slight error in the parallelism and flatness of the upper and lower plates during the pasting, and even when the surface of the liquid crystal panel S1 is wavy, it is attached to the lower plate 22. Since the elastic sheet 24 conforms to the undulation, the adhesive layer R1 is pressed uniformly. In addition, since the elastic sheet 24 has a similar shape and substantially the same size as the adhesive layer R1, only the portion of the liquid crystal panel S1 where the adhesive layer R1 is formed is pressed, and an extra force is applied to other portions. Absent. As a result, the adhesive layer R1 is in close contact with the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2, and the generation of voids is reduced.

液晶パネルS1と保護パネルS2の貼り合せが完了すると、減圧状態が解除され、チャンバを上方に移動し、密閉空間が開放される。積層パネルS10は、貼り合せ部2から搬出され、再び搬送部4を搬送される。続いて、不図示のピックアップ手段によって硬化部3へ搬入される。なお、貼り合せ部2から硬化部3への搬送の過程で、積層パネルS10を一定時間、大気中で放置しても良い。この放置時間において、積層パネルS10が大気圧によって押圧されて安定する。また、接着層R1にボイドが残留していても、十分な時間放置することによって、ボイドも低減させることができる。   When the bonding of the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2 is completed, the reduced pressure state is released, the chamber is moved upward, and the sealed space is opened. The laminated panel S10 is unloaded from the bonding unit 2 and is conveyed again by the conveyance unit 4. Subsequently, it is carried into the curing unit 3 by pick-up means (not shown). In the course of conveyance from the bonding unit 2 to the curing unit 3, the laminated panel S10 may be left in the air for a certain time. In this standing time, the laminated panel S10 is pressed and stabilized by the atmospheric pressure. Even if voids remain in the adhesive layer R1, the voids can be reduced by leaving them for a sufficient time.

硬化部3においては、図9に示すように、積層パネルS10はステージ31に載置され、UV照射ユニット33によって、仮硬化された接着層R1が完全に硬化するのに必要な強度の紫外線が照射され、接着層R1の本硬化が完了する。   In the curing unit 3, as shown in FIG. 9, the laminated panel S <b> 10 is placed on the stage 31, and the UV irradiation unit 33 generates ultraviolet rays having a strength necessary for completely curing the temporarily cured adhesive layer R <b> 1. Irradiation completes the main curing of the adhesive layer R1.

本実施形態の表示パネル製造装置及び基板貼合装置の各実施例及び比較例に対して、試験を行い、特性を評価した。   A test was performed on each example and comparative example of the display panel manufacturing apparatus and the substrate bonding apparatus of the present embodiment, and the characteristics were evaluated.

各実施例及び比較例において、表示パネル製造装置及び基板貼合装置の全体的な構成は同じであるが、弾性シート24について、形状及び大きさ、材料並びに硬度をそれぞれ異ならせたものを用意した。   In each example and comparative example, the overall configuration of the display panel manufacturing apparatus and the substrate bonding apparatus is the same, but the elastic sheet 24 was prepared with different shapes, sizes, materials, and hardnesses. .

[試験1]
各実施例及び比較例について、以下の条件で貼り合せ試験を行った。
・貼り合せ時押圧力…3.0kg/cm
・基板…ガラス製、152.4×91.4(mm)の長方形、厚さ0.7mm
・貼合せ時雰囲気圧力…30Pa
・接着材…粘度2900mPa・sの紫外線(UV)硬化樹脂
・接着層…約150×90(mm)(基板と略同形状(相似形状)及び略同じ大きさになるように形成した)
・接着剤塗布厚さ…200μm
・弾性シート…厚さ3mm
・仮硬化UV強度…積算光量631mJ/cm
接着層を形成する紫外線硬化樹脂は、基板の外縁から概ね1mm程度内側の範囲を塗布した。このように塗布することによって、貼り合せ時に接着層は基板とほぼ同じ形状及び大きさになる。
[Test 1]
About each Example and the comparative example, the bonding test was done on condition of the following.
・ Pressing force during bonding: 3.0 kg / cm 2
-Substrate: glass, rectangular of 152.4 x 91.4 (mm), thickness 0.7mm
・ Atmospheric pressure at the time of bonding: 30Pa
・ Adhesive material: UV (UV) cured resin with a viscosity of 2900 mPa · s. Adhesive layer: about 150 × 90 (mm) (formed to have approximately the same shape (similar shape) and approximately the same size as the substrate)
・ Adhesive thickness: 200μm
-Elastic sheet: 3mm thick
-Temporary curing UV intensity: 631 mJ / cm 2 of integrated light quantity
The UV curable resin for forming the adhesive layer was applied in a range approximately 1 mm inside from the outer edge of the substrate. By applying in this way, the adhesive layer has substantially the same shape and size as the substrate at the time of bonding.

貼り合わせ後、基板と接着層R1の間にボイドが発生しているかを、目視で確認した。ボイドがあるものについては、ボイドの発生箇所も確認した。各実施例及び比較例の弾性シートの条件と、ボイドの発生の有無を以下の表1に示す。
After bonding, it was visually confirmed whether voids were generated between the substrate and the adhesive layer R1. For those with voids, the occurrence of voids was also confirmed. Table 1 below shows the conditions of the elastic sheets of each Example and Comparative Example and the presence or absence of voids.

硬度は、日本ゴム協会標準規格(SRIS0101)に基づいてアスカーC硬度計で測定したものである。なお、実施例3のシリコンゲルは柔らかすぎるため、アスカーC硬度計での硬度は測定不可能だった。実施例3のシリコンゲルは、日本標準規格(JIS K2207)に基づいて測定した針入度50〜55のものを使用した。実施例1〜4及び比較例4の弾性シート24は、紫外線硬化樹脂の塗布時の接着層と同じ大きさのもの、即ち150×90(mm)のものを用いた。上述したように、貼り合せ時に接着層は基板とほぼ同じ形状及び大きさになるが、弾性シート24との各辺の差は1〜2mm程度であり、弾性シート24と接着層は略同形状で略同じ大きさと言える。比較例2の弾性シート24は、接着層R1より各辺10mmずつ短いものを用いた。比較例3の弾性シート24は、接着層R1より各辺10mmずつ長いものを用いた。比較例1は弾性シート24を設置せずに貼り合せを行った。   The hardness is measured with an Asker C hardness meter based on the Japan Rubber Association standard (SRIS0101). In addition, since the silicon gel of Example 3 was too soft, the hardness with an Asker C hardness meter was impossible to measure. As the silicon gel of Example 3, one having a penetration of 50 to 55 measured based on Japanese standard (JIS K2207) was used. As the elastic sheets 24 of Examples 1 to 4 and Comparative Example 4, those having the same size as the adhesive layer at the time of application of the ultraviolet curable resin, that is, 150 × 90 (mm) were used. As described above, the adhesive layer has almost the same shape and size as the substrate at the time of bonding, but the difference between each side with the elastic sheet 24 is about 1 to 2 mm, and the elastic sheet 24 and the adhesive layer have substantially the same shape. It can be said that they are almost the same size. The elastic sheet 24 of Comparative Example 2 was shorter than the adhesive layer R1 by 10 mm on each side. As the elastic sheet 24 of Comparative Example 3, a sheet 10 mm longer than each side of the adhesive layer R1 was used. In Comparative Example 1, bonding was performed without installing the elastic sheet 24.

実施例1、実施例4、比較例2及び比較例3については、貼り合せ時の圧力分布の測定試験も行った。圧力分布の測定は、貼り合せ試験とほぼ同条件で行ったが、接着層R1は形成せず、図10に示すように、基板貼合装置20の上側プレート23と弾性シート24の間にタクタイルセンサを配置した。上側プレート23に保持された基板と弾性シート24上に載置された基板でタクタイルセンサを挟み込むことで、基板にかかる圧力分布を測定した。図11(A)に実施例1の圧力分布図、図11(B)に実施例4の圧力分布図を示している。図12(A)に比較例2の圧力分布図、図12(B)に比較例3の圧力分布図を示す。   About Example 1, Example 4, Comparative Example 2, and Comparative Example 3, the measurement test of the pressure distribution at the time of bonding was also performed. The pressure distribution was measured under substantially the same conditions as the bonding test, but the adhesive layer R1 was not formed, and the tactile was placed between the upper plate 23 and the elastic sheet 24 of the substrate bonding apparatus 20 as shown in FIG. A sensor was placed. The pressure distribution applied to the substrate was measured by sandwiching the tactile sensor between the substrate held on the upper plate 23 and the substrate placed on the elastic sheet 24. FIG. 11A shows a pressure distribution diagram of the first embodiment, and FIG. 11B shows a pressure distribution diagram of the fourth embodiment. FIG. 12A shows a pressure distribution diagram of Comparative Example 2, and FIG. 12B shows a pressure distribution diagram of Comparative Example 3.

各図において、圧力分布は基準圧力を100として、0〜100の数値範囲を16分割し、各範囲を以下のカラーチャートで示している。
0(濃青)〜36(薄青)〜50(緑)〜70(黄)〜94(赤)〜100(ピンク)
ただし、図面はカラーチャートをグレースケール表示に変換したものであるため、一部判別しにくい部分もある。判別しにくい部分については、説明を補う。なお、図12〜図14も同様にカラーチャートをグレースケール表示に変換したものである。
In each figure, the pressure distribution is divided into 16 numerical ranges of 0 to 100, where the reference pressure is 100, and each range is shown by the following color chart.
0 (dark blue) to 36 (light blue) to 50 (green) to 70 (yellow) to 94 (red) to 100 (pink)
However, since the drawing is a color chart converted into a gray scale display, there are some portions that are difficult to distinguish. For parts that are difficult to discern, supplement the explanation. In addition, FIGS. 12-14 similarly convert the color chart into a gray scale display.

以下、試験の結果について検討する。
<弾性シートの有無について>
弾性シート24を用いなかった比較例1は、基板の中央部と外縁付近、すなわち全面的にボイドが発生している。下側プレート22の押圧力が接着層R1に均一に伝達されなかったため、ボイドが全面的に発生したと考えられる。一方、弾性シートを用いた実施例1〜4では、ボイドが発生しないか、一部のみに発生した状態である。弾性シートを用いることによって下側プレート22の押圧力が接着層R1に均一に伝達されることによって、ボイドの発生が大きく低減されていることがわかる。
The results of the test are examined below.
<With or without elastic sheet>
In Comparative Example 1 in which the elastic sheet 24 is not used, voids are generated in the vicinity of the central portion and the outer edge of the substrate, that is, the entire surface. Since the pressing force of the lower plate 22 was not uniformly transmitted to the adhesive layer R1, it is considered that voids were generated entirely. On the other hand, in Examples 1 to 4 using an elastic sheet, voids are not generated or are only partially generated. It can be seen that the generation of voids is greatly reduced by using the elastic sheet to uniformly transmit the pressing force of the lower plate 22 to the adhesive layer R1.

<弾性シートの形状及び大きさについて>
実施例1、比較例2及び比較例3は、いずれも硬度35の発泡シリコンを用いて弾性シート24を構成しているが、それぞれ弾性シート24の形状及び大きさを変更している。実施例1は接着層R1と同じ形状及び大きさの弾性シート24を用いた。比較例2では、接着層R1よりも小さい弾性シート24を用いた。比較例3では、接着層R1よりも大きい弾性シート24を用いた。実施例1においてはボイドの発生はないが、比較例2及び比較例3は、基板の中央部にはボイドの発生は無いが、外縁付近にボイドが発生している。
<About the shape and size of the elastic sheet>
In each of Example 1, Comparative Example 2, and Comparative Example 3, the elastic sheet 24 is configured using foamed silicon having a hardness of 35, but the shape and size of the elastic sheet 24 are changed. In Example 1, the elastic sheet 24 having the same shape and size as the adhesive layer R1 was used. In Comparative Example 2, an elastic sheet 24 smaller than the adhesive layer R1 was used. In Comparative Example 3, an elastic sheet 24 larger than the adhesive layer R1 was used. In Example 1, no void is generated. In Comparative Example 2 and Comparative Example 3, no void is generated in the central portion of the substrate, but a void is generated in the vicinity of the outer edge.

上述したように、弾性シート24が接着層R1より小さい場合、接着層R1の外縁付近に弾性シート24によって押圧されない部分が生じる。図12(A)の比較例2の圧力分布図では、図中左右上に有る色の薄い部分が圧力の弱いところを示している。また、図中下部分と上部分での差は、押圧力が均一ではなく、やや傾いて押圧されていることを示している。この圧力分布を見てもわかるように、基板の外縁付近は圧力が弱いことがわかる。これによって、接着層R1の外縁部の盛り上がりが押し潰されずに凹みが残り、基板の周辺にボイドが発生したと考えられる。   As described above, when the elastic sheet 24 is smaller than the adhesive layer R1, a portion that is not pressed by the elastic sheet 24 occurs in the vicinity of the outer edge of the adhesive layer R1. In the pressure distribution diagram of Comparative Example 2 in FIG. 12 (A), the light-colored portions on the left and right sides in the diagram indicate weak pressures. In addition, the difference between the lower part and the upper part in the figure indicates that the pressing force is not uniform and is pressed with a slight inclination. As can be seen from this pressure distribution, the pressure is weak near the outer edge of the substrate. As a result, the bulge of the outer edge portion of the adhesive layer R1 is not crushed, leaving a dent, and it is considered that voids have occurred around the substrate.

また、弾性シート24が接着層R1より大きい場合、上述したように、基板の外縁部分が弾性シート24によって余分に押し上げられることになる。そのため、接着層R1の伸展が阻害され、外縁付近にボイドが発生したと考えられる。図12(B)の比較例3の圧力分布図を見てわかるように、図中の上下右に色が相違する部分があり、基板のこれらに相当する部分の圧力分布が不均衡であることが分かる。図中の下方外縁部はやや強く圧力が生じているが、その上側やや中央付近にある白い部分は圧力が弱い。図中右および上部分のやや白く見える部分も圧力が弱い。貼り合せ試験では、圧力分布に見られたほぼ外縁全体にわたる低圧力部分において、ボイドの発生が確認された。   When the elastic sheet 24 is larger than the adhesive layer R1, the outer edge portion of the substrate is excessively pushed up by the elastic sheet 24 as described above. Therefore, it is considered that the extension of the adhesive layer R1 is inhibited and a void is generated in the vicinity of the outer edge. As can be seen from the pressure distribution diagram of Comparative Example 3 in FIG. 12B, there are portions with different colors on the upper and lower right sides in the diagram, and the pressure distribution of these portions of the substrate is unbalanced. I understand. The lower outer edge in the figure has a slightly strong pressure, but the white portion on the upper side and near the center has a low pressure. In the right and upper part of the figure, the part that appears slightly white is also weak in pressure. In the bonding test, the generation of voids was confirmed in the low pressure portion over almost the entire outer edge seen in the pressure distribution.

一方、接着層R1と同じ形状及び大きさの弾性シート24を用いた実施例1は、ボイドの発生が無い。図11(A)の圧力分布図からわかるように、実施例1においては、概ね基準圧力の94%以上で圧力分布が均一になっている。したがって、弾性シート24を基板の接着層R1が形成された部分が均一に押圧され、ボイドが効果的に低減されていることがわかる。   On the other hand, in Example 1 using the elastic sheet 24 having the same shape and size as the adhesive layer R1, no voids are generated. As can be seen from the pressure distribution diagram of FIG. 11A, in Example 1, the pressure distribution is substantially uniform at 94% or more of the reference pressure. Therefore, it can be seen that the elastic sheet 24 is uniformly pressed at the portion of the substrate where the adhesive layer R1 is formed, and voids are effectively reduced.

<弾性シートの材料について>
弾性シート24の材料として発泡シリコンを使用した実施例1及び実施例2は、ボイドの発生が無かった。発泡シリコンは独立孔が形成されているため、内包される空気によって高い弾力性を有し、接着層R1を均一に押圧できたからと考えられる。
<About the material of the elastic sheet>
In Example 1 and Example 2 in which foamed silicon was used as the material of the elastic sheet 24, no void was generated. Since foamed silicon has independent holes, it is considered that the foamed silicon has high elasticity due to the air contained therein and was able to press the adhesive layer R1 uniformly.

一方、比較例4で使用する発泡ウレタンは空孔を有するものではあるが、全面的にボイドが発生してしまっている。これは、発泡ウレタンが連続孔を有するものであり、内包する空気が逃げやすく、接着層R1を押圧する力が弱いためと考えられる。   On the other hand, although the urethane foam used in Comparative Example 4 has pores, voids are generated entirely. This is presumably because the urethane foam has continuous holes, the air contained therein is easy to escape, and the force pressing the adhesive layer R1 is weak.

実施例3及び実施例4は、空孔の無いシリコンゲル及びニトリルゴムを使用している。実施例3及び実施例4とも、一部にはボイドが発生しているが、全面的なボイドの発生は防止できている。シリコンゲル及びニトリルゴムとも、空孔は形成されていないが弾性を有する材料であるため、ボイドをある程度低減できると考えられる。ただし、シリコンゲルにおけるボイドの発生には別の要因も考えられる。シリコンゲルは非常に柔らかい素材であるため、貼り合せの際シリコンゲルが伸展して下側プレートから基板側にはみ出し、押圧解放後も基板に貼りついてしまった。貼りついたシリコンゲルを剥がす際に接着層R1の一部も引きはがしてしまったため、基板の一辺に接着層R1によって接着されない部分が生じてしまった。結果としてボイドが発生することになったと考えられる。   Examples 3 and 4 use silicon gel and nitrile rubber without voids. In both Example 3 and Example 4, voids are generated in part, but generation of the entire void can be prevented. Both silicon gel and nitrile rubber are considered to be able to reduce voids to some extent because they do not have pores but are elastic materials. However, another factor can be considered for the generation of voids in the silicon gel. Since silicon gel is a very soft material, the silicon gel stretched during bonding and protruded from the lower plate to the substrate side, and stuck to the substrate even after the pressure was released. Since part of the adhesive layer R1 was also peeled off when the adhered silicon gel was peeled off, a portion that was not adhered by the adhesive layer R1 was formed on one side of the substrate. As a result, it is thought that voids were generated.

ニトリルゴムを用いた実施例4については、図11(B)に圧力分布を示しているが、図中、中央部、上及び右側の縁部に圧力の低い部分が確認できる。図の中心は濃く見えるが、これはカラーチャートの下方の、圧力基準値の10%程度の圧力を示すものであり、圧力がかなり低いことが確認できる。上及び右側の縁部の薄く見える部分は、圧力基準値の50〜70%の圧力を示している。中央部の圧力の低い部分を取り囲んでいる部分は、圧力基準値のほぼ100%の圧力を示している。すなわち、実施例4では、ボイドを低減する効果はあるが、圧力差が大きいことがわかる。   About Example 4 using nitrile rubber, although pressure distribution is shown in Drawing 11 (B), a low pressure part can be checked in a central part, a top, and a right edge in the figure. Although the center of the figure appears dark, this indicates a pressure of about 10% of the pressure reference value below the color chart, and it can be confirmed that the pressure is quite low. The thinly visible portions of the upper and right edges indicate a pressure of 50-70% of the pressure reference value. The portion surrounding the low pressure portion in the center shows a pressure that is almost 100% of the pressure reference value. That is, in Example 4, although there is an effect of reducing voids, it can be seen that the pressure difference is large.

<弾性シートの硬度について>
上述したように、実施例3では接着層R1が一部引きはがされるという現象が確認されたが、その一因はシリコンゲルがアスカーC硬度計では測定不可能なほど柔らかい素材であったためと考えられる。この結果から、弾性シート24は少なくともアスカーC硬度計で測定可能な程度の硬度を有することが望ましい。さらに、実施例1,2及び4の硬度15,35,85の弾性シート24がいずれもボイドを低減する効果が確認できることから、硬度は15以上85以下であることが望ましい。
<About the hardness of the elastic sheet>
As described above, in Example 3, the phenomenon that the adhesive layer R1 was partially peeled was confirmed, but one reason was that the silicon gel was so soft that it could not be measured with an Asker C hardness meter. it is conceivable that. From this result, it is desirable that the elastic sheet 24 has at least a hardness that can be measured with an Asker C hardness tester. Furthermore, since the elastic sheets 24 having the hardness of 15, 35, and 85 in Examples 1, 2, and 4 can confirm the effect of reducing voids, the hardness is desirably 15 or more and 85 or less.

[試験2]
弾性シート24の硬度は、弾性シート24の経時変化にも影響すると考えられる。そのため、硬度35の発泡シリコンを用いた実施例1と、硬度15の発泡シリコンを用いた実施例2と、硬度85のニトリルゴムを用いた実施例4に対して耐久試験を行った。
[Test 2]
It is considered that the hardness of the elastic sheet 24 affects the change with time of the elastic sheet 24. Therefore, an endurance test was performed on Example 1 using foamed silicon having a hardness of 35, Example 2 using foamed silicon having a hardness of 15, and Example 4 using nitrile rubber having a hardness of 85.

耐久試験として、以下の条件で貼り合せ試験を600回行い、1回目の貼り合せと600回目の貼り合せにおける、各実施例のボイドの発生の有無を確認した。
・貼り合せ時押圧力…3.0kg/cm
・基板…ガラス製、152.4×91.4(mm)の長方形、厚さ0.7mm
・貼合せ時雰囲気圧力…30Pa
・接着材…厚さ150μmの粘着フィルム
・接着層…152.4×91.4(mm)(基板と同形状及び同じ大きさになるように粘着フィルムを裁断)
・弾性シート…厚さ3mm
耐久試験は試験1の貼り合せ試験とほぼ同条件であるが、接着材として紫外線硬化樹脂の代わりに粘着フィルムを用いている。そのため、仮硬化も行わなかった。
As an endurance test, a bonding test was performed 600 times under the following conditions, and whether or not voids were generated in each example was confirmed in the first bonding and the 600th bonding.
・ Pressing force during bonding: 3.0 kg / cm 2
-Substrate: glass, rectangular of 152.4 x 91.4 (mm), thickness 0.7mm
・ Atmospheric pressure at the time of bonding: 30Pa
・ Adhesive: Adhesive film with a thickness of 150 μm ・ Adhesive layer: 152.4 × 91.4 (mm) (Adhesive film is cut to have the same shape and size as the substrate)
-Elastic sheet: 3mm thick
The durability test is almost the same condition as the bonding test of Test 1, but an adhesive film is used instead of the ultraviolet curable resin as an adhesive. Therefore, temporary hardening was not performed.

更に、実施例1、実施例2及び実施例4について試験1と同じ条件で600回の圧力分布測定試験も行った。   Furthermore, 600 pressure distribution measurement tests were also performed on Example 1, Example 2, and Example 4 under the same conditions as in Test 1.

各試験の結果について、以下の表2に示す。
The results of each test are shown in Table 2 below.

図13(A)は実施例1の1回目の圧力分布測定試験における圧力分布図であり、図13(B)は実施例1の600回目の圧力分布図である。図14(A)は実施例2の1回目の圧力分布測定試験における圧力分布図であり、図14(B)は実施例2の600回目の圧力分布図である。図15(A)は実施例4の1回目の圧力分布測定試験における圧力分布図であり、図15(B)は実施例4の600回目の圧力分布図である。   13A is a pressure distribution diagram in the first pressure distribution measurement test of Example 1, and FIG. 13B is a 600th pressure distribution diagram of Example 1. FIG. FIG. 14A is a pressure distribution diagram in the first pressure distribution measurement test of Example 2, and FIG. 14B is a 600th pressure distribution diagram of Example 2. 15A is a pressure distribution diagram in the first pressure distribution measurement test of Example 4, and FIG. 15B is a 600th pressure distribution diagram of Example 4. FIG.

硬度35の発泡シリコンを使用した実施例1では、600回の貼り合せを行っても、ボイドの発生は無かった。また、図13(A)及び図13(B)からわかるように、1回目においても600回目においても、圧力分布はほぼ均一だった。むしろ、600回目の方がより均一になっている。したがって、硬度35の発泡シリコンにおいては経時変化が少ないことがわかる。   In Example 1 using foamed silicon having a hardness of 35, no voids were generated even after 600 times of bonding. Further, as can be seen from FIGS. 13A and 13B, the pressure distribution was almost uniform both at the first time and at the 600th time. Rather, the 600th time is more uniform. Therefore, it can be seen that foamed silicon having a hardness of 35 has little change with time.

硬度15の発泡シリコンを用いた実施例2でも、600回の貼り合せを行っても、ボイドの発生は無かった。ただし、図14(A)及び図14(B)を比較するとわかるように、1回目において圧力分布は均一であったが、600回目においては、図中の上部に白い部分が生じており、やや圧力が弱い部分が発生している。すなわち、硬度15の発泡シリコンにおいては経時変化が認められた。   Even in Example 2 using foamed silicon having a hardness of 15, no voids were generated even after 600 times of bonding. However, as can be seen by comparing FIG. 14A and FIG. 14B, the pressure distribution was uniform at the first time, but at the 600th time, a white portion was generated at the top in the figure, The part where pressure is weak has occurred. That is, changes with time were observed in the foamed silicon having a hardness of 15.

硬度85のニトリルゴムを用いた実施例4では、試験1の結果と異なりボイドが確認されなかったが、これは、接着材として、縁部に盛り上がりが形成される接着剤の代わりに面が均一な粘着フィルムを用いたことが原因と考えられる。ただし、圧力分布は図15(A)に示すように、中央に白い部分があり、基板中央部に圧力の弱い部分が確認できる。また、600回目においては図15(B)に示すように、中央の白い部分が増えており、中央の圧力の弱い部分が拡大していることがわかる。そのため、粘着フィルムを用いていても、基板中央にボイドの発生が確認された。すなわち、硬度85のニトリルゴムにおいて経時変化が認められた。   In Example 4 using nitrile rubber having a hardness of 85, no void was confirmed unlike the result of Test 1, but this is a uniform surface instead of an adhesive that forms a bulge at the edge as an adhesive. This is thought to be due to the use of an adhesive film. However, as shown in FIG. 15A, the pressure distribution has a white portion at the center and a weak pressure portion at the center of the substrate. In addition, at the 600th time, as shown in FIG. 15B, it can be seen that the white portion at the center is increased and the weak portion at the center is enlarged. Therefore, even if the adhesive film was used, generation | occurrence | production of the void was confirmed in the board | substrate center. That is, a change with time was observed in a nitrile rubber having a hardness of 85.

以上の結果から、弾性シート24を経時変化による影響を受けにくいものにするためには、弾性シートの硬度を硬度15よりも大きくし、85よりも小さくすることが望ましい。硬度が15以下であると、経時変化によって弾性シート24が沈み込みやすくなり、接着層を十分に押圧できなくなり、ボイドの発生が増加する可能性があると考えられる。また、硬度が85以上であると、経時変化によってより弾性シートが硬くなり、やはり接着層を十分に押圧できなくなり、ボイドの発生が増加する可能性があると考えられる。弾性シート24の硬度を35とすると、より望ましい結果が得られる。もちろん、これは経時変化の影響という観点からの望ましさであって、硬度15や硬度85であっても、定期的に弾性シート24を交換することによって、ボイドを適切に低減することができる。   From the above results, it is desirable that the hardness of the elastic sheet is greater than the hardness 15 and smaller than 85 in order to make the elastic sheet 24 less susceptible to the change with time. If the hardness is 15 or less, it is considered that the elastic sheet 24 is likely to sink due to changes over time, the adhesive layer cannot be sufficiently pressed, and the generation of voids may increase. Further, when the hardness is 85 or more, it is considered that the elastic sheet becomes harder due to a change with time, and the adhesive layer cannot be sufficiently pressed, and the generation of voids may increase. If the hardness of the elastic sheet 24 is 35, a more desirable result can be obtained. Of course, this is the desirability from the viewpoint of the influence of change over time. Even if the hardness is 15 or 85, voids can be appropriately reduced by periodically replacing the elastic sheet 24.

[効果]
(1)本実施形態の基板貼合装置20は、液晶パネルS1と保護パネルS2を、液晶パネルS1の表面に形成された接着層R1を介して貼り合わせるものであり、液晶パネルS1を支持する支持部としての下側プレート22と、保護パネルS2を液晶パネルS1に対向する位置において保持する保持部としての上側プレート23と、上側プレート23を駆動することにより接着層R1を介して液晶パネルS1と保護パネルS2を貼り合せる昇降機構25と、下側プレート22の表面上に設けられ、接着層R1と略同じ形状と大きさを有し、液晶パネルS1の接着層R1が形成された部分のみを押圧する弾性シート24と、を備える。具体的には、弾性シート24の液晶パネルS1と接する面が、接着層R1の液晶パネルS1に付着する面と、相似形状で略同じ大きさを持つ。
[effect]
(1) The board | substrate bonding apparatus 20 of this embodiment bonds liquid crystal panel S1 and protective panel S2 through the contact bonding layer R1 formed in the surface of liquid crystal panel S1, and supports liquid crystal panel S1. A lower plate 22 as a support portion, an upper plate 23 as a holding portion that holds the protective panel S2 at a position facing the liquid crystal panel S1, and a liquid crystal panel S1 through the adhesive layer R1 by driving the upper plate 23 And a lifting mechanism 25 for bonding the protective panel S2, and a portion provided on the surface of the lower plate 22, having substantially the same shape and size as the adhesive layer R1, and only the portion where the adhesive layer R1 of the liquid crystal panel S1 is formed. And an elastic sheet 24 that presses. Specifically, the surface of the elastic sheet 24 that contacts the liquid crystal panel S1 has a similar shape and substantially the same size as the surface of the adhesive layer R1 that adheres to the liquid crystal panel S1.

液晶パネルS1と保護パネルS2を弾性シート24を介して貼り合せることにより、パネル表面に不均一な部分やうねりがあったり、上側プレート23及び下側プレート22の平行度や平面度に多少の誤差があっても、接着層R1に押圧力を均一に伝達することができる。また、弾性シート24を接着層R1と相似形状で略同じ大きさとすることによって、液晶パネルS1の接着層R1が形成された部分のみを押圧することができる。そのため、接着層R1が形成されていない部分には余分な力が掛からず、接着層R1は十分に伸展して液晶パネルS1と保護パネルS2に密着し、ボイドの発生を低減することができる。これによって、不良の少ない積層パネルS10を製造することが可能である。   By bonding the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2 via the elastic sheet 24, there are uneven portions and undulations on the panel surface, and there are some errors in the parallelism and flatness of the upper plate 23 and the lower plate 22. Even if there is, the pressing force can be uniformly transmitted to the adhesive layer R1. Further, by making the elastic sheet 24 similar in shape and substantially the same size as the adhesive layer R1, only the portion of the liquid crystal panel S1 where the adhesive layer R1 is formed can be pressed. Therefore, no extra force is applied to the portion where the adhesive layer R1 is not formed, and the adhesive layer R1 extends sufficiently to adhere to the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2, thereby reducing the generation of voids. Thereby, it is possible to manufacture the laminated panel S10 with few defects.

(2)弾性シート24は、独立孔を有する発泡樹脂から構成しても良い。弾性シートが、気体を内包しさらにその気体が抜けにくい独立孔を有することで、高い弾力性を長時間維持することができる。これによって、ボイドの発生をより低減することができる。 (2) The elastic sheet 24 may be made of a foamed resin having independent holes. High elasticity can be maintained for a long time because the elastic sheet includes an independent hole that encloses a gas and further prevents the gas from escaping. Thereby, generation | occurrence | production of a void can be reduced more.

(3)本実施形態の表示パネル製造装置100は、上述の基板貼合装置20を貼り合せ部2として備える。さらに、液晶パネルS1の表面に接着剤Rを塗布して接着層R1を形成する接着剤塗布装置10を塗布部1として備え、貼り合せ部2において貼り合わされた積層パネルS10の接着層R1を硬化させる硬化装置30を硬化部3として備え、液晶パネルS1及び保護パネルS2を、塗布部1、貼り合せ部2及び硬化部3の間で搬送する搬送部4とを備える。 (3) The display panel manufacturing apparatus 100 of this embodiment includes the above-described substrate bonding apparatus 20 as the bonding unit 2. Further, an adhesive application device 10 that forms an adhesive layer R1 by applying an adhesive R to the surface of the liquid crystal panel S1 is provided as the application unit 1, and the adhesive layer R1 of the laminated panel S10 bonded in the bonding unit 2 is cured. The curing device 30 is provided as the curing unit 3, and includes a transport unit 4 that transports the liquid crystal panel S <b> 1 and the protection panel S <b> 2 between the coating unit 1, the bonding unit 2, and the curing unit 3.

上記(1)で述べたように、基板貼合装置20においてボイドの発生を低減することができるため、本実施形態の表示パネル製造装置100は、品質の良好な液晶表示パネルLを製造可能であり、かつ製造効率も向上することができる。   As described in (1) above, since the generation of voids can be reduced in the substrate bonding apparatus 20, the display panel manufacturing apparatus 100 of the present embodiment can manufacture a liquid crystal display panel L with good quality. And manufacturing efficiency can be improved.

[その他の実施形態]
(1)上述の実施形態では、基板貼合装置20の上側プレート23が液晶パネルS1を支持し、下側プレート22が保護パネルS2を保持していたが、これに限られない。下側プレート22が保護パネルS2を支持し、上側プレート23が液晶パネルS1を保持しても良い。
[Other Embodiments]
(1) In the above-described embodiment, the upper plate 23 of the substrate bonding apparatus 20 supports the liquid crystal panel S1 and the lower plate 22 holds the protective panel S2. However, the present invention is not limited to this. The lower plate 22 may support the protective panel S2, and the upper plate 23 may hold the liquid crystal panel S1.

(2)上述の実施形態では、液晶パネルS1の表面に接着剤Rを塗布したが、代わりに保護パネルS2の表面に塗布しても良い。あるいは、液晶パネルS1及び保護パネルS2の両方の表面に塗布しても良い。 (2) In the above-described embodiment, the adhesive R is applied to the surface of the liquid crystal panel S1, but may instead be applied to the surface of the protective panel S2. Or you may apply | coat to the surface of both liquid crystal panel S1 and protection panel S2.

(3)上述の実施形態では、下側プレート22に弾性シート24を取り付けたが、代わりに上側プレート23に弾性シート24を取り付けても良い。あるいは、下側プレート22と上側プレート23の両方に弾性シート24を取り付けても良い。 (3) Although the elastic sheet 24 is attached to the lower plate 22 in the above-described embodiment, the elastic sheet 24 may be attached to the upper plate 23 instead. Alternatively, the elastic sheet 24 may be attached to both the lower plate 22 and the upper plate 23.

(4)上述の実施形態では、上側プレート23に昇降機構を設けたが、代わりに下側プレート22に昇降機構を設けても良い。あるいは、下側プレート22と上側プレート23の両方に昇降機構を設けても良い。 (4) In the above-described embodiment, the elevating mechanism is provided on the upper plate 23, but the elevating mechanism may be provided on the lower plate 22 instead. Alternatively, an elevating mechanism may be provided on both the lower plate 22 and the upper plate 23.

(5)上述の実施形態では、貼り合せを行う基板として、液晶パネルS1と保護パネルS2を例に説明したが、これに限られず、各種の基板を用いることができる。例えば、有機ELパネルや操作用のタッチパネルを用いることができる。また、貼り合せる基板も一対に限られない。液晶パネルや保護パネルの他にタッチパネルを貼り合せたり、あるいは保護パネルを上下に貼り合せる等して、3枚以上の基板や二対以上の基板を貼り合せても良い。 (5) In the above-described embodiment, the liquid crystal panel S1 and the protection panel S2 have been described as examples of the substrates to be bonded. However, the present invention is not limited to this, and various substrates can be used. For example, an organic EL panel or a touch panel for operation can be used. Further, a pair of substrates to be bonded is not limited to a pair. In addition to the liquid crystal panel and the protective panel, a touch panel may be bonded, or the protective panel may be bonded up and down, or three or more substrates or two or more substrates may be bonded.

(6)上述の実施形態では、表示パネル製造装置の塗布部1と貼り合せ部2は、別体の接着剤塗布装置10と基板貼合装置20として構成したが、同一の装置として構成しても良い。例えば、上側プレート23と下側プレート22が対向配置されたチャンバ21内に、塗布ユニット12とUV照射ユニット13を移動可能に設け、下側プレート22を塗布部1のステージ11として用いる。すなわち、下側プレート22に載置した液晶パネルS1に接着剤Rを塗布して仮硬化した後に、塗布ユニット12とUV照射ユニット13を下側プレート22上から退避させ、貼り合せを行っても良い。 (6) In the above-described embodiment, the application unit 1 and the bonding unit 2 of the display panel manufacturing apparatus are configured as the separate adhesive application device 10 and the substrate bonding device 20, but are configured as the same device. Also good. For example, the coating unit 12 and the UV irradiation unit 13 are movably provided in a chamber 21 in which the upper plate 23 and the lower plate 22 are arranged to face each other, and the lower plate 22 is used as the stage 11 of the coating unit 1. That is, after the adhesive R is applied to the liquid crystal panel S1 placed on the lower plate 22 and temporarily cured, the coating unit 12 and the UV irradiation unit 13 are retracted from the lower plate 22 and bonded. good.

(7)上述の実施形態では、弾性シート24が、基板表面に形成される接着層R1と相似形状で略同じ大きさになるように、基板の形状と大きさに応じて弾性シート24を交換するようにしていたが、代わりに、塗布ユニット12において接着層Rの塗布領域を調整し、接着層R1を弾性シート24と相似形状で略同じ大きさになるようにしても良い。これによって、弾性シート24は固定の形状と大きさのものを用いることができる。 (7) In the above-described embodiment, the elastic sheet 24 is replaced according to the shape and size of the substrate so that the elastic sheet 24 has a shape similar to that of the adhesive layer R1 formed on the substrate surface. However, instead, the application region of the adhesive layer R may be adjusted in the application unit 12 so that the adhesive layer R1 has a similar shape to the elastic sheet 24 and has substantially the same size. As a result, the elastic sheet 24 having a fixed shape and size can be used.

(8)上述の実施形態では、接着剤塗布装置10の仮硬化部として、UV照射ユニット13を用いたが、これに限られない。例えば、電磁波照射ユニット、放射線照射ユニット、あるいは赤外線照射ユニットやヒーターを用いることができる。使用する接着剤についても、仮硬化の態様に合わせて、電磁波により硬化する樹脂、放射線により硬化する樹脂、あるいは熱硬化型樹脂を用いることができる。 (8) In the above-described embodiment, the UV irradiation unit 13 is used as the temporary curing portion of the adhesive application device 10, but is not limited thereto. For example, an electromagnetic wave irradiation unit, a radiation irradiation unit, an infrared irradiation unit, or a heater can be used. Also for the adhesive to be used, a resin curable by electromagnetic waves, a resin curable by radiation, or a thermosetting resin can be used according to the mode of temporary curing.

(9)上述の実施形態では、ディスペンサ14としてスリットコータを用いた場合の盛り上がりを押し潰す必要性を説明したが、マルチノズルを用いた場合にも本発明は適用可能である。すなわち、基板にマルチノズルで複数列に塗布した後に、接着剤を展延すると、形成された接着層R1の表面にはマルチノズル吐出の痕跡により凸凹が形成される。したがって、弾性シート24によってこの接着層R1を均一に押圧することによって、凹凸を押し潰すことができる。つまり、塗布の手段や基板のうねりやたわみの状態にかかわらず、ボイドのない貼り合わせを行なうことが出来るので、製品の品質を良好に安定させるとともにその製造コストも低減することが出来る。 (9) In the above-described embodiment, the necessity of crushing the swell when the slit coater is used as the dispenser 14 has been described, but the present invention can also be applied when a multi-nozzle is used. That is, when the adhesive is spread after being applied to the substrate in multiple rows by a multi-nozzle, irregularities are formed on the surface of the formed adhesive layer R1 due to traces of multi-nozzle discharge. Therefore, the unevenness can be crushed by uniformly pressing the adhesive layer R1 with the elastic sheet 24. In other words, the void-free bonding can be performed regardless of the application means and the state of waviness or deflection of the substrate, so that the product quality can be stabilized well and the manufacturing cost can be reduced.

(10)上述の実施形態では、塗布部1において、接着剤Rの塗布後に仮硬化を行ったが、例えば接着剤Rの粘度が高く、塗布形状が崩れにくいような場合には、仮硬化を行わなくても良い。また、貼り合せ部2において、基板貼合装置20のチャンバ21内部を減圧して真空下で貼り合せを行ったが、大気下で貼り合せを行っても良い。これらの場合は、仮硬化や密閉し減圧する空間を形成するために必要な手段を設けなくて済むので、より低コストに装置を構成でき、低コストで表示パネルを製造できる。 (10) In the above-described embodiment, the application unit 1 performs temporary curing after the application of the adhesive R. However, for example, when the adhesive R has a high viscosity and the application shape is unlikely to collapse, the temporary curing is performed. It does not have to be done. Moreover, in the bonding part 2, the inside of the chamber 21 of the substrate bonding apparatus 20 is decompressed and bonded in a vacuum, but may be bonded in the air. In these cases, since it is not necessary to provide means necessary for forming a space for temporary curing or sealing and decompressing, the apparatus can be configured at a lower cost, and a display panel can be manufactured at a lower cost.

1 塗布部
2 貼り合せ部
3 硬化部
4 搬送部
5 ローダ
6 アンローダ
7 制御装置
10 接着剤塗布装置
11 ステージ
12 塗布ユニット
13 UV照射ユニット
14 ディスペンサ
20 基板貼合装置
21 チャンバ
22 下側プレート
23 上側プレート
24 弾性シート
25 昇降機構
30 硬化装置
31 ステージ
33 UV照射ユニット
40 タクタイルセンサ
100 表示パネル製造装置
R 接着剤
R1 接着層
S1 液晶パネル
S2 保護パネル
S10 積層パネル
L 液晶表示パネル
T タンク

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Application | coating part 2 Bonding part 3 Curing part 4 Conveying part 5 Loader 6 Unloader 7 Control apparatus 10 Adhesive application apparatus 11 Stage 12 Application unit 13 UV irradiation unit 14 Dispenser 20 Substrate bonding apparatus 21 Chamber 22 Lower plate 23 Upper plate 24 Elastic sheet 25 Elevating mechanism 30 Curing device 31 Stage 33 UV irradiation unit 40 Tactile sensor 100 Display panel manufacturing apparatus R Adhesive R1 Adhesive layer S1 Liquid crystal panel S2 Protective panel S10 Multilayer panel L Liquid crystal display panel T Tank

本発明の表示パネル製造装置は、表示用パネルを含む一対の基板が接着層を介して貼り合わされた表示パネルを製造するものであり、一対の基板の、少なくとも一方の基板の表面に接着層を形成する接着層形成部と、前記一対の基板を、前記接着層を介して貼り合わせる貼り合せ部と、前記一対の基板を、前記接着層形成部と前記貼り合せ部の間で搬送する搬送部と、を有し、前記貼り合せ部は、第1の基板を支持する支持部と、第2の基板を、前記第1の基板に対向する位置において保持する保持部と、前記支持部及び前記保持部の少なくとも一方を駆動することにより、前記接着層を介して一対の基板を貼り合わせる駆動部と、前記支持部又は前記保持部の表面上に設けられ、前記接着層と相似形状で略同じ大きさを有し、前記第1又は第2の基板の前記接着層が形成された部分のみを押圧する弾性シートと、を備える。 The display panel manufacturing apparatus of the present invention manufactures a display panel in which a pair of substrates including a display panel are bonded via an adhesive layer, and an adhesive layer is provided on the surface of at least one of the pair of substrates. An adhesive layer forming part to be formed, a bonding part for bonding the pair of substrates through the adhesive layer, and a transport part for transferring the pair of substrates between the adhesive layer forming part and the bonding part And the bonding unit includes a support unit that supports the first substrate, a holding unit that holds the second substrate at a position facing the first substrate, the support unit, and the By driving at least one of the holding parts, the driving part for bonding a pair of substrates through the adhesive layer is provided on the surface of the support part or the holding part, and is substantially the same in shape similar to the adhesive layer Having the size, the first or Comprising an elastic sheet to press only the portion where the adhesive layer is formed of a second substrate.

塗布ユニット12は、液晶パネルS1に対して接着剤Rを塗布する。塗布ユニット12は、接着剤Rを収容するタンクTと、配管を介してタンクTに接続されたディスペンサ14とを備えているディスペンサ14として、たとえば、先端にスリットのノズルを備えたスリットコータを用いることができる。ディスペンサ14は走査装置(図示せず)によってステージ11上を移動可能に構成され、タンクTに収容された接着剤Rを液晶パネルS1に吐出する。また、走査装置によって接着剤Rの塗布領域を調整可能である。また、塗布ユニット12は、不図示の進退駆動手段を備えており、塗布ユニット12をステージ11に対して進退可能に駆動する。もちろん、塗布ユニット12とステージ11が相対的に移動されれば良く、ステージ11が駆動されても良い。 The application unit 12 applies the adhesive R to the liquid crystal panel S1. The application unit 12 includes a tank T that stores the adhesive R, and a dispenser 14 that is connected to the tank T via a pipe . As the dispenser 14, for example, a slit coater provided with a slit- like nozzle at the tip can be used. The dispenser 14 is configured to be movable on the stage 11 by a scanning device (not shown), and discharges the adhesive R accommodated in the tank T to the liquid crystal panel S1. Further, the application region of the adhesive R can be adjusted by the scanning device. Further, the coating unit 12 includes an advancing / retreating drive unit (not shown), and drives the coating unit 12 so as to be able to advance and retract with respect to the stage 11. Of course, the coating unit 12 and the stage 11 may be moved relatively, and the stage 11 may be driven.

なお、必ずしも発泡樹脂のすべての空孔が独立孔である必要はなく、概ね80%以上が独立孔であれば、連続孔が存在していても良い。また、弾性シート24の表裏面には孔が存在せず、内部のみに存在していてもよい。また、表裏面に連続孔が形成され、内部独立孔が形成されていても良い。この場合は、内部の空孔の概ね80以上が独立孔であれ良い。 In addition, it is not always necessary that all the pores of the foamed resin are independent holes. If approximately 80% or more are independent holes, continuous holes may exist. Moreover, the hole may not exist in the front and back of the elastic sheet 24, and you may exist only inside. Moreover, the continuous hole may be formed in the front and back, and the independent hole may be formed in the inside. In this case, approximately 80 % or more of the internal holes may be independent holes.

ここで、基板貼合装置20が弾性シート24を備えておらず、液晶パネルS1が下側プレート22上に直接載置された場合に、生じ得る事態について説明する。図5(A)に示すように、液晶パネルS1にうねりやしなりがあってその表面が不均一な状態であった場合には、下側プレート22と液晶パネルS1の間にはわずかな隙間が生じる。この隙間によって、接着層R1に下側プレート22の押圧力が接着層R1に均一に伝達されない可能性がある。特に、上述したように、接着剤Rの塗布にスリットコーを用いた場合には、接着層R1の外縁部に盛り上がりが生じ、さらにその内側に凹んだ部分が生じることがある。この盛り上がりを十分に伸展できなければ、図5(B)に示すように、盛り上がりの内側の凹んだ部分が残ってしまう可能性がある。特に、接着剤の塗布後貼り合せ前に仮硬化を行った場合、接着剤は伸展し難くなるので、その影響は顕著となる。 Here, a situation that may occur when the substrate bonding apparatus 20 does not include the elastic sheet 24 and the liquid crystal panel S1 is directly placed on the lower plate 22 will be described. As shown in FIG. 5A, when the liquid crystal panel S1 has waviness and its surface is not uniform, a slight gap is formed between the lower plate 22 and the liquid crystal panel S1. Occurs. Due to this gap, the pressing force of the lower plate 22 may not be uniformly transmitted to the adhesive layer R1. In particular, as described above, in the case of using a slit code data to the application of the adhesive R, it raised the outer edge of the adhesive layer R1 occurs, there may be a further part recessed inside occur. If this swell cannot be extended sufficiently, a recessed portion inside the swell may remain as shown in FIG. In particular, when pre-curing is performed after application of the adhesive and before bonding, the adhesive becomes difficult to extend, and the effect becomes significant.

図7に示すように、弾性シート24が接着層R1より大きい場合、液晶パネルS1の、接着層R1が形成されていない縁の部分が、弾性シート24によって余分に押し上げられることになる。それによって、液晶パネルS1の縁の部分がしなって、接着層R1を内側に押す力がはたらく。これによって接着層R1のパネル外縁方向への伸展が阻害され、外縁部の盛り上がりが十分に押し潰されず、凹み部分が残り、ボイドが生じてしまう可能性がある。 As shown in FIG. 7, when the elastic sheet 24 is larger than the adhesive layer R1, the edge portion of the liquid crystal panel S1 where the adhesive layer R1 is not formed is excessively pushed up by the elastic sheet 24. As a result, the edge portion of the liquid crystal panel S1 is bent, and a force that presses the adhesive layer R1 inward is applied. As a result, extension of the adhesive layer R1 toward the outer edge of the panel is hindered, and the rise of the outer edge is not sufficiently crushed, leaving a recessed portion, which may cause a void.

液晶パネルS1と保護パネルS2を貼り合せて形成された積層パネルS10は、不図示のピックアップ手段によって貼り合せ部2から搬出され、搬送部4搬送され、硬化部3に搬入される。 The laminated panel S10 formed by bonding the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2 is unloaded from the bonding unit 2 by pick-up means (not shown), conveyed by the conveyance unit 4 , and carried into the curing unit 3.

まず、図1に示すように、液晶パネルS1及び保護パネルS2が、ローダ5によって表示パネル製造装置100に搬入され、搬送部4搬送される。液晶パネルS1が不図示のピックアップ手段によって塗布部1に搬入され、図2に示すように、接着剤塗布装置10のステージ11に載置される。 First, as shown in FIG. 1, the liquid crystal panel S1 and the protection panel S2 is loaded into the display panel manufacturing apparatus 100 by the loader 5 is conveyed by the conveyor 4. The liquid crystal panel S1 is carried into the applicator 1 by pick-up means (not shown) and placed on the stage 11 of the adhesive applicator 10 as shown in FIG.

接着層R1が形成された液晶パネルS1は、塗布部1から搬出され、再び搬送部4搬送される。続いて、不図示のピックアップ手段によって貼り合せ部2に搬入され、図3(A)に示すように、基板貼合装置20の下側プレート22に載置される。このとき、接着層R1が形成された表面が上を向くように載置される。保護パネルS2も貼り合せ部2に搬入され、上側プレート23に受け渡されて保持機構により保持される。このとき、チャンバ21は上方に移動しているため、下側プレート22と上側プレート23は開放されている。両パネルの搬送が完了するとチャンバ21は下方に位置するように駆動され、下側プレート22と上側プレート23をチャンバ21の内部に収容する。チャンバ21内部には密閉空間が形成され、図示しない排気手段によって密閉空間内が減圧される。 The liquid crystal panel S1 on which the adhesive layer R1 is formed is unloaded from the coating unit 1 and is conveyed again by the conveying unit 4. Then, it carries in to the bonding part 2 by the pick-up means not shown, and is mounted in the lower plate 22 of the board | substrate bonding apparatus 20 as shown to FIG. 3 (A). At this time, it is placed so that the surface on which the adhesive layer R1 is formed faces upward. The protective panel S2 is also carried into the laminating section 2, transferred to the upper plate 23, and held by the holding mechanism. At this time, since the chamber 21 moves upward, the lower plate 22 and the upper plate 23 are opened. When the conveyance of both panels is completed, the chamber 21 is driven to be positioned below, and the lower plate 22 and the upper plate 23 are accommodated in the chamber 21. A sealed space is formed inside the chamber 21, and the inside of the sealed space is depressurized by an exhaust means (not shown).

液晶パネルS1と保護パネルS2の貼り合せが完了すると、減圧状態が解除され、チャンバを上方に移動し、密閉空間が開放される。積層パネルS10は、貼り合せ部2から搬出され、再び搬送部4搬送される。続いて、不図示のピックアップ手段によって硬化部3へ搬入される。なお、貼り合せ部2から硬化部3への搬送の過程で、積層パネルS10を一定時間、大気中で放置しても良い。この放置時間において、積層パネルS10が大気圧によって押圧されて安定する。また、接着層R1にボイドが残留していても、十分な時間放置することによって、ボイドも低減させることができる。 When the bonding of the liquid crystal panel S1 and the protective panel S2 is completed, the reduced pressure state is released, the chamber is moved upward, and the sealed space is opened. Laminated panel S10 is carried out from the lamination unit 2, it is conveyed by the conveyance unit 4 again. Subsequently, it is carried into the curing unit 3 by pick-up means (not shown). In the course of conveyance from the bonding unit 2 to the curing unit 3, the laminated panel S10 may be left in the air for a certain time. In this standing time, the laminated panel S10 is pressed and stabilized by the atmospheric pressure. Even if voids remain in the adhesive layer R1, the voids can be reduced by leaving them for a sufficient time.

また、弾性シート24が接着層R1より大きい場合、上述したように、基板の外縁部分が弾性シート24によって余分に押し上げられることになる。そのため、接着層R1の伸展が阻害され、外縁付近にボイドが発生したと考えられる。図12(B)の比較例3の圧力分布図を見てわかるように、図中の上下右に色が相違する部分があり、基板のこれらに相当する部分の圧力分布が不均衡であることが分かる。図中の下方外縁部はやや強く圧力が生じているが、その上側や中央付近にある白い部分は圧力が弱い。図中右および上部分のやや白く見える部分も圧力が弱い。貼り合せ試験では、圧力分布に見られたほぼ外縁全体にわたる低圧力部分において、ボイドの発生が確認された。 When the elastic sheet 24 is larger than the adhesive layer R1, the outer edge portion of the substrate is excessively pushed up by the elastic sheet 24 as described above. Therefore, it is considered that the extension of the adhesive layer R1 is inhibited and a void is generated in the vicinity of the outer edge. As can be seen from the pressure distribution diagram of Comparative Example 3 in FIG. 12B, there are portions with different colors on the upper and lower right sides in the diagram, and the pressure distribution of these portions of the substrate is unbalanced. I understand. The lower outer edge in the figure has a slightly strong pressure, but the white portion near the upper side and the center is weak. In the right and upper part of the figure, the part that appears slightly white is also weak in pressure. In the bonding test, the generation of voids was confirmed in the low pressure portion over almost the entire outer edge seen in the pressure distribution.

図13(A)は実施例1の1回目の圧力分布測定試験における圧力分布図であり、図13(B)は実施例1の600回目の圧力分布測定試験における圧力分布図である。図14(A)は実施例2の1回目の圧力分布測定試験における圧力分布図であり、図14(B)は実施例2の600回目の圧力分布測定試験における圧力分布図である。図15(A)は実施例4の1回目の圧力分布測定試験における圧力分布図であり、図15(B)は実施例4の600回目の圧力分布測定試験における圧力分布図である。 FIG. 13A is a pressure distribution diagram in the first pressure distribution measurement test of Example 1, and FIG. 13B is a pressure distribution diagram in the 600th pressure distribution measurement test of Example 1. FIG. FIG. 14A is a pressure distribution diagram in the first pressure distribution measurement test of Example 2, and FIG. 14B is a pressure distribution diagram in the 600th pressure distribution measurement test of Example 2. 15A is a pressure distribution diagram in the first pressure distribution measurement test of Example 4, and FIG. 15B is a pressure distribution diagram in the 600th pressure distribution measurement test of Example 4. FIG.

Claims (6)

一対の基板を、少なくとも一方の基板の表面に形成された接着層を介して貼り合わせる基板貼合装置であって、
第1の基板を支持する支持部と、
第2の基板を、前記第1の基板に対向する位置において保持する保持部と、
前記支持部及び前記保持部の少なくとも一方を駆動することにより、前記接着層を介して一対の基板を貼り合わせる駆動部と、
前記支持部又は前記保持部の表面上に設けられ、前記接着層と相似形状で略同じ大きさを有し、前記第1又は第2の基板の前記接着層が形成された部分のみを押圧する弾性シートと、を備えることを特徴とする基板貼合装置。
A substrate laminating apparatus for laminating a pair of substrates via an adhesive layer formed on the surface of at least one substrate,
A support for supporting the first substrate;
A holding unit for holding the second substrate at a position facing the first substrate;
A drive unit that bonds a pair of substrates through the adhesive layer by driving at least one of the support unit and the holding unit;
Provided on the surface of the support portion or the holding portion, has a shape similar to that of the adhesive layer and has substantially the same size, and presses only the portion of the first or second substrate on which the adhesive layer is formed. A substrate bonding apparatus comprising: an elastic sheet.
前記弾性シートは、前記第1又は第2の基板と接する面が、前記接着層の前記第1又は第2の基板に付着する面と、相似形状で略同じ大きさを有することを特徴とする請求項1記載の基板貼合装置。   The elastic sheet is characterized in that the surface in contact with the first or second substrate has a similar shape and substantially the same size as the surface of the adhesive layer attached to the first or second substrate. The board | substrate bonding apparatus of Claim 1. 前記弾性シートは、独立孔を有する発泡樹脂から構成されることを特徴とする請求項1又は2記載の基板貼合装置。   The said elastic sheet is comprised from the foaming resin which has an independent hole, The board | substrate bonding apparatus of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 表示用パネルを含む一対の基板が接着層を介して貼り合わされた表示パネルの製造装置であって、
一対の基板の、少なくとも一方の基板の表面に接着層を形成する接着層形成部と、
前記一対の基板を、前記接着層を介して貼り合わせる貼り合せ部と、
前記一対の基板を、前記塗布部、前記貼り合せ部及び前記硬化部の間で搬送する搬送部と、を有し、
前記貼り合せ部は、
第1の基板を支持する支持部と、
第2の基板を、前記第1の基板に対向する位置において支持する保持部と、
前記支持部及び前記保持部の少なくとも一方を駆動することにより、前記接着層を介して一対の基板を貼り合わせる駆動部と、
前記支持部又は前記保持部の表面上に設けられ、前記接着層と相似形状と略同じ大きさを有し、前記第1又は第2の基板の前記接着層が形成された部分のみを押圧する弾性シートと、を備えることを特徴とする表示パネル製造装置。
A display panel manufacturing apparatus in which a pair of substrates including a display panel are bonded together through an adhesive layer,
An adhesive layer forming portion for forming an adhesive layer on the surface of at least one of the pair of substrates;
A bonding portion for bonding the pair of substrates through the adhesive layer;
A transport unit that transports the pair of substrates between the coating unit, the bonding unit, and the curing unit;
The bonding part is
A support for supporting the first substrate;
A holding unit for supporting the second substrate at a position facing the first substrate;
A drive unit that bonds a pair of substrates through the adhesive layer by driving at least one of the support unit and the holding unit;
Provided on the surface of the support part or the holding part, and has only the same size as the adhesive layer and presses only the part of the first or second substrate on which the adhesive layer is formed. A display panel manufacturing apparatus comprising: an elastic sheet.
前記接着層形成部は、接着剤を前記少なくとも一方の基板の表面に塗布して前記接着層を形成する接着剤塗布装置を備え、
前記接着剤塗布装置は、前記接着剤の塗布領域を調整して、前記少なくとも一方の基板の表面に、前記弾性シートの前記第1又は第2の基板と接する面と相似形状と略同じ大きさの面を持つ接着層を形成することを特徴とする請求項4記載の表示パネル製造装置。
The adhesive layer forming unit includes an adhesive application device that applies the adhesive to the surface of the at least one substrate to form the adhesive layer,
The adhesive application device adjusts the application area of the adhesive to have a surface that is similar in size to the surface of the at least one substrate that is similar to the surface of the elastic sheet that contacts the first or second substrate. The display panel manufacturing apparatus according to claim 4, wherein an adhesive layer having the following surface is formed.
表示用パネルを含む一対の基板を接着層を介して貼り合わせて表示パネルの製造を行なう製造方法であって、
一対の基板の、少なくとも一方の基板の表面に接着層を形成する工程と、
第1の基板を支持部により支持する工程と、
第2の基板を、前記第1の基板に対向する位置において保持部により保持する工程と、
前記支持部及び前記保持部の少なくとも一方を駆動部により駆動することにより、前記接着層を介して一対の基板を貼り合わせる工程と、を備え、
前記一対の基板を貼り合わせる工程において、前記支持部又は前記保持部の表面上に設けられた前記接着層と相似形状で略同じ大きさを有する弾性シートにより、前記第1又は第2の基板の前記接着層が形成された部分のみを押圧することを特徴とする表示パネル製造方法。


A manufacturing method for manufacturing a display panel by bonding a pair of substrates including a display panel via an adhesive layer,
Forming an adhesive layer on the surface of at least one of the pair of substrates;
Supporting the first substrate by the support portion;
Holding the second substrate by a holding portion at a position facing the first substrate;
Bonding a pair of substrates through the adhesive layer by driving at least one of the support part and the holding part with a drive part,
In the step of bonding the pair of substrates, an elastic sheet having a shape similar to that of the adhesive layer provided on the surface of the support portion or the holding portion and having substantially the same size is used to form the first or second substrate. A method for manufacturing a display panel, comprising pressing only a portion where the adhesive layer is formed.


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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017022285A1 (en) * 2015-08-04 2017-02-09 デクセリアルズ株式会社 Method for manufacturing optical member
CN109037156A (en) * 2018-07-19 2018-12-18 昆山国显光电有限公司 Display panel and display master blank
CN110379328A (en) * 2018-04-12 2019-10-25 罗伯特·博世有限公司 Display device
JP2022047865A (en) * 2020-09-14 2022-03-25 株式会社飯沼ゲージ製作所 Device and method for workpiece bonding

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10770422B2 (en) * 2018-12-29 2020-09-08 Micron Technology, Inc. Bond chucks having individually-controllable regions, and associated systems and methods

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60113212A (en) * 1983-11-25 1985-06-19 Fujitsu Ltd Manufacture device for liquid-crystal display panel
JPH0990378A (en) * 1995-09-26 1997-04-04 Casio Comput Co Ltd Method for joining substrate and device therefor
JPH1164866A (en) * 1997-08-25 1999-03-05 Ricoh Co Ltd Production of liquid crystal display device
JPH1184354A (en) * 1997-09-01 1999-03-26 Ricoh Co Ltd Production of liquid crystal display element
JP2002214618A (en) * 2001-01-12 2002-07-31 Sony Corp Liquid crystal display element and method of manufacturing the same
US20070289711A1 (en) * 2006-05-17 2007-12-20 Takuya Kaizu Substrate assembling apparatus and substrate assembling method using the same
US20110100234A1 (en) * 2009-10-30 2011-05-05 Askey Computer Corp. Press method and press tool
JP2011150331A (en) * 2009-12-25 2011-08-04 Toshiba Mobile Display Co Ltd Manufacturing method of flat-panel display device and adhesive resin application apparatus therefor
JP2012071281A (en) * 2010-09-29 2012-04-12 Shibaura Mechatronics Corp Apparatus and method for supplying adhesive
JP2013187393A (en) * 2012-03-08 2013-09-19 Tokyo Electron Ltd Bonding device and bonding method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001189553A (en) * 1999-12-28 2001-07-10 Sharp Corp Bonding device for substrate and method for bonding substrate using the same
US6790300B2 (en) * 2000-09-14 2004-09-14 Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. Method and apparatus for bonding substrate plates together through gap-forming sealer material
KR101852200B1 (en) * 2012-03-14 2018-04-25 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 Bonding apparatus and bonding method

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60113212A (en) * 1983-11-25 1985-06-19 Fujitsu Ltd Manufacture device for liquid-crystal display panel
JPH0990378A (en) * 1995-09-26 1997-04-04 Casio Comput Co Ltd Method for joining substrate and device therefor
JPH1164866A (en) * 1997-08-25 1999-03-05 Ricoh Co Ltd Production of liquid crystal display device
JPH1184354A (en) * 1997-09-01 1999-03-26 Ricoh Co Ltd Production of liquid crystal display element
JP2002214618A (en) * 2001-01-12 2002-07-31 Sony Corp Liquid crystal display element and method of manufacturing the same
US20070289711A1 (en) * 2006-05-17 2007-12-20 Takuya Kaizu Substrate assembling apparatus and substrate assembling method using the same
US20110100234A1 (en) * 2009-10-30 2011-05-05 Askey Computer Corp. Press method and press tool
JP2011150331A (en) * 2009-12-25 2011-08-04 Toshiba Mobile Display Co Ltd Manufacturing method of flat-panel display device and adhesive resin application apparatus therefor
JP2012071281A (en) * 2010-09-29 2012-04-12 Shibaura Mechatronics Corp Apparatus and method for supplying adhesive
JP2013187393A (en) * 2012-03-08 2013-09-19 Tokyo Electron Ltd Bonding device and bonding method

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017022285A1 (en) * 2015-08-04 2017-02-09 デクセリアルズ株式会社 Method for manufacturing optical member
US10689546B2 (en) 2015-08-04 2020-06-23 Dexerials Corporation Method for manufacturing optical member
US11124676B2 (en) 2015-08-04 2021-09-21 Dexerials Corporation Method for manufacturing optical member
CN110379328A (en) * 2018-04-12 2019-10-25 罗伯特·博世有限公司 Display device
CN109037156A (en) * 2018-07-19 2018-12-18 昆山国显光电有限公司 Display panel and display master blank
JP2022047865A (en) * 2020-09-14 2022-03-25 株式会社飯沼ゲージ製作所 Device and method for workpiece bonding

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