JP2015125082A - 光学モジュール、電子機器、及び光学モジュールの駆動方法 - Google Patents
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Abstract
Description
この特許文献1に記載の分光測定装置では、面間隔制御部は、撮像素子における所定の遮光期間で、分光素子の面間隔を次の測定対象の波長に対応する間隔に変更している。
しかしながら、特許文献1では、所定の遮光期間の長さが、変更動作の所要時間に関わらず変更動作よりも十分に長く設定されている。このため、遮光期間が始まってから変更動作が始まるまでの時間の分だけ測定時間が長くなるという問題がある。
本発明では、1組の受光期間とスタンバイ期間とにより、撮像素子により1フレーム分の光が取得される。すなわち、撮像素子制御手段により設定された受光期間において、撮像素子が分光素子からの出射光を受光する。そして、スタンバイ期間において、受光期間で蓄積された電荷に応じた検出信号が出力され、かつ分光素子の波長変更駆動が実施される。この際、スタンバイ期間の開始時点において、分光素子の波長変更駆動の動作が開始され、かつ、スタンバイ期間が波長変更駆動に要する駆動時間以上となる。
このようにスタンバイ期間内にて分光素子が駆動されるので、受光期間に分光素子が駆動されることがなく、受光期間に分光素子が駆動されることによる分解能の低下を抑制できる。また、スタンバイ期間が開始されると、分光素子の駆動も開始されるので、スタンバイ期間の長さを不必要に長く設定することがなく、1フレームの時間が長くなるという不具合を抑制できる。
このような構成では、安定化した波長の出射光が分光素子から出力されたタイミングでスタンバイ期間を終了させ、受光動作を開始させることができる。従って、各フレームの所要時間を最適化でき、更なる測定時間の短縮を図ることができる。また、撮像素子において、所定波長以外の光が受光されることをより確実に抑制でき、測定精度の低下をより確実に抑制できる。
以下、本発明に係る第一実施形態を図面に基づいて説明する。
[分光測定装置の構成]
図1は、本発明に係る第一実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
分光測定装置1は、本発明の電子機器であり、測定対象Xで反射された測定対象光における所定波長の光強度を取得する分光測定を実施する装置である。分光測定装置1は、図1に示すように、分光モジュール10と、制御部20と、を備えている。分光モジュール10は、本発明の分光素子に相当する波長可変干渉フィルター5と、撮像素子11と、検出信号処理部12と、電圧制御部13と、を少なくとも備えて構成されている。
この分光測定装置1では、制御部20による指令信号に応じて波長可変干渉フィルター5が駆動され、当該指令信号に応じた波長の光が波長可変干渉フィルター5から出射される。分光測定装置1は、波長可変干渉フィルター5から出射された光を撮像素子11で受光し、受光した光の光強度に応じた検出信号を出力する。この際、本実施形態では、分光測定装置1は、波長可変干渉フィルター5の駆動タイミングと、撮像素子11による受光タイミングとを設定し、設定したタイミングに基づいて波長可変干渉フィルター5及び撮像素子11を駆動する。
なお、本実施形態では、測定対象Xで反射した測定対象光を測定する例を示すが、測定対象Xとして、例えば液晶パネル等の発光体を用いる場合、当該発光体から発光された光を測定対象光としてもよい。
以下、分光モジュール10の各部の構成について説明する。
[波長可変干渉フィルターの構成]
波長可変干渉フィルター5は、例えば四角形板状の光学部材であり、図2に示すように、固定基板51、可動基板52、一対の反射膜541,542、静電アクチュエーター55を備えている。
波長可変干渉フィルター5は、電圧制御部13から静電アクチュエーター55に駆動電圧が印加されることで、一対の反射膜541,542間のギャップG1の寸法を制御し、当該ギャップG1の寸法に応じた波長の光を干渉光として取り出すことができる。
固定基板51は、図2に示すように、例えばエッチング等により形成された電極配置溝511及び反射膜設置部512を備える。
電極配置溝511は、フィルター平面視で、固定基板51の外周部を除く位置に設けられた溝である。電極配置溝511の溝底面は、静電アクチュエーター55を構成する電極が配置される電極設置面511Aとなる。
この電極設置面511Aには、静電アクチュエーター55を構成する固定電極551が設けられている。固定電極551は、反射膜設置部512の外周側に設けられている。
なお、図2では、図示を省略しているが、固定基板51には、電極配置溝511に連続し、基板の外周部に向かう電極引出溝が設けられている。そして、固定電極551は、電極配置溝511及び電極引出溝に設けられ、基板外周部で外部に露出する接続電極を備えている。この接続電極の露出部分は、接地されている。
この固定反射膜541としては、例えばAg等の金属膜や、Ag合金等、導電性の合金膜を用いることができる。また、例えば高屈折層をTiO2、低屈折層をSiO2とした誘電体多層膜を用いてもよく、この場合、誘電体多層膜の最下層又は表層に導電性の金属合金膜が形成されていることが好ましい。
可動基板52は、その中心部分に例えば円形状の可動部521と、可動部521を保持する保持部522と、保持部522の外側に設けられた基板外周部524と、を備えている。
可動部521は、保持部522よりも厚み寸法が大きく形成され、例えば、本実施形態では、可動基板52の厚み寸法と同一寸法に形成されている。この可動部521の固定基板51に対向する可動面521Aには、可動反射膜542、可動電極552が設けられている。
なお、固定基板51と同様に、可動部521の固定基板51とは反対側の面には、反射防止膜が形成されていてもよい。
また、可動面521Aには、静電アクチュエーター55を構成する可動電極552が設けられている。可動電極552は、可動反射膜542の外周側に設けられている。
可動電極552は、基板厚み方向から見た平面視において、それぞれ固定電極551に対して電極間ギャップG2を介して対向配置されている。
静電アクチュエーター55は、固定電極551を備える。なお、静電アクチュエーター55の詳細については後述する。
図1に戻り、分光モジュール10が備える撮像素子11、検出信号処理部12、及び電圧制御部13について説明する。
撮像素子11は、2次元平面上にアレイ状に配列された複数の画素を有している。この撮像素子11は、各画素に対して、露光の開始と終了とが同一であるグローバルシャッター方式を採用している。このような撮像素子11としては、例えばCCDやCMOS等のイメージセンサである。撮像素子11では、各画素が、例えばフォトダイオードで構成された受光部を有し、各受光部の露光量に応じて発生した電荷がそれぞれ蓄積される。撮像素子11は、この蓄積電荷を転送させることで、蓄積電荷に応じた検出信号を出力し、当該検出信号は検出信号処理部12に入力される。
なお、蓄積電荷の転送には所定時間(以下、電荷転送時間とも称する)を要する。この電荷転送時間は、例えばμ秒オーダーの時間であり、後述する受光期間や、スタンバイ期間、波長可変干渉フィルター5の駆動時間に対して十分小さく、無視できるものとする。
電圧制御部13は、制御部20の制御に基づいて、波長可変干渉フィルター5の静電アクチュエーター55に対して駆動電圧を印加する。これにより、静電アクチュエーター55の固定電極551及び可動電極552間で静電引力が発生し、可動部521が固定基板51側に変位する。
次に、制御部20について説明する。
制御部20は、例えばCPUやメモリー等が組み合わされることで構成され、分光測定装置1の全体動作を制御する。この制御部20は、図1に示すように、フィルター駆動部21と、受光制御部22と、最長駆動時間取得部23、スタンバイ時間設定部24と、タイミング取得部25と、光量取得部26と、分光測定部27と、記憶部28と、を備えている。記憶部28は、波長可変干渉フィルター5を透過させる光の波長と、当該波長に対応して静電アクチュエーター55に印加する駆動電圧との関係を示すV−λデータが記憶されている。
ここで、図3は、本実施形態における、波長可変干渉フィルター5及び撮像素子11のそれぞれの駆動タイミングの関係を示す図である。
フィルター駆動部21は、図3に示すように、受光制御部22によって制御される撮像素子11の露光開始タイミングに合わせて、波長可変干渉フィルター5を駆動開始させるように、電圧制御部13に指令信号を出力する。
また、受光制御部22は、図3に示すように、受光時間が終了してから、所定のスタンバイ時間だけ電荷の蓄積を行わず、スタンバイ時間が経過した後に、次のフレームの露光を撮像素子11に開始させる。このように、受光制御部22は、露光量に応じた電荷を蓄積する受光期間(受光時間に対応)と、蓄積された電荷を出力してリセットし、かつ、電荷の蓄積を行わないスタンバイ期間(スタンバイ時間に対応)とを交互に繰り返すように、撮像素子11を制御する。
なお、受光時間とスタンバイ時間とを合わせた所定時間が、1フレームの画像の撮像に要する時間であり、以下、フレーム所要時間とも称する。スタンバイ時間については後に詳述する。
分光測定装置1では、分光測定を実施する際に、測定パターンとして、複数の測定対象波長及び当該測定対象波長の測定順が予め設定される。この測定パターンに基づいた複数の測定対象波長を測定するために、フィルター駆動部21は、各測定対象波長に対応する指令信号を、順次、電圧制御部13に出力し、波長可変干渉フィルター5のギャップ寸法を順次変化させる。
ここで、波長可変干渉フィルター5のギャップ寸法が変更されるのに要する駆動時間は、ギャップ変動量や、ギャップの変動方法等に応じて異なる。例えば、ギャップ変動量が大きければ、駆動時間が長くなり、逆に、小さければ、駆動時間が短くなる。また、例えば、ギャップ寸法を大きくする時よりも、ギャップ寸法を小さくする時の方が、駆動時間が長くなる。
また、例えば、ギャップ寸法を徐々に狭める又は広めるように変更させながら受光処理を行うステップ駆動を行う場合の各駆動時間と、例えば最終波長に対応するギャップ寸法から初期波長に対応するギャップ寸法に戻す場合の駆動時間とでは、後者の駆動時間が長くなる。
測定対象波長や測定順等を示す測定パターンは、測定開始時に、ユーザーによって指定される。具体的には、分光測定装置1は、ユーザーが図示しない操作部を操作することにより、記憶部28に予め記憶された複数の測定パターンから選択可能に構成されてもよいし、測定パターンを設定可能に構成されてもよい。
また、ギャップ寸法の変動量と、駆動時間との関係を示すデータ等を予め記憶部28に記憶しておき、最長駆動時間取得部23は、これらデータ等を用いて最長駆動時間を取得する。
ここで、駆動時間は、通常、数ミリ秒オーダーの時間であり、電荷転送時間(例えば数μ秒オーダーの時間)を無視できる程度に長い。従って、スタンバイ時間設定部24は、電荷転送時間は一定であるとして、スタンバイ時間を設定できる。
この場合、電荷転送時間を無視して、最長駆動時間に上記所定値を加えた時間をスタンバイ時間としてもよい。
分光測定部27は、光量取得部26により取得された光量に基づいて、測定対象光のスペクトル特性を測定する。
次に、上述したような分光測定装置1の動作について、図面に基づいて以下に説明する。
図4は、分光測定システムの動作の一例を示すフローチャートである。
まず、分光測定装置1では、ユーザー操作によって、測定パターンが設定される。
測定パターンが設定されると、最長駆動時間取得部23は、設定された測定パターンに基づいて、最長駆動時間を取得する(ステップS1)。
次に、スタンバイ時間設定部24は、最長駆動時間取得部23によって取得された最長駆動時間に基づいて、スタンバイ時間を設定する(ステップS2)。
タイミング取得部25は、スタンバイ時間と受光時間とに基づいてフレーム所要時間を設定する。そして、タイミング取得部25は、撮像素子11が連続的に駆動される際の、撮像素子11の駆動開始タイミングに対する受光時間開始タイミング及び受光時間終了タイミング(すなわちスタンバイ時間開始タイミング)を、フレーム所要時間に基づいて取得する。これにより、図3に示すように、撮像素子11が連続的に駆動される場合の撮像素子11の受光期間及びスタンバイ期間(駆動パターン)が設定される。
なお、分光測定装置1では、駆動開始直後に転送される電荷は、検出値としては参照せずに消去される。
上述のように、電荷転送時間は、駆動時間よりも短いので、図3に示すように、撮像素子11による電荷転送の終了後であり、かつ、予め設定されたスタンバイ期間の終了タイミングより前に、ギャップ寸法が目標値に設定され、駆動時間が経過する。
なお、撮像素子11による受光処理が開始されたタイミングでは、波長可変干渉フィルター5の駆動時間が経過し(図3参照)、波長可変干渉フィルター5が目標波長に対応するギャップ寸法に設定されている。
測定終了の判断は、例えば、設定された測定パターンに基づいて、全測定波長に対する測定が終了するか否かで判断する。また、タイミング取得部25による駆動タイミングの設定時に、測定終了タイミングも設定しておき、設定された測定終了タイミングであることを検出することで判断してもよい。
そして、分光測定部27は、光量取得部26により取得された光量に基づいて、測定対象光のスペクトル特性を測定する(ステップS9)。
以上のようにして、分光測定装置1は、設定された測定パターンに基づいて、測定対象Xのスペクトル特性を取得する。
分光測定装置1では、1組の受光期間とスタンバイ期間とにより、撮像素子により1フレーム分の光が取得される。すなわち、予め設定された受光期間において、撮像素子11が波長可変干渉フィルター5からの出射光を受光する。そして、スタンバイ期間において、受光期間で蓄積された電荷に応じた検出信号が出力され、かつ波長可変干渉フィルター5の波長変更駆動が実施される。この際、スタンバイ期間の開始時点において、波長可変干渉フィルター5の波長変更駆動が開始され、かつ、スタンバイ期間が波長変更駆動に要する駆動時間以上となる。
波長可変干渉フィルター5の駆動時間は、通常、撮像素子11の電荷転送時間よりも長い。このため、図5に示すように、仮にスタンバイ時間にブランク時間を含めない場合、波長可変干渉フィルター5の駆動時間が終了しておらず、波長可変干渉フィルター5からの出射光が目標波長に変更される前に、次のフレームの露光が開始される。このため、測定値には、目標波長以外の波長の光の光量も含まれてしまう。従って、測定精度の低下を抑制するためには、撮像素子11の駆動時間と重なっているフレームを非有効なフレーム(Invalid Frame)として測定値を消去し、次のフレームの有効なフレーム(Valid Frame)として測定値を取得する。すなわち、有効なフレームと、非有効なフレームとが交互に繰り返されることになり、非有効なフレームのフレーム所要時間のうち、波長可変干渉フィルター5の駆動時間が終了した後の時間の分だけ測定時間が長くなる。
上述のように非有効なフレームが発生することがないように、波長可変干渉フィルター5の駆動時間に対して十分なスタンバイ時間を設けることが考えられる。この場合、波長可変干渉フィルター5の駆動時間等の動作特性や、駆動態様(複数の波長を選択する際の波長の選択順、波長間の間隔等)といった各種条件に基づいて、考え得る最長のスタンバイ時間を設けなければ、非有効なフレームが発生するおそれがある。この場合も、多くのフレームで、実際の駆動時間よりも長いスタンバイ時間が設定されることになり、測定時間が長くなるおそれがある。
このような構成では、波長可変干渉フィルター5による選択波長を複数の波長の間で変更する際の、駆動パターンに応じた波長可変干渉フィルター5の最長駆動時間に合わせてスタンバイ時間が設定されている。このため、受光時間と最長駆動時間とからフレーム所要時間が取得でき、撮像素子11を連続駆動した際の受光期間の終了タイミングが取得できる。この終了タイミングに合わせて、波長可変干渉フィルター5を駆動させることで、各フレームのスタンバイ期間内で波長可変干渉フィルター5を駆動させるとともに、測定時間を短縮することができる。
また、撮像素子11の連続駆動させる際の駆動開始タイミングと、分光素子の駆動制御の開始タイミングとを、同期させることにより、予め取得された受光期間の終了タイミング、すなわちスタンバイ時間の開始タイミングで波長可変干渉フィルター5の波長変更駆動を実施するだけで、波長可変干渉フィルター5と撮像素子11との駆動タイミングを同期させることができる。従って、波長可変干渉フィルター5及び撮像素子11のそれぞれの駆動タイミングを常時又は定期的に同期させながら、波長可変干渉フィルター5及び撮像素子11を制御しなくとも、波長可変干渉フィルター5及び撮像素子11の駆動タイミングを容易に合わせることができる。
第一実施形態では、駆動パターンにおける全駆動時間のうちの最長駆動時間を、スタンバイ時間とする構成について例示した。これに対して本変形例では、波長可変干渉フィルター5のギャップ寸法(選択波長)を順次増大又は減少させるステップ駆動を繰り返し実施する際のステップ駆動に係る駆動時間から最長駆動時間を取得する。
図6に示す例では、4回の駆動のうち3回目の駆動における変動量が最大であり、駆動時間t1〜t4のうち、駆動時間t3が最長となる。また、ステップ駆動の最後のギャップ寸法(変動量が最大であり、最終ギャップとも称する)から最初のギャップ寸法(変動量が最小であり、第1ギャップとも称する)に戻す際、上記4回の駆動分の変動量をまとめて変動させる。このため、最終ギャップから第1ギャップに戻す際の駆動時間t5は、上記駆動時間t1〜t4よりも長くなっている。
具体的には、本変形例では、4回の駆動のうち各駆動時間t1〜t4のうちの最長である駆動時間t3を最長であると判定し、最長駆動時間を取得する。この際、最終ギャップから第1ギャップに戻す駆動時間t5については、最長駆動時間の判定対象に含めない。
すなわち、分光測定装置1では、N回のステップ駆動に対応する(N+1)フレーム分の測定を実施したのち、1フレーム分を最終ギャップから第1ギャップに戻す駆動に割いて、(N+2)フレーム分を1セットとするステップ駆動を実施する。すなわち、連続する(N+1)フレームでそれぞれ測定値を取得し、(N+2)フレーム目の測定結果は削除する。
ここで、所定の波長の変更量としては、例えば、複数フレームに亘って連続して測定する際の、測定波長の変更量の最大値である。この変更量の最大値は、上述のようにステップ駆動する際の駆動パターンから取得してもよいし、考えられる全駆動パターンに対して変更量の最大値を予め設定してもよい。
以下、本発明に係る第二実施形態を図面に基づいて説明する。
上記第一実施形態では、分光測定装置1は、最長駆動時間をスタンバイ時間を設定することでフレーム所要時間を取得し、このフレーム所要時間で撮像素子を連続駆動した。第二実施形態では、波長可変干渉フィルター5を駆動させた後、目標波長に対応するギャップ寸法に安定化したことを検出し、検出したタイミングで撮像素子の露光を開始する。
第二実施形態では、第一実施形態の最長駆動時間を取得する構成に替えて、波長可変干渉フィルター5の安定化を検出する構成を備える点以外は、第一実施形態と同様の構成を有する。以下の説明では、第一実施形態と同様の構成については、同一の符号を付してその説明は省略又は簡略化する。
図7は、第二実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
図8は、第二実施形態の波長可変干渉フィルター5の概略構成を示す断面図である。
分光測定装置1Aは、図7に示すように、分光モジュール10Aと、制御部20Aと、を備えている。
[分光モジュールの構成]
分光モジュール10Aは、波長可変干渉フィルター5と、撮像素子11と、検出信号処理部12と、電圧制御部13と、安定化検出部14と、を少なくとも備えて構成されている。
安定化検出部14は、波長可変干渉フィルター5のギャップ寸法の変動が治まり、ギャップ寸法が設定値に設定されたことを検出する。この安定化検出部14は、容量検出部141と、安定信号出力部142と、を備える。
容量検出部141は、図8に示すように、各反射膜541,542に接続されている。容量検出部141は、各反射膜541,542間のギャップG1の寸法に応じた静電容量を検出する。容量検出部141は、C/V変換器(Capacitance to Voltage Converter)等を備え、検出した静電容量に対応する検出信号を出力する。
安定信号出力部142は、容量検出部141からの検出信号に基づいて、静電容量が所定値となり、ギャップ寸法が設定値に設定されると、安定化したことを検出して安定化信号を出力する。
図9は、第二実施形態における、波長可変干渉フィルター5及び撮像素子11のそれぞれの駆動タイミングの関係を示す図である。
安定信号出力部142は、例えば図9に示すように、波長可変干渉フィルター5のギャップ寸法が設定値で安定していない場合はLow、安定している場合はHighとなる信号を安定信号として出力する。
制御部20Aは、フィルター駆動部21と、受光制御部22と、光量取得部26と、分光測定部27と、記憶部28と、を備えている。
受光制御部22は、安定化検出部14からの安定化信号を示す安定信号(High)を受信すると、撮像素子11の受光処理を開始させる。
なお、本発明の撮像素子制御手段は、安定化検出部14を少なくとも含み構成され、さらに、受光制御部22を含み構成される。
次に、上述したような分光測定装置1の動作について、図面に基づいて以下に説明する。
図10は、分光測定システムの動作の一例を示すフローチャートである。
まず、分光測定装置1Aでは、第一実施形態同様に、ユーザー操作によって、測定パターンが設定される。
測定パターンが設定されると、フィルター駆動部21は、測定パターンに基づいて、目的波長に対応する駆動電圧を静電アクチュエーター55に印加させる旨の指令信号を電圧制御部13に出力し、波長可変干渉フィルター5の駆動を開始させる。同時に、受光制御部22は、撮像素子11に電荷転送を実施させ、検出信号を出力させる(ステップS11)。なお、分光測定装置1Aでは、第一実施形態同様に、駆動開始直後に転送される電荷は、検出値としては参照せずに消去される。
波長可変干渉フィルター5の駆動が開始され、波長可変干渉フィルター5のギャップ寸法が設定値となり、ギャップ寸法が安定すると、安定信号出力部142から出力されている安定信号がLowからHighに変わる。このようにして、安定化検出部14は、安定化の検出を示すHighの安定信号を出力する。
受光制御部22は、安定化の検出を示すHighの安定信号を安定化検出部14から受信すると、撮像素子11に受光処理を開始させる(ステップS13)。なお、受光制御部22は、安定化の検出を示していないLowの安定信号を受信している間は、受光処理を実施しないスタンバイ期間を継続させる。
ステップS14において、測定終了ではないと判断した場合、所定の受光時間が経過したら、ステップS11に戻る。ステップS11に戻ると、フィルター駆動部21は波長可変干渉フィルター5を駆動させ、かつ、受光制御部22は撮像素子11に電荷転送を実施させ、検出信号を出力させる。ここで出力された検出信号は、露光量に対応する信号である。従って、光量取得部26は、撮像素子11から出力された検出信号を、検出信号処理部12を介して取得する。
一方、ステップS14で測定終了と判断した場合、受光制御部22は、受光時間の終了タイミングに合わせて、撮像素子11に電荷転送を実施させ、検出信号を出力させる(ステップS15)。そして、光量取得部26は、撮像素子11から出力された検出信号を、検出信号処理部12を介して取得する。
そして、分光測定部27は、光量取得部26により取得された光量に基づいて、測定対象光のスペクトル特性を測定する(ステップS17)。
以上のようにして、分光測定装置1は、設定された測定パターンに基づいて、測定対象Xのスペクトル特性を取得する。
分光測定装置1Aでは、波長可変干渉フィルター5が安定化したことを検出したタイミングで撮像素子11の受光処理を開始する。これにより、波長可変干渉フィルター5のギャップ寸法が安定化したタイミング、すなわち安定化した波長の出射光が分光素子から出力されたタイミングでスタンバイ期間を終了させ、受光期間を開始させることができる。従って、各フレームの所要時間を最適化でき、所要時間の短縮を図ることができる。
また、波長可変干渉フィルター5が安定して所定波長の光を出射可能な状態となったタイミングで、撮像素子11に露光を開始させることができる。従って、所定波長以外の光が撮像素子11に受光されることをより確実に抑制でき、測定精度の低下をより確実に抑制できる。
本発明は上述の各実施形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
上記各実施形態では、分光測定装置1,分光測定装置1Aの例を示したが、測定対象の成分分析等を実施する分析装置に適用することができる。
また、上記各実施形態では、分光測定装置1,分光測定装置1Aとして、測定結果に基づいて分光スペクトルを取得する構成を例示したが、本発明はこれに限定されず、分光画像を取得する分光カメラ等にも本発明を適用することができる。すなわち、各波長の各画素について検出信号を選択し、選択された各画素の検出信号に基づいて各波長の分光画像を取得するように構成してもよい。また、取得した分光画像に基づいて測色処理を行ってもよい。このような構成でも、各画素について適性露光の範囲の露光量に対応する検出信号が選択されるので、高精度の分光画像を取得でき、高精度の測色を実施できる。
例えば、固定電極551の代わりに、第一誘電コイルを配置し、可動電極552の代わりに第二誘電コイル又は永久磁石を配置した誘電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。
さらに、静電アクチュエーター55の代わりに圧電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。この場合、例えば保持部522に下部電極層、圧電膜、及び上部電極層を積層配置させ、下部電極層及び上部電極層の間に印加する電圧を入力値として可変させることで、圧電膜を伸縮させて保持部522を撓ませることができる。
例えば、固定基板51及び可動基板52が接合されておらず、これらの基板間に圧電素子等の反射膜間ギャップを変更するギャップ変更部が設けられる構成などとしてもよい。
また、2つ基板により構成される構成に限られない。例えば、1つの基板上に犠牲層を介して2つの反射膜を積層し、犠牲層をエッチング等により除去してギャップを形成した波長可変干渉フィルターを用いてもよい。
Claims (7)
- 入射光から所定の波長の光を選択し、かつ出射する出射光の波長を変更可能な分光素子と、
グローバルシャッター方式で、前記出射光の露光により電荷を蓄積し、蓄積された前記電荷に応じた検出信号を出力する撮像素子と、
露光により前記撮像素子に前記電荷を蓄積させる受光期間と、前記撮像素子に蓄積された前記電荷をリセットするスタンバイ期間とを設定する撮像素子制御手段と、
前記分光素子において、前記出射光の波長変更駆動を制御する分光制御手段と、を備え、
前記撮像素子制御手段は、前記スタンバイ期間の長さを前記分光素子における前記出射光の波長変更に要する駆動時間以上に設定し、
前記分光制御手段は、前記スタンバイ期間の開始時点で、前記分光素子における前記波長変更駆動を開始させる
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項1に記載の光学モジュールにおいて、
前記分光制御手段は、前記分光素子から出射される前記出射光の波長を順次切り替え、
前記撮像素子制御手段は、前記分光制御手段による前記波長変更駆動の波長変更量が、所定の量以下である前記分光素子の駆動に対応する各駆動時間のうちの最長の駆動時間を前記スタンバイ期間の時間として設定する
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項1又は請求項2に記載の光学モジュールにおいて、
前記分光制御手段は、前記分光素子を制御して、前記出射光の波長を、第1波長から、前記第1波長よりも短い第2波長までの間の複数の波長に、大きい順又は小さい順に順次変更するステップ駆動を実施し、
前記撮像素子制御手段は、各ステップ駆動における前記駆動時間のうち、最長の駆動時間を前記スタンバイ期間の時間として設定する
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項1に記載の光学モジュールにおいて、
前記撮像素子制御手段は、前記分光制御手段による前記波長変更駆動を実施した際の駆動時間のうちの最長の駆動時間を前記スタンバイ期間の時間として設定する
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項1に記載の光学モジュールにおいて、
前記分光素子の前記出射光の波長の変動量が所定閾値以内となる安定化タイミングを検出する安定化検出部を備え、
前記撮像素子制御手段は、前記安定化検出部によって検出された安定化タイミングで、前記撮像素子に前記出射光の受光による前記電荷の蓄積を開始させる
ことを特徴とする光学モジュール。 - 入射光から所定の波長の光を選択し、かつ出射する出射光の波長を変更可能な分光素子、グローバルシャッター方式で、前記出射光の露光により電荷を蓄積し、蓄積された前記電荷に応じた検出信号を出力する撮像素子、露光により前記撮像素子に前記電荷を蓄積させる受光期間と、前記撮像素子に蓄積された前記電荷をリセットするスタンバイ期間とを設定する撮像素子制御手段、及び、前記分光素子において、前記出射光の波長変更駆動を制御する分光制御手段、を備え、前記撮像素子制御手段は、前記スタンバイ期間の長さを前記分光素子における前記出射光の波長変更に要する駆動時間以上に設定し、前記分光制御手段は、前記スタンバイ期間の開始時点で、前記分光素子における前記波長変更駆動を開始させる光学モジュールと、
前記光学モジュールを制御する制御部と、を具備する
ことを特徴とする電子機器。 - 入射光から所定の波長の光を選択し、かつ出射する出射光の波長を変更可能な分光素子と、グローバルシャッター方式で、前記出射光の露光により電荷を蓄積し、蓄積された前記電荷に応じた検出信号を出力する撮像素子と、を備える光学モジュールの駆動方法であって、
露光により前記撮像素子に前記電荷を蓄積させる受光期間において蓄積された前記電荷をリセットするスタンバイ期間の長さを、前記分光素子における前記出射光の波長変更に要する駆動時間以上に設定し、
前記スタンバイ期間の開始時点で、前記分光素子における前記出射光の波長変更駆動を開始させる
ことを特徴とする光学モジュールの駆動方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018150801A1 (ja) * | 2017-02-20 | 2018-08-23 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | センサ、固体撮像装置及び電子装置 |
US10837831B2 (en) | 2018-03-02 | 2020-11-17 | Seiko Epson Corporation | Inspection apparatus, inspection system, and inspection method |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6337467B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2018-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び光学モジュールの駆動方法 |
JP6244945B2 (ja) | 2014-01-29 | 2017-12-13 | セイコーエプソン株式会社 | 電子機器 |
JP7238385B2 (ja) * | 2018-12-20 | 2023-03-14 | セイコーエプソン株式会社 | 分光フィルターモジュール、分光カメラおよび電子機器 |
JP7497622B2 (ja) * | 2020-06-05 | 2024-06-11 | セイコーエプソン株式会社 | 画像生成装置、及び画像生成方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09261668A (ja) * | 1996-03-18 | 1997-10-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラー画像入力装置のフィルタ切り換え方法 |
US20070242920A1 (en) * | 2006-04-18 | 2007-10-18 | Xerox Corporation | Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates |
JP2011150108A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Seiko Epson Corp | 光フィルター、特性測定方法、分析機器、および光機器 |
JP2012018226A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Seiko Epson Corp | 光フィルター、光フィルターモジュール、分光測定器および光機器 |
JP2012022083A (ja) * | 2010-07-13 | 2012-02-02 | Seiko Epson Corp | 光フィルター、光フィルターモジュール、分光測定器および光機器 |
JP2012198268A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Seiko Epson Corp | 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 |
JP2013076727A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
JP2013182143A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルターの駆動方法、光学モジュール、及び電子機器 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5255087A (en) * | 1986-11-29 | 1993-10-19 | Olympus Optical Co., Ltd. | Imaging apparatus and endoscope apparatus using the same |
JPH01303461A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-07 | Sharp Corp | 画像形成装置 |
JP3930164B2 (ja) | 1998-11-05 | 2007-06-13 | 日本放送協会 | 波長選択型液晶カメラ装置 |
JP3297737B2 (ja) | 2000-02-16 | 2002-07-02 | 埼玉大学長 | 分光画像撮像装置 |
CN100552879C (zh) * | 2004-02-02 | 2009-10-21 | 尼康股份有限公司 | 载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法 |
JP5556449B2 (ja) * | 2010-07-02 | 2014-07-23 | 株式会社島津製作所 | 分光器 |
JP5218513B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2013-06-26 | オムロン株式会社 | 変位センサ |
JP5757807B2 (ja) | 2011-07-07 | 2015-08-05 | オリンパス株式会社 | 分光画像装置 |
-
2013
- 2013-12-27 JP JP2013270760A patent/JP6311307B2/ja active Active
-
2014
- 2014-12-23 US US14/580,925 patent/US9182279B2/en active Active
- 2014-12-24 CN CN201410815698.2A patent/CN104749765B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09261668A (ja) * | 1996-03-18 | 1997-10-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラー画像入力装置のフィルタ切り換え方法 |
US20070242920A1 (en) * | 2006-04-18 | 2007-10-18 | Xerox Corporation | Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates |
JP2011150108A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Seiko Epson Corp | 光フィルター、特性測定方法、分析機器、および光機器 |
JP2012018226A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Seiko Epson Corp | 光フィルター、光フィルターモジュール、分光測定器および光機器 |
JP2012022083A (ja) * | 2010-07-13 | 2012-02-02 | Seiko Epson Corp | 光フィルター、光フィルターモジュール、分光測定器および光機器 |
JP2012198268A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Seiko Epson Corp | 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 |
JP2013076727A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
JP2013182143A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルターの駆動方法、光学モジュール、及び電子機器 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018150801A1 (ja) * | 2017-02-20 | 2018-08-23 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | センサ、固体撮像装置及び電子装置 |
US11221256B2 (en) | 2017-02-20 | 2022-01-11 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Sensor, solid-state imaging apparatus, and electronic apparatus |
US10837831B2 (en) | 2018-03-02 | 2020-11-17 | Seiko Epson Corporation | Inspection apparatus, inspection system, and inspection method |
US11209313B2 (en) | 2018-03-02 | 2021-12-28 | Seiko Epson Corporation | Inspection apparatus, inspection system, and inspection method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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