JP2015118088A - アクセサリ及びその校正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アクセサリには、DUT106からの信号を受ける入力端子114及び116と、アクセサリ内部に校正又は補償信号を供給する校正ユニット108と、被試験デバイス(DUT)106からの信号又は校正又は補償信号を試験測定装置100に出力する増幅器118とが含まれる。更に光学電圧センサを有し、DUT106の信号を光出力信号として得ても良い。
【選択図】図1
Description
被試験デバイスからの信号を受ける入力部と、
上記アクセサリ内部に校正又は補償信号を供給する校正ユニットと、
上記被試験デバイスからの信号又は上記校正若しくは補償信号のどちらかを上記試験測定装置に出力する出力部と
を具えている。
上記入力部が上記光学電圧センサの信号入力電極に接続され、上記校正ユニットが上記光学電圧センサの制御電極に接続されることを特徴としている。
測定動作中にアクセサリを介して被試験デバイスからの信号を測定する処理と、
上記被試験デバイスからの上記信号を上記ホストに出力する処理と、
校正動作中、上記アクセサリ内部の校正ユニットから校正又は補償信号を、上記コントローラを介して上記ホストに送信する処理と
上記ホストで受けた上記校正又は補償信号に基いて、上記被試験デバイスからの上記信号を上記ホストで校正又は補償する処理と
を具えている。
102 コントローラ
104 アクセサリ・ヘッド
106 DUT
108 校正/補償ユニット
110 スイッチ
112 スイッチ
114 入力端子
116 入力端子
118 増幅器
119 光信号供給パス
120 メイン信号パス
122 通信リンク
124 パス
400 光センサ
402 信号入力電極
404 信号入力電極
406 バイアス制御電極
408 バイアス制御電極
414 第1分岐光導波路
416 第2分岐光導波路
Claims (3)
- 試験測定装置と共に使用されるアクセサリであって、
被試験デバイスからの信号を受ける入力部と、
上記アクセサリ内部に校正又は補償信号を供給する校正ユニットと、
上記被試験デバイスからの信号又は上記校正又は補償信号のどちらかを上記試験測定装置に出力する出力部と
を具えるアクセサリ。 - 上記アクセサリが、光学電圧センサを更に具え、
上記入力部が上記光学電圧センサの信号入力電極に接続され、上記校正ユニットが上記光学電圧センサの制御電極に接続される請求項1記載のアクセサリ。 - ホスト、コントローラ及び被試験デバイスを含む測定システム中のアクセサリを内部で校正する方法であって、
測定動作中にアクセサリを介して被試験デバイスからの信号を測定する処理と、
上記被試験デバイスからの上記信号を上記ホストに出力する処理と、
校正動作中、上記アクセサリ内部の校正ユニットから校正又は補償信号を、上記ホストに上記コントローラを介して送信する処理と
上記ホストで受けた上記校正又は補償信号に基いて、上記被試験デバイスからの上記信号を上記ホストで校正又は補償する処理と
を具えるアクセサリ校正方法。
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