JP6622970B2 - 試験測定用システム及びアクセサリ補償方法 - Google Patents

Description

本発明は、電子試験測定用システム及びそのためのアクセサリの補償方法に関し、特に、被試験デバイス、アクセサリ、コントローラ及び被試験デバイスを含む電子試験測定システムの中の、被試験デバイス及びホスト間に接続される、アクセサリ及びコントローラからなるシステムにおいて、測定のためにプローブのようなアクセサリを使用しているときに、このアクセサリをダイナミックに補償することに関する。

伝統的に、試験測定システム中のプローブのようなアクセサリを補償するには、被試験デバイス（ＤＵＴ）からアクセサリを取り外す工程、アクセサリを校正又は補償用信号源に接続する工程とがある。従来、試験測定システムには、ホスト、コントローラ及び被試験デバイスとがある。アクセサリは、被試験デバイスに取り付けられ、被試験デバイスからの信号を取込み、それをホストに送る。

特開平７−４９４７３号公報 特開２００６−３６１９号公報

「絶縁 （電気）」の記事、特に「isolation」について、Wikipedia（日本語版）、［オンライン］、［２０１４年１２月８日検索］、インターネット<http://ja.wikipedia.org/wiki/絶縁 (電気)>

しかし、アクセサリを補償する（compensate）には、アクセサリを被試験デバイスから外し、典型的にはホスト内に装備された校正／補償用信号源に取り付けられる。校正／補償用信号源にプローブ・アクセサリを接続するには、プローブ・アクセサリと信号源との間のインタフェースに特別なアダプタとフィクスチャ（取付装置）を使用することが多い。

過去、光学センサを使った場合、直流までの正確な測定には、あまり成功しているとはいえない。光学センサは、周りの環境の変化に影響を受けやすい。光学センサに加えられる温度、機械的張力及び信号は、センサの直流（ＤＣ）／低周波数（ＬＦ）オフセット成分の原因となり、センサを劇的に利用不能にしたり、大幅な測定エラーを生じさせることになる。

このため、アクセサリを動作させながら、アクセサリをリアルタイムでダイナミックにＤＣオフセット又はＤＣオフセットのドリフト（ＤＣオフセットの低周波数変動）を校正又は補償できることが必要である。この際、アクセサリをマニュアルで校正又は補償用信号源に接続する必要がなく、また、校正又は補償のために、アクセサリをＤＵＴから外す必要もないことが望ましい。更に、このダイナミックな補償が、ユーザにとってわかりやすいことも望ましい。

本発明の実施形態としては、試験測定システムがあり、これには、被試験デバイス、アクセサリ、コントローラ及び試験測定装置が含まれる。被試験デバイスに接続されるアクセサリには、被試験デバイスからの入力信号を受ける入力端子と、アクセサリ内部に補償信号をダイナミックに印加するよう構成された補償ユニットと、被試験デバイスから読み出した出力信号を出力する出力端子とがある。アクセサリに接続されるコントローラには、入力信号とアクセサリからの上記出力信号を受ける１つ以上の受信部と、上記入力信号と上記出力信号とを比較し、この比較結果に応じて、測定をしながら、リアルタイムで補償ユニットから補償信号をダイナミックに供給させるよう構成されるマイクロコントローラとがある。

他の実施形態には、ホスト、コントローラ及び被試験デバイスを含む測定システム中のアクセサリを内部的に校正する方法がある。この方法には、被試験デバイスからの入力信号をアクセサリで受ける処理と、この入力信号に基いてアクセサリから出力信号を出力する処理と、上記出力信号と上記入力信号をコントローラで比較し、補償値を決定する処理と、アクセサリ又はホスト（試験測定装置）中の補償ユニットに上記補償値を供給し、上記被試験デバイスからの上記出力信号を補償する処理とがある。

本発明の概念１は、試験測定システムであって
被試験デバイスと、
上記被試験デバイスからの入力信号を受ける信号入力部と、
アクセサリ内部に補償信号を印加するよう構成される補償ユニットと、
被試験デバイスから読み取った出力信号を出力する信号出力部と
を有する上記被試験デバイスに接続されたアクセサリと、
上記アクセサリからの上記入力信号及び上記出力信号を受ける１つ又は複数の受信部と、
上記入力信号と上記出力信号を比較し、比較結果に応じて上記補償信号を求めるよう構成されるマイクロコントローラ又は補正回路と
を有する上記アクセサリに接続されたコントローラと、
上記コントローラに接続された試験測定装置と
を具えている。

本発明の概念２は、上記概念１のシステムであって、このとき、上記アクセサリが変換装置（transducer：トランスデューサ）である。

本発明の概念３は、上記概念２のシステムであって、このとき、上記変換装置が、電圧プローブ又は電流プローブである。

本発明の概念４は、上記概念１のシステムであって、このとき、上記コントローラは、上記出力信号を上記試験測定装置に出力し、上記試験測定装置の表示装置上で表示するよう更に構成されている。

本発明の概念５は、上記概念１のアクセサリであって、上記アクセサリとしては、更に、光学電圧センサがあり、このとき、上記被試験デバイスからの上記入力信号は、上記光学電圧センサの信号入力電極に接続され、上記補償ユニットが上記光学電圧センサのバイアス制御電極に接続されている。

本発明の概念６は、上記概念１のアクセサリであって、上記アクセサリが被試験デバイスに取り付けされたときに、上記補償ユニットが上記補償信号を印加するよう更に構成されている。

本発明の概念７は、上記概念１のアクセサリであって、このとき、上記補償信号が上記補償ユニットに送られ、上記補償ユニットが上記出力信号を上記補償信号で補償するよう構成される。

本発明の概念８は、上記概念１のアクセサリであって、このとき、上記補償信号が上記試験測定装置に送られ、上記試験測定装置が上記出力信号を上記補償信号で補償するよう構成される。

本発明の概念９は、ホスト、コントローラ及び被試験デバイスを含む測定システム中のアクセサリを内部的に補償する方法であって、
上記被試験デバイスからの入力信号をアクセサリで受ける処理と、
上記アクセサリから上記入力信号に基づく出力信号を出力する処理と、
上記入力信号と上記出力信号を上記コントローラで比較し、補償値を求める処理と、
上記補償値を上記アクセサリ中の上記補償ユニットに供給し、上記被試験デバイスからの上記出力信号を補償する処理と
を具えている。

本発明の概念１０は、上記概念９の方法であって、上記アクセサリが被試験デバイスに取り付けされたときに、上記補償値が上記補償ユニットに供給される。

本発明の概念１１は、上記概念９の方法であって、上記補償値で補償された出力信号を上記試験測定装置に供給する処理を更に具えている。

本発明の概念１２は、上記概念９の方法であって、上記アクセサリで受けた上記被試験デバイスからの上記入力信号は、電圧センサの第１電極セット及び上記補償ユニットに送られ、上記補償値が上記電圧センサの第２電極セットに供給される。

本発明の概念１３は、試験測定システムであって、
被試験デバイスと、
上記被試験デバイスからの入力信号を受ける手段と、
アクセサリ内部に補償信号を印加する手段と、
被試験デバイスから読み取った出力信号を出力する手段と
を有する上記被試験デバイスに接続されたアクセサリと、
上記アクセサリからの上記入力信号及び上記出力信号を受ける手段と、
上記入力信号と上記出力信号を比較し、比較結果に応じて上記補償信号を上記補償ユニットに供給する手段と
を有する上記アクセサリに接続されたコントローラと、
上記コントローラに接続された試験測定装置と
を具えている。

本発明の概念１４は、上記概念１３の試験測定システムであって、
上記入力信号と上記出力信号の比較は、それぞれの所望の監視部分に関して行われることを特徴としている。

図１は、補償ユニットを含む差動入力アクセサリ・ヘッドを用いた測定システムの実施形態の一例のブロック図である。 図２は、補償ユニットを含むシングル・エンド入力アクセサリ・ヘッドを用いた測定システムの実施形態の一例のブロック図である。 図３は、光学センサ及び補償ユニットを含むアクセサリ・ヘッドを用いた測定システムの実施形態の一例のブロック図である。

以下に示す複数の図面において、類似又は対応する要素には、同じ符号を付して説明する。なお、これら図面において、各要素の縮尺は、説明の都合上、必ずしも同一ではない。

アクセサリを校正又は補償したくても、ＤＵＴに取り付けられたアクセサリを簡単には外せないことは多い。例えば、アクセサリが、ＤＵＴに半田付けされるなど、テスト・フィクスチャ（試験用取付装置）に恒久的に取り付けられていたり、高電圧な場所などの危険な場所や環境室のように、アクセス困難な場所又は遠隔地に取り付けられることがある。従って、こうした状況では、ＤＵＴからアクセサリから取り外すことなく、アクセサリを校正又は補償できることが重要である。

本発明の実施形態の中には、詳しくは後述のように、光学電圧センサを利用可能なものがあり、これによれば、測定をしながら、光学電圧センサの直流（ＤＣ）／低周波数（ＬＦ）の時間に対する不安定な特性（ＤＣオフセットとＤＣオフセットのドリフト（変動））をダイナミックに補償することによって、直流（ＤＣ）からＧＨｚ（ギガ・ヘルツ）までの電気信号を測定可能になる。光学センサの出力は、周囲の環境の変化並びにセンサに印加される信号及びバイアスの影響を受けやすい。詳しくは後述する補正回路を加えることで、高い同相信号除去比と広い電圧レンジを有し、電気的に完全にアイソレートされ、ＤＣ結合、広帯域幅、高感度の差動アクセサリ・ヘッドを開発できる。

本発明の実施形態には、試験測定システムがあり、これは、試験測定装置のようなホスト１００と、コントローラ１０２と、アクセサリ・ヘッド１０４と、ＤＵＴ１０６とを含んでいる。図１は、こうしたシステムの１例を示す。アクセサリ・ヘッド１０４には、詳しくは後述する補償ユニット１０８がある。

測定動作の間、アクセサリ・ヘッド１０４の入力端子１１４及び１１６でＤＵＴ１０６からの差動入力信号を受ける。この被測定信号は、増幅器１１８、メイン・パス１２０及びパス１２４を介してホスト１００へ送信される。補償ユニット１０８も、被測定信号中の監視部分（ＤＣ／ＬＦ成分）をホストに通信ライン１２２を介して送信し、これが後でシステムの補償に利用される。

図１及び２に示す試験測定システムにおける補償量を決定するため、ＤＵＴ１０６からの差動入力信号の監視部分（ＤＣ／ＬＦ成分）は、差動増幅器１２８を介して、アナログ・デジタル変換器１３０でデジタル化されて、補償ユニット１０８に送信される。差動増幅器１２８は、監視部分（ＤＣ／ＬＦ成分）のみに対応した周波数特性を有するものを利用しても良いし、別途、ローパス・フィルタ（図示せず）を利用して、監視部分（ＤＣ／ＬＦ成分）を通過させるようにしても良い。続いて、補償ユニット１０８は、ＤＵＴ１０６からの入力信号の監視部分（ＤＣ／ＬＦ成分）のデジタル・データを、分析のために通信ライン１２２を介してコントローラ１０２へと送る。

一方、増幅器１１８からのアナログ出力信号も、分析のために、コントローラ１０２へと送られる。コントローラ１０２内のＡＤＣ１２６は、増幅器１１８からのアナログ出力信号中の監視部分（ＤＣ／ＬＦ成分）をデジタル化する。増幅器１１８からのアナログ出力信号中の監視部分（ＤＣ／ＬＦ成分）を抽出するのに、ここでも必要に応じて、ローパス・フィルタ（図示せず）を利用しても良い。図示しないが、これら出力信号と入力信号それぞれのデジタル・データは、アクセサリ・ヘッド１０４内で分析されるようにしても良い。コントローラ１０２は、これら出力信号と入力信号それぞれの監視部分デジタル・データを比較し、その比較結果からＤＣ／ＬＦオフセット・エラーを決定する。更に、このＤＣ／ＬＦオフセット・エラーに基いて、増幅器１１８の出力信号に補償ユニット１０８から印加したときに、ＤＣ／ＬＦオフセット・エラーを最小にする補償値（ＤＣバイアス電圧）を決定する。この得られた補償値のデジタル・データは、コントローラ１０２からアクセサリ・ヘッド１０４中の補償ユニット１０８へと通信ライン１２２を介して送られる。補償ユニット１０８は、補償値のデジタル・データに基いて、増幅器１１８の出力信号に補償値（ＤＣバイアス電圧）を印加する。ＤＵＴ１０６からの信号の測定値中のオフセット・ドリフト・エラーを最小に維持するために、このサイクルは、好ましくは、継続的に繰り返される。

図１は、ＤＵＴ１０６から２つの入力信号を受ける差動アクセサリ・ヘッドを示す。しかし、補償ユニット１０８は、図２に示すシングル・エンド入力のアクセサリ・ヘッド１０４内でも利用できる。図２のシステムは、シングル・エンド入力をバッファ１２９で受けることを除けば、図１に示すシステムと同様に動作する。

補償は、継続的に行われる。図１及び２の実施形態を応用した別の実施形態では、補償ユニット１０８からの補償信号（ＤＣバイアス）を求めたら、補償ユニット１０８で補償信号を印加する代わりに、ホスト１００又はコントローラ１０２で増幅器１１８からの出力信号に補償信号を印加しても良い。

図３に示すように、もしアクセサリ・ヘッド１０４が光学アクセサリ・ヘッドならば、アクセサリ・ヘッド１０４が光学センサを含んでいても良い。そうした場合でも、図３に示す測定システムは、図１及び２で上述したように、ホスト１００、コントローラ１０２、補償ユニット１０８及びＤＵＴ１０６を有する。増幅器１１８を使うのではなく、図３の測定システムは、光学センサ４００を有する。光学センサ４００は、例えば、マッハツェンダ（Mach-Zehnder）光学センサとしても良い。しかし、他の光学センサを同様に用いても良い。

アクセサリ・ヘッド１０４の入力端子１１４及び１１６は、信号入力電極４０２及び４０４に接続される。一方、補償ユニット１０８は、光学センサ４００のバイアス制御電極４０６及び４０８に接続される。制御電極４０６及び４０８は、信号入力電極４０２及び４０４から独立していて、電気的にアイソレートされている。

光学センサ４００を用いる場合、コントローラ１０２には、レーザ制御部４１０、レーザ４１２、光学送受信部４１４、光電変換部４１６、アナログ・デジタル変換部４１８及びマイクロコントローラ４２０が設けられる。

コントローラ１０２内のレーザ４１２から放射された光は、光供給パス１１０を介して、光学センサ４００に供給され、分岐されて、２つの光導波路１１２ａ及び１１２ｂに供給される。続いて光導波路１１２ａ及び１１２ｂを通過した２つの光が１つの光に合波されて出力され、光出力パス（メイン信号パス）１２１を介して、コントローラ１０２の光電変換部４１６へと戻る。このとき、ＤＵＴ１０６からの入力信号によって信号入力電極４０２及び４０４間に生じる電界により、第１光導波路１１２ａを通過する光には位相シフトが生じる。このため、２つの分岐光導波路１１２ａ及び１１２ｂからの光が合波されたとき、両者の位相差に応じて、合波された光の強度が変化するので、この変化を検出することで、ＤＵＴ１０６からの信号の電圧測定値を検出できる。光学パス１１０には、偏波保持ファイバ（Polarization Maintaining Fiber）を用いても良い。

同様に、制御電極４０６及び４０８は、これらの間に生じる電界により、第２光導波路１１２ｂを通過する光に位相シフトを生じさせることができる。レーザ４１２から入力される光入力信号を、２つの分岐光導波路１１２ａ及び１１２ｂに分配する際には、ＤＵＴ１０６からの入力信号がない状態では、２つの分岐光導波路１１２ａ及び１１２ｂを通過して合波される直前の光の特性が全く同一であることが理想的である。更に、２つの分岐光導波路１１２ａ及び１１２ｂの特性も全く同一であることが理想的である。しかし、現実的には、製造時の個体差や使用時の環境によって、全く同一とは限らないので、制御電極４０６及び４０８に供給する電圧によって、予め校正し、同一となるようにできる。また、応用としては、測定対象に応じて、制御電極４０６及び４０８によって、意図的なバイアスを加えることもできる。

バイアス制御電極４０６及び４０８に印加される補償量は、図１及び２に関して上述したことと同様にして決定される。このとき、ＤＵＴ１０６からの差動入力信号は、信号入力電極４０２及び４０４だけでなく、差動増幅器１２８を介してアナログ・デジタル変換器１３０でデジタル信号に変換され、補償ユニット１０８にも送られる。このとき、差動増幅器１２８は、周波数特性が低く設計されており、所望の周波数成分以下だけを通過させる。また、上述と同様に、ローパス・フィルタ（図示せず）を用いて、所望の監視部分の周波数だけを通過させるようにしても良い。よって、補償ユニット１０８は、ＤＵＴ１０６からの入力信号中の監視したい直流から低周波数までの成分のみを含む入力信号をデジタル化したデジタル入力信号を受けることになる。このデジタル化入力信号は、更に光学送受信部１３２で光信号に変換され、光通信ライン１２３を介して、コントローラ１０２内の光学送受信部４１４に送られ、分析のためにマイクロコントローラ４２０に最終的に送られる。光通信ライン１２３は、例えば、２本の光ファイバから構成され、コントローラ１０２とアクセサリ・ヘッド１０４の両方の光学送受信部４１４及び１３２間で双方向に通信可能となっている。

ＤＵＴ１０６からの入力信号を反映した光学センサ４００からの光出力信号は、コントローラ１０２内の光電変換部４１６に送られてアナログ電気信号に変換され、ローパス・フィルタ４１７を通して監視したい直流から所望の低周波成分がアナログ・デジタル変換器４１８でデジタル信号に変換される。アナログ・デジタル変換器４１８からのデジタル出力信号は、ＤＵＴ１０６からの入力信号のＤＣ／ＬＦ成分を分析するために、コントローラ１０２内のマイクロコントローラ４２０に送信される。光電変換部４１６からのアナログ電気出力信号は、オシロスコープなどのホスト１００に送られ、周知の技術により、直流から例えばＧＨｚ帯域までの測定に利用される。

上述と同様に、マイクロコントローラ４２０は、デジタル入力信号と、ＡＤＣ４１８からのデジタル出力信号とを比較し、ＤＣ／ＬＦオフセット・エラーを求める。続いて、この比較結果に基づいて、光学センサ４００中のバイアス制御電極４０６及び４０８に印加したときにＤＣ／ＬＦオフセット・エラーを最小にする補償値（バイアス電圧のデジタル・データ）を求める。マイクロコントローラ４２０が決定した補償値（バイアス電圧のデジタル・データ）は、光学送受信部４１４を介して補償ユニット１０８に送り返される。補償ユニット１０８は、補償値（バイアス電圧のデジタル・データ）から、補償に必要となるバイアス電圧を発生してバイアス制御電極４０６及び４０８に印加する。ＤＵＴ１０６からの信号のＤＣ／ＬＦ成分に関するこれら入力信号及び出力信号は、継続的に監視され、コントローラ１０２内のマイクロコントローラ４２０に送信される。これによって、補償値が連続的に決定され、オフセット・ドリフト・エラーが最小値に維持される。なお、マイクロコントローラ４２０の代わりに、補正回路を用いることもできる。

上述では、監視する信号成分をＤＣオフセットとＤＣオフセット・ドリフト（ＬＦ成分）とする例で説明したが、監視する信号成分をより高い周波数成分としても良い。よって、本発明は、直流電圧を校正又は補償できるだけでなく、例えば、交流電圧の利得及び周波数を補償するのにも利用可能である。

本発明は、電圧プローブでの使用に限定されない。アクセサリ・デバイスは、動作に電圧、電流、電力などを必要とする任意の形式の変換デバイス又は一般的なアクセサリ・デバイスであってもよく、これは、例えば、測定プローブ、測定プローブ・アダプタ、アクティブ・フィルタ・デバイス、プローブ校正フィクスチャ、プローブ・アイソレーション・アクセサリなどがある。

ホスト１００は、アクセサリ・デバイスを受けるアクセサリ・デバイス・インターフェイスを有するオシロスコープ、ロジック・アナライザ、スペクトラム・アナライザなどのような試験測定装置としても良い。

アクセサリ・ヘッド１０４のコントローラ１０２への接続は、当業者には周知のように、適宜、有線接続、光ファイバ接続又は無線接続としても良い。もしＤＵＴ１０６及びアクセサリ・ヘッド１０４が遠隔地に配置されているなら、無線接続を利用する必要があるかもしれない。信号パス１２０、１２２及び１２４は、当業者には周知のように、有線又は無線接続としても良い。

本発明による実施形態（図示せず）の中には、コントローラを必要としないものもある。この場合、図１〜３に示したコントローラ１０２内の全ての構成要素は、ホスト１００内に配置しても良い。

本発明で用いている用語「コントローラ」及び「マイクロコントローラ」は、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＡＳＩＣ、専用ハードウェア・コントローラなどを意図している。本発明は、別の観点から見れば、１つ以上のコンピュータ（モニタリング・モジュールを含む）などで実行される１つ以上のプログラム・モジュールのようなコンピュータで利用可能なデータやコンピュータで実行可能な命令の形で実現されてもよい。一般に、プログラム・モジュールには、複数のルーチン、複数のプログラム、複数のオブジェクト、複数のコンポーンネント、複数のデータ構造などが含まれ、これらは、コンピュータなどの装置中のプロセッサで実行されたときに、特定のタスクを実行したり、抽象データ型（abstract data type）を実現する。コンピュータで実行可能な命令は、ハード・ディスク、光ディスク、リムーバブル記録媒体、ソリッド・ステート・メモリ、ＲＡＭなどのような非一時的なコンピュータ読み出し可能なメディアに記録しても良い。当業者にとっては当然ながら、複数のプログラム・モジュールの機能は、必要に応じて、種々の実施形態において、組み合わせたり、個別に分けたりしても良い。加えて、これら機能は、その全体又はその一部が、集積回路やＦＰＧＡ（field programmable gate arrays）などによるファームウェアやハードウェアの形の等価なもので実現されても良い。本発明のいくつかの観点を効果的に実現するのに特定のデータ構造を利用でき、こうしたデータ構造は、本願で言うコンピュータで利用可能なデータやコンピュータで実行可能な命令の範囲に含まれると考えられる。

図示した実施形態を参照しながら本発明の原理を説明してきたが、こうした原理から離れることなく、図示した実施形態の構成や詳細を変更したり、望ましい形態に組み合わせても良いことが理解できよう。

１００ ホスト
１０２ コントローラ
１０４ アクセサリ・ヘッド
１０６ ＤＵＴ（被測定デバイス）
１０８ 補償ユニット
１１０ 光学信号パス
１１２ａ 第１光導波路
１１２ｂ 第２光導波路
１１４ 入力端子
１１６ 入力端子
１１８ 増幅器
１２０ メイン信号パス
１２１ 光学メイン信号パス
１２２ 通信ライン
１２３ 光学通信ライン
１２４ 通信ライン
１２６ ＡＤＣ
１２８ 差動増幅器
１３０ ＡＤＣ
１３２ 光学送受信部
４００ 光学センサ
４１６ 光電変換部
４１７ ローパス・フィルタ
４２０ マイクロコントローラ

Claims (2)

1. 被試験デバイスに接続されるアクセサリであって、
   上記被試験デバイスからの電気入力信号を受ける信号入力部と、
   該電気入力信号のＤＣ成分を表す第１デジタル・データを生成する第１変換回路と、
   バイアス制御電極と上記電気入力信号を受ける信号入力電極とを有し、光入力信号を受けて上記電気入力信号に応じて輝度変調された光出力信号を出力する光学電圧センサと、
   上記バイアス制御電極に補償信号を印加するよう構成される補償ユニットと、
   上記光出力信号を出力する光信号出力部と
   を有する上記アクセサリと、
   該アクセサリに接続されるコントローラであって、
   上記アクセサリからの上記第１デジタル・データ及び上記光出力信号を受ける受信部と、
   上記光出力信号に対応する電気出力信号を生成する光電変換部と、
   上記電気出力信号のＤＣ成分を表す第２デジタル・データを生成する第２変換回路と
   を有し、上記第１デジタル・データと上記第２デジタル・データとを比較し、比較結果に応じて上記補償信号を求めるよう構成されるコントローラと
   を具える試験測定用システム。
2. アクセサリ及びコントローラを含み、ホスト及び被試験デバイス間に接続される試験測定用システム中の上記アクセサリを補償する方法であって、
   上記被試験デバイスからの電気入力信号をアクセサリで受ける処理と、
   上記電気入力信号のＤＣ成分を表す第１デジタル・データを生成する処理と、
   バイアス制御電極と上記電気入力信号を受ける信号入力電極とを有する上記アクセサリ内の光学電圧センサによって、光入力信号を受けて上記電気入力信号に基づいて輝度変調された光出力信号を出力する処理と、
   上記光出力信号に対応する電気出力信号を生成する処理と、
   上記電気出力信号のＤＣ成分を表す第２デジタル・データを生成する処理と、
   上記第１デジタル・データと上記第２デジタル・データとを上記コントローラで比較し、補償信号を求める処理と、
   上記補償信号を上記バイアス制御電極に供給し、上記光学電圧センサからの上記光出力信号を補償する処理と
   を具えるアクセサリ補償方法。

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