JP2015117900A - 空調運転形態変更システム - Google Patents

Abstract

【課題】全外気運転から循環運転への切替運転中におけるクリーンルームの室内気圧の大きな変動を防ぐことができる空調運転形態変更システムを提供する。【解決手段】切替運転において空調運転形態変更システム１０Ａでは、全閉状態にある第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４を次第に開いて全開にする開動作手段と、開動作手段の開始から旋回羽根２４が所定の開度になるまでの間に、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、開動作手段を中断してその時点におけるダンパ１７の旋回羽根２４の開度を維持する開度第１維持手段とを行う。【選択図】図１

Description

本発明は、給気ダクトから空調室に所定量の外気を給気しつつバイパスダクトを利用して空調室に所定量の空気を循環させる循環空調運転と、停止させた空調装置を起動させた場合、循環空調運転を停止して給気ダクトから空調室に外気のみを給気する全外気運転と、全外気運転から循環空調運転に切り替える切替運転とを行う空調運転形態変更システムに関する。

空気調和機とモーターダンパとが設置されて外気を空調室に給気する給気ダクトと、排気ファンとモーターダンパとが設置されて空調室の空気を外部に排気する排気ダクトと、給気ファンとモーターダンパとが設置されて給気ダクトと排気ダクトとに連結されたバイパスダクトとを備え、バイパスダクトのモーターダンパを閉鎖した状態で、給気ダクトによって空調室に外気を給気しつつ排気ダクトによって空調室の空気を外部に排気する全外気運転と、給気ダクトのモーターダンパと排気ダクトのモーターダンパとを閉鎖するとともにバイパスダクトのモーターダンパを開放した状態で、バイパスダクトによって滅菌薬剤の燻蒸ガスを空調室に循環させる循環運転とを行う空調運転システムが開示されている（特許文献１参照）。

特開２００１−１７８７８５号公報

前記特許文献１に開示の空調運転システムは、全外気運転や循環運転において空調室の室内気圧を目標室圧に保持する手段がなく、それらの運転中に空調室の室内気圧を目標室圧に保持することができないのみならず、全外気運転から循環運転への切替運転中や循環運転から全外気運転への切替運転中に空調室の室内気圧が大きく上昇または大きく下降する場合がある。切替運転中において空調室の室内気圧が大きく変動すると、空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなり、多量の外気および隣接空間の空気が空調室に不用意に侵入し、侵入した外気や隣接空間の空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。

本発明の目的は、全外気運転から循環運転への切替運転中における空調室の室内気圧の大きな変動を防ぐことができる空調運転形態変更システムを提供することにある。本発明の他の目的は、全外気運転から循環運転への切替運転中に空調室と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、切替運転中における空調室への多量の外気および隣接空間の空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した外気や隣接空間の空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる空調運転形態変更システムを提供することにある。

前記課題を解決するための本発明の前提は、給気ダクトに設置されて空調室に空気を給気する空調装置と、排気ダクトに設置されて空調室から空気を排気する排気装置と、空調装置の上流側に延びる給気ダクトと排気装置の下流側に延びる排気ダクトとを連結するバイパスダクトと、バイパスダクトに設置された第１ダンパと、空調室の室内気圧を計測する圧力センサと、第１ダンパの開閉機構の開閉動作を制御するコントローラとを備え、給気ダクトから空調室に所定量の外気を給気しつつバイパスダクトを利用して空調室に所定量の空気を循環させる循環空調運転と、第１ダンパの開閉機構を全閉にして循環空調運転を停止し、給気ダクトから空調室に外気のみを給気する全外気運転とを行う空調運転形態変更システムである。

前記前提における本発明の特徴は、空調運転形態変更システムが空調室の室内気圧を目標室圧に保持しつつ全外気運転から循環空調運転に切り替える切替運転を含み、切替運転においてコントローラは、全閉状態にある第１ダンパの開閉機構を次第に開く開動作手段と、開動作手段の開始から第１ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、開動作手段を中断してその時点における第１ダンパの開閉機構の開度を維持する開度第１維持手段とを行い、開度第１維持手段によって第１ダンパの開閉機構の開度を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を下回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を上回った場合、開度第１維持手段を中断して開動作手段を再び行うことにある。なお、第１ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間とは、第１ダンパの開閉機構が全閉状態から４０％以上のある開度になるまでの間や開閉機構が全閉状態から全開になるまでの間である。

本発明の一例としては、第１ダンパの開閉機構の全閉から全開までに要する時間が６０〜６００秒の範囲にあり、開動作手段においてコントローラは、圧力センサが計測した空調室の室内気圧の変化が緩慢な場合、第１ダンパの開閉機構の開速度を速くし、空調室の室内気圧の変化が急激な場合、第１ダンパの開閉機構の開速度を遅くする開閉速度第１変更手段を行う。

本発明の他の一例としては、空調運転形態変更システムが空調装置の上流側に延びる給気ダクトに設置された第２ダンパと排気ダクトに設置された第３ダンパとを含み、循環空調運転と全外気運転と切替運転とでは、第２および第３ダンパの開閉機構の開度が４０〜６０％に維持される。

本発明の他の一例としては、空調運転形態変更システムが空調装置の上流側に延びる給気ダクトに設置された第２ダンパと排気ダクトに設置された第３ダンパとを含み、切替運転においてコントローラは、開放状態にある第２および第３ダンパの開閉機構を所定の開度まで次第に閉じる閉動作手段と、開動作手段の開始から第１ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間および閉動作手段の開始から第２および第３ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、閉動作手段を中断してその時点における第２および第３ダンパの開閉機構の開度を維持する開度第２維持手段とを行い、開度第２維持手段によって第２および第３ダンパの開閉機構の開度を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を下回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を上回った場合、開度第２維持手段を中断して閉動作手段を再び行う。

本発明の他の一例として、開度第１維持手段では、閉動作手段の開始から第２および第３ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、開動作手段を中断してその時点における第１ダンパの開閉機構の開度を維持する。

本発明の他の一例としては、第２および第３ダンパの開閉機構の全閉から全開までに要する時間が６０〜６００秒の範囲にあり、閉動作手段においてコントローラは、圧力センサが計測した空調室の室内気圧の変化が緩慢な場合、第２および第３ダンパの開閉機構の閉速度を速くし、空調室の室内気圧の変化が急激な場合、第２および第３ダンパの開閉機構の閉速度を遅くする開閉速度第２変更手段を行う。

本発明の他の一例として、全外気運転では、第２および第３ダンパの開閉機構の開度が全開に維持され、閉動作手段では、全開状態にある第２および第３ダンパの開閉機構の開度を４０〜６０％まで閉じる。

本発明の他の一例としては、空調室がクリーンルームであり、空調運転形態変更システムでは、空調装置の停止後から空調装置を起動させるまでの間に、クリーンルームにホルマリンおよび過酸化水素等の薬剤による燻蒸が行われ、または、空調装置の停止後から空調装置を起動させるまでの間に、システムのメンテナンスが行われ、燻蒸後またはメンテナンス後に全外気運転が行われるとともに、全外気運転後に切替運転が行われる。

本発明にかかる空調運転形態変更システムによれば、全閉状態にある第１ダンパの開閉機構を次第に開く開動作手段の実行中に、空調室の室内気圧が大きく上昇し、または、空調室の室内気圧が大きく下降する場合があるが、切替運転において開動作手段の開始から第１ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、開動作手段を中断してその時点における第１ダンパの開閉機構の開度を維持する開度第１維持手段を行い、第１ダンパの開閉機構の開動作を停止するから、切替運転中に空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回ったとしても、目標室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、切替運転中に空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回ったとしても、目標室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。空調運転形態変更システムは、切替運転中において空調室の室内気圧の目標室圧の上限値や下限値に対する逸脱を防ぐことができるから、全外気運転から循環空調運転への切替運転中における空調室の室内気圧の大きな変動を防ぐことができるとともに、開度第１維持手段によって第１ダンパの開閉機構の開度を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を下回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を上回った場合、開度第１維持手段を中断して開動作手段を再開し、第１ダンパの開閉機構を次第に開くから、空調室の室内気圧を目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。空調運転形態変更システムは、切替運転中において空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への多量の外気および隣接空間の空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した外気や隣接空間の空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。

圧力センサが計測した空調室の室内気圧の変化が緩慢な場合、第１ダンパの開閉機構の開速度を速くし、空調室の室内気圧の変化が急激な場合、第１ダンパの開閉機構の開速度を遅くする開閉速度第１変更手段を行う空調運転形態変更システムは、空調室の室内気圧の変化が緩やかな場合に第１ダンパの開閉機構の開速度を速くするから、全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができ、空調室の室内気圧の変化が急な場合に第１ダンパの開閉機構の開速度を遅くするから、切替運転中において空調室の室内気圧の目標室圧の上限値や下限値に対する逸脱を防ぐことができ、全外気運転から循環運転への切替運転中における空調室の室内気圧の大きな変動を防ぐことができる。

空調装置の上流側に延びる給気ダクトに設置された第２ダンパと排気ダクトに設置された第３ダンパとを含み、循環空調運転と全外気運転と切替運転とにおいて第２および第３ダンパの開閉機構の開度が４０〜６０％に維持される空調運転形態変更システムは、切替運転中に第２および第３ダンパの開閉機構の開度が４０〜６０％に維持されることで、第２および第３ダンパを利用して所定量の外気を空調室に給気しつつ、第１ダンパを設置したバイパスダクトを通じて所定量の空気を空調室に給気することができ、全外気運転から切り替わった循環空調運転において外気とバイパスダクトを通る循環空気との混合割合を略１対１にすることができる。空調運転形態変更システムは、空調室の室内気圧を目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、外気とバイパスダクトを通る循環空気との混合割合が略１対１になるように、それらダンパを利用して全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。空調運転形態変更システムは、第２および第３ダンパの開閉機構を動作させることがないから、それらダンパの開閉機構を動作させる手間とコストとを省くことができ、システムを安価に構築することができる。

空調装置の上流側に延びる給気ダクトに設置された第２ダンパと排気ダクトに設置された第３ダンパとを含み、切替運転において開放状態にある第２および第３ダンパの開閉機構を所定の開度まで次第に閉じる閉動作手段と、開動作手段の開始から第１ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間および閉動作手段の開始から第２および第３ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、閉動作手段を中断してその時点における第２および第３ダンパの開閉機構の開度を維持する開度第２維持手段とを行う空調運転形態変更システムは、全閉状態にある第１ダンパの開閉機構を次第に開いて全開にする開動作手段の実行中および開状態にある第２および第３ダンパの開閉機構を次第に閉じる閉動作の実行中に、空調室の室内気圧が大きく上昇し、または、空調室の室内気圧が大きく下降する場合があるが、切替運転において開動作手段の開始から第１ダンパの開閉機構が全開になるまでの間および閉動作手段の開始から第２および第３ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、第２および第３ダンパの開閉機構の閉動作を停止し、その時点における第２および第３ダンパの開閉機構の開度を維持するから、切替運転中に空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回ったとしても、目標室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、切替運転中に空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回ったとしても、目標室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。空調運転形態変更システムは、切替運転中において空調室の室内気圧の目標室圧の上限値や下限値に対する逸脱を防ぐことができるから、全外気運転から循環空調運転への切替運転中における空調室の室内気圧の大きな変動を防ぐことができるとともに、開度第２維持手段によって第２および第３ダンパの開閉機構の開度を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を下回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を上回った場合、開度第２維持手段を中断して閉動作手段を再開し、第２および第３ダンパの開閉機構を次第に閉じるから、空調室の室内気圧を目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。空調運転形態変更システムは、切替運転中において空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への多量の外気および隣接空間の空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した外気や隣接空間の空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。

開度第１維持手段において、閉動作手段の開始から前記第２および第３ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、開動作手段を中断してその時点における第１ダンパの開閉機構の開度を維持する空調運転形態変更システムは、切替運転において閉動作手段の開始から第２および第３ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、第１ダンパの開閉機構の開動作を停止し、その時点における第１ダンパの開閉機構の開度を維持するから、切替運転中に空調室の室内気圧が目標室圧の上限値を上回ったとしても、目標室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、切替運転中に空調室の室内気圧が目標室圧の下限値を下回ったとしても、目標室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。空調運転形態変更システムは、切替運転中において空調室の室内気圧の目標室圧の上限値や下限値に対する逸脱を防ぐことができるから、全外気運転から循環空調運転への切替運転中における空調室の室内気圧の大きな変動を防ぐことができるとともに、全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。

圧力センサが計測した空調室の室内気圧の変化が緩慢な場合、第２および第３ダンパの開閉機構の閉速度を速くし、空調室の室内気圧の変化が急激な場合、第２および第３ダンパの開閉機構の閉速度を遅くする開閉速度第２変更手段を行う空調運転形態変更システムは、空調室の室内気圧の変化が緩やかな場合、第１ダンパの開閉機構の開速度を速くするとともに、第２および第３ダンパの開閉機構の閉速度を速くするから、全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。また、空調室の室内気圧の変化が急な場合、第１ダンパの開閉機構の開速度を遅くするとともに、第２および第３ダンパの開閉機構の閉速度を遅くするから、切替運転中において空調室の室内気圧の目標室圧の上限値や下限値に対する逸脱を防ぐことができ、全外気運転から循環運転への切替運転中における空調室の室内気圧の大きな変動を防ぐことができる。

全外気運転において第２および第３ダンパの開閉機構の開度が全開に維持され、閉動作手段において全開状態にある第２および第３ダンパの開閉機構の開度を４０〜６０％まで閉じる空調運転形態変更システムは、切替運転中に第２および第３ダンパの開閉機構の開度が４０〜６０％まで閉じられることで、第２および第３ダンパを利用して所定量の外気を空調室に給気しつつ、第１ダンパを設置したバイパスダクトを通じて所定量の空気を空調室に給気することができ、全外気運転から切り替わった循環空調運転において外気とバイパスダクトを通る循環空気との混合割合を略１対１にすることができる。空調運転形態変更システムは、空調室の室内気圧を目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、外気とバイパスダクトを通る循環空気との混合割合が略１対１になるように、それらダンパを利用して全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。

空調装置の停止後から空調装置を起動させるまでの間にクリーンルームにホルマリンおよび過酸化水素等の薬剤による燻蒸が行われ、または、空調装置の停止後から空調装置を起動させるまでの間に空調運転形態変更システムのメンテナンスが行われ、燻蒸後またはメンテナンス後に全外気運転が行われるとともに、全外気運転後に切替運転が行われる空調運転形態変更システムは、燻蒸の後やシステムのメンテナンスの後に全外気運転が行われるから、ホルマリンおよび過酸化水素等の薬剤をクリーンルームから速やかに排気することができ、メンテナンス時に発生した塵埃をクリーンルームから速やかに排気することができるとともに、薬剤や塵埃をクリーンルームから排気した後、クリーンルームの室内気圧の目標室圧に対する逸脱を防ぎつつ、全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。

一例として示す空調運転形態変更システムの構成図。 空調運転形態変更システムの運転状態の遷移を示す図。 空調運転形態変更システムにおける全外気運転を示す図。 空調運転形態変更システムにおける切替運転を示す図。 （ａ）は、クリーンルームの室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の一例を示す図、（ｂ）は、クリーンルームの室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の他の一例を示す図、（ｃ）は、切替運転中における第１モーターダンパの旋回羽根の開動作の一例を示す図。 図１の空調運転形態変更システムの切替運転において行われる各手段を説明するためのフローチャート。 他の一例として示す空調運転形態変更システムの構成図。 他の一例の空調運転形態変更システムにおける全外気運転を示す図。 他の一例の空調運転形態変更システムにおける切替運転を示す図。 （ａ）は、クリーンルームの室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の一例を示す図、（ｂ）は、クリーンルームの室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の他の一例を示す図、（ｃ）は、切替運転中における第１〜第３モーターダンパの旋回羽根の開動作および閉動作の一例を示す図。 図７の空調運転形態変更システムの切替運転において行われる各手段を説明するためのフローチャート。 図１１から続くフローチャート。

一例として示す空調運転形態変更システム１０Ａの構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる空調運転形態変更システムの詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、空調運転形態変更システム１０Ａの運転状態の遷移を示す図であり、図３は、空調運転形態変更システム１０Ａにおける全外気運転を示す図である。図１では、空調運転形態変更システム１０Ａにおいて循環空調運転が行われている状態を示す。図１は、クリーンルーム１１をその側方から示している。

空調運転形態変更システム１０Ａは、建造物の一角に施設されたクリーンルーム１１（空調室）に対して循環空調運転および全外気運転を行うとともに、全外気運転から循環空調運転に切り替える切替運転を行い、切替運転の後、再び循環空調運転を行う。システム１０Ａは、切替運転において第１モーターダンパ１７の後記する旋回羽根２４（開閉機構）の開動作を制御し、切替運転中におけるクリーンルーム１１の室内気圧の変動を防止しつつ、クリーンルーム１１の空調運転を全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替える。

なお、図１ではクリーンルーム１１を１室だけ図示しているが、クリーンルーム１１を１室に限定するものではなく、２室以上のクリーンルームに対してこの空調運転形態変更システム１０Ａの制御を実施し、複数のクリーンルームの空調運転を全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることもできる。また、このシステム１０Ａは、クリーンルーム１１のみならず、他のあらゆる種類の空調室に採用することができる。

空調運転形態変更システム１０Ａは、屋外の空気を建造物内に施設されたクリーンルーム１１に供給する給気ダクト１２と、クリーンルーム１１から屋外に空気を排出する排気ダクト１３と、給気ダクト１２と排気ダクト１３とを連結するバイパスダクト１４と、クリーンルーム１１に空調空気を給気する空調装置１５と、クリーンルーム１１から空気を排気する排気ファン１６（排気装置）と、バイパスダクト１４に設置された第１モーターダンパ１７（第１ダンパ）（ＭＤ）と、クリーンルーム１１の室内気圧を計測する圧力センサ１８と、モーターダンパ１７の旋回羽根２４（開閉機構）の開閉動作を制御するコントローラ１９とを備えている。空調装置１５や排気ファン１６、第１モーターダンパ１７、圧力センサ１８、コントローラ１９には、給電線を介して所定の電力が供給されている。

クリーンルーム１１は、天井および床と前後壁および側壁とに囲繞された所定容積の清浄な空調空間を有し、天井、床、それら壁によって室外と仕切られている。天井には、給気ダクト１２から供給される空気をクリーンルーム１１に取り入れるための給気口（図示せず）が施設されている。床または側壁には、クリーンルーム１１の空気を排気ダクト１３に取り入れるための排気口（図示せず）が施設されている。クリーンルーム１１には、図示はしていないが、そこに出入りするための扉が設置されている。クリーンルーム１１は、その室内気圧が厳密に管理され、循環空調運転において室内気圧が目標室圧（陽圧）に保持されている。

給気ダクト１２は、クリーンルーム１１の天井に施設された給気口につながり、屋外とクリーンルーム１１とを連結している。給気ダクト１２とバイパスダクト１４との合流箇所２６の上流に延びるダクト１２には、第１風量調整ダンパ２０（ＶＤ）が設置されている。第１風量調整ダンパ２０の旋回羽根２１（開閉機構）は、その開度が４０〜６０％（好ましくは、５０％）に固定されている。

空調装置１５は、クリーンルーム１１の給気口とバイパスダクト１４との間に延びる給気ダクト１２に設置されている。空調装置１５は、それに内蔵されたファンの周波数がインバーターによって制御され、循環空調運転や全外気運転、切替運転においてあらかじめ設定された風量の空調空気をクリーンルーム１１に強制的に給気する。

排気ダクト１３は、クリーンルーム１１の床や側壁に施設された排気口につながり、クリーンルーム１１と屋外とを連結している。排気ダクト１３とバイパスダクト１４との分岐箇所２７の下流に延びるダクト１３には、第２風量調整ダンパ２２（ＶＤ）が設置されている。第２風量調整ダンパ２２の旋回羽根２３（開閉機構）は、その開度が４０〜６０％（好ましくは、５０％）に固定されている。

排気ファン１６は、クリーンルーム１１の排気口とバイパスダクト１４との間に延びる排気ダクト１３に設置されている。排気ファン１６は、その周波数がインバーターによって制御され、循環空調運転や全外気運転、切替運転においてあらかじめ設定された風量の空気をクリーンルーム１１から強制的に排気する。バイパスダクト１４は、空調装置１５の上流側に延びる給気ダクト１２と排気ファン１６の下流側に延びる排気ダクト１３とに連結されている。

第１モーターダンパ１７は、モジュトロールモーターと、モーターの駆動力によって旋回する旋回羽根２４（開閉機構）と、旋回羽根２４の旋回によって開閉される空気流路とから形成されている。モーターダンパ１７は、その制御部が制御信号線２５を介してコントローラ１９に接続され、旋回羽根２４の開動作や閉動作がコントローラ１９によって制御される。モーターダンパ１７の旋回羽根２４の全閉から全開までに要する時間は、６０〜６００秒の範囲、好ましくは、６０〜２００秒の範囲にある。

第１モーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４の閉動作中を示す閉動作継続中信号、旋回羽根２４によって空気流路が閉鎖（全閉）された状態を示す全閉完了信号、旋回羽根２４の開動作中を示す開動作継続中信号、旋回羽根２４によって空気流路が所定の開度に開放された状態を示す開完了信号をコントローラ１９に送信する。さらに、旋回羽根２４の開動作の一時停止中を示す一時停止中信号、旋回羽根２４の開動作の再開を示す開動作再開信号をコントローラ１９に送信する。

圧力センサ１８は、制御信号線２５を介してコントローラ１９に接続されている。圧力センサ１８は、クリーンルーム１１の室内気圧を計測し、計測した室内気圧を示す電気信号をコントローラ１９に送信する。コントローラ１９は、演算処理を行う中央処理装置（ＣＰＵまたはＭＰＵ）と各種データを記憶可能なメモリとを有するコンピュータである。コントローラ１９には、各種データや運転条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている（図示せず）。

コントローラ１９のメモリには、クリーンルーム１１の目標室圧、クリーンルーム１１の目標室圧の上限値、クリーンルーム１１の目標室圧の下限値が格納されている。目標室圧は、入力装置からコントローラ１９に入力され、コントローラ１９のメモリに記憶される。目標室圧は、入力装置を介してその値を任意に設定することができる。

目標室圧の上限値は、クリーンルーム１１の目標室圧と上限室圧との間で設定された室圧が使用される。目標室圧の上限値は、入力装置からコントローラ１９に入力され、コントローラ１９のメモリに格納される。目標室圧の上限値は、入力装置を介してその値を任意に設定することができる。

目標室圧の下限値は、クリーンルーム１１の目標室圧と下限室圧との間で設定された室圧が使用される。目標室圧の下限値は、入力装置からコントローラ１９に入力され、コントローラ１９のメモリに記憶される。目標室圧の下限値は、入力装置を介してその値を任意に設定することができる。

コントローラ１９は、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４によって空気流路を閉鎖（全閉）させる閉動作開始信号、旋回羽根２４の閉動作を停止させる閉動作停止信号、旋回羽根２４によって空気流路を所定の開度に開放させる開動作開始信号、旋回羽根２４の開動作を停止させる開動作停止信号、旋回羽根２４の開動作を一時停止させる開動作一時停止信号、一時停止させた旋回羽根２４の開動作を再開させる開動作再開開始信号をモーターダンパ１７の制御部に送信する。

空調運転形態変更システム１０Ａにおける平常時では、循環空調運転が行われる。循環空調運転では、空調装置１５、排気ファン１６、第１モーターダンパ１７、圧力センサ１８が稼働し、図１に示すように、空調装置１５によって空調された所定量の空気がクリーンルーム１１に給気され、排気ファン１６によって所定量の空気がクリーンルーム１１から排気されている。循環空調運転では、圧力センサ１８からクリーンルーム１１の室内気圧がコントローラ１９に送信され、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に保持されている。

循環空調運転においてコントローラ１１は、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度を４０〜６０％（好ましくは、５０％）に保持する。循環空調運転では、第１モーターダンパ１７の空気流路が約半分開放されており、排気ダクト１３とバイパスダクト１４との分岐箇所２７においてクリーンルーム１１から流出した空気の約半分（約半分の風量）がダクト１３を通って排気口から建築物の外部（屋外）に放出され、残りの約半分（約半分の風量）がバイパスダクト１４に流入する。なお、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度を６０％以上または全開に保持する場合もある。この場合は、クリーンルーム１１から流出した空気の約半分がバイパスダクト１４に流入するようにダクト１４の径が設計されている。

バイパスダクト１４に流入した空気は、第１モーターダンパ１７の空気流路を通過して給気ダクト１２とバイパスダクト１４との合流箇所２６に達し、合流箇所２６において建築物の給気口から取り入れられた空気と合流し、空調装置１５を通ってクリーンルーム１１に給気される。循環空調運転においてクリーンルーム１１に給気される空気は、約半分の外気（約半分の風量）とバイパスダクト１４から流入した約半分の循環空気（約半分の風量）との混合気である。循環空調運転を行うことで、外気の導入量を減らすことができ、空調装置１５にかかる熱負荷量を削減することで省エネルギーに寄与する。

クリーンルーム１１では、その内部を微生物類が存在しない状態にするため、定期的にクリーンルーム１１にホルマリンおよび過酸化水素等の薬剤を散布する燻蒸が行われる。また、システム１０Ａのメンテナンス（点検や清掃、修理等）が行われる。燻蒸やメンテナンスでは、空調装置１５や排気ファン１６を停止させ、循環空調運転を中断する。図２に示すように、燻蒸が終了した後、クリーンルーム１１に残存する薬剤を室外に排気するため、全外気運転が行われ、メンテナンスが終了した後、クリーンルーム１１に残存する塵埃を室外に排気するため、全外気運転が行われる。

なお、全外気運転は、燻蒸やメンテナンスの他に、外気と比較してクリーンルーム１１からの排気を空調空気にするための熱負荷が大きい場合、クリーンルーム１１において塵埃や臭気が発生する作業が行われる場合、クリーンルーム１１の二酸化炭素濃度が高い（酸素濃度が低い）場合等に行われる。それらの場合では、空調装置１５や排気ファン１６を停止させることなく、循環空調運転から全外気運転に切り替える。

全外気運転を行う場合、コントローラ１９の表示装置に表示された全外気運転ボタンを押す。全外気運転ボタンを押すと、コントローラ１９は、第１モーターダンパ１７の制御部に閉動作開始信号を送信する。モーターダンパ１７の制御部は、コントローラ１９から送信された閉動作開始信号にしたがって旋回羽根２４に閉動作させ、モーターダンパ１７の空気流路を次第に閉じる。モーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４が閉動作中である場合、閉動作継続中信号をコントローラ１９に送信する。

第１モーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４によって空気流路が閉鎖（全閉）された後、全閉完了信号をコントローラ１９に送信する。全閉完了信号を受信したコントローラ１９は、モーターダンパ１７の制御部に閉動作停止信号を送信し、旋回羽根２４の閉動作を停止させる。閉動作停止信号を受信したモーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４の閉動作を終了する。コントローラ１９は、ダンパ閉鎖完了のメッセージを表示装置に表示する。

薬剤による燻蒸やメンテナンスの場合は、第１モーターダンパ閉鎖完了のメッセージが表示された後、空調装置１５や排気ファン１６を再起動させる。その他の場合では、モーターダンパ１７の空気流路が閉鎖（全閉）されることによって循環空調運転から全外気運転に自動的に切り替わる。なお、全外気運転では、第１風量調整ダンパ２０や第２風量調整ダンパ２２の旋回羽根２１，２３の開度を４０〜６０％（好ましくは、５０％）に固定する場合の他、旋回羽根２１，２３の開度を全開にする場合がある。

全外気運転においてコントローラ１９は、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度を全閉に保持する。全外気運転では、空調装置１５、排気ファン１６、圧力センサ１８が稼働し、図３に示すように、給気口から取り入れられた外気が第１風量調整ダンパ２０を通って空調装置１５に流入し、空調装置１５によって空調された所定量の空気（外気）がクリーンルーム１１に給気され、排気ファン１６によって所定量の空気がクリーンルーム１１から排気されている。全外気運転では、モーターダンパ１７の空気流路が旋回羽根２４によって閉鎖されており、クリーンルーム１１から流出した空気がバイパスダクト１４に流入することはなく、クリーンルーム１１から流出した空気のすべてが第２風量調整ダンパ２２を通って建築物の排気口から屋外に排気される。

全外気運転を行うことで、クリーンルーム１１に残存する薬剤が室外に排気され、クリーンルーム１１に残存する塵埃が室外に排気される。また、クリーンルーム１１において発生した塵埃や臭気が室外に排気される。あるいは、クリーンルーム１１の二酸化炭素濃度が低下（酸素濃度が上昇）する。

図４は、空調運転形態変更システム１０Ａにおける切替運転を示す図であり、図５（ａ）は、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の一例を示す図である。図５（ｂ）は、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の他の一例を示す図であり、図５（ｃ）は、切替運転中における第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４（開閉機構）の開動作の一例を示す図である。図６は、切替運転において行われる各手段を説明するためのフローチャートである。図４では、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４が開動作を継続している状態を示す。

それら図に基づいて、切替運転において空調運転形態変更システム１０Ａが行う各手段を説明すると、以下のとおりである。空調運転形態変更システム１０Ａは、全外気運転を行った後、全外気運転から循環空調運転に切り替える切替運転を行う。なお、全外気運転の実施時間がコントローラ１９のメモリに格納され、実施時間の経過後に切替運転が行われる場合を例として切替運転を説明するが、コントローラ１９の表示装置に表示された全外気運転停止ボタンを押して全外気運転を停止させ、その後、表示装置に表示された切替運転ボタンを押して切替運転を行う場合もある。全外気運転の終了時には、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４が全閉状態にある。なお、全外気運転おいて第１および第２風量調整ダンパ２０，２２の旋回羽根２１，２３の開度を全開にした場合は、旋回羽根２１，２３の開度を４０〜６０％（好ましくは、５０％）に戻す。

コントローラ１９は、旋回羽根２４の全閉状態を維持して全外気運転を継続しつつ（Ｓ−１）、全外気運転の実施時間が経過したかを判断する（Ｓ−２）。全外気運転の実施時間が経過していない場合、全外気運転を継続する。コントローラ１９は、ステップ２（Ｓ−２）において全外気運転の実施時間が経過したと判断した場合、第１モーターダンパ１７の制御部に開動作開始信号を送信する。開動作開始信号を受信したモーターダンパ１７の制御部は、全閉状態にある旋回羽根２４の開動作を開始する（開動作手段）（Ｓ−３）。旋回羽根２４がモジュトロールモーターによって旋回してモーターダンパ１７の空気流路が次第に開く。モーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４が開動作中である場合、開動作継続中信号をコントローラ１９に送信する。

開動作継続中信号（開動作手段実行中）を受信したコントローラ１９は、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧の変化が緩慢な場合、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作の速度（旋回速度）を速くする（開閉速度第１変更手段）。たとえば、単位時間当たりに室内気圧が０〜±５Ｐａの範囲で緩やかに変化（遅い速度で変化）した場合、旋回羽根２４の開動作の速度を現在の速度よりも６０〜６００秒の範囲で速くする。逆に、クリーンルーム１１の室内気圧の変化が急激な場合、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作の速度（旋回速度）を遅くする（開閉速度第１変更手段）。たとえば、単位時間当たりに室内気圧が０〜±５Ｐａの範囲で急に変化（速い速度で変化）した場合、旋回羽根２４の開動作の速度を現在の速度よりも６０〜６００秒の範囲で遅くする。

空調運転形態変更システム１０Ａは、クリーンルーム１１の室内気圧の変化が緩やかな場合に第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作の速度を速くするから、全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができ、クリーンルーム１１の室内気圧の変化が急な場合にモーターダンパ１７の旋回羽根２４の開速度を遅くするから、切替運転中においてクリーンルーム１１の室内気圧の目標室圧に対する逸脱を防ぐことができ、全外気運転から循環運転への切替運転中におけるクリーンルーム１１の室内気圧の大きな変動を防ぐことができる。

コントローラ１９は、旋回羽根２４の開動作を開始してから第１モーターダンパ１７の制御部から開完了信号を受信するまでの間（開動作手段の開始から旋回羽根２４（開閉機構）の開度が所定の開度（４０％以上のある開度または全開）になるまでの間）に、圧力センサ１８から受信したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回ったか（目標室圧を逸脱したか）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回ったか（目標室圧を逸脱したか）を判断する（Ｓ−４）。コントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を下回っている場合（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内にある場合）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を上回っている場合（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内にある場合）、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作を継続させる（Ｓ−５）。

コントローラ１９は、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度が所定の開度になったかを判断する（Ｓ−６）。モーターダンパ１７の制御部から開動作継続中信号が送信されている場合、コントローラ１９は、旋回羽根２４の開度が所定の開度になっていないと判断し、ステップ４（Ｓ−４）に戻ってステップ４からの手順を繰り返す。旋回羽根２４の開度が所定の開度になった場合、モーターダンパ１７の制御部は、開完了信号をコントローラ１９に送信する。

開完了信号を受信したコントローラ１９は、モーターダンパ１７の制御部に開動作停止信号を送信し、旋回羽根２４の開動作を停止させる。開動作停止信号を受信したモーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４の開動作を終了する（Ｓ−７）。この時点においてクリーンルーム１１に循環空調運転が実施される（Ｓ−８）。コントローラ１９の表示装置には、循環空調運転中のメッセージが表示される。なお、切替運転から循環空調運転に移行した場合、図５（ａ），（ｂ）に示すように、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に保持される。

切替運転中において、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作を継続すると、モーターダンパ１７の空気流路が次第に開放され、排気ダクト１３とバイパスダクト１４との分岐箇所２７においてクリーンルーム１１から流出した空気がバイパスダクト１４に次第に流入するとともに、バイパスダクト１４を通って循環空気が合流箇所２６において外気と混合される。このとき、給気ダクト１２や排気ダクト１３、バイパスダクト１４の内部を流動する空気の圧力が変動し、図５（ａ），（ｂ）に示すように、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回る場合や室内気圧が目標室圧の上限値を下回る場合がある。

ステップ４（Ｓ−４）においてコントローラ１９は、図５（ａ）に示すように、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回っている（目標室圧の上限値を逸脱している）と判断し、または、図５（ｂ）に示すように、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回っている（目標室圧の下限値を逸脱している場合）と判断した場合、第１モーターダンパ１７の制御部に開動作一時停止信号を送信する。開動作一時停止信号を受信したモーターダンパ１７の制御部は、図５（ｃ）に示すように、旋回羽根２４の開動作を一時停止させる（Ｓ−９）（開度第１維持手段）。旋回羽根２４の開動作を一時停止させたモーターダンパ１７の制御部は、一時停止中信号をコントローラ１９に送信する。

一時停止中信号を受信したコントローラ１９は、モーターダンパ１７の制御部から開完了信号を受信するまでの間に、圧力センサ１８から受信したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を下回ったか（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に復帰したか）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を上回ったか（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に復帰したか）を判断する（Ｓ−１０）。

コントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回っている場合（目標室圧の上限値を逸脱している）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回っている場合（目標室圧の下限値を逸脱している）、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作の一時停止を継続させ、ステップ９（Ｓ−９）からの手順を繰り返す。クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値または下限値を逸脱した場合に、モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作を一時停止させることで、給気ダクト１２や排気ダクト１３、バイパスダクト１４の内部を流動する空気の圧力の変動要因がなくなり、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に復帰する。

ステップ１０（Ｓ−１０）においてコントローラ１９は、旋回羽根２４の開動作の一時停止中に、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を下回った場合（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に復帰した場合）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を上回った場合（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に復帰した場合）、第１モーターダンパ１７の制御部に開動作再開開始信号を送信する。開動作再開開始信号を受信したモーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４の開動作を再開し（Ｓ−１１）、コントローラ１９に開動作再開信号および開動作継続中信号を送信する。開動作再開信号および開動作継続中信号を受信したコントローラ１９は、ステップ６（Ｓ−６）からの手順を繰り返す。

空調運転形態変更システム１０Ａは、全閉状態にある第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４（開閉機構）を次第に開いて所定の開度にする開動作手段の実行中に、クリーンルーム１１の室内気圧が大きく上昇し、または、クリーンルーム１１の室内気圧が大きく下降する場合があるが、旋回羽根２４の開動作を開始してから開完了信号を受信するまでの間（切替運転において開動作手段の開始から旋回羽根２４（開閉機構）の開度が所定の開度（４０％以上のある開度または全開）になるまでの間）に、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、開動作手段を中断してその時点におけるモーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度を維持する開度第１維持手段を行い、モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作を停止するから、切替運転中にクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回ったとしても、目標室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、切替運転中にクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回ったとしても、目標室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。

空調運転形態変更システム１０Ａは、切替運転中においてクリーンルーム１１の室内気圧の目標室圧の上限値や下限値に対する逸脱を防ぐことができるから、全外気運転から循環空調運転への切替運転中におけるクリーンルーム１１の室内気圧の大きな変動を防ぐことができるとともに、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を下回り、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を上回ると、開動作手段を再開し、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４を開動作させて空気流路を次第に開くから、クリーンルーム１１の室内気圧を目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。空調運転形態変更システム１０Ａは、切替運転中においてクリーンルーム１１の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、クリーンルーム１１への多量の外気および隣接空間の空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した外気や隣接空間の空気によってクリーンルーム１１が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。

図７は、他の一例として示す空調運転形態変更システム１０Ｂの構成図であり、図８は、空調運転形態変更システム１０Ｂにおける全外気運転を示す図である。図７は、空調運転形態変更システム１０Ｂにおいて循環空調運転が行われている状態を示す。この空調運転形態変更システム１０Ｂが図１のそれと異なるところは、第１風量調整ダンパ２０が第２モーターダンパ２８に替わり、第２風量調整ダンパ２２が第３モーターダンパ２９に替わった点にあり、その他の構成は図１の空調運転形態変更システム１０Ａのそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１の説明を援用することで、このシステム１０Ｂにおけるその他の構成の詳細な説明は省略する。

空調運転形態変更システム１０Ｂは、図１のそれと同様に、クリーンルーム１１（空調室）に対して循環空調運転および全外気運転を行うとともに、全外気運転から循環空調運転に切り替える切替運転を行い、切替運転の後、再び循環空調運転を行う（図２参照）。システム１０Ｂは、切替運転において第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４（開閉機構）の開動作や第２および第３モーターダンパ２８，２９の後記する旋回羽根３０，３１（開閉機構）の閉動作を制御し、切替運転中におけるクリーンルーム１１の室内気圧の変動を防止しつつ、クリーンルーム１１の空調運転を全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替える。

空調運転形態変更システム１０Ｂは、給気ダクト１２および排気ダクト１３と、給気ダクト１２と排気ダクト１３とを連結するバイパスダクト１４と、空調装置１５および排気ファン１６（排気装置）と、バイパスダクト１４に設置された第１モーターダンパ１７（第１ダンパ）（ＭＤ）と、給気ダクト１２に設置された第２モーターダンパ２８（第２ダンパ）（ＭＤ）と、排気ダクト１３に設置された第３モーターダンパ２９（第３ダンパ）（ＭＤ）と、圧力センサ１８およびコントローラ１９とを備えている。それらダクト１２〜１４や空調装置１５、排気ファン１６、第１モーターダンパ１７、圧力センサ１８、コントローラ１９は図１のシステム１０Ａのそれらと同一である。

第２モーターダンパ２８は、給気ダクト１２とバイパスダクト１４との合流箇所２６の上流に延びるダクト１２に設置されている。第３モーターダンパ２９は、排気ダクト１３とバイパスダクト１４との分岐箇所２７の下流に延びるダクト１３に設置されている。第２および第３モーターダンパ２８，２９は、モジュトロールモーターと、モーターの駆動力によって旋回する旋回羽根３０，３１（開閉機構）と、旋回羽根３０，３１の旋回によって開閉される空気流路とから形成されている。

第２および第３モーターダンパ２８，２９は、その制御部が制御信号線２５を介してコントローラ１９に接続され、旋回羽根３０，３１の開動作や閉動作がコントローラ１９によって制御される。それらモーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の全閉から全開までに要する時間は、６０〜６００秒の範囲、好ましくは、６０〜２００秒の範囲にある。

第１モーターダンパ１７の制御部は、図１のシステム１０Ａと同様の信号をコントローラ１９に送信する。第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部は、旋回羽根３０，３１の開動作中を示す開動作継続中信号、旋回羽根３０，３１によって空気流路が開放（全開）された状態を示す全開完了信号、旋回羽根３０，３１の閉動作中を示す閉動作継続中信号、旋回羽根３０，３１によって空気流路が閉鎖された状態（旋回羽根３０，３１の開度を４０〜６０％まで閉じた状態）を示す閉鎖完了信号をコントローラ１９に送信する。さらに、旋回羽根３０，３１の閉動作の一時停止中を示す一時停止中信号、旋回羽根３０，３１の閉動作の再開を示す閉動作再開信号をコントローラ１９に送信する。

コントローラ１９は、図１のシステム１０Ａと同様の信号を第１モーターダンパ１７の制御部に送信する。また、コントローラ１９は、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１によって空気流路を開放（全開）させる開動作開始信号、旋回羽根２４の開動作を停止させる開動作停止信号、旋回羽根３０，３１によって空気流路を閉鎖させる閉動作開始信号、旋回羽根３０，３１の閉動作を停止させる閉動作停止信号、旋回羽根３０，３１の閉動作を一時停止させる閉動作一時停止信号、一時停止させた旋回羽根３０，３１の閉動作を再開させる閉動作再開開始信号をそれらモーターダンパ２８，２９の制御部に送信する。

循環空調運転では、空調装置１５、排気ファン１６、第１〜第３モーターダンパ１７，２８，２９、圧力センサ１８が稼働し、図７に示すように、空調装置１５によって空調された所定量の空気がクリーンルーム１１に給気され、排気ファン１６によって所定量の空気がクリーンルーム１１から排気されている。循環空調運転では、圧力センサ１８からクリーンルーム１１の室内気圧がコントローラ１９に送信され、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に保持されている。

循環空調運転においてコントローラ１１は、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度を４０〜６０％（好ましくは、５０％）に保持するとともに、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の開度を４０〜６０％（好ましくは、５０％）に保持する。なお、図１のシステム１０Ａと同様に、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度を６０％以上または全開に保持する場合がある。

循環空調運転では、モーターダンパ１７の空気流路が約半分開放され、それらモーターダンパ２８，２９の空気流路が約半分開放されており、排気ダクト１３とバイパスダクト１４との分岐箇所２７においてクリーンルーム１１から流出した空気の約半分（約半分の風量）がダクト１３を通って排気口から建築物の外部（屋外）に放出され、残りの約半分（約半分の風量）がバイパスダクト１４に流入する。バイパスダクト１４に流入した空気は、第１モーターダンパ１７の空気流路を通過して給気ダクト１２とバイパスダクト１４との合流箇所２６に達し、合流箇所２６において建築物の給気口から取り入れられた空気と合流し、空調装置１５を通ってクリーンルーム１１に給気される。

空調運転形態変更システム１０Ｂでは、図１のシステム１０Ａと同様に、ホルマリンおよび過酸化水素等の薬剤による燻蒸やメンテナンス、その他の要因で循環空調運転が中断され、全外気運転が行われる。全外気運転においてコントローラ１９は、第１モーターダンパ１７の制御部に閉動作開始信号を送信するとともに、第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部に開動作開始信号を送信する。

第１モーターダンパ１７の制御部は、コントローラ１９から送信された閉動作開始信号にしたがって旋回羽根２４に閉動作させ、モーターダンパ１７の空気流路を次第に閉じる。モーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４が閉動作中である場合、閉動作継続中信号をコントローラ１９に送信する。第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部は、コントローラ１９から送信された開動作開始信号にしたがって旋回羽根３０，３１に開動作させ、モーターダンパ２８，２９の空気流路を次第に開ける。それらモーターダンパ２８，２９の制御部は、旋回羽根３０，３１が開動作中である場合、開動作継続中信号をコントローラ１９に送信する。

第１モーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４によって空気流路が閉鎖（全閉）された後、全閉完了信号をコントローラ１９に送信し、第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部は、旋回羽根３０，３１によって空気流路が開放（全開）された後、全開完了信号をコントローラ１９に送信する。全閉完了信号および全開完了信号を受信したコントローラ１９は、モーターダンパ１７の制御部に閉動作停止信号を送信し、旋回羽根２４の閉動作を停止させ、モーターダンパ２８，２９の制御部に開動作停止信号を送信し、旋回羽根３０，３１の開動作を停止させる。閉動作停止信号を受信したモーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４の閉動作を終了し、開動作停止信号を受信したモーターダンパ２８，２９の制御部は、旋回羽根３０，３１の開動作を終了する。コントローラ１９は、ダンパ閉鎖完了のメッセージおよびダンパ開放完了のメッセージを表示装置に表示する。

全外気運転においてコントローラ１９は、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度を全閉に維持し、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の開度を全開に維持する。全外気運転では、空調装置１５、排気ファン１６、圧力センサ１８が稼働し、図８に示すように、給気口から取り入れられた外気が第２モーターダンパ２８を通って空調装置１５に流入し、空調装置１５によって空調された所定量の空気（外気）がクリーンルーム１１に給気され、排気ファン１６によって所定量の空気がクリーンルーム１１から排気されている。全外気運転では、モーターダンパ１７の空気流路が旋回羽根２４によって閉鎖されており、クリーンルーム１１から流出した空気がバイパスダクト１４に流入することはなく、クリーンルーム１１から流出した空気のすべてが第３モーターダンパ２９を通って建築物の排気口から屋外に排気される。

図９は、空調運転形態変更システム１０Ｂにおける切替運転を示す図であり、図１０（ａ）は、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の一例を示す図である。図１０（ｂ）は、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の他の一例を示す図であり、図１０（ｃ）は、切替運転中における第１〜第３モーターダンパ１７，２８，２９の旋回羽根２４，３０，３１（開閉機構）の開動作および閉動作の一例を示す図である。図１１は、切替運転において行われる各手段を説明するためのフローチャートであり、図１２は、図１１から続くフローチャートである。図９では、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４が開動作を継続し、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１が開動作を継続している状態を示す。

空調運転形態変更システム１０Ｂは、全外気運転を行った後、全外気運転から循環空調運転に切り替える切替運転を行う。なお、全外気運転の実施時間がコントローラ１９のメモリに格納され、実施時間の経過後に切替運転が行われる場合を例として切替運転を説明する。全外気運転の終了時には、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４が全閉状態にあり、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１が全開状態にある。

コントローラ１９は、旋回羽根２４の全閉状態を維持するとともに旋回羽根３０，３１が全開状態を維持しつつ（Ｓ−２０）、全外気運転の実施時間が経過したかを判断する（Ｓ−２１）。全外気運転の実施時間が経過していない場合、全外気運転を継続する。コントローラ１９は、ステップ２０（Ｓ−２０）において全外気運転の実施時間が経過したと判断した場合、第１モーターダンパ１７の制御部に開動作開始信号を送信し、第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部に閉動作開始信号を送信する。

開動作開始信号を受信した第１モーターダンパ１７の制御部は、全閉状態にある旋回羽根２４の開動作を開始する（開動作手段）（Ｓ−２２）。旋回羽根２４がモジュトロールモーターによって旋回してモーターダンパ１７の空気流路が次第に開く。モーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４が開動作中である場合、開動作継続中信号をコントローラ１９に送信する。閉動作開始信号を受信した第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部は、全開状態にある旋回羽根３０，３１の閉動作を開始する（閉動作手段）（Ｓ−２２）。旋回羽根３０，３１がモジュトロールモーターによって旋回してモーターダンパ２８，２９の空気流路が次第に閉まる。モーターダンパ２８，２９の制御部は、旋回羽根３０，３１が閉動作中である場合、閉動作継続中信号をコントローラ１９に送信する。

開動作継続中信号を受信したコントローラ１９は、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧の変化が緩慢な場合、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作の速度（旋回速度）を速くし、クリーンルーム１１の室内気圧の変化が急激な場合、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作の速度（旋回速度）を遅くする（開閉速度第１変更手段）。

閉動作継続中信号（閉動作手段実行中）を受信したコントローラ１９は、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧の変化が緩慢な場合、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３２の閉動作の速度（旋回速度）を速くする（開閉速度第２変更手段）。たとえば、単位時間当たりに室内気圧が±５〜±１５Ｐａの範囲で緩やかに変化（遅い速度で変化）した場合、旋回羽根３０，３１の閉動作の速度を現在の速度よりも６０〜６００秒の範囲で速くする。逆に、クリーンルーム１１の室内気圧の変化が急激な場合、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の閉動作の速度（旋回速度）を遅くする（開閉速度第２変更手段）。たとえば、単位時間当たりに室内気圧が±５〜±１５Ｐａの範囲で急に変化（速い速度で変化）した場合、旋回羽根３０，３１の開動作の速度を現在の速度よりも６０〜６００秒の範囲で遅くする。

空調運転形態変更システム１０Ｂは、クリーンルーム１１の室内気圧の変化が緩やかな場合、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作の速度を速くするとともに第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の閉動作の速度を速くするから、全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。また、クリーンルーム１１の室内気圧の変化が急な場合、モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開速度を遅くするとともにモーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の閉速度を遅くするから、切替運転中においてクリーンルーム１１の室内気圧の目標室圧の上限値や下限値に対する逸脱を防ぐことができ、全外気運転から循環運転への切替運転中におけるクリーンルーム１１の室内気圧の大きな変動を防ぐことができる。

コントローラ１９は、旋回羽根２４の開動作を開始してから第１モーターダンパ１７の制御部から開完了信号を受信するまでの間（切替運転において開動作手段の開始から旋回羽根２４（開閉機構）の開度が所定の開度（４０％以上のある開度または全開）になるまでの間）および旋回羽根３０，３１の閉動作を開始してから第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部から閉鎖完了信号を受信するまでの間（閉動作手段の開始から旋回羽根３０，３１の開度が所定の開度（４０〜６０％）になるまでの間）に、圧力センサ１８から受信したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回ったか（目標室圧の上限値を逸脱したか）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回ったか（目標室圧の下限値を逸脱したか）を判断する（Ｓ−２３）。

コントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を下回っている場合（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内にある場合）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を上回っている場合（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内にある場合）、モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作を継続させるとともに、モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の閉動作を継続させる（Ｓ−２４）。

コントローラ１９は、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度が所定の開度になったかを判断するとともに、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の開度が所定の開度になったかを判断する（Ｓ−２５）。モーターダンパ１７の制御部から開動作継続中信号や閉動作継続中信号が送信されている場合、コントローラ１９は、旋回羽根２４の開度が所定の開度になっておらず、旋回羽根３０，３１の開度が所定の開度になっていないと判断し、ステップ２３（Ｓ−２３）に戻ってステップ２３からの手順を繰り返す。旋回羽根２４の開度が所定の開度になった場合（旋回羽根２４の開度を４０％以上のある開度または全開まで開いた場合）、モーターダンパ１７の制御部は、開完了信号をコントローラ１９に送信する。旋回羽根３０，３１の開度が所定の開度になった場合（旋回羽根３０，３１の開度を４０〜６０％（好ましくは、５０％）まで閉じた場合）、モーターダンパ２８，２９の制御部は、閉鎖完了信号をコントローラ１９に送信する。

第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度が所定の開度になった時点で第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の開度が４０〜６０％（好ましくは、５０％）になるように、モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作の速度が調節され、それらモーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の閉動作の速度が調節されている。なお、旋回羽根２４の開度が全閉から所定の開度になるまでの時間と旋回羽根３０，３１の開度が４０〜６０％（好ましくは、５０％）になるまでの時間とが異なる場合もある。

開完了信号および閉鎖完了信号を受信したコントローラ１９は、モーターダンパ１７の制御部に開動作停止信号を送信し、旋回羽根２４の開動作を停止させるとともに、モーターダンパ２８，２９の制御部に閉動作停止信号を送信し、旋回羽根３０，３１の閉動作を停止させる。開動作停止信号を受信したモーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４の開動作を終了し、閉動作停止信号を受信したモーターダンパ２８，２９の制御部は、旋回羽根３０，３１の閉動作を終了する（Ｓ−２６）。この時点においてクリーンルーム１１に循環空調運転が実施される（Ｓ−２７。コントローラ１９の表示装置には、循環空調運転中のメッセージが表示される。なお、切替運転から循環空調運転に移行した場合、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に保持される。

切替運転中において、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作を継続するとともに、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の閉動作を継続すると、モーターダンパ１７の空気流路が次第に開放され、モーターダンパ２８，２９の空気流路が次第に閉鎖され、排気ダクト１３とバイパスダクト１４との分岐箇所２７においてクリーンルーム１１から流出した空気がバイパスダクト１４に次第に流入するとともに、バイパスダクト１４を通って循環空気が合流箇所２６において外気と混合される。このとき、給気ダクト１２や排気ダクト１３、バイパスダクト１４の内部を流動する空気の圧力が変動し、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回る場合や室内気圧が目標室圧の下限値を下回る場合がある。

ステップ２３（Ｓ−２３）においてコントローラ１９は、図１０（ａ）に示すように、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回っている（目標室圧の上限値を逸脱している）と判断し、または、図１０（ｂ）に示すように、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回っている（目標室圧の下限値を逸脱している場合）と判断した場合、第１モーターダンパ１７の制御部に開動作一時停止信号を送信し、第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部に閉動作一時停止信号を送信する。

開動作一時停止信号を受信した第１モーターダンパ１７の制御部は、図１０（ｃ）に示すように、旋回羽根２４の開動作を一時停止させる（Ｓ−２８）（開度第１維持手段）。旋回羽根２４の開動作を一時停止させたモーターダンパ１７の制御部は、一時停止中信号をコントローラ１９に送信する。閉動作一時停止信号を受信した第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部は、図１０（ｃ）に示すように、旋回羽根３０，３１の閉動作を一時停止させる（Ｓ−２８）（開度第２維持手段）。旋回羽根３０，３１の閉動作を一時停止させたモーターダンパ２８，２９の制御部は、一時停止中信号をコントローラ１９に送信する。

一時停止中信号を受信したコントローラ１９は、第１モーターダンパ１７の制御部から開完了信号を受信するまでの間および第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部から閉鎖完了信号を受信するまでの間に、圧力センサ１８から受信したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を下回ったか（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に復帰したか）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を上回ったか（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に復帰したか）を判断する（Ｓ−２９）。

コントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回っている場合（目標室圧の上限値を逸脱している）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回っている場合（目標室圧の下限値を逸脱している）、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作の一時停止を継続させるとともに、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の閉動作の一時停止を継続させ、ステップ２８（Ｓ−２８）からの手順を繰り返す。クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値や下限値を逸脱した場合に、モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作を一時停止させ、モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の閉動作を一時停止させることで、給気ダクト１２や排気ダクト１３、バイパスダクト１４の内部を流動する空気の圧力の変動要因がなくなり、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に復帰する。

ステップ２９（Ｓ−２９）においてコントローラ１９は、旋回羽根２４の開動作や旋回羽根３０，３１の閉動作の一時停止中に、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を下回った場合（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に復帰した場合）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を上回った場合（目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に復帰した場合）、第１モーターダンパ１７の制御部に開動作再開開始信号を送信し、第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部に閉動作再開開始信号を送信する。

開動作再開開始信号を受信したモーターダンパ１７の制御部は、旋回羽根２４の開動作を再開し（Ｓ−３０）、コントローラ１９に開動作再開信号および開動作継続中信号を送信する。閉動作再開開始信号を受信したモーターダンパ２８，２９の制御部は、旋回羽根３０，３１の閉動作を再開し（Ｓ−３０）、コントローラ１９に閉動作再開信号および閉動作継続中信号を送信する。開動作再開信号および開動作継続中信号や閉動作再開信号および閉動作継続中信号を受信したコントローラ１９は、ステップ２５（Ｓ−２５）からの手順を繰り返す。

空調運転形態変更システム１０Ｂは、全閉状態にある第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４（開閉機構）を次第に開いて所定の開度にする開動作手段の実行中および開状態にある第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１（開閉機構）を次第に閉じて所定の開度にする閉動作の実行中に、クリーンルーム１１の室内気圧が大きく上昇し、または、クリーンルーム１１の室内気圧が大きく下降する場合があるが、旋回羽根２４の開動作を開始してから第１モーターダンパ１７の制御部から開完了信号を受信するまでの間（切替運転において開動作手段の開始からモーターダンパ１７の旋回羽根２４（開閉機構）の開度が所定の開度になるまでの間）および旋回羽根３０，３１の閉動作を開始してから第２および第３モーターダンパ２８，２９の制御部から閉鎖完了信号を受信するまでの間（閉動作手段の開始からモーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の開度が所定の開度になるまでの間）に、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回った場合、または、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回った場合、開動作手段を中断してその時点におけるモーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度を維持する開度第１維持手段を行い、モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開動作を停止するとともに、閉動作手段を中断してその時点におけるモーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の開度を維持する開度第２維持手段を行い、モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の閉動作を停止するから、切替運転中にクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回ったとしても、目標室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、切替運転中にクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回ったとしても、目標室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。

空調運転形態変更システム１０Ｂは、切替運転中においてクリーンルーム１１の室内気圧の目標室圧の上限値や下限値に対する逸脱を防ぐことができるから、全外気運転から循環空調運転への切替運転中におけるクリーンルーム１１の室内気圧の大きな変動を防ぐことができるとともに、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を下回り、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を上回ると、開動作手段および閉動作手段を再開し、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４を開動作させて空気流路を次第に開き、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１を閉動作させて空気流路を次第に閉じるから、クリーンルーム１１の室内気圧を目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。空調運転形態変更システム１０Ｂは、切替運転中においてクリーンルーム１１の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、クリーンルーム１１への多量の外気および隣接空間の空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した外気や隣接空間の空気によってクリーンルーム１１が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。

図７のシステム１０Ｂにおいて全外気運転時にコントローラ１９は、モーターダンパ２８，２９の制御部に開動作開始信号を送信せず、モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１の開度を循環空調運転時の状態に維持させ、旋回羽根３０，３１の開度を４０〜６０％、好ましくは、５０％に維持する場合がある。この場合、モーターダンパ２８，２９の制御部は、旋回羽根３０，３１に開動作させることなく、全外気運転中および切替運転中に旋回羽根３０，３１の開度を循環空調運転時の状態に維持する。全外気運転および切替運転において旋回羽根３０，３１の開度を循環空調運転時の状態に維持した場合、モーターダンパ２８，２９の制御部に閉動作開始信号は送信されず、旋回羽根３０，３１の閉動作は開始されないとともに、コントローラ１９に閉動作継続中信号や閉鎖完了信号は送信されない。

旋回羽根３０，３１の開度を循環空調運転時の状態に維持させる場合、ステップ２３（Ｓ−２３）においてコントローラ１９は、旋回羽根２４の開動作を開始してから第１モーターダンパ１７の制御部から開完了信号を受信するまでの間（開動作手段の開始から旋回羽根２４の開度が所定の開度になるまでの間）に、圧力センサ１８から受信したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を上回ったか（目標室圧の上限値を逸脱したか）、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を下回ったか（目標室圧の下限値を逸脱したか）を判断する。

旋回羽根３０，３１の開度を循環空調運転時の状態に維持させる場合、ステップ２５（Ｓ−２５）においてコントローラ１９は、第１モーターダンパ１７の旋回羽根２４の開度が所定の開度になったかのみを判断する。また、ステップ２９（Ｓ−２９）においてコントローラ１９は、第１モーターダンパ１７の制御部から開完了信号を受信するまでの間に、圧力センサ１８から受信したクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の上限値を下回ったか、または、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧の下限値を上回ったかを判断する。

旋回羽根３０，３１の開度を循環空調運転時の状態に維持させる空調運転形態変更システム１０Ｂは、図１のシステム１０Ａが有する効果に加え、以下の効果を有する。システム１０Ｂは、切替運転中に第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１（開閉機構）の開度が４０〜６０％に維持されることで、モーターダンパ２８，２９を利用して所定量の外気をクリーンルーム１１に給気しつつ、第１モーターダンパ１７を設置したバイパスダクト１４を通じて所定量の空気をクリーンルーム１１に給気することができ、全外気運転から切り替わった循環空調運転において外気とバイパスダクト１４を通る循環空気との混合割合を略１対１にすることができる。システム１０Ｂは、クリーンルーム１１の室内気圧を目標室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、外気とバイパスダクト１４を通る循環空気との混合割合が略１対１になるように、それらモーターダンパ１７，２８，２９を利用して全外気運転から循環空調運転に速やかに切り替えることができる。システム１０Ｂは、第２および第３モーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１を動作させることがないから、それらモーターダンパ２８，２９の旋回羽根３０，３１を動作させる手間とコストとを省くことができ、システム１０Ｂを安価に構築することができる。

１０Ａ 空調運転形態変更システム
１０Ｂ 空調運転形態変更システム
１１ クリーンルーム（空調室）
１２ 給気ダクト
１３ 排気ダクト
１４ バイパスダクト
１５ 空調装置
１６ 排気ファン（排気装置）
１７ 第１モーターダンパ（第１ダンパ）
１８ 圧力センサ
１９ コントローラ
２０ 第１風量調整ダンパ
２１ 旋回羽根
２２ 第２風量調整ダンパ
２３ 旋回羽根
２４ 旋回羽根（開閉機構）
２６ 合流箇所
２７ 分岐箇所
２８ 第２モーターダンパ（第２ダンパ）
２９ 第３モーターダンパ（第３ダンパ）
３０ 旋回羽根（開閉機構）
３１ 旋回羽根（開閉機構）

Claims (8)

1. 給気ダクトに設置されて空調室に空気を給気する空調装置と、排気ダクトに設置されて前記空調室から空気を排気する排気装置と、前記空調装置の上流側に延びる前記給気ダクトと前記排気装置の下流側に延びる前記排気ダクトとを連結するバイパスダクトと、前記バイパスダクトに設置された第１ダンパと、前記空調室の室内気圧を計測する圧力センサと、前記第１ダンパの開閉機構の開閉動作を制御するコントローラとを備え、前記給気ダクトから前記空調室に所定量の外気を給気しつつ前記バイパスダクトを利用して前記空調室に所定量の空気を循環させる循環空調運転と、前記第１ダンパの開閉機構を全閉にして前記循環空調運転を停止し、前記給気ダクトから前記空調室に外気のみを給気する全外気運転とを行う空調運転形態変更システムにおいて、
   前記空調運転形態変更システムが、前記空調室の室内気圧を目標室圧に保持しつつ前記全外気運転から前記循環空調運転に切り替える切替運転を含み、前記切替運転においてコントローラは、全閉状態にある前記第１ダンパの開閉機構を次第に開く開動作手段と、前記開動作手段の開始から前記開閉機構が所定の開度になるまでの間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記目標室圧の上限値を上回った場合、または、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記目標室圧の下限値を下回った場合、前記開動作手段を中断してその時点における前記第１ダンパの開閉機構の開度を維持する開度第１維持手段とを行い、前記開度第１維持手段によって前記第１ダンパの開閉機構の開度を維持している間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記目標室圧の上限値を下回った場合、または、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記目標室圧の下限値を上回った場合、前記開度第１維持手段を中断して前記開動作手段を再び行うことを特徴とする空調運転形態変更システム。
2. 前記第１ダンパの開閉機構の全閉から全開までに要する時間が、６０〜６００秒の範囲にあり、前記開動作手段においてコントローラは、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧の変化が緩慢な場合、前記第１ダンパの開閉機構の開速度を速くし、前記空調室の室内気圧の変化が急激な場合、前記第１ダンパの開閉機構の開速度を遅くする開閉速度第１変更手段を行う請求項１に記載の空調運転形態変更システム。
3. 前記空調運転形態変更システムが、前記空調装置の上流側に延びる前記給気ダクトに設置された第２ダンパと、前記排気ダクトに設置された第３ダンパとを含み、前記循環空調運転と前記全外気運転と前記切替運転とでは、前記第２および第３ダンパの開閉機構の開度が４０〜６０％に維持される請求項１または請求項２に記載の空調運転形態変更システム。
4. 前記空調運転形態変更システムが、前記空調装置の上流側に延びる前記給気ダクトに設置された第２ダンパと、前記排気ダクトに設置された第３ダンパとを含み、前記切替運転においてコントローラは、開放状態にある前記第２および第３ダンパの開閉機構を所定の開度まで次第に閉じる閉動作手段と、前記開動作手段の開始から前記第１ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間および前記閉動作手段の開始から前記第２および第３ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記目標室圧の上限値を上回った場合、または、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記目標室圧の下限値を下回った場合、前記閉動作手段を中断してその時点における前記第２および第３ダンパの開閉機構の開度を維持する開度第２維持手段とを行い、前記開度第２維持手段によって前記第２および第３ダンパの開閉機構の開度を維持している間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記目標室圧の上限値を下回った場合、または、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記目標室圧の下限値を上回った場合、前記開度第２維持手段を中断して前記閉動作手段を再び行う請求項１または請求項２に記載の空調運転形態変更システム。
5. 前記開度第１維持手段では、前記閉動作手段の開始から前記第２および第３ダンパの開閉機構が所定の開度になるまでの間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記目標室圧の上限値を上回った場合、または、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記目標室圧の下限値を下回った場合、前記開動作手段を中断してその時点における前記第１ダンパの開閉機構の開度を維持する請求項４に記載の空調運転形態変更システム。
6. 前記第２および第３ダンパの開閉機構の全閉から全開までに要する時間が、６０〜６００秒の範囲にあり、前記閉動作手段においてコントローラは、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧の変化が緩慢な場合、前記第２および第３ダンパの開閉機構の閉速度を速くし、前記空調室の室内気圧の変化が急激な場合、前記第２および第３ダンパの開閉機構の閉速度を遅くする開閉速度第２変更手段を行う請求項４または請求項５に記載の空調運転形態変更システム。
7. 前記全外気運転では、前記第２および第３ダンパの開閉機構の開度が全開に維持され、前記閉動作手段では、全開状態にある前記第２および第３ダンパの開閉機構の開度を４０〜６０％まで閉じる請求項４ないし請求項６いずれかに記載の空調運転形態変更システム。
8. 前記空調室が、クリーンルームであり、前記空調運転形態変更システムでは、前記空調装置の停止後から該空調装置を起動させるまでの間に、前記クリーンルームにホルマリンおよび過酸化水素等の薬剤による燻蒸が行われ、または、前記空調装置の停止後から該空調装置を起動させるまでの間に、前記システムのメンテナンスが行われ、前記燻蒸後または前記メンテナンス後に前記全外気運転が行われるとともに、前記全外気運転後に前記切替運転が行われる請求項１ないし請求項７いずれかに記載の空調運転形態変更システム。

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