JP2015111628A - 金属酸化物半導体膜、薄膜トランジスタ、表示装置、イメージセンサ及びx線センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属成分として少なくともインジウムを含む金属酸化物半導体膜であって、膜中のインジウム濃度をDI(atoms/cm3)、膜中の水素濃度をDH(atoms/cm3)としたとき、以下の関係式(1)を満たす金属酸化物半導体膜及びそれを備えたデバイス。
0.1≦DH/DI≦1.8 (1)
【選択図】図13
Description
一方で、簡便に、低温で、かつ大気圧下で高い半導体特性を有する金属酸化物半導体膜を形成することを目的とした、液相プロセスによる金属酸化物半導体膜の作製に関して研究開発が盛んに行われている。
また、二次イオン質量分析による窒素濃度が5×1019atoms/cm3未満である酸化物半導体膜を有するトランジスタが開示されている(特許文献2参照)。
<1> 金属成分として少なくともインジウムを含む金属酸化物半導体膜であって、膜中のインジウム濃度をDI(atoms/cm3)、膜中の水素濃度をDH(atoms/cm3)としたとき、以下の関係式(1)を満たす金属酸化物半導体膜
0.1≦DH/DI≦1.8 (1)
<2> 以下の関係式(2)を満たす<1>に記載の金属酸化物半導体膜。
0.5≦DH/DI≦1.3 (2)
<3> 膜中のインジウム含有量が、該膜に含まれる全金属元素の50atom%以上である<1>又は<2>に記載の金属酸化物半導体膜。
<4> X線反射率法によって測定した平均膜密度が6g/cm3以上である<1>〜<3>のいずれかに記載の金属酸化物半導体膜。
<5> 膜中の窒素濃度をDN(atoms/cm3)としたとき、以下の関係式(3)を満たす<1>〜<4>のいずれかに記載の金属酸化物半導体膜。
0.004≦DN/DI≦0.012 (3)
<6> 膜中の炭素濃度をDC(atoms/cm3)としたとき、以下の関係式(4)を満たす<1>〜<5>のいずれかに記載の金属酸化物半導体膜。
0.016≦DC/DI≦0.039 (4)
<7> 金属成分として、インジウムと、亜鉛、錫、ガリウム及びアルミニウムから選ばれる少なくとも1つとを含む<1>〜<6>のいずれかに記載の金属酸化物半導体膜。
<8> <1>〜<7>のいずれかに記載の金属酸化物半導体膜を含む活性層と、ソース電極と、ドレイン電極と、ゲート絶縁膜と、ゲート電極とを有する薄膜トランジスタ。
<9> <8>に記載の薄膜トランジスタを備えた表示装置。
<10> <8>に記載の薄膜トランジスタを備えたイメージセンサ。
<11> <8>に記載の薄膜トランジスタを備えたX線センサ。
なお、図中、同一又は対応する機能を有する部材(構成要素)には同じ符号を付して適宜説明を省略する。また、本明細書において「〜」の記号により数値範囲を示す場合、下限値及び上限値が含まれる。
また、本発明に係る金属酸化物半導体膜の代表例として、TFTの活性層(半導体層)に適用する場合について主に説明する。なお、「半導体膜」とは、10−4Ωm以上104Ωm以下の中抵抗体膜を意味する。
特に、本発明の方法によって金属酸化物半導体膜を作製することにより、高い輸送特性を有する薄膜トランジスタを大気圧下、比較的低温で作製できることから薄膜液晶ディスプレイや有機EL等の表示装置、特にフレキシブルディスプレイを提供することが可能となる。
0.1≦DH/DI≦1.8 (1)
好ましくは、以下の関係式(2)を満たす。
0.5≦DH/DI≦1.3 (2)
本発明の金属酸化物半導体膜は、硝酸インジウムを含む溶液を基板上に塗布し、塗布膜を乾燥させて金属酸化物半導体前駆体膜を形成する工程と、金属酸化物半導体前駆体膜を金属酸化物半導体膜に転化する工程とを交互に2回以上繰り返すことを含み、金属酸化物半導体前駆体膜を金属酸化物半導体膜に転化する少なくとも2回の工程において、基板の最高到達温度を120℃以上250℃以下にして金属酸化物半導体前駆体膜を金属酸化物半導体膜に転化することによって得ることができる。
金属酸化物半導体前駆体膜が金属酸化物半導体膜に転化される際に、膜中から硝酸成分や金属に配位している成分が脱離する。その状態で再度溶液塗布することで、脱離した部分に溶液が含浸し、結果として新たに金属と酸素の結合が形成されることによるものと考えられる。又、水素に関しても転化工程時に膜中から脱離しやすくなると考えられる。
まず、金属酸化物半導体膜を形成するための硝酸インジウムを含む溶液と、金属酸化物半導体膜を形成するための基板を用意し、基板上に硝酸インジウムを含む溶液を塗布し、塗布膜を乾燥させて金属酸化物半導体前駆体膜を形成する。
基板の形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。基板の構造は単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。
具体的には、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、アリルジグリコールカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリベンズアゾール、ポリフェニレンサルファイド、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン等のフッ素樹脂、液晶ポリマー、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アイオノマー樹脂、シアネート樹脂、架橋フマル酸ジエステル、環状ポリオレフィン、芳香族エーテル、マレイミド・オレフィン、セルロース、エピスルフィド化合物等の合成樹脂基板、酸化珪素粒子との複合プラスチック材料、金属ナノ粒子、無機酸化物ナノ粒子、無機窒化物ナノ粒子等との複合プラスチック材料、カーボン繊維、カーボンナノチューブとの複合プラスチック材料、ガラスフェレーク、ガラスファイバー、ガラスビーズとの複合プラスチック材料、粘土鉱物や雲母派生結晶構造を有する粒子との複合プラスチック材料、薄いガラスと上記単独有機材料との間に少なくとも1回の接合界面を有する積層プラスチック材料、無機層と有機層を交互に積層することで、少なくとも1回以上の接合界面を有するバリア性能を有する複合材料、ステンレス基板或いはステンレスと異種金属を積層した金属多層基板、アルミニウム基板或いは表面に酸化処理(例えば陽極酸化処理)を施すことで表面の絶縁性を向上させた酸化皮膜付きのアルミニウム基板等を用いることができる。また、樹脂基板は耐熱性、寸法安定性、耐溶剤性、電気絶縁性、加工性、低通気性、又は低吸湿性等に優れていることが好ましい。樹脂基板は、水分や酸素の透過を防止するためのガスバリア層や、樹脂基板の平坦性や下部電極との密着性を向上するためのアンダーコート層等を備えていてもよい。
硝酸インジウムを含む溶液は、硝酸インジウムを、溶液が所望の濃度となるように秤量し、溶媒中で攪拌して溶解させて得られる。攪拌を行う時間は溶質が十分に溶解されれば特に制限はない。
金属硝酸塩以外の金属塩としては、硫酸塩、燐酸塩、炭酸塩、酢酸塩、蓚酸塩等が挙げられ、金属ハロゲン化物としては、塩化物、ヨウ化物、臭化物等が挙げられ、有機金属化合物としては、金属アルコキシド、有機酸塩、金属βジケトネート等が挙げられる。
また、金属酸化物半導体前駆体膜を金属酸化物半導体膜に転化する工程が紫外線を照射する工程を含む場合、前駆体膜が紫外光を効率よく吸収することができ、インジウム含有酸化物半導体膜を容易に形成することができる。
なお、インジウムと前記金属元素を含む酸化物半導体として、In−Ga−Zn−O(IGZO)、In−Zn−O(IZO)、In−Ga−O(IGO)、In−Sn−O(ITO)、In−Sn−Zn−O(ITZO)等が挙げられる。
硝酸インジウムを含む溶液(金属酸化物半導体膜形成用塗布液)を基板上に塗布する方法は特に限定されず、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、ディップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法、ミスト法、インクジェット法、ディスペンサー法、スクリーン印刷法、凸版印刷法、及び凹版印刷法等が挙げられる。特に、微細パターンを容易に形成する観点から、インクジェット法、ディスペンサー法、凸版印刷法、及び凹版印刷法から選択される少なくとも一種の塗布法を用いることが好ましい。
金属酸化物半導体膜形成用塗布液を基板上に塗布した後、塗布膜を乾燥させ、第1の金属酸化物半導体前駆体膜を得る。乾燥によって、塗布膜の流動性を低減させ、最終的に得られる酸化物半導体膜の平坦性を向上させることができる。
適切な乾燥温度(例えば、基板の温度が35℃以上100℃以下)を選択することにより、最終的により緻密な金属酸化物半導体膜を得ることができる。乾燥のための加熱処理の方法は特に限定されず、ホットプレート加熱、電気炉加熱、赤外線加熱、マイクロ波加熱等から選択することができる。
乾燥は膜の平坦性を均一に保つ観点から、塗布後、5分以内に開始することが好ましい。
乾燥を行う時間は特に制限はないが、膜の均一性、生産性の観点から15秒以上10分以下であることが好ましい。
また、乾燥における雰囲気に特に制限はないが、製造コスト等の観点から大気圧下、大気中で行うことが好ましい。
次いで、乾燥して得た金属酸化物半導体前駆体膜を金属酸化物半導体膜に転化する。金属酸化物半導体前駆体膜を金属酸化物半導体膜に転化する方法は、基板の最高到達温度を120℃以上250℃以下にすることができれば特に制限はなく、ホットプレート等のヒーター、電気炉、プラズマ、紫外光、マイクロ波等を用いる手法が挙げられる。
転化工程における基板の最高到達温度が120℃未満であると膜密度の向上効果が不十分であり、250℃を超えるとプロセスコストが増大する。
より低温で金属酸化物半導体膜への転化を行う観点から、紫外線(UV:Ultraviolet)を用いる手法が好ましい。紫外線の光源としては、UVランプやレーザーが挙げられるが、大面積に均一に、安価な設備で紫外線照射を行う観点からUVランプが好ましい。
なお、金属酸化物半導体前駆体膜に照射する紫外線の照度は、例えば、紫外線光量計(オーク製作所社製、UV−M10、受光器UV−25)を用いて測定することができる。
紫外線照射時間は紫外線の照度にもよるが、生産性の観点から、5秒以上120分以下であることが好ましい。
金属酸化物半導体前駆体膜を金属酸化物半導体膜に転化した後、金属酸化物半導体膜上に硝酸インジウムを含む溶液を再度塗布・乾燥して金属酸化物半導体前駆体薄膜を形成し、金属酸化物半導体前駆体膜を転化することによって金属酸化物半導体膜上に更に金属酸化物半導体膜を形成する。
このようにして金属酸化物半導体前駆体膜の形成工程(工程A)と金属酸化物半導体膜への転化工程(工程B)を交互に2回以上繰り返して金属酸化物半導体膜を重ねて一体的に形成することで、膜密度が高く、且つ膜中の水素濃度が低い金属酸化物半導体膜を得ることができる。
尚、工程Aと工程Bは、工程Aと工程Bの順がA→B→A→Bの関係になっていればよく、工程Aと工程Bは連続して行わなくてもよく、工程Aと工程Bの間に例えば電極や絶縁膜の形成など別の工程が入っていてもよい。
ただし、金属酸化物半導体前駆体膜を金属酸化物半導体膜に転化する全ての工程において、基板の最高到達温度を120℃以上250℃以下にして金属酸化物半導体前駆体膜を金属酸化物半導体膜に転化することが好ましい。
なお、工程Aと工程Bを繰り返す回数は2回以上であれば特に制限されず、目標とする金属酸化物半導体膜の厚み等を考慮して決めればよいが、生産性の観点から10回以下とすることが好ましい。
上記工程A及び工程Bを交互に複数回繰り返して製造された金属酸化物半導体膜は、膜中の水素濃度が極めて低い膜となる。水素等の膜中の不純物濃度は二次イオン質量分析法(Secondary Ion Mass Specrometry:SIMS)による測定値を用いる。尚、SIMS分析はその原理上、試料表面近傍や異種材料の界面近傍において正確なデータを得ることが困難なことが知られている。膜中の不純物濃度の厚さ方向の分布をSIMSで分析する場合、金属酸化物半導体膜の存在する範囲において、極端な強度変動がなく、ほぼ一定の強度が得られる領域の値を採用する。
0.1≦DH/DI≦1.8 (1)
上記工程を経て作製した金属酸化物半導体膜は、上記関係式(1)を満たし、低温で緻密な金属酸化物半導体膜が得られ、高い電気伝達特性を示す。
以下の関係式(2)を満たすことが好ましい。
0.5≦DH/DI≦1.3 (2)
上記関係式(2)を満たすことで、より安定的に高い電気伝達特性の金属酸化物半導体膜が得られる。
X線反射率法(X−ray Reflectometer:XRR)によって測定した平均膜密度が6g/cm3以上であることが好ましい。上記平均膜密度の範囲であれば高い電気伝導性の金属酸化物半導体膜が得られる。ここで言うところの平均膜密度とはXRRスペクトルから膜厚、膜密度、表面ラフネスをパラメータとしてフィッティングを行う際に、金属酸化物半導体膜を密度の異なる複数層のモデルとし、各層の膜密度を膜厚で乗じた値を加算した後に、金属酸化物半導体膜の全膜厚で除した値をいう。例えば、金属酸化物半導体膜を3層とした場合にシミュレーション結果と良い一致を示す金属酸化物半導体膜であって、1層目が膜密度4g/cm3で膜厚1nm、2層目が5g/cm3で膜厚8nm、3層目が膜密度4g/cm3で膜厚1nmとすると、この金属酸化物半導体膜の平均膜密度は(4×1+5×8+4×1)/(1+8+1)=4.8g/cm3となる。尚、実測スペクトルとシミュレーション結果が良い一致を示すか否かは信頼性因子(R値)で見積もることができ、良い一致を示すものは、R値が0.015以下であることを意味する。
0.004≦DN/DI≦0.012 (3)
上記関係式(3)を満たすことで、高い電気伝達特性の金属酸化物半導体膜が得られる。関係式(1)に加え、関係式(3)も満たす金属酸化物半導体膜を活性層として備えることで駆動安定性が向上した薄膜トランジスタを得ることができる。
膜中の炭素濃度をDC(atoms/cm3)としたとき、以下の関係式(4)を満たすことが好ましい。
0.016≦DC/DI≦0.039 (4)
上記関係式(4)を満たすことで、高い電気伝達特性の金属酸化物半導体膜が得られる。関係式(1)に加え、関係式(4)も満たす金属酸化物半導体膜を活性層として備えることで駆動安定性が向上した薄膜トランジスタを得ることができる。
上記金属酸化物半導体膜の製造方法を用いることで、例えば、大気圧下、200℃以下の低温プロセスで緻密な金属酸化物半導体膜を得ることができ、種々のデバイスの作製に適用することができる。本発明の金属酸化物半導体膜は、大掛かりな真空装置を用いず、且つ低温で作製することが可能であるため、耐熱性の低い安価な樹脂基板上に形成することも可能であり、デバイス作製コストを大幅に低減可能となる。
また、耐熱性の低い樹脂基板に適用できることからフレキシブルディスプレイ等のフレキシブル電子デバイスを安価に作製することが可能となる。
本発明の金属酸化物半導体膜は高い半導体特性を示すことから、薄膜トランジスタ(TFT)の活性層(酸化物半導体層)に好適に用いることができる。以下、本発明の金属酸化物膜を薄膜トランジスタの活性層として用いる実施形態について説明する。
尚、実施形態としてはトップゲート型の薄膜トランジスタについて記述するが、本発明の金属酸化物半導体膜を用いた薄膜トランジスタはトップゲート型に限定されることなく、ボトムゲート型の薄膜トランジスタであってもよい。
トップゲート型とは、TFTが形成されている基板を最下層としたときに、ゲート絶縁膜の上側にゲート電極が配置され、ゲート絶縁膜の下側に活性層が形成された形態である。ボトムゲート型とは、ゲート絶縁膜の下側にゲート電極が配置され、ゲート絶縁膜の上側に活性層が形成された形態である。また、ボトムコンタクト型とは、ソース・ドレイン電極が活性層よりも先に形成されて活性層の下面がソース・ドレイン電極に接触する形態である。トップコンタクト型とは、活性層がソース・ドレイン電極よりも先に形成されて活性層の上面がソース・ドレイン電極に接触する形態である。
本実施形態の薄膜トランジスタ10を製造する場合、まず、硝酸インジウムを含む溶液を準備し、金属酸化物半導体前駆体膜の形成工程及び金属酸化物半導体膜への転化工程を交互に2回以上繰り返して基板12上に金属酸化物半導体膜を形成する。
金属酸化物半導体膜のパターンニングは前述したインクジェット法、ディスペンサー法、凸版印刷法、又は凹版印刷法によって行ってもよく、金属酸化物半導体膜の形成後にフォトリソグラフィー及びエッチングによりパターニングを行ってもよい。
フォトリソグラフィー及びエッチングによりパターン形成を行うには、金属酸化物半導体膜を形成した後、活性層14として残存させる部分にフォトリソグラフィーによりレジストパターンを形成した後、塩酸、硝酸、希硫酸、又は燐酸、硝酸及び酢酸の混合液等の酸溶液によりエッチングすることにより活性層14のパターンを形成する。
活性層14上にはソース・ドレイン電極16,18のエッチング時に活性層14を保護するための保護層(不図示)を形成することが好ましい。保護層の成膜方法に特に限定はなく、金属酸化物半導体膜を形成した後、パターニングする前に形成してもよいし、金属酸化物半導体膜のパターニング後に形成してもよい。
また、保護層としては金属酸化物半導体層であってもよく、樹脂のような有機材料であってもよい。なお、保護層はソース電極15及びドレイン電極18(適宜「ソース・ドレイン電極」と記す)の形成後に除去しても構わない。
金属酸化物半導体膜で形成される活性層14上にソース・ドレイン電極16,18を形成する。ソース・ドレイン電極16,18はそれぞれ電極として機能するように高い導電性を有するものを用い、Al,Mo,Cr,Ta,Ti,Au,Au等の金属、Al−Nd、Ag合金、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)、In−Ga−Zn−O等の金属酸化物導電膜等を用いて形成することができる。
ソース・ドレイン電極16,18及び配線(不図示)を形成した後、ゲート絶縁膜20を形成する。ゲート絶縁膜20は高い絶縁性を有するものが好ましく、例えばSiO2、SiNx、SiON、Al2O3、Y2O3、Ta2O5、HfO2等の絶縁膜、又はこれらの化合物を2種以上含む絶縁膜としてもよい。
ゲート絶縁膜20は、印刷方式、コーティング方式等の湿式方式、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理的方式、CVD、プラズマCVD法等の化学的方式等の中から使用する材料との適性を考慮して適宜選択した方法に従って成膜すればよい。
ゲート絶縁膜20を形成した後、ゲート電極22を形成する。ゲート電極22は高い導電性を有するものを用い、Al,Mo,Cr,Ta,Ti,Au,Au等の金属、Al−Nd、Ag合金、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)、IGZO等の金属酸化物導電膜等を用いて形成することができる。ゲート電極22としてはこれらの導電膜を単層構造又は2層以上の積層構造として用いることができる。
ゲート電極22を形成するための金属膜の膜厚は、成膜性、エッチングやリフトオフ法によるパターンニング性、導電性等を考慮すると、10nm以上1000nm以下とすることが好ましく、50nm以上200nm以下とすることがより好ましい。
成膜後、エッチング又はリフトオフ法により所定の形状にパターンニングすることにより、ゲート電極22を形成してもよく、インクジェット法等により直接パターン形成してもよい。この際、ゲート電極22及びゲート配線(不図示)を同時にパターンニングすることが好ましい。
更に本発明により製造される薄膜トランジスタは、X線センサ、イメージセンサ等の各種センサ、MEMS(Micro Electro Mechanical System)等、種々の電子デバイスにおける駆動素子(駆動回路)として好適に用いられる。
本発明の一実施形態である液晶表示装置について、図5にその一部分の概略断面図を示し、図6に電気配線の概略構成図を示す。
本発明の一実施形態に係るアクティブマトリックス方式の有機EL表示装置について、図7に一部分の概略断面図を示し、図8に電気配線の概略構成図を示す。
本発明の一実施形態であるX線センサについて、図9にその一部分の概略断面図を示し、図10にその電気配線の概略構成図を示す。
X線変換層304はアモルファスセレンからなる層であり、TFT10およびキャパシタ310を覆うように設けられている。
上部電極306はX線変換層304上に設けられており、X線変換層304に接している。
<実施例1、比較例1>
以下のような評価用デバイスを作製し、評価を行った。
硝酸インジウム(In(NO3)3・xH2O、4N、高純度化学研究所社製)を2−メトキシエタノール(試薬特級、和光純薬工業社製)中に溶解させ、下記表1に示す硝酸インジウム濃度の異なる溶液を作製した。
熱酸化膜付p型Si 1inch□基板上に、作製した各溶液を1500rpmの回転速度で30秒スピンコートした後、60℃に加熱されたホットプレート上で1分間乾燥を行い、金属酸化物半導体前駆体膜を得た。
紫外線照射装置としては、低圧水銀ランプを用いたUVオゾンクリーナー(フィルジェン社製、UV253H)を用いた。試料は厚さ40mmのガラス板上にセットし、ランプ−試料間距離を5mmとした。試料位置での波長254nmの紫外照度は、紫外線光量計(オーク製作所社製、UV−M10、受光器UV−25)を用いて測定した。ランプ点灯から3分間で最大値に達し、15mW/cm2であった。
紫外線照射処理室内に窒素を6L/minで10分間フローさせた後、90分間、紫外線照射を行った。紫外線照射中は常に6L/minで窒素をフローさせた。紫外線照射処理時の基板温度をサーモラベルでモニターしたところ、160℃を示した。
以下のような評価用デバイスを作製し、評価を行った。
基板として熱酸化膜(膜厚100nm)付p型Si基板を用い、熱酸化膜をゲート絶縁膜として用いる簡易型のTFTを作製した。
熱酸化膜付p型Si 1inch□基板上に、溶液Bを1500rpmの回転速度で30秒スピンコートした後、60℃に加熱されたホットプレート上で1分間乾燥を行い、金属酸化物半導体前駆体膜を得た。
得られた金属酸化物半導体前駆体膜を、下記条件でホットプレートによる加熱処理を行うことで金属酸化物半導体膜への転化を行った。
250℃に加熱したホットプレート上に前記金属酸化物半導体前駆体膜を乗せ、大気中で5分間加熱処理を行った。
上記溶液の塗布・乾燥及びホットプレートによる加熱処理による金属酸化物半導体膜への転化を、交互に各12回繰り返した。得られた金属酸化物半導体膜に対し、再度250℃に加熱したホットプレート上で大気中で90分間加熱処理を行った。
熱酸化膜付p型Si 1inch□基板上に、溶液Bを1500rpmの回転速度で30秒スピンコートした後、60℃に加熱されたホットプレート上で1分間乾燥を行い、金属酸化物半導体前駆体膜を得た。
得られた金属酸化物半導体前駆体膜を、下記条件でホットプレートによる加熱処理を行うことで金属酸化物半導体膜への転化を行った。
250℃に加熱したホットプレート上に前記金属酸化物半導体前駆体膜を乗せ、大気中で5分間加熱処理を行った。
上記溶液の塗布・乾燥及びホットプレートによる加熱処理による金属酸化物半導体膜への転化を、交互に各12回繰り返した。得られた金属酸化物半導体膜に対し、下記条件で紫外線照射による加熱処理を行った。
紫外線照射装置としては、低圧水銀ランプを用いたUVオゾンクリーナー(フィルジェン社製、UV253H)を用いた。試料は厚さ40mmのガラス板上にセットし、ランプ−試料間距離を5mmとした。試料位置での波長254nmの紫外照度は、紫外線光量計(オーク製作所社製、UV−M10、受光器UV−25)を用いて測定した。ランプ点灯から3分間で最大値に達し、15mW/cm2であった。
紫外線照射処理室内に窒素を6L/minで10分間フローさせた後、90分間、紫外線照射を行った。紫外線照射中は常に6L/minで窒素をフローさせた。紫外線照射処理時の基板温度をサーモラベルでモニターしたところ、160℃を示した。
熱酸化膜付p型Si 1inch□基板上に、溶液Aを1500rpmの回転速度で30秒スピンコートした後、60℃に加熱されたホットプレート上で1分間乾燥を行い、金属酸化物半導体前駆体膜を得た。
得られた金属酸化物半導体前駆体膜に対し、下記条件でホットプレートによる加熱処理を行うことで金属酸化物半導体膜への転化を行った。
160℃に加熱したホットプレート上に前記金属酸化物半導体前駆体膜を乗せ、大気中で90分間加熱処理を行った。
熱酸化膜付p型Si 1inch□基板上に、溶液Aを1500rpmの回転速度で30秒スピンコートした後、60℃に加熱されたホットプレート上で1分間乾燥を行い、金属酸化物半導体前駆体膜を得た。
得られた金属酸化物半導体前駆体膜を、下記条件でホットプレートによる加熱処理を行うことで金属酸化物半導体膜への転化を行った。
250℃に加熱したホットプレート上に前記金属酸化物半導体前駆体膜を乗せ、大気中で90分間加熱処理を行った。
熱酸化膜付p型Si 1inch□基板上に、溶液Bを1500rpmの回転速度で30秒スピンコートした後、60℃に加熱されたホットプレート上で1分間乾燥を行い、金属酸化物半導体前駆体膜を得た。
得られた金属酸化物半導体前駆体膜に対し、下記条件でホットプレートによる加熱処理を行った。
160℃に加熱したホットプレート上に前記金属酸化物半導体前駆体膜を乗せ、大気中で5分間加熱処理を行った。
紫外線照射装置としては、低圧水銀ランプを用いたUVオゾンクリーナー(フィルジェン社製、UV253H)を用いた。試料は厚さ40mmのガラス板上にセットし、ランプ−試料間距離を5mmとした。試料位置での波長254nmの紫外照度は、紫外線光量計(オーク製作所社製、UV−M10、受光器UV−25)を用いて測定した。ランプ点灯から3分間で最大値に達し、15mW/cm2であった。
紫外線照射処理室内に窒素を6L/minで10分間フローさせた後、90分間、紫外線照射を行った。紫外線照射中は常に6L/minで窒素をフローさせた。紫外線照射処理時の基板温度をサーモラベルでモニターしたところ、160℃を示した。
実施例1、2,3及び比較例1,2,3,4の金属酸化物半導体膜についてSIMS分析を行った。測定装置はULVAC PHI社製PHI ADEPT1010、測定条件としては、一次イオン種はCs+、一次加速電圧は1.0kV、検出領域は140μm×140μmとした。
下記表4にSIMS分析によって見積もられた、実施例1、2,3及び比較例1,2,3,4の窒素、水素、炭素の濃度を示す。
実施例1,2,3及び比較例1,2,3,4の金属酸化物半導体膜についてラザフォード後方散乱分析(Rutherford Backscattering Spectroscopy:RBS)を行った。測定装置はCEA社製RBS、入射イオン種2.275MeV 4He++、ビーム径 1〜2mmφ、RBS検出角度 Normal Angle160°、Grazing Angle〜94.5°で測定を行った。
Claims (11)
- 金属成分として少なくともインジウムを含む金属酸化物半導体膜であって、膜中のインジウム濃度をDI(atoms/cm3)、膜中の水素濃度をDH(atoms/cm3)としたとき、以下の関係式(1)を満たす金属酸化物半導体膜。
0.1≦DH/DI≦1.8 (1) - 以下の関係式(2)を満たす請求項1に記載の金属酸化物半導体膜。
0.5≦DH/DI≦1.3 (2) - 膜中のインジウム含有量が、該膜に含まれる全金属元素の50atom%以上である請求項1又は請求項2に記載の金属酸化物半導体膜。
- X線反射率法によって測定した平均膜密度が6g/cm3以上である請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の金属酸化物半導体膜。
- 膜中の窒素濃度をDN(atoms/cm3)としたとき、以下の関係式(3)を満たす請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の金属酸化物半導体膜。
0.004≦DN/DI≦0.012 (3) - 膜中の炭素濃度をDC(atoms/cm3)としたとき、以下の関係式(4)を満たす請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の金属酸化物半導体膜。
0.016≦DC/DI≦0.039 (4) - 金属成分として、インジウムと、亜鉛、錫、ガリウム及びアルミニウムから選ばれる少なくとも1つとを含む請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の金属酸化物半導体膜。
- 請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載の金属酸化物半導体膜を含む活性層と、ソース電極と、ドレイン電極と、ゲート絶縁膜と、ゲート電極とを有する薄膜トランジスタ。
- 請求項8に記載の薄膜トランジスタを備えた表示装置。
- 請求項8に記載の薄膜トランジスタを備えたイメージセンサ。
- 請求項8に記載の薄膜トランジスタを備えたX線センサ。
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