JP2015111074A - 距離を求める方法、静電チャックを除電する方法、及び、処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電チャックESCは、表面21sを有しており、表面21sは底面21tと底面21tから上方に突出する複数の凸部21pを有し、被処理体Wは裏面Wbが凸部21pの頂部に接するように載置される。光源82から出射される光の反射光に基づき分光器90から出力される第1の波長スペクトルを処理することにより、被処理体Wの裏面Wbと静電チャックESCの底面21tとの間の距離が求められる。距離に基づいて、静電チャックESCに電圧が印加され、静電チャックESCが除電される。
【選択図】図2
Description
(a)光源から出射されて前記複数の凸部の間において前記被処理体の裏面及び前記静電チャックの前記底面に照射される光の反射光の第1の波長スペクトルを、分光器を用いて取得する工程と、
(b)前記光源から出射される光の波長スペクトルを用いて前記第1の波長スペクトルを反射率の波長スペクトルに変換して、第2の波長スペクトルを取得する工程と、
(c)前記第2の波長スペクトルの波長を波数に変換して、第1の波数スペクトルを取得する工程、
(d)前記第1の波数スペクトルを波数方向において等間隔に補間して、第2の波数スペクトルを取得する工程と、
(e)前記第2の波数スペクトルの波数方向の両端の反射率を揃える第1の補正処理を該第2の波数スペクトルに適用して、第3の波数スペクトルを取得する工程と、
(f)前記第3の波数スペクトルに高速フーリエ変換を適用して、第1の光路長スペクトルを取得する工程と、
(g)前記第1の光路長スペクトルから前記被処理体の厚みに対応する光路長の成分を除去するフィルタを該第1の光路長スペクトルに適用して、第2の光路長スペクトルを取得する工程と、
(h)前記第2の光路長スペクトルに逆高速フーリエ変換を適用して、第4の波数スペクトルを取得する工程と、
(i)前記第1の補正処理の逆処理である第2の補正処理を前記第4の波数スペクトルに適用して、第5の波数スペクトルを取得する工程と、
(j)前記第5の波数スペクトルの波数を波長に変換して、第3の波長スペクトルを取得する工程と、
(k)前記光源から出力される光に基づく前記分光器の特性を示す規格化用波長スペクトルを用いて前記第3の波長スペクトルを規格化して、第4の波長スペクトルを取得する工程と、
(l)前記第4の波長スペクトルにおけるピーク波長又はバレー波長に基づいて前記距離を算出する工程と、
を含む。
(b)前記光源から出射される光の波長スペクトルを用いて前記第1の波長スペクトルを反射率の波長スペクトルに変換して、第2の波長スペクトルを取得し、
(c)前記第2の波長スペクトルの波長を波数に変換して、第1の波数スペクトルを取得し、
(d)前記第1の波数スペクトルを波数方向において等間隔に補間して、第2の波数スペクトルを取得し、
(e)前記第2の波数スペクトルの波数方向の両端の反射率を揃える第1の補正処理を該第2の波数スペクトルに適用して、第3の波数スペクトルを取得し、
(f)前記第3の波数スペクトルに高速フーリエ変換を適用して、第1の光路長スペクトルを取得し、
(g)前記第1の光路長スペクトルから前記被処理体の厚みに対応する光路長の成分を除去するフィルタを該第1の光路長スペクトルに適用して、第2の光路長スペクトルを取得し、
(h)前記第2の光路長スペクトルに逆高速フーリエ変換を適用して、第4の波数スペクトルを取得し、
(i)前記第1の補正処理の逆処理である第2の補正処理を前記第4の波数スペクトルに適用して、第5の波数スペクトルを取得し、
(j)前記第5の波数スペクトルの波数を波長に変換して、第3の波長スペクトルを取得し、
(k)前記光源から出力される光に基づく前記分光器の特性を示す規格化用波長スペクトルを用いて前記第3の波長スペクトルを規格化して、第4の波長スペクトルを取得し、
(l)前記第4の波長スペクトルにおけるピーク波長又はバレー波長に基づいて被処理体の裏面と静電チャックの底面との間の距離を算出し、
(m)算出した前記距離に基づき、前記静電チャックに電圧を印加するよう前記電源を制御する。
Δλlong=(前回の工程ST2で算出したλlong)−(現在の工程ST2で算出したλlong)
そして、工程ST22では、Blongが、(前回の工程ST2で算出したλlong)−λWIDTH/2−Δλlongから、(前回のST2で算出したλlong)+λWIDTH/2−Δλlongまでの範囲に更新される。
Blongが短波長側にずれて所定波長範囲λWにない場合であり、且つ、λlongがピーク波長である場合には、下記の(6)式に基づき、λShiftが求められ、λShiftだけ長波長側にBlongがシフトされる。このとき、mの変更は行われない。なお、更新後のBlong内において計算される重心波長はバレー波長となる。
Blongが短波長側にずれて所定波長範囲λWにない場合であり、且つ、λlongがバレー波長である場合には、下記の(7)式に基づき、λShiftが求められ、λShiftだけ長波長側にBlongがシフトされる。このとき、mは1だけ減少される。なお、更新後のBlong内において計算される重心波長はピーク波長となる。
Blongが長波長側にずれて所定波長範囲λWにない場合であり、且つ、λlongがピーク波長である場合には、下記の(8)式に基づき、λShiftが求められ、λShiftだけ短波長側にBlongがシフトされる。このとき、mは1だけ増加される。なお、更新後のBlong内において計算される重心波長はバレー波長となる。
Blongが長波長側にずれて所定波長範囲λWにない場合であり、且つ、λlongがバレー波長である場合には、下記の(9)式に基づき、λShiftが求められ、λShiftだけ短波長側にBlongがシフトされる。このとき、mは変更されない。なお、更新後のBlong内において計算される重心波長はピーク波長となる。
Claims (3)
- 被処理体の裏面と静電チャックの底面との間の距離を求める方法であって、前記静電チャックは、前記底面と該底面から突出する複数の凸部とを含む表面を有しており、前記被処理体は、前記静電チャックの前記複数の凸部の頂部に前記裏面が接するように載置され、
該方法は、
光源から出射されて前記被処理体の裏面及び前記静電チャックの前記底面に照射される光の反射光の第1の波長スペクトルを、分光器を用いて取得する工程と、
前記光源から出射される光の波長スペクトルを用いて前記第1の波長スペクトルを反射率の波長スペクトルに変換して、第2の波長スペクトルを取得する工程と、
前記第2の波長スペクトルの波長を波数に変換して、第1の波数スペクトルを取得する工程と、
前記第1の波数スペクトルを波数方向において等間隔に補間して、第2の波数スペクトルを取得する工程と、
前記第2の波数スペクトルの波数方向の両端の反射率を揃える第1の補正処理を該第2の波数スペクトルに適用して、第3の波数スペクトルを取得する工程と、
前記第3の波数スペクトルに高速フーリエ変換を適用して、第1の光路長スペクトルを取得する工程と、
前記第1の光路長スペクトルから前記被処理体の厚みに対応する光路長の成分を除去するフィルタを該第1の光路長スペクトルに適用して、第2の光路長スペクトルを取得する工程と、
前記第2の光路長スペクトルに逆高速フーリエ変換を適用して、第4の波数スペクトルを取得する工程と、
前記第1の補正処理の逆処理である第2の補正処理を前記第4の波数スペクトルに適用して、第5の波数スペクトルを取得する工程と、
前記第5の波数スペクトルの波数を波長に変換して、第3の波長スペクトルを取得する工程と、
前記光源から出力される光に基づく前記分光器の特性を示す規格化用波長スペクトルを用いて前記第3の波長スペクトルを規格化して、第4の波長スペクトルを取得する工程と、
前記第4の波長スペクトルにおけるピーク波長又はバレー波長に基づいて前記距離を算出する工程と、
を含む方法。 - 被処理体を吸着した静電チャックを除電する方法であって、
前記静電チャックは、底面と該底面から突出する複数の凸部を有する表面とを含み、前記被処理体は、裏面を有し、該裏面が前記複数の凸部の頂部に接するように該静電チャック上に載置され、
該方法は、
請求項1に記載の方法を実施して前記静電チャックの前記底面と前記被処理体の前記裏面との間の距離を取得する工程と、
取得された前記距離に基づき、前記静電チャックに電圧を印加する工程と、
を含む方法。 - 処理容器と、
前記処理容器内に設けられた静電チャックであり、底面と該底面から突出する複数の凸部を有する表面を有し、該複数の凸部の頂部において被処理体を支持する該静電チャックと、
前記静電チャックに電圧を印加する電源と、
前記被処理体の裏面及び静電チャックの底面に照射される光を出射する光源と、
前記光源からの光に基づく反射光を受光して、第1の波長スペクトルを出力する分光器と、
前記第1の波長スペクトルに基づき前記静電チャックに印加する電圧を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記光源から出射される光の波長スペクトルを用いて前記第1の波長スペクトルを反射率の波長スペクトルに変換して、第2の波長スペクトルを取得し、
前記第2の波長スペクトルの波長を波数に変換して、第1の波数スペクトルを取得し、
前記第1の波数スペクトルを波数方向において等間隔に補間して、第2の波数スペクトルを取得し、
前記第2の波数スペクトルの波数方向の両端の反射率を揃える第1の補正処理を該第2の波数スペクトルに適用して、第3の波数スペクトルを取得し、
前記第3の波数スペクトルに高速フーリエ変換を適用して、第1の光路長スペクトルを取得し、
前記第1の光路長スペクトルから前記被処理体の厚みに対応する光路長の成分を除去するフィルタを該第1の光路長スペクトルに適用して、第2の光路長スペクトルを取得し、
前記第2の光路長スペクトルに逆高速フーリエ変換を適用して、第4の波数スペクトルを取得し、
前記第1の補正処理の逆処理である第2の補正処理を前記第4の波数スペクトルに適用して、第5の波数スペクトルを取得し、
前記第5の波数スペクトルの波数を波長に変換して、第3の波長スペクトルを取得し、
前記光源から出力される光に基づく前記分光器の特性を示す規格化用波長スペクトルを用いて前記第3の波長スペクトルを規格化して、第4の波長スペクトルを取得し、
前記第4の波長スペクトルにおけるピーク波長又はバレー波長に基づいて前記被処理体の裏面と前記静電チャックの底面との間の距離を算出し、
算出した前記距離に基づき、前記静電チャックに電圧を印加するよう前記電源を制御する、
処理装置。
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