JP2015108435A - ベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置 - Google Patents

ベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2015108435A
JP2015108435A JP2013263046A JP2013263046A JP2015108435A JP 2015108435 A JP2015108435 A JP 2015108435A JP 2013263046 A JP2013263046 A JP 2013263046A JP 2013263046 A JP2013263046 A JP 2013263046A JP 2015108435 A JP2015108435 A JP 2015108435A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
pressure
humidity
circuit
supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013263046A
Other languages
English (en)
Inventor
新太郎 大谷
Shintaro Otani
新太郎 大谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HOSEN TECHNO KK
Original Assignee
HOSEN TECHNO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HOSEN TECHNO KK filed Critical HOSEN TECHNO KK
Priority to JP2013263046A priority Critical patent/JP2015108435A/ja
Publication of JP2015108435A publication Critical patent/JP2015108435A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Abstract

【課題】本発明は、高圧ガスボンベ(1)からのガスバリア透過率測定装置(6)への試験用供給ガスにおける減圧調整や湿度調整を安定化、効率化して変換、供給することができるベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置を得ることにある。【解決手段】アナログ方式で電力不要のベローズ式ガス圧力調整器(2)を試験用供給ガスの減圧調整器として用いること、密閉された金属製容器内に蒸留水を貯めた100%RH湿度発生器(5)回路、もしくは前記回路を経由しない0%RH直通回路の選択を切替え作業のみでおこなえる三方向切替え弁(4)とで、ベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置を構成している。【選択図】図1

Description

本発明は、ガスバリア透過率測定装置(6)への、高圧ガスボンベ(1)からの湿度0%RH、圧力14MPAの試験用供給ガスにおける減圧調整や湿度調整の不安定化や非効率化を解消するために、アナログ方式であるベローズ式ガス圧力調整器(2)を使用し、また調湿ガスの湿度設定を100%RHガス回路と0%RHガス回路に分岐して、前記におけるガス回路選択を三方向切替え弁(4)による簡易な切替えとしたベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置に関する。
従来のデジタル式圧力調整器による単一回路型調湿ガス供給装置は湿度0%RH、圧力14MPAの高圧ガスボンベ(1)からの試験用供給ガスにおける減圧調整は、ガス圧力調整器を電源の必要なデジタル式を使用し、前記により調整された試験用供給ガスのゲージ圧力値を示す圧力計も電源の必要なデジタル表示であった。試験用供給ガスにおける湿度設定を蒸留水貯蔵により調湿された100%RH湿度発生器(5)へのガス供給回路のみとして、切替えがおこなえない単一回路で、ガスバリア透過率測定装置(6)への試験用ガスを供給するための回路で構成されていた。
しかしながら、従来のデジタル式圧力調整器は供給先電源の電力値変化に伴う圧力調整に関する不安定化の影響を受けることや、電力供給の停止に伴う圧力計の表示ができなくなるという欠点があった。また、従来の試験用供給ガスにおける回路を100%RH湿度発生器(5)へのガス供給回路の単一のみとすることで、試験用供給ガスへの湿度設定を100%RHガスから0%RHガスに切替える際には、100%RH湿度発生器(5)内部に貯蔵された蒸留水をすべて除去,乾燥させ湿度発生器内部を0%RHへと変換させなくてはならない非効率化、非簡易な作業が発生するという欠点があった。
本発明は、以上のような従来の欠点に鑑み、高圧ガスボンベ(1)からの湿度0%RH、圧力14MPAの試験用供給ガスにおける減圧調整を電源の必要がないベローズ式ガス圧力調整器(2)を使用し、供給先電源の電力値変化に伴う影響を受けることなく圧力調整に関する安定化を図り、電力供給の有無に影響のないアナログ方式であるブルドン管圧力計(3)の表示により圧力調整された試験用供給ガスのゲージ圧力値の常時確認ができることや、試験用供給ガスにおける回路を100%RHガス調湿回路と0%RHガス直通回路とに分岐することで、三方向切替え弁(4)の切替えのみによる試験用供給ガスへの湿度設定を0%RHガスから100%RHガス、または100%RHガスから0%RHガスに切替え変更をおこなうことのできるベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置を提供する事を目的としている。
上記目的を達成するために本発明は、ガスバリア透過率測定装置(6)への試験用供給ガスにおける圧力設定について、アナログ方式で電源を要しないベローズ式ガス圧力調整器(2)を使用することにより、一定の安定したガス圧力値へ変換調整し、アナログ方式で電源を要しないブルドン管圧力計(3)を変換調整された試験用供給ガスのゲージ圧力値表示の常時確認のための圧力計として使用する。前記のとおり、ガス圧力に関して安定化された試験用供給ガスを送り込むガス配管回路として、密閉された金属製または、ガラス製容器内部に蒸留水を常時貯蔵することにより0%RHから100%RHに変換調湿することを目的とする100%RH湿度発生器(5)内部へ通じる配管回路とガスバリア透過率測定装置(6)本体ガス供給入口部への直通配管回路との二回路に分岐させ、どちらか一方の試験用供給ガス配管回路を選択させるために100%RH湿度発生器(5)のガス供給入口部と出口部にそれぞれ一個ずつ接続された三方向切替え弁(4)の切替え作業をおこなうことによって0%RHから100%RHに変換調湿した一定の安定したガス圧力を示す試験用供給ガス、もしくは0%RHのまま未変換調湿の一定の安定したガス圧力を示す試験用供給ガスをガスバリア透過率測定装置(6)本体ガス供給入口部へ直通させ供給するガス配管回路をいずれかを選択するための装置。前記記載とおり、ベローズ式ガス圧力調整器(2)、ブルドン管圧力計(3)、三方向切替え弁(4)、100%RH湿度発生器(5)とガス配管回路である100%RH湿度発生器(5)内部へ通じる加湿の回路と100%RH湿度発生器(5)内部へ通じない直通ガス配管回路を一纏めに収め、整理するための装置用の金属製の収納箱(7)と前記におけるガス配管回路や配管接続のためのチューブやナット、フェルルを金属製としたものとでベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置を構成している。
以上の説明から明らかなように、本発明にあっては、次に列挙する効果が得られる。
(1)高圧ガスボンベ(1)からの湿度0%RH、圧力14MPAの試験用供給ガスをアナログ方式で電源不要のベローズ式ガス圧力調整器(2)にて、試験用供給ガスを安定した圧力値へ変換調整でき、アナログ方式で電源不要のブルドン管圧力計(3)で試験用供給ガス圧力の安定表示ができる。また三方向切替え弁(4)の切替え作業のみで100%RH湿度発生器(5)内部へ通じる回路、もしくはガスバリア透過率測定装置(6)本体ガス供給入口部への直通配管回路のいずれか選択できるので、ガスバリア透過率測定装置(6)本体へ安定したガス圧力値での100%RHもしくは、0%RHに湿度調節された試験用供給ガスを単純作業にて切替え供給できる。また、前記記載とおり供給先電源の電力値変化や有無に伴う影響を受けることなくガス圧力値の変換調整や表示の安定化がおこなえ、また前記記載とおり三方向切替え弁(4)の切替え作業のみによって、試験用供給ガスにおける、湿度設定を0%RHまたは、100%RHのいずれかに選択できる。したがって試験用供給ガス圧力調整や湿度調整を安定化、簡略にて効率化できる。
(2)前記(1)によって、ガスバリア透過率測定装置(6)本体における試験用サンプルのガスバリア透過率測定テストへの時間の短縮や作業の効率化、また試験用サンプルにおける安定した信頼あるガスバリア透過率測定値データーを得ることができる。
本発明を実施するための最良の第1の形態の試験用供給ガス回路図である。 本発明を実施するための最良の第2の形態の全体における正面図である。
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図1は、本発明装置の実施例1の試験用供給ガス回路図であって、湿度0%RH、圧力14MPA設定の高圧ガスボンベ(1)からの試験用供給ガスをベローズ式ガス圧力調整器(2)の調整ハンドルにより、ブルドン管圧力計(3)の圧力目盛の表示を見ながら、目標ガス圧力値へ減圧調整する。また100%RH湿度発生器(5)内に蒸留水を常時あらかじめ補給しておく。前記のつぎに調圧された試験用ガス供給入口部と出口部にそれぞれ一個ずつ接続された三方向切替え弁(4)を100%RH湿度発生器(5)内部へ通じる回路、もしくはガスバリア透過率測定装置(6)本体ガス供給入口部への直通回路のいずれかを選択するために切替え作業をおこない、ガスバリア透過率測定装置(6)本体へ安定したガス圧力で湿度調整された試験用供給ガスを供給するのである。
図2は、収納箱(7)で、ベローズ式ガス圧力調整器(2)、ブルドン管圧力計(3)、三方向切替え弁(4)、100%RH湿度発生器(5)と試験用供給ガス選択回路である100%RH湿度発生器(5)内部へ通じる加湿配管回路と無加湿回路である直通配管回路を整理したベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置への高圧ガスボンベ(1)から金属製ナットやフェルル、チューブを用いてガス配管接続して減圧調整や湿度調整を安定化、効率化で変換をおこない、ガスバリア透過率測定装置(6)へ金属製ナットやフェルル、チューブを用いてガス配管を接続し、ガスを安定供給するためのガス回路における前記おのおののガス配管接続状態を全体で表した正面図である。
本発明は、ベローズ式による圧力調整器と分岐型調湿ガス供給回路の切替え変換装置により、ガスバリア透過率測定装置(6)における試験用サンプルとなるフィルムや容器の水蒸気透過度や酸素透過度を測定するためのガスバリア透過率測定テストをおこなうフィルムや容器、また前記における材料を製造する産業で主に米国モコン社製ガスバリア透過率測定装置におけるユーザーに利用される。
1 高圧ガスボンベ
2 ベローズ式ガス圧力調整器
3 ブルドン管圧力計
4 三方向切替え弁
5 100%RH湿度発生器
6 ガスバリア透過率測定装置
7 収納箱

Claims (2)

  1. ガスバリア透過率測定装置(6)への高圧ガスボンベ(1)からの試験用供給ガスにおける圧力設定値の減圧変換調節をおこなうため、ベローズ式ガス圧力調整器(2)を使用し、ブルドン管圧力計(3)にて前記にて変換調整された試験用供給ガスのゲージ圧力値表示の常時確認のための圧力計として使用し、前記によりガス圧力値が減圧変換調節された試験用供給ガスを送り込むためのガス回路をガス回路入口部の三方向切替え弁(4)により、いずれか一方のガス回路に切替え可能な二分岐ガス回路とし、前記における一方のガス回路は、上記試験用供給ガスを蒸留水が常時貯蔵された金属製または、ガラス製の密閉された容器内部へ送り込み、試験用供給ガス湿度変換調節を0%RHから100%RHに変換調湿して排出して、供給することを目的とする100%RH湿度発生器(5)へ通じるガス回路とし、前記における他方のガス回路は、試験用供給ガス湿度変換調節を0%RHから変換調湿せずに0%RHのままガス供給するためのガスバリア透過率測定装置(6)本体ガス供給入口部への直通ガス回路とし、ガス回路出口部の三方向切替え弁(4)の切替え作業により、ガスバリア透過率測定装置(6)本体ガス供給入口部へ調圧、調湿した試験用供給ガスを供給するための前記記載のベローズ式ガス圧力調整器(2)、ブルドン管圧力計(3)、三方向切替え弁(4)、100%RH湿度発生器(5)と前記記載のものを結ぶためのガス回路となる配管、前記記載におけるガス配管回路を100%RH湿度発生器(5)内部へ通じる加湿の回路と100%RH湿度発生器(5)内部へ通じない直通回路とし、前記記載のものを一纏めに収納し、整理するための装置用の収納箱(7)からなる高圧ガスボンベ(1)からガスバリア透過率測定装置(6)への試験用供給ガス圧力値や湿度変換調節のためのベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置。
  2. 高圧ガスボンベ(1)からの試験用供給ガスは、湿度0%RH、圧力14MPAとし、ベローズ式ガス圧力調整器(2)は、アナログ方式で電源を要しないものとし、ブルドン管圧力計(3)においても前記同様アナログ方式で電源を要しないものとして、前記記載によりガス圧力値が減圧変換調節された試験用供給ガスをガスバリア透過率測定装置(6)へ送り込むため装置。また、三方向切替え弁(4)により切替え可能な二分岐ガス回路を蒸留水貯蔵のステンレス製やアルミ製密閉容器とした100%RH湿度発生器(5)へ通じるガス配管回路と、ガスバリア透過率測定装置(6)直通ガス配管回路とし、前記記載おのおのを接続するための配管を銅製または、ステンレス製のチューブとし、前記記載おのおのの接続部は、真鍮製やステンレス製のナットとフェルルを用いて接続された装置であって、前記記載のベローズ式ガス圧力調整器(2)、ブルドン管圧力計(3)、三方向切替え弁(4)100%RH湿度発生器(5)とガス配管、そして、前記記載おのおのを整理収納のためのアルミ製、もしくはステンレス製の収納箱(7)からなる請求項1に記載するベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置。
JP2013263046A 2013-12-03 2013-12-03 ベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置 Pending JP2015108435A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013263046A JP2015108435A (ja) 2013-12-03 2013-12-03 ベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013263046A JP2015108435A (ja) 2013-12-03 2013-12-03 ベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2015108435A true JP2015108435A (ja) 2015-06-11

Family

ID=53438916

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013263046A Pending JP2015108435A (ja) 2013-12-03 2013-12-03 ベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2015108435A (ja)

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63236943A (ja) * 1987-03-25 1988-10-03 Mitsui Petrochem Ind Ltd ガス透過試験機に使用される湿度調整装置
JPH0572110A (ja) * 1990-12-19 1993-03-23 Modern Controls Inc ガス透過率測定装置
JP2000306839A (ja) * 1999-04-23 2000-11-02 Nippon Sanso Corp 半導体プロセスガスの供給システム
JP2001235417A (ja) * 2000-02-25 2001-08-31 Seika Corp 細孔径分布測定装置
JP2002048703A (ja) * 2000-07-31 2002-02-15 Toyo Seiki Seisakusho:Kk ガス透過率測定装置
JP2004257782A (ja) * 2003-02-25 2004-09-16 Nihon Tetra Pak Kk ガス透過率測定装置
JP2005090747A (ja) * 2003-09-12 2005-04-07 Air Products & Chemicals Inc 流体制御及び気体送出組立体
JP2005207979A (ja) * 2004-01-26 2005-08-04 Osaka Gas Co Ltd 整圧器閉切り時の越しガス検査方法
JP2006308394A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Mitsubishi Heavy Industries Food & Packaging Machinery Co Ltd 気体透過度計測方法,気体透過度測定用パージ装置,及び気体透過度計測システム
JP2008151791A (ja) * 2006-12-15 2008-07-03 Mocon Inc 既知の及び調整可能な相対湿度のガスサンプルを生成するシステム及び方法
JP2010503850A (ja) * 2006-09-19 2010-02-04 エクストラソリューション エス.アール.エル. フィルム体および容器の壁部を通過するガスの透過度測定方法並びに装置
JP2011043386A (ja) * 2009-08-20 2011-03-03 Gtr Tec Corp 氷結トラップを有する透過量測定装置

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63236943A (ja) * 1987-03-25 1988-10-03 Mitsui Petrochem Ind Ltd ガス透過試験機に使用される湿度調整装置
JPH0572110A (ja) * 1990-12-19 1993-03-23 Modern Controls Inc ガス透過率測定装置
JP2000306839A (ja) * 1999-04-23 2000-11-02 Nippon Sanso Corp 半導体プロセスガスの供給システム
JP2001235417A (ja) * 2000-02-25 2001-08-31 Seika Corp 細孔径分布測定装置
JP2002048703A (ja) * 2000-07-31 2002-02-15 Toyo Seiki Seisakusho:Kk ガス透過率測定装置
JP2004257782A (ja) * 2003-02-25 2004-09-16 Nihon Tetra Pak Kk ガス透過率測定装置
JP2005090747A (ja) * 2003-09-12 2005-04-07 Air Products & Chemicals Inc 流体制御及び気体送出組立体
JP2005207979A (ja) * 2004-01-26 2005-08-04 Osaka Gas Co Ltd 整圧器閉切り時の越しガス検査方法
JP2006308394A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Mitsubishi Heavy Industries Food & Packaging Machinery Co Ltd 気体透過度計測方法,気体透過度測定用パージ装置,及び気体透過度計測システム
JP2010503850A (ja) * 2006-09-19 2010-02-04 エクストラソリューション エス.アール.エル. フィルム体および容器の壁部を通過するガスの透過度測定方法並びに装置
JP2008151791A (ja) * 2006-12-15 2008-07-03 Mocon Inc 既知の及び調整可能な相対湿度のガスサンプルを生成するシステム及び方法
JP2011043386A (ja) * 2009-08-20 2011-03-03 Gtr Tec Corp 氷結トラップを有する透過量測定装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016530460A5 (ja)
CN102654241A (zh) 气体减压供给装置、具有该气体减压供给装置的气瓶柜、阀箱以及基板处理装置
CN107782400A (zh) 燃气调压计量柜
JP4994494B2 (ja) 差圧計測方法及び装置
CN107543662A (zh) 密封电连接器低温空气泄漏试验夹具
KR101449809B1 (ko) 휴대용 가스압력 검사장치 및 이를 이용한 검사방법
JP2014202549A (ja) タイヤ試験装置の空気圧回路
CN106595953A (zh) 医用氧气类计量器具计量标准装置
JP2015108435A (ja) ベローズ式圧力調整器による分岐型調湿ガス供給装置
CN205187861U (zh) 一种高度集成化的板式臭氧发生器
JP6370113B2 (ja) 圧力計の検査方法
JP2016176866A (ja) リーク検査方法リーク検査装置
CN207832385U (zh) 一种通道式标准漏孔校准装置
JP5134117B2 (ja) 水蒸気透過測定システム
KR101163728B1 (ko) 휴대용 가스 압력 검사장치
RU2504747C1 (ru) Устройство для тарировки измерительных приборов дифференциального давления
CN207198045U (zh) 一种用于gis设备故障气室快速定位的气体检测装置
KR20180073014A (ko) 가스 공급 장치
CN208595953U (zh) 气体流量测量校准装置
Köllő et al. A new method to measure small volumes in tritium handling facilities, using pV measurements
CN114878069A (zh) 压力标准源、压力标准源制备设备及压力校准方法
TWI601942B (zh) Cavity pressure measurement method
CN204494089U (zh) 一种供气切换设备
CN110779666A (zh) 一种用于检测仪表气密性的试验台
CN114485868A (zh) 一种变压器油位计校验方法及相关装置

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20150407