JP2015100911A5 - - Google Patents

Description

上述した目的を達成するために、本発明の研磨装置の一態様は、基板を保持した研磨ヘッドを回転させるとともに研磨テーブルを回転させながら、研磨ヘッドにより基板を研磨テーブル上の研磨面に押圧して基板を研磨する研磨装置において、前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に、固定側ユニットと回転側ユニットとが互いに非接触で対向して前記固定側ユニットと前記回転側ユニットとの間で電力又は信号の授受、または通信を行う非接触型伝送コネクタを設け、前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に設置された機器と前記研磨テーブルまたは前記研磨ヘッドの外部との間で前記非接触型伝送コネクタを介して電力又は信号の授受、または通信を行うようにし、前記非接触型伝送コネクタは、前記固定側ユニットおよび前記回転側ユニットのいずれか一方に設置された投光部と他方に設置された受光部とを互いに対向するように配置して構成されていることを特徴とする。
本発明の研磨装置の別の態様は、基板を保持した研磨ヘッドを回転させるとともに研磨テーブルを回転させながら、研磨ヘッドにより基板を研磨テーブル上の研磨面に押圧して基板を研磨する研磨装置において、前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に、固定側ユニットと回転側ユニットとが互いに非接触で対向して前記固定側ユニットと前記回転側ユニットとの間で電力又は信号の授受、または通信を行う非接触型伝送コネクタを設け、前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に設置された機器と前記研磨テーブルまたは前記研磨ヘッドの外部との間で前記非接触型伝送コネクタを介して電力又は信号の授受、または通信を行うようにし、前記研磨ヘッドに設置された機器は、研磨中の基板の状態をモニタするセンサを含む測定機器であることを特徴とする。
本発明の研磨装置のさらに別の態様は、基板を保持した研磨ヘッドを回転させるとともに研磨テーブルを回転させながら、研磨ヘッドにより基板を研磨テーブル上の研磨面に押圧して基板を研磨する研磨装置において、前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に、固定側ユニットと回転側ユニットとが互いに非接触で対向して前記固定側ユニットと前記回転側ユニットとの間で電力又は信号の授受、または通信を行う非接触型伝送コネクタを設け、前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に設置された機器と前記研磨テーブルまたは前記研磨ヘッドの外部との間で前記非接触型伝送コネクタを介して電力又は信号の授受、または通信を行うようにし、前記非接触型伝送コネクタの回転側ユニットに隣接してロータリジョイントを設け、前記研磨テーブルまたは前記研磨ヘッドの外部より流体を前記研磨テーブル内または前記研磨ヘッド内に供給するようにしたことを特徴とする。

Claims (12)

1. 基板を保持した研磨ヘッドを回転させるとともに研磨テーブルを回転させながら、研磨ヘッドにより基板を研磨テーブル上の研磨面に押圧して基板を研磨する研磨装置において、
   前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に、固定側ユニットと回転側ユニットとが互いに非接触で対向して前記固定側ユニットと前記回転側ユニットとの間で電力又は信号の授受、または通信を行う非接触型伝送コネクタを設け、
   前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に設置された機器と前記研磨テーブルまたは前記研磨ヘッドの外部との間で前記非接触型伝送コネクタを介して電力又は信号の授受、または通信を行うようにし、
   前記非接触型伝送コネクタは、前記固定側ユニットおよび前記回転側ユニットのいずれか一方に設置された投光部と他方に設置された受光部とを互いに対向するように配置して構成されていることを特徴とする研磨装置。
2. 基板を保持した研磨ヘッドを回転させるとともに研磨テーブルを回転させながら、研磨ヘッドにより基板を研磨テーブル上の研磨面に押圧して基板を研磨する研磨装置において、
   前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に、固定側ユニットと回転側ユニットとが互いに非接触で対向して前記固定側ユニットと前記回転側ユニットとの間で電力又は信号の授受、または通信を行う非接触型伝送コネクタを設け、
   前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に設置された機器と前記研磨テーブルまたは前記研磨ヘッドの外部との間で前記非接触型伝送コネクタを介して電力又は信号の授受、または通信を行うようにし、
   前記研磨ヘッドに設置された機器は、研磨中の基板の状態をモニタするセンサを含む測定機器であることを特徴とする研磨装置。
3. 基板を保持した研磨ヘッドを回転させるとともに研磨テーブルを回転させながら、研磨ヘッドにより基板を研磨テーブル上の研磨面に押圧して基板を研磨する研磨装置において、
   前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に、固定側ユニットと回転側ユニットとが互いに非接触で対向して前記固定側ユニットと前記回転側ユニットとの間で電力又は信号の授受、または通信を行う非接触型伝送コネクタを設け、
   前記研磨テーブルおよび前記研磨ヘッドの少なくとも一方に設置された機器と前記研磨テーブルまたは前記研磨ヘッドの外部との間で前記非接触型伝送コネクタを介して電力又は信号の授受、または通信を行うようにし、
   前記非接触型伝送コネクタの回転側ユニットに隣接してロータリジョイントを設け、前記研磨テーブルまたは前記研磨ヘッドの外部より流体を前記研磨テーブル内または前記研磨ヘッド内に供給するようにしたことを特徴とする研磨装置。
4. 前記研磨テーブルに設置された機器は、研磨中の基板の被研磨面の状態をモニタするセンサを含む測定機器であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の研磨装置。
5. 前記研磨ヘッドに設置された機器は、研磨中の基板の状態をモニタするセンサを含む測定機器であることを特徴とする請求項１または３に記載の研磨装置。
6. 前記非接触型伝送コネクタは、巻線を施した少なくとも１つのポットコアを前記固定側ユニットおよび前記回転側ユニットに互いに対向するように配置して構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の研磨装置。
7. 前記投光部および前記受光部は、前記固定側ユニットおよび前記回転側ユニットの中心に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
8. 前記投光部と前記受光部との間に光を反射・屈折させる物を複数設置し、前記投光部から投光された光を前記光を反射・屈折させる物を介して前記受光部に導くようにしたことを特徴とする請求項１または７に記載の研磨装置。
9. 前記非接触型伝送コネクタは、前記固定側ユニットおよび前記回転側ユニットが互いに対向する面に防水用のコーティングを施していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の研磨装置。
10. 前記非接触型伝送コネクタの回転側ユニットに隣接してロータリジョイントを設け、前記研磨テーブルまたは前記研磨ヘッドの外部より流体を前記研磨テーブル内または前記研磨ヘッド内に供給するようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載の研磨装置。
11. 前記投光部と前記受光部とは、それぞれ投・受光部からなり、一方向通信および双方向通信が可能であることを特徴とする請求項１または７に記載の研磨装置。
12. 前記非接触型伝送コネクタを介して前記回転側ユニットに設置された機器と電力又は信号の授受または通信を行う制御部を設けることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の研磨装置。