JP2015100842A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ発生器1と、コリメータ2と、音響光学素子5と、ビーム径調整光学系3,4と、ガルバノスキャナ11と、fθレンズ8を有するレーザ加工装置において、音響光学素子5をコリメータ2とビーム径調整光学系3,4の間に配置し、コリメータ2のレンズ間距離を可変にして音響光学素子5の熱レンズ効果を打ち消すようにしたことを特徴とするレーザ加工装置。
【選択図】図1
Description
2 コリメータ
3 ビーム径調整レンズ系
4 アパーチャ
5 音響光学素子
6 ダンパ
7 反射ミラー系
8 fθレンズ
9 ミラー移動装置
10 円偏光ミラー
11 ガルバノスキャナ
12 レーザ光(直線偏光)の偏光方向
13 円偏光になったレーザ光
15 円偏光ミラーで反射された後の偏光方向
Claims (2)
- レーザビームを出射するレーザ発生器と、
前記レーザビームを平行ビームにするコリメータと、
前記レーザビームを偏向してON−OFF制御するための音響光学素子と、
前記レーザビームのビーム径を調節するためのビーム径調整光学系と、
前記ビーム径調整光学系によってビーム径を調節された前記レーザビームを偏向してスキャンするためのガルバノスキャナと、
前記ガルバノスキャナで偏向された前記レーザビームをワーク上に集光して加工するためのfθレンズと、
前記ワークを載置するためのステージを有するレーザ加工装置において、
前記音響光学素子を前記コリメータと前記ビーム径調整系の間に配置し、前記コリメータのレンズ間距離を可変にして前記音響光学素子の熱レンズ効果を打ち消すようにしたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記音響光学素子と前記ビーム径調整光学系の間に4分の1波長板と同等の機能を有する光学素子を設けたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
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- 2013-11-28 JP JP2013245933A patent/JP6184849B2/ja active Active
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