JP2015093359A - 研削盤 - Google Patents

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Abstract

【課題】ワーク支持装置と砥石車支持装置との切込方向の相対位置の計測の高精度化を図ることができると共に、低コスト化を図ることができる研削盤を提供する。
【解決手段】第一低熱膨張材(71)が、切込方向に延びるように設けられ、基端側を第一支持装置(10)のうち第二軸線(L2)より第一軸線(L1)に近い位置に固定され、自由端側を切込方向に対して規制されないように設けられ、両支持装置(10,50)より低い熱膨張係数の材料により形成される。スケール(73)と検出用ヘッド(74)の一方が、第一低熱膨張材(71)に設けられ、他方が、第二支持装置(50)または第二支持装置(50)に固定される部材(72)に設けられる。
【選択図】図2

Description

本発明は、研削盤に関するものである。
工作機械の構成部品の熱変位が加工精度に影響を及ぼすことが知られている。つまり、位置計測器が取り付けられている構成部品が熱変位した場合には、計測値が熱変位の影響を受けてしまう。そこで、位置計測器を低熱膨張材に取り付けることが、特許文献1、2に記載されている。
特許文献1には、工作機械において、ワーク支持装置と工具支持装置との相対位置を計測するために、ベッド(固定基台)に固定された低熱膨張材をワーク支持装置および工具支持装置のそれぞれに分岐することが記載されている。当該工作機械では、低熱膨張材の分岐されたそれぞれの端部に、スケールと検出用ヘッドの一方が設けられ、ワーク支持装置および工具支持装置に、スケールと検出用ヘッドの他方が設けられる。そして、当該工作機械は、それぞれのスケールおよび検出用ヘッドによる検出値に基づいて、ワーク支持装置と工具支持装置の相対位置を制御している。
また、特許文献2には、工作機械の主軸装置において、主軸の熱変位を検出するために、低熱膨張材を用いることが記載されている。
特開2011−240423号公報 特開平1−295743号公報
特許文献1において、ワーク支持装置と工具支持装置との相対位置を計測するために、一方のスケールと検出用ヘッドにより、ベッドに対するワーク支持装置の位置を計測し、他方のスケールと検出用ヘッドにより、ベッドに対する工具支持装置の位置を計測している。しかし、2対のスケールと検出用ヘッドを用いた計測であって、ベッドを介した計測では、計測誤差が生じるおそれがある。特に、研削盤においては、ワーク支持装置と砥石車支持装置との切込方向の相対位置の計測についてさらなる高精度化が求められるため、計測誤差をさらに低減することが求められる。さらに、2対のスケールと検出用ヘッドを用いるため、高コスト化を招来する。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ワーク支持装置と砥石車支持装置との切込方向の相対位置の計測の高精度化を図ることができると共に、低コスト化を図ることができる研削盤を提供することを目的とする。
(請求項1)本手段に係る研削盤は、ワークと砥石車の一方を第一軸線周りに回転可能に支持する第一支持装置と、前記ワークと前記砥石車の他方を第二軸線周りに回転可能に支持し、前記第一支持装置に対して切込方向に相対移動可能な第二支持装置と、前記切込方向に延びるように設けられ、基端側を前記第一支持装置のうち前記第二軸線より前記第一軸線に近い位置に固定され、自由端側を前記切込方向に対して規制されないように設けられ、両支持装置より低い熱膨張係数の第一低熱膨張材と、前記第一低熱膨張材と前記第二支持装置または前記第二支持装置に固定される部材との一方に設けられるスケールと、前記第一低熱膨張材と、前記第二支持装置または前記第二支持装置に固定される部材との他方に設けられ、前記スケールに対向するように設けられる検出用ヘッドと、前記スケールおよび前記検出用ヘッドにより検出された前記第一軸線と前記第二軸線との切込方向距離に基づいて、両支持装置の相対位置を制御する制御装置と、を備える。
本手段によれば、第一低熱膨張材の基端側が、第一支持装置のうち第一軸線に近い位置に固定されている。そして、第一低熱膨張材には、スケールまたは検出用ヘッドが取り付けられている。従って、第一低熱膨張材に取り付けられているスケールまたは検出用ヘッドは、周囲の熱変位に関わらず、第一支持装置のうちの第一軸線に近い位置から実質的に一定距離の位置に取り付けられていることになる。一方、スケールと検出用ヘッドの他方は、第二支持装置に設けられるか、もしくは、第二支持装置に固定される部材に設けられる。従って、スケールと検出用ヘッドによって検出される「第一軸線と第二軸線との切込方向距離」は、熱変位の影響の少ない実距離の相当値となる。その結果、高精度な研削が可能となる。
さらに、本手段によれば、スケールと検出用ヘッドは、それぞれ一つずつ設けられている。つまり、1対のスケールと検出用ヘッドを用いて、上述したように高精度な研削が可能となる。さらに、本手段は、1対のスケールと検出用ヘッドを用いるため、従来のように2対のスケールと検出用ヘッドを用いる場合に比べて低コストとなる。
本手段に係る研削盤の好適な実施態様について以下に説明する。
(請求項2)前記第一低熱膨張材の基端は、前記第一軸線に直交し、かつ、前記切込方向に直交する位置に固定されるとよい。これにより、第一低熱膨張材に取り付けられているスケールまたは検出用ヘッドは、周囲の熱変位に関わりなく、切込方向において第一軸線の位置から一定距離の位置に取り付けられていることになる。従って、高精度な研削が可能となる。
(請求項3)また、前記研削盤は、前記切込方向に延びるように設けられ、基端側を前記第二支持装置のうち前記第一軸線より前記第二軸線に近い位置に固定され、自由端側を前記切込方向に対して規制されないように設けられ、両支持装置より低い熱膨張係数の第二低熱膨張材をさらに備え、前記スケールは、前記第一低熱膨張材と前記第二低熱膨張材の一方に設けられ、前記検出用ヘッドは、前記第一低熱膨張材と前記第二低熱膨張材の他方に設けられるとよい。
第二低熱膨張材の基端側が、第二支持装置のうち第二軸線に近い位置に固定されている。そして、第二低熱膨張材には、スケールと検出用ヘッドの他方が取り付けられている。従って、第二低熱膨張材に取り付けられているスケールと検出用ヘッドの他方は、周囲の熱変位に関わらず、第二支持装置のうちの第二軸線に近い位置から実質的に一定距離の位置に取り付けられていることになる。
一方、上述したように、第一低熱膨張材に取り付けられているスケールと検出用ヘッドの一方は、第一支持装置のうちの第一軸線に近い位置から実質的に一定距離の位置(距離変化の小さい位置)に取り付けられていることになる。従って、第一、第二低熱膨張材を用いることにより、スケールと検出用ヘッドにより検出される切込方向距離は、高精度に実距離の相当値となる。その結果、さらなる高精度な研削が可能となる。
(請求項4)また、前記第二低熱膨張材の基端は、前記第二軸線に直交し、かつ、前記切込方向に直交する位置に固定されるとよい。これにより、第二低熱膨張材に取り付けられているスケールと検出用ヘッドの他方は、周囲の熱変位に関わりなく、切込方向において第二軸線の位置から一定距離の位置に取り付けられていることになる。従って、高精度な研削が可能となる。
(請求項5)また、前記第一、第二低熱膨張材は、それぞれの基端側から同一方向に延びるように設けられ、前記スケールおよび前記検出用ヘッドは、前記第一軸線と前記第二軸線との間以外に配置されるようにしてもよい。これにより、スケールおよび検出用ヘッドが、第一軸線と第二軸線との間以外に配置されるため、研削液の熱等の影響をより確実に受けないようにできる。その結果、高精度な研削が可能となる。
(請求項6)また、前記第一低熱膨張材は、前記ワークと前記砥石車の下方に配置され、前記研削盤は、前記第二支持装置に固定され、前記第一低熱膨張材に対して前記切込方向に相対移動可能であり、前記スケールおよび前記検出用ヘッドの周囲を囲うカバー部材をさらに備えるようにしてもよい。
第一低熱膨張材は、ワークと砥石車の下方に配置される。つまり、ワークや砥石車の上側の空間に第一低熱膨張材が存在せず、研削盤全体の構成が簡易となる。また、砥石車によるワークの研削点には、研削液がかけられる。従って、下方には、研削液が流れ落ちる。しかし、本手段に係る研削盤はカバー部材を備えることにより、研削液がスケールおよび検出用ヘッドにかかることが防止される。従って、スケールおよび検出用ヘッドが研削液の熱等の影響を受けることを抑制できる。結果として、高精度な研削が可能となる。
本実施形態の研削盤の平面図(上方から見た図)である。 図1における2−2断面図である。図2において、左側が設置面側であり、右側が上方である。 図2における3−3断面図である。 図2における4−4断面図である。 図2と同一断面図であって、砥石車をワークに接触させた状態の図である。
(1.研削盤の概要)
本発明の実施形態としての研削盤の一例として、テーブルトラバース型円筒研削盤を例に挙げて説明する。当該研削盤について、図1を参照して説明する。図1において、X軸方向は、砥石車60によるワークWに対する切込方向であり、Z軸方向は、トラバース方向であり、Y軸方向は設置面に対して鉛直な方向である。
図1に示すように、研削盤1は、主として、ベッド10、テーブル20、主軸台30、心押台40、砥石台50、砥石車60、X方向位置検出装置70、および制御装置80を備える。
ベッド10は、設置面上に固定される。ベッド10は、図1の下側においてZ軸方向に延びるガイドレール11,12を備える。また、ベッド10は、図1の上側においてX軸方向に延びる該取れる13,14を備える。さらに、ベッド10において、ワークWの回転軸線L1(「第一軸線」に相当)の直下に、X軸方向のガイドレール13,14側に開口するように凹所15が形成されている。本実施形態においては、凹所15の座面が、ワークWの回転軸線L1の直下に位置するように形成されている。
テーブル20は、長尺状に形成され、ベッド10のガイドレール11,12上にZ軸方向に移動可能に設けられる。テーブル20は、公知の駆動装置によってベッド10に対してZ軸方向に移動可能となる。テーブル20上の一端側に主軸台30が固定され、テーブル20の他端側に心押台40が固定される。そして、ワークWのZ軸回りに回転可能となるように、主軸台30と心押台40とにより支持される。
ここで、ベッド10、テーブル20、主軸台30および心押台40が、切込方向において、ワークWを支持する装置(本発明における「第一支持装置」に相当)として機能する。そして、ワークWの回転軸線L1が、本発明における第一軸線に相当する。
砥石台50は、ベッド10のガイドレール13,14上にX軸方向(切込方向)に移動可能に設けられる。砥石台50は、砥石車60を軸線L2(「第二軸線」に相当)周りに回転可能に支持する。ここで、砥石車60の回転軸線L2は、Z軸方向に平行、すなわち、ワークWの回転軸線L1に平行である。ここで、砥石台50は、公知の駆動装置によってベッド10に対してX軸方向に移動可能となる。また、砥石車60は、公知の駆動装置によって砥石台50に対して回転軸線L2周りに回転可能となる。さらに、砥石台50は、側面に砥石車60の回転軸線L2の直下を基準面とする側方突起板51を備える。
ここで、砥石台50は、本発明において、第一支持装置に対応する意味として、切込方向に相対移動する第二支持装置に相当する。そして、砥石車60の回転軸線L2が、本発明における第二軸線に相当する。
X方向位置検出装置70(以下、「検出装置」と称する)は、ワークWの回転軸線L1と砥石車60の回転軸線L2との切込方向距離(離間距離)Hを検出する。検出装置70は、スケール73と検出用ヘッド74とを備え、検出用ヘッド74がスケール73に対向する位置のX軸座標を検出値とする。なお、検出装置70の詳細は、後述する。
制御装置80は、スケール73および検出用ヘッド74により検出されたワークWの回転軸線L1と砥石車60の回転軸線L2との切込方向距離Hに基づいて、ワークWに対する砥石台50の切込方向の相対位置を制御する。また、制御装置80は、Z軸方向の検索位置に応じて、テーブル20のZ軸方向位置を制御し、ワークWの回転、砥石車60の回転の制御を行う。
(2.検出装置70の詳細)
次に、検出装置70の詳細構成について、図2〜図4を参照して説明する。検出装置70は、第一低熱膨張材71と、第二低熱膨張材72と、スケール73と、検出用ヘッド74と、カバー部材75とを備える。
第一低熱膨張材71は、図2および図3に示すように、軸状または棒状に形成され、基端にフランジ71aを有する。第一低熱膨張材71は、ベッド10、テーブル20、主軸台30、心押台40、砥石台50および砥石車60より低い熱膨張係数の材料により形成される。第一低熱膨張材71は、例えば、インバーなどの合金材料を用いる。従って、他の部材10〜60が熱変位する場合において、第一低熱膨張材71の熱変位量は他の部材10〜60に比べて極めて小さい。
第一低熱膨張材71の基端側であるフランジ71aが、ベッド10の凹所15の座面に固定され、第一低熱膨張材71は、切込方向(X軸方向)に延びるように設けられている。つまり、第一低熱膨張材71の基端側は、ベッド10のうち、砥石車60の回転軸線L2よりワークWの回転軸線L1に近い位置に設けられている。特に、本実施形態においては、第一低熱膨張材71の基端側の面が、ワークWの回転軸線L1の直下に位置する。つまり、第一低熱膨張材71の基端は、ワークWの回転軸線L1に直交し、かつ、切込方向(X軸方向)に直交する位置に固定されている。
さらに、第一低熱膨張材71は、砥石車60の下方に至る位置まで延びている。特に、第一低熱膨張材71の自由端は、ベッド10のX軸方向のガイドレール13,14の端部近傍まで延びている。つまり、第一低熱膨張材71は、基端側から切込方向のうち砥石台50側(後方:図2の上側)に延びるように設けられている。さらに、第一低熱膨張材71の自由端側は、切込方向に対して規制(拘束)されないように設けられている。つまり、第一低熱膨張材71の基端側のみがベッド10に固定されており、他の部位は他のどの部材にも固定されていない。従って、第一低熱膨張材71は、ベッド10の凹所15に追従して移動し、第一低熱膨張材71の長手方向の長さは、ベッド10などの他の部材の熱変位の影響を受けない。
さらに、図2および図4に示すように、第一低熱膨張材71の軸方向中央付近において、上側面には、平面状の座面71bが形成されている。この座面71bには、検出用ヘッド74が固定されている。そして、検出用ヘッド74の検出面が上面を向くように、検出用ヘッド74は第一低熱膨張材71に固定されている。特に、本実施形態においては、検出用ヘッド74は、砥石車60の回転軸線L2より後方(図2の上側)に設けられている。つまり、検出用ヘッド74は、ワークWの回転軸線L1と砥石車60の回転軸線L2との間以外の位置に配置されている。
第二低熱膨張材72は、図2および図3に示すように、軸状または棒状に形成され、基端にフランジ72aを有する。第二低熱膨張材72は、第一低熱膨張材71と同様に、他の部材より低い熱膨張係数の材料により形成される。従って、他の部材10〜60が熱変位する場合において、第二低熱膨張材72の熱変位量は他の部材10〜60に比べて小さい。
第二低熱膨張材72の基端側であるフランジ72aが、砥石台50の側方突起板51の基準面に固定され、第二低熱膨張材72は、切込方向(X軸方向)に延びるように設けられている。つまり、第二低熱膨張材72の基端側は、砥石台50のうち、ワークWの回転軸線L1より砥石車60の回転軸線L2に近い位置に設けられている。特に、本実施形態においては、第二低熱膨張材72の基端側の面が、砥石車60の回転軸線L2の直下に位置する。つまり、第二低熱膨張材72の基端は、砥石車60の回転軸線L2に直交し、かつ、切込方向(X軸方向)に直交する位置に固定されている。
さらに、第二低熱膨張材72は、側方突起板51から、後方、すなわちワークWとは反対側に延びている。つまり、第二低熱膨張材72における基端から自由端に延びる方向が、第一低熱膨張材71における基端から自由端に延びる方向と同一となる。特に、第二低熱膨張材72の自由端は、ベッド10のX軸方向のガイドレール13,14の端部近傍まで延びている。
さらに、第二低熱膨張材72の自由端側は、切込方向に対して規制(拘束)されないように設けられている。つまり、第二低熱膨張材72の基端側のみが砥石台50に固定されており、他の部位は他のどの部材にも固定されていない。従って、第二低熱膨張材72は、砥石台50の側方突起板51に追従して移動し、第二低熱膨張材72の長手方向の長さは、砥石台50などの他の部材の熱変位の影響を受けない。
第一低熱膨張材71はベッド10に固定されており、第二低熱膨張材72は砥石台50に固定されているため、砥石台50がベッド10に対して相対移動する場合には、第一低熱膨張材71と第二低熱膨張材72とは切込方向に相対移動する。
スケール73は、図4に示すように、第二低熱膨張材72の側面に設けられている。さらに、スケール73の下面が、検出用ヘッド74の上面に対向する。従って、砥石台50がベッド10に対して切込方向に相対移動する場合に、スケール73と検出用ヘッド74とが切込方向に相対移動する。そして、検出用ヘッド74の対向するスケール73の位置が、制御装置80によって検出される。
さらに、スケール73は、砥石車60の回転軸線L2より後方(図2の上側)に設けられている。つまり、スケール73は、ワークWの回転軸線L1と砥石車60の回転軸線L2との間以外の位置に配置されている。
カバー部材75は、砥石台50の側方に固定されている。カバー部材75は、第二低熱膨張材72およびスケール73を囲うように設けられている。さらに、カバー部材75は、第一低熱膨張材71を部分的に収容し、第一低熱膨張材71に対して切込方向に相対移動可能となるように設けられている。ただし、カバー部材75において、第一低熱膨張材71が貫通する部位には、例えば、オイルシールなどのシール部材75a,75bが設けられている。従って、砥石台50がベッド10に対して切込方向に相対移動する場合であっても、研削液が、カバー部材75の内部に進入することを防止できる。
(3.検出装置70の動作)
次に、検出装置70の動作について、図2および図5を参照して説明する。図2は、砥石車60がワークWから離れている状態を示し、図5は、砥石車60がワークWに接触している状態を示す。
図2においては、検出用ヘッド74は、スケール73の中央付近に対向している。従って、制御装置80は、検出用ヘッド74が対向するスケール73の位置情報を受け取ることによって、ワークWの回転軸線L1と砥石車60の回転軸線L2との離間距離を算出する。
また、図2においては、第一低熱膨張材71の自由端側の一部が、カバー部材75の後端より突出している。さらに、第一低熱膨張材71の一部が、ワークWの回転軸線L1と砥石車60の回転軸線L2との切込方向の間であって、下方に露出している。従って、第一低熱膨張材71の当該部位には、研削液がかかり得る。
一方、図5においては、検出用ヘッド74が、スケール73の後端付近に対向している。従って、制御装置80は、検出用ヘッド74およびスケール73から図2の場合とは異なる位置情報を受け取り、当該位置情報に基づいて前記離間距離の算出を行う。また、図5においては、第一低熱膨張材71の自由端側の一部が、カバー部材75の後端より突出している。突出量は、図2の場合に比べて大きい。
(4.効果)
本実施形態によれば、第一低熱膨張材71の基端側が、第一支持装置としてのベッド10のうちワークWの回転軸線L1に近い位置に固定されている。特に、当該基端側が、回転軸線L1の直下に固定されている。そして、第一低熱膨張材71には、検出用ヘッド74が取り付けられている。従って、第一低熱膨張材71に取り付けられている検出用ヘッド74は、周囲の熱変位に関わらず、ベッド10のうちの回転軸線L1に近い位置(特に直下)から実質的に一定距離の位置(L1から距離変化の小さい位置)に取り付けられていることになる。
また、第二低熱膨張材72の基端側が、第二支持装置としての砥石台50のうち砥石車60の回転軸線L2に近い位置に固定されている。特に、当該基端側が、回転軸線L2の直下に固定されている。そして、第二低熱膨張材72には、スケール73が取り付けられている。従って、第二低熱膨張材72に取り付けられているスケール73は、周囲の熱変位に関わらず、砥石台50のうちの回転軸線L2に近い位置(特に直下)から実質的に一定距離の位置(L2から距離変化の小さい位置)に取り付けられていることになる。
従って、第一、第二低熱膨張材71,72を用いることにより、スケール73と検出用ヘッド74により検出される「第一軸線と第二軸線との切込方向距離」は、高精度に、回転軸線L1,L2間の実距離の相当値となる。その結果、ワークWに対する砥石車60の切込方向位置を高精度に位置決めできるため、ワークWを高精度に研削可能となる。
さらに、本実施形態によれば、スケール73と検出用ヘッド74は、それぞれ一つずつ設けられている。つまり、1対のスケール73と検出用ヘッド74を用いて、上述したように高精度な研削が可能となる。さらに、本実施形態では、1対のスケール73と検出用ヘッド74を用いるため、従来のように2対のスケールと検出用ヘッドを用いる場合に比べて低コストとなる。
また、第一、第二低熱膨張材71,72は、それぞれの基端側から同一方向(後方)に延びるように設けられている。さらに、スケール73および検出用ヘッド74は、ワークWの回転軸線L1と砥石車60の回転軸線L2との間以外に配置されている。これにより、スケール73および検出用ヘッド74が、回転軸線L1と回転軸線L2との間以外に配置されるため、研削液の熱等の影響をより確実に受けないようにできる。その結果、高精度な研削が可能となる。
さらに、研削盤1は、カバー部材75を備え、第一、第二低熱膨張材71,72は、ワークWと砥石車60の下方に配置されている。そして、カバー部材75は、砥石台50の位置に関わらず、スケール73および検出用ヘッド74を収容している。つまり、ワークWや砥石車60の上側の空間に第一、第二低熱膨張材71,72が存在せず、研削盤1全体の構成が簡易となる。また、砥石車60によるワークWの研削点には、研削液がかけられるため、研削点の下方には、研削液が流れ落ちる。しかし、研削盤1はカバー部材75を備えることにより、研削液がスケール73および検出用ヘッド74にかかることが防止される。従って、スケール73および検出用ヘッド74が研削液の熱等の影響を受けることを抑制できる。結果として、高精度な研削が可能となる。
(5.その他)
上記実施形態においては、スケール73を第二低熱膨張材72に設け、検出用ヘッド74を第一低熱膨張材71に設けた。この他に、スケール73と検出用ヘッド74とを、それぞれ逆に取り付けるようにしてもよい。
また、第一低熱膨張材71の基端がワークWの回転軸線L1の直下に固定されるとしたが、僅かにずれていても十分に効果を有する。第二低熱膨張材72についても同様である。すなわち、第二低熱膨張材72の基端が砥石車60の回転軸線L2の直下に固定されるとしたが、僅かにずれていても十分に効果を奏する。
また、上記実施形態の研削盤1は、第一低熱膨張材71と第二低熱膨張材72を備えることとしたが、どちらか一方のみを有するようにしても、ある程度の効果を発揮する。例えば、第一低熱膨張材71のみを有する場合には、第一低熱膨張材71に検出用ヘッド74とスケール73の一方を取り付け、検出用ヘッド74とスケール73の他方は、砥石台50に直接取り付けることになる。このとき、砥石台50に直接取り付ける検出用ヘッド74とスケール73の他方は、切込方向において、砥石車60の回転軸線L2近傍に設置するとよい。
1:研削盤、 10:ベッド(第一支持装置)、 15:凹所、 50:砥石台(第二支持装置)、 51:側方突起板、 60:砥石車、 70:X方向位置検出装置、 71:第一低熱膨張材、 71a:フランジ、 71b:座面、 72:第二低熱膨張材、 72a:フランジ、 73:スケール、 74:検出用ヘッド、 75:カバー部材、 75a,75b:シール部材、 80:制御装置、 H:切込方向距離、 L1:ワークの回転軸線(第一軸線)、 L2:砥石車の回転軸線(第二軸線)、 W:ワーク

Claims (6)

  1. ワークと砥石車の一方を第一軸線周りに回転可能に支持する第一支持装置と、
    前記ワークと前記砥石車の他方を第二軸線周りに回転可能に支持し、前記第一支持装置に対して切込方向に相対移動可能な第二支持装置と、
    前記切込方向に延びるように設けられ、基端側を前記第一支持装置のうち前記第二軸線より前記第一軸線に近い位置に固定され、自由端側を前記切込方向に対して規制されないように設けられ、両支持装置より低い熱膨張係数の第一低熱膨張材と、
    前記第一低熱膨張材と、前記第二支持装置または前記第二支持装置に固定される部材との一方に設けられるスケールと、
    前記第一低熱膨張材と、前記第二支持装置または前記第二支持装置に固定される部材との他方に設けられ、前記スケールに対向するように設けられる検出用ヘッドと、
    前記スケールおよび前記検出用ヘッドにより検出された前記第一軸線と前記第二軸線との切込方向距離に基づいて、両支持装置の相対位置を制御する制御装置と、
    を備える研削盤。
  2. 前記第一低熱膨張材の基端は、前記第一軸線に直交し、かつ、前記切込方向に直交する位置に固定される、請求項1に記載の研削盤。
  3. 前記研削盤は、前記切込方向に延びるように設けられ、基端側を前記第二支持装置のうち前記第一軸線より前記第二軸線に近い位置に固定され、自由端側を前記切込方向に対して規制されないように設けられ、両支持装置より低い熱膨張係数の第二低熱膨張材をさらに備え、
    前記スケールは、前記第一低熱膨張材と前記第二低熱膨張材の一方に設けられ、
    前記検出用ヘッドは、前記第一低熱膨張材と前記第二低熱膨張材の他方に設けられる、
    請求項1または2に記載の研削盤。
  4. 前記第二低熱膨張材の基端は、前記第二軸線に直交し、かつ、前記切込方向に直交する位置に固定される、請求項3に記載の研削盤。
  5. 前記第一、第二低熱膨張材は、それぞれの基端側から同一方向に延びるように設けられ、
    前記スケールおよび前記検出用ヘッドは、前記第一軸線と前記第二軸線との間以外に配置される、
    請求項3または4に記載の研削盤。
  6. 前記第一低熱膨張材は、前記ワークと前記砥石車の下方に配置され、
    前記研削盤は、前記第二支持装置に固定され、前記第一低熱膨張材に対して前記切込方向に相対移動可能であり、前記スケールおよび前記検出用ヘッドの周囲を囲うカバー部材をさらに備える、
    請求項1〜5の何れか一項に記載の研削盤。
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