JP2015090981A - プリント回路基板用ソルダレジスト、これを用いたプリント回路基板およびその製造方法 - Google Patents

プリント回路基板用ソルダレジスト、これを用いたプリント回路基板およびその製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】2層からなるソルダレジストを形成して、界面間の密着力を増加させ、界面のアンダーカット(undercut)現象を改善できる高信頼性のプリント回路基板用ソルダレジスト、これを用いたプリント回路基板およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のプリント回路基板用ソルダレジスト1000は、第1フィラー層100と、第1フィラー層100の下部に形成された第2フィラー層300と、を含み、第2フィラー層300のフィラーの含有量は、第1フィラー層100のフィラーの含有量より少ないものである。【選択図】図1

Description

本発明は、プリント回路基板用ソルダレジスト、これを用いたプリント回路基板およびその製造方法に関する。
近年、電子製品の多機能化および高速化が迅速に進められている。
このような傾向に対応するために、半導体チップ、および半導体チップと基板を連結する半導体チップ実装プリント回路基板も非常に速い速度で発展している。
このような半導体チップの実装において、プリント回路基板の発展に要求される事項は、半導体チップ実装プリント回路基板の高速化および高密度化と密接に係っており、これらを満たすためには、プリント回路基板の軽薄短小化、微細回路化、優れた電気的特性、高信頼性、高速信号伝逹構造など、半導体チップ実装プリント回路基板の改善および発展が必要である。
ここで、プリント回路基板の微細回路化において、回路パターンを微細に形成する場合、微細回路パターンの形成後に行われるエッチング工程によって微細回路パターンもエッチングされるなどの損傷が発生し、結果、プリント回路基板の不良をもたらす恐れがある。
このように微細回路パターンがエッチング工程によって損傷するに伴い、微細回路パターンの信号伝達特性などが低下する問題点がある。そのため、エッチング工程によって微細回路パターンの損傷を防止するための方法が提案されている(特許文献1参照)。
韓国公開特許第2013−0053946号公報
本発明は、2層からなるソルダレジストを形成して、界面間の密着力を増加させ、界面のアンダーカット(undercut)現象を改善できる高信頼性のプリント回路基板用ソルダレジスト、これを用いたプリント回路基板およびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一実施例によるプリント回路基板用ソルダレジストは、第1フィラー層と、前記第1フィラー層の下部に形成された第2フィラー層と、を含み、前記第2フィラー層のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層のフィラーの含有量より少ないものである。
前記第2フィラー層のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層のフィラーの大きさより小さいことができる。
前記第2フィラー層には、フィラーが含まれていないことができる。
前記第1フィラー層の上部および前記第2フィラー層の下部に形成された保護フィルムをさらに含むことができる。
本発明の他の実施例によるプリント回路基板は、基板と、前記基板に形成された外部接続端子と、前記外部接続端子の一部を覆うように形成され、第1フィラー層および第1フィラー層の下部に形成された第2フィラー層を含むソルダレジスト層と、を含み、前記第2フィラー層のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層のフィラーの含有量より少ないものである。
前記第2フィラー層のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層のフィラーの大きさより小さいことができる。
前記第2フィラー層には、フィラーが含まれていないことができる。
前記基板は、1層以上の内部絶縁層および内部回路層を含むことができる。
前記ソルダレジスト層は、前記外部接続端子の両側と離隔するように形成されることができる。
本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法は、外部接続端子が形成された基板を準備する段階と、前記外部接続端子を覆うように、第1フィラー層および第1フィラー層の下部に形成された第2フィラー層を含むソルダレジスト層を形成する段階と、前記ソルダレジスト層に露光および現像を施して、前記外部接続端子を露出させる開口部を形成する段階と、前記ソルダレジスト層に硬化を施す段階と、を含み、前記第2フィラー層のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層のフィラーの含有量より少ないものである。
前記開口部を形成する段階において、前記開口部は、前記外部接続端子の一部を露出するように形成されることができる。
前記開口部を形成する段階において、前記開口部の幅が前記外部接続端子の幅より広く形成されて、前記開口部の内壁が前記外部接続端子の両側と離隔するように形成されることができる。
前記ソルダレジストを準備する段階において、前記ソルダレジストの上部および下部に保護フィルムをさらに含むことができる。
前記ソルダレジスト層を形成する段階の前に、前記保護フィルムを除去する段階をさらに含むことができる。
前記第2フィラー層のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層のフィラーの大きさより小さいことができる。
前記基板は、1層以上の内部絶縁層および内部回路層を含むことができる。
本発明の一実施例によれば、2層からなり、外部接続端子と接する層のフィラーの含有量が他の層のフィラーの含有量より少ないソルダレジストを用いることで、光透過度を向上させて、界面間の密着力を増加させることができる。
また、界面のアンダーカット(undercut)およびフット(foot)現象を改善することで、最終の製品の界面間の密着力を向上させて、信頼性を確保することができる。
本発明の第1実施例によるプリント回路基板用ソルダレジストの断面図である。 本発明の第2実施例によるプリント回路基板用ソルダレジストの断面図である。 本発明の第3実施例によるプリント回路基板用ソルダレジストの断面図である。 本発明の他の実施例によるプリント回路基板の断面図である。 本発明の他の実施例によるプリント回路基板の断面図である。 本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法における工程図である。 本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法における工程図である。 本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法における工程図である。 本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法における工程図である。 本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法における工程図である。 本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法における工程図である。 本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法における工程図である。 本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法における工程図である。
本発明の目的、特定の長所および新規の特徴は、添付図面に係る以下の詳細な説明および好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、「一面」、「他面」、「第1」、「第2」などの用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別するために用いられるものであり、構成要素が前記用語によって限定されるものではない。以下、本発明を説明するにあたり、本発明の要旨を不明瞭にする可能性がある係る公知技術についての詳細な説明は省略する。
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
(プリント回路基板用ソルダレジスト)
図1は、本発明の第1実施例によるプリント回路基板用ソルダレジストを示す断面図である。
図1に示されたように、本発明の第1実施例によるプリント回路基板用ソルダレジスト1000は、第1フィラー層100と、前記第1フィラー層100の下部に形成された第2フィラー層300と、を含む。
この際、前記第2フィラー層300のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少ないことができる。
ここで、前記第2フィラー層300は、外部接続端子と接することができる。
また、前記第1フィラー層100および前記第2フィラー層300を保護するために、前記第1フィラー層100の上部および前記第2フィラー層300の下部に形成された保護フィルム101をさらに含むことができる。
本実施例では、前記第1フィラー層100の厚さを前記第2フィラー層300の厚さより厚く形成しているが、層の厚さは、当業者が所望の厚さを選択して形成してもよい。
図2は、本発明の第2実施例によるプリント回路基板用ソルダレジストを示す断面図である。
図2に示されたように、本発明の第2実施例によるプリント回路基板用ソルダレジスト2000は、第1フィラー層100と、前記第1フィラー層100の下部に形成された第2フィラー層400と、を含む。
この際、前記第2フィラー層400のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層100のフィラーの大きさより小さいことができる。
ここで、前記第2フィラー層400は、外部接続端子と接することができる。
また、前記第1フィラー層100および前記第2フィラー層400を保護するために、前記第1フィラー層100の上部および前記第2フィラー層400の下部に形成された保護フィルム101をさらに含むことができる。
本実施例では、前記第1フィラー層100の厚さを前記第2フィラー層400の厚さより厚く形成しているが、層の厚さは、当業者が所望の厚さを選択して形成してもよい。
図3は、本発明の第3実施例によるプリント回路基板用ソルダレジストを示す断面図である。
図3に示されたように、本発明の第3実施例によるプリント回路基板用ソルダレジスト3000は、第1フィラー層100と、前記第1フィラー層100の下部に形成された第2フィラー層200と、を含む。
この際、前記第2フィラー層200には、フィラーが含まれていないことができる。
ここで、前記第2フィラー層200は、外部接続端子と接することができる。
また、前記第1フィラー層100および前記第2フィラー層200を保護するために、前記第1フィラー層100の上部および前記第2フィラー層200の下部に形成された保護フィルム101をさらに含むことができる。
本実施例では、前記第1フィラー層100の厚さを前記第2フィラー層200の厚さより厚く形成しているが、層の厚さは、当業者が所望の厚さを選択して形成してもよい。
(プリント回路基板)
図4は、本発明の他の実施例によるプリント回路基板の断面図である。
図4に示されたように、本発明の他の実施例によるプリント回路基板4000は、基板900と、前記基板900に形成された外部接続端子901と、前記外部接続端子901の一部を覆うように形成されたソルダレジスト層500と、を含み、前記ソルダレジスト層500は、第1フィラー層100と、前記第1フィラー層100の下部に形成された第2フィラー層200と、を含み、前記第2フィラー層200のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少ないものである。
前記基板900は、絶縁層に接続端子を含む1層以上の回路が形成された回路基板であって、好ましくは、プリント回路基板であってもよい。本図面では、説明の便宜上、具体的な内層回路の構成は省略しているが、当業者であれば、基板として絶縁層に1層以上の回路が形成された通常の回路基板が適用されることを十分認識することができる。
前記絶縁層としては、樹脂絶縁層を用いることができる。前記樹脂絶縁層としては、エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂、ポリイミドのような熱可塑性樹脂、またはこれらにガラス繊維または無機フィラーのような補強材が含浸された樹脂、例えば、プリプレグを用いてもよく、熱硬化性樹脂および/または光硬化性樹脂などを用いてもよく、特にこれに限定されない。
前記内層回路層としては、回路用伝導性金属として用いられるものであれば制限なく適用することができ、プリント回路基板においては、銅を用いることが一般的である。
前記外部接続端子901には、必要に応じて、表面処理層(図示せず)がさらに形成されてもよい。
前記表面処理層は、当業界に公知のものであれば特に限定されず、例えば、電解金めっき(Electro Gold Plating)、無電解金めっき(Immersion Gold Plating)、OSP(organic solderability preservative)または無電解スズめっき(Immersion Tin Plating)、無電解銀めっき(Immersion Silver Plating)、ENIG(electroless nickel and immersion gold;無電解ニッケルめっき/置換金めっき)、DIGめっき(Direct Immersion Gold Plating)、HASL(Hot Air solder Levelling)などからなってもよい。
本実施例では、前記第1フィラー層100の厚さを前記第2フィラー層200の厚さより厚く形成しているが、層の厚さは、当業者が所望の厚さを選択して形成してもよい。
ここで、前記第2フィラー層200のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層100のフィラーの大きさより小さいことができる。
また、前記第2フィラー層200には、フィラーが含まれていないことができる。
また、前記第2フィラー層200のフィラーとしては、透明フィラーまたは混合フィラーを用いることができる。
この際、前記第2フィラー層200が前記外部接続端子901と接するように形成されることができる。
本実施例では、前記外部接続端子901と接するように形成された前記第2フィラー層200のフィラーの含有量が、前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少ないため、露光を施す際に前記第2フィラー層200の光透過度が高くなることができる。
これにより、前記第2フィラー層200の硬化度が向上して、前記第2フィラー層200と前記外部接続端子901との密着力を向上させることができる。すなわち、前記ソルダレジスト層500と、前記外部接続端子901および前記基板900との密着力を向上させることができる。
また、前記ソルダレジスト層500に現像を施す際に前記第2フィラー層200と前記外部接続端子901との界面の現像性が向上して、ソルダレジスト層のフット(foot)を改善することができる。
図5は、本発明の他の実施例によるプリント回路基板の断面図である。
図5に示されたように、本発明の他の実施例によるプリント回路基板5000は、基板900と、前記基板900に形成された外部接続端子901と、前記外部接続端子901と離隔するように形成されたソルダレジスト層500と、を含み、前記ソルダレジスト層500は、第1フィラー層100と、前記第1フィラー層100の下部に形成された第2フィラー層200と、を含み、前記第2フィラー層200のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少ないものである。
本実施例では、前記第1フィラー層100の厚さを前記第2フィラー層200の厚さより厚く形成しているが、層の厚さは、当業者が所望の厚さを選択して形成してもよい。
ここで、前記第2フィラー層200のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層100のフィラーの大きさより小さいことができる。
また、前記第2フィラー層200には、フィラーが含まれていないことができる。
また、前記第2フィラー層200のフィラーとしては、透明フィラーまたは混合フィラーを用いることができる。
この際、前記第2フィラー層200が前記外部接続端子901と接するように形成されることができる。
本実施例では、前記外部接続端子901と接するように形成された前記第2フィラー層200のフィラーの含有量が、前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少ないため、露光を施す際に前記第2フィラー層200の光透過度が高くなることができる。
これにより、前記第2フィラー層200の硬化度が向上して、前記第2フィラー層200と前記外部接続端子901との密着力を向上させることができる。すなわち、前記ソルダレジスト層500と、前記外部接続端子901および前記基板900との密着力を向上させることができる。
また、前記ソルダレジスト層500に現像を施す際に前記第2フィラー層200と前記外部接続端子901との界面の現像性が向上して、ソルダレジスト層のアンダーカット(undercut)を改善することができる。
(プリント回路基板の製造方法)
図6から図9は、本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法における工程図である。
図6に示されたように、外部接続端子901が形成された基板900を準備する。
前記基板900は、絶縁層に接続端子を含む1層以上の回路が形成された回路基板であって、好ましくは、プリント回路基板であってもよい。本図面では、説明の便宜上、具体的な内層回路の構成は省略しているが、当業者であれば、基板として絶縁層に1層以上の回路が形成された通常の回路基板が適用されることを十分認識することができる。
前記絶縁層としては、樹脂絶縁層を用いることができる。前記樹脂絶縁層としては、エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂、ポリイミドのような熱可塑性樹脂、またはこれらにガラス繊維または無機フィラーのような補強材が含浸された樹脂、例えば、プリプレグを用いてもよく、熱硬化性樹脂および/または光硬化性樹脂などを用いてもよく、特にこれに限定されない。
前記内層回路層は、回路用伝導性金属として用いられるものであれば制限なく適用することができ、プリント回路基板においては、銅を用いることが一般的である。
前記外部接続端子901には、必要に応じて、表面処理層(図示せず)がさらに形成されてもよい。
前記表面処理層は、当業界に公知のものであれば特に限定されず、例えば、電解金めっき(Electro Gold Plating)、無電解金めっき(Immersion Gold Plating)、OSP(organic solderability preservative)または無電解スズめっき(Immersion Tin Plating)、無電解銀めっき(Immersion Silver Plating)、ENIG(electroless nickel and immersion gold;無電解ニッケルめっき/置換金めっき)、DIGめっき(Direct Immersion Gold Plating)、HASL(Hot Air solder Levelling)などからなってもよい。
図7に示されたように、前記基板900上にソルダレジスト層500を形成した後、露光を施す。
この際、前記ソルダレジスト層500の上部および下部に形成された保護フィルムを除去することができる。
本実施例では、開口部が形成される領域102以外の領域に露光を施しているが、露光を施す位置は当業者が選択してもよい。
ここで、前記ソルダレジスト層500は、第1フィラー層100と、第2フィラー層200と、を含むことができる。
この際、前記第2フィラー層200のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少ないことができる。
ここで、前記第2フィラー層200のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層100のフィラーの大きさより小さいことができる。
また、前記第2フィラー層200には、フィラーが含まれていないことができる。
また、前記第2フィラー層200のフィラーとしては、透明フィラーまたは混合フィラーを用いることができる。
ここで、前記第2フィラー層200が前記基板900および外部接続端子901と接することができる。
本実施例では、前記外部接続端子901と接するように形成された前記第2フィラー層200のフィラーの含有量を前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少なく形成して、露光を施す際に前記第2フィラー層200の光透過度が高くなることができる。
これにより、前記第2フィラー層200の硬化度が向上して、前記第2フィラー層200と前記外部接続端子901との密着力を向上させることができる。すなわち、前記ソルダレジスト層500と、前記外部接続端子901および前記基板900との密着力を向上させることができる。
また、本実施例では、前記第1フィラー層100の厚さを前記第2フィラー層200の厚さより厚く形成しているが、層の厚さは、当業者が所望の厚さを選択して形成してもよい。
図8に示されたように、現像を施し、前記ソルダレジスト層500に開口部103を形成する。
この際、前記開口部103は、前記外部接続端子901の一部を露出するように形成することができる。
ここで、前記ソルダレジスト層500に現像を施す際に前記第2フィラー層200と前記外部接続端子901との界面の現像性が向上して、ソルダレジスト層のフット(foot)を改善することができる。
図9に示されたように、硬化を施すことができる。
本実施例では、前記外部接続端子901と接するように形成された前記第2フィラー層200のフィラーの含有量を前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少なく形成して、光透過度を向上させることができる。
これにより、前記外部接続端子901と接するソルダレジスト層500の硬化度が向上するため、全体の露光量を低減することができ、これにより生産性を向上させることができる。
図10から図13は、本発明のさらに他の実施例によるプリント回路基板の製造方法の工程図である。
図10に示されたように、外部接続端子901が形成された基板900を準備する。
図11に示されたように、前記基板900上にソルダレジスト層500を形成した後、露光を施す。
この際、前記ソルダレジスト層500の上部および下部に形成された保護フィルムを除去することができる。
本実施例では、開口部が形成される領域102以外の領域に露光を施しているが、露光を施す位置は当業者が選択してもよい。
ここで、前記ソルダレジスト層500は、第1フィラー層100と、第2フィラー層200と、を含むことができる。
この際、前記第2フィラー層200のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少ないことができる。
ここで、前記第2フィラー層200のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層100のフィラーの大きさより小さいことができる。
また、前記第2フィラー層200には、フィラーが含まれていないことができる。
また、前記第2フィラー層200のフィラーとしては、透明フィラーまたは混合フィラーを用いることができる。
ここで、前記第2フィラー層200が前記基板900および外部接続端子901と接することができる。
本実施例では、前記外部接続端子901と接するように形成された前記第2フィラー層200のフィラーの含有量を前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少なく形成して、露光を施す際に前記第2フィラー層200の光透過度が高くなることができる。
これにより、前記第2フィラー層200の硬化度が向上して、前記第2フィラー層200と前記外部接続端子901との密着力を向上させることができる。すなわち、前記ソルダレジスト層500と、前記外部接続端子901および前記基板900との密着力を向上させることができる。
また、本実施例では、前記第1フィラー層100の厚さを前記第2フィラー層200の厚さより厚く形成しているが、層の厚さは、当業者が所望の厚さを選択して形成してもよい。
図12に示されたように、現像を施し、前記ソルダレジスト層500に開口部103を形成する。
この際、前記開口部103は、その両側が前記外部接続端子901と離隔するように形成することができる。
ここで、前記ソルダレジスト層500に現像を施す際、前記第2フィラー層200と前記外部接続端子901との界面の現像性が向上して、ソルダレジスト層のアンダーカット(undercut)を改善することができる。
図13に示されたように、硬化を施すことができる。
本実施例では、前記外部接続端子901と接するように形成された前記第2フィラー層200のフィラーの含有量を前記第1フィラー層100のフィラーの含有量より少なく形成して、光透過度を向上させることができる。
これにより、前記外部接続端子901と接するソルダレジスト層500の硬化度が向上するため、全体露光量を低減することができ、これにより生産性を向上させることができる。
以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明はこれに限定されず、該当分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。
本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。
本発明は、プリント回路基板用ソルダレジスト、これを用いたプリント回路基板およびその製造方法に適用可能である。
1000、2000、3000 プリント回路基板用ソルダレジスト
4000、5000 プリント回路基板
100 第1フィラー層
101 保護フィルム
102 開口部が形成される領域
103 開口部
200、300、400 第2フィラー層
500 ソルダレジスト層
900 基板
901 外部接続端子

Claims (16)

  1. 第1フィラー層と、
    前記第1フィラー層の下部に形成された第2フィラー層と、を含み、
    前記第2フィラー層のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層のフィラーの含有量より少ない、プリント回路基板用ソルダレジスト。
  2. 前記第2フィラー層のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層のフィラーの大きさより小さい、請求項1に記載のプリント回路基板用ソルダレジスト。
  3. 前記第2フィラー層にはフィラーが含まれていない、請求項1に記載のプリント回路基板用ソルダレジスト。
  4. 前記第1フィラー層の上部および前記第2フィラー層の下部に形成された保護フィルムをさらに含む、請求項1に記載のプリント回路基板用ソルダレジスト。
  5. 基板と、
    前記基板に形成された外部接続端子と、
    前記外部接続端子の一部を覆うように形成され、第1フィラー層および第1フィラー層の下部に形成された第2フィラー層を含むソルダレジスト層と、を含み、
    前記第2フィラー層のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層のフィラーの含有量より少ない、プリント回路基板。
  6. 前記第2フィラー層のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層のフィラーの大きさより小さい、請求項5に記載のプリント回路基板。
  7. 前記第2フィラー層にはフィラーが含まれていない、請求項5に記載のプリント回路基板。
  8. 前記基板は、1層以上の内部絶縁層および内部回路層を含む、請求項5に記載のプリント回路基板。
  9. 前記ソルダレジスト層は、前記外部接続端子の両側と離隔するように形成される、請求項5に記載のプリント回路基板。
  10. 外部接続端子が形成された基板を準備する段階と、
    前記外部接続端子を覆うように、第1フィラー層および第1フィラー層の下部に形成された第2フィラー層を含むソルダレジスト層を形成する段階と、
    前記ソルダレジスト層に露光および現像を施して、前記外部接続端子を露出させる開口部を形成する段階と、
    前記ソルダレジスト層に硬化を施す段階と、を含み、
    前記第2フィラー層のフィラーの含有量は、前記第1フィラー層のフィラーの含有量より少ない、プリント回路基板の製造方法。
  11. 前記開口部を形成する段階において、前記開口部は、前記外部接続端子の一部を露出するように形成される、請求項10に記載のプリント回路基板の製造方法。
  12. 前記開口部を形成する段階において、前記開口部の幅が前記外部接続端子の幅より広く形成されて、前記開口部の内壁が前記外部接続端子の両側と離隔するように形成される、請求項10に記載のプリント回路基板の製造方法。
  13. 前記ソルダレジストを準備する段階において、前記ソルダレジストの上部および下部に保護フィルムをさらに含む、請求項10に記載のプリント回路基板の製造方法。
  14. 前記ソルダレジスト層を形成する段階の前に、前記保護フィルムを除去する段階をさらに含む、請求項13に記載のプリント回路基板の製造方法。
  15. 前記第2フィラー層のフィラーの大きさは、前記第1フィラー層のフィラーの大きさより小さい、請求項10に記載のプリント回路基板の製造方法。
  16. 前記基板は、1層以上の内部絶縁層および内部回路層を含む、請求項10に記載のプリント回路基板の製造方法。
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