JP2015090974A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明のインプリント装置は、基板上にモールドを用いてインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、前記モールドを保持するモールド保持部と、前記モールド保持部に保持された前記モールドに形成されたパターンを変形させるために、前記パターンが形成されたパターン面に沿った向きに、前記モールドの側面から力を加えることが可能なモールド変形機構と、を備え、前記モールド変形機構は、前記モールドの側面を押し付けるように接触する接触部を含み、前記接触部の形状は、前記モールドの側面に接触する側の寸法が、モールドの側面から遠い側の寸法より小さいことを特徴とする。

（凸状が錐体形状と球体形状の変形例）
また、上記の何れの先端部材２６の形状も、モールド３の側面３ｂと接触する接触面（接触点）が上記の中立位置５０の許容範囲内に接触することができれば、側面３ｂと接触する部分が、平面であっても良い。例えば、錐体状の先端部材２６ａの場合は、側面３ｂと接触する部分が平面にすると、先端部材２６ｅの形状は錐台（円錐台及び角錐台）形状になる。図９に、錐台形状の先端部材２６ｅがモールド３に接触する前の様子を示す。錐台形状の先端部材２６ｅの加圧面２１ａの幅ｄ１は、加圧面２１ａの中心を中立位置５０に一致させることができたとして、最大で５００μｍである。そのため、加圧面２１ａの幅ｄ１は５００μｍ以内にしなければならない。同様に、球面形状の先端部材２６ｂや山型形状の先端部材２６ｃ、円筒面形状の先端部材２６ｄも加圧面２１ａを平面にすることができる。

例えば、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）には、球面形状の先端部材２６ｂに孔部２１ｂが形成されている先端部材２６ｆを示す。図１０（ａ）はモールド３側から見た押し付け部材２１を示している。押し付け部材２１が、図に示された先端部材２６ｆの形状である場合には、モールド３の側面３ｂの傾きによって、先端部材２６ｆと側面３ｂと接触する位置が異なる。モールド３の側面３ｂが、図７（ａ）のように傾いている場合は、まず初めに図１０（ａ）中の６０で示される円形上の位置６０ａと接触し、図７（ｃ）のように傾いている場合は、位置６０ｂと接触する。上述したように、モールド３の側面３ｂの中立位置５０から例えば２５０μｍ以内の領域に位置６０ａと位置６０ｂとが位置していれば良いが、実際には位置６０ａと位置６０ｂの距離を５００μｍ以下にするのは難しい。一般的に位置センサー２３の径は数ミリほどあるため、位置センサー２３を配置するための孔部２１ｂの直径も同程度必要になるので、位置６０ａと位置６０ｂとの距離も数ミリほどある。そのため、モールド３の側面３ｂが傾いている場合には、中立位置５０から離れた位置で先端部材２６ｆと側面３ｂとが接触してしまう。そのため、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示す先端部材２６ｆは、モールド３のパターン部３ａに影響を与える恐れがあるため、好ましくない。

Claims (15)

1. 基板上にモールドを用いてインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
   前記モールドを保持するモールド保持部と、
   前記モールド保持部に保持された前記モールドに形成されたパターンを変形させるために、前記パターンが形成されたパターン面に沿った向きに、前記モールドの側面から力を加えることが可能なモールド変形機構と、を備え、
   前記モールド変形機構は、前記モールドの側面を押し付けるように接触する接触部を含み、
   前記接触部の形状は、前記モールドの側面に接触する側の寸法が、モールドの側面から遠い側の寸法より小さいことを特徴とするインプリント装置。
2. 前記接触部は、錐体形状であることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記接触部は、錐台形状であることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
4. 前記接触部は屋根型形状であり、前記接触部の稜線と前記モールドの側面とが接触することを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
5. 前記屋根型形状の前記接触部の稜線は、前記モールドの側面と接触する際に、前記モールドの中立面と平行であることを特徴とする請求項４に記載のインプリント装置。
6. 前記接触部の表面は、曲面であることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
7. 前記接触部は、球面形状であることを特徴とする請求項６に記載のインプリント装置。
8. 前記接触部は、階段形状であることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
9. 前記接触部が前記モールドの側面に接触する際に、前記接触部は前記モールドの中立面から前記モールドの厚さ方向に２５０μｍ以内の位置で接触するように、前記モールド保持部は前記モールドを保持することを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項に記載のインプリント装置。
10. 前記接触部は中心部に開口が形成されており、
    前記開口に、前記モールド変形機構が前記モールドに力を加える方向における前記モールドの位置を検出する検出部を有することを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項に記載のインプリント装置。
11. 前記接触部は中心部に開口が形成されており、
    前記開口に、前記モールド変形機構が前記モールドに力を加える方向における前記モールドの位置を検出する検出部を有し、前記開口の中心を通過する直線と、前記屋根型形状の前記接触部が前記モールドと接触する稜線を通過する直線とが交わるように前記開口が形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載のインプリント装置。
12. 前記接触部が前記モールドの側面から力を加える方向と直交する平面と前記接触部の側面とのなす角度が、
    前記接触部が前記モールドの側面から力を加える方向と直交する平面と前記モールドの側面とのなす角度よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至１１の何れか一項に記載のインプリント装置。
13. 請求項１乃至１２の何れか一項に記載のインプリント装置を用いて基板上にパターンを形成する工程と、
    前記工程で前記パターンが形成された基板を加工する工程と、
    を含むことを特徴とする物品の製造方法。
14. 請求項１乃至１２の何れか一項に記載のインプリント装置に用いられるインプリント用モールドであって、
    前記モールドの中立面と、前記モールドの側面のなす角度がπ／２−０．００１ｒａｄ以上、π／２＋０．００１ｒａｄ以下であることを特徴とするインプリント用モールド。
15. 請求項１乃至１２の何れか一項に記載のインプリント装置に用いられるインプリント用モールドであって、
    前記モールドをインプリント装置に固定するために前記モールドを保持する面と、前記モールドの側面のなす角度がπ／２−０．００１ｒａｄ以上、π／２＋０．００１ｒａｄ以下であることを特徴とするインプリント用モールド。