JP2015090480A - レーザモジュール及びレーザ光生成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】光ファイバを固定する接着材が発火して生じる重大事故を回避して安全性を高めることができるレーザモジュールを提供する。【解決手段】レーザモジュール１は、内部にパッケージ内部空間Ｓが形成されたパッケージ筐体１０と、パッケージ内部空間Ｓに配置されたレーザ素子２０と、レーザ素子２０から発せられたレーザ光をパッケージ筐体Ｓの外部に伝搬する光ファイバ３０と、光ファイバ３０をパッケージ筐体１０に対して固定する接着材３５，３６と、正常時は固体であって接着材３５，３６の発火点よりも低い融点を有する溶融反射部材５０とを備えている。溶融反射部材５０は、溶融することによって、レーザ素子２０から発せられたレーザ光の少なくとも一部を反射させてレーザ素子２０に戻す反射面をレーザ光の光路上に形成する。【選択図】図２

Description

本発明は、レーザモジュールに係り、特にレーザ素子から発されたレーザ光を外部に出力するレーザモジュールに関するものである。

従来から、レーザ素子と、内部にレーザ素子を収容したパッケージ筐体と、レーザ素子から発せられたレーザ光をパッケージ筐体の外部に伝搬する光ファイバとを備えたレーザモジュールが知られている（例えば、特許文献１参照）。

図１は、このような従来のレーザモジュール５０１の一例を示す断面図である。図１に示すように、光ファイバ５３０の端部は接着材５３５によりフェルール５４０に固定されている。パッケージ筐体５１０の側壁５１１にはスリーブ５１５が形成されており、このスリーブ５１５の内部に上記フェルール５４０が挿入されている。フェルール５４０は接着材５３６によりスリーブ５１５内に固定されている。

パッケージ筐体５１０内には、半導体レーザ素子５２０から出射されたレーザ光を集束するレンズ５２６Ａ，５２６Ｂが配置されており、これらのレンズ５２６Ａ，５２６Ｂによりレーザ素子５２０から発せられたレーザ光は光ファイバ５３０の端部に集光されるようになっている。

このような従来のレーザモジュールにおいて、レーザ素子５２０からのレーザ光の漏れ光が、光ファイバ５３０を固定するために用いられている接着材５３５，５３６に照射されると光吸収により接着材５３５，５３６の温度が上昇する。何らかの原因で光軸ずれが生じて漏れ光のパワーが強くなると、最悪の場合、この接着材５３５，５３６が発火に至ることがある。また、接着材５３５，５３６が長期的に高温環境下に置かれると、漏れ光の吸収率が増加して発熱しやすくなる。そして、さらなる発熱がさらに吸収率を増加させるという負の循環に陥り、やはり最終的には接着材５３５，５３６の発火に至ることがある。

接着材５３５，５３６が発火する前にレーザ光を停止できれば、接着材５３５，５３６の発火を防ぐことができるが、接着材５３５，５３６から発火した状態でレーザ素子５２０からレーザ光が発せられ続けると、接着材５３５，５３６の周囲へ影響が広がり大規模な火災などの重大事故を招くおそれがある。

特開平７−２８７１３０号公報

本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、光ファイバを固定する接着材が発火して生じる重大事故を回避して安全性を高めることができるレーザモジュールを提供することを目的とする。

また、本発明は、光ファイバを固定する接着材が発火して生じるレーザモジュールの重大事故を回避して安全性を高めることができるレーザ光生成方法を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様によれば、光ファイバを固定する接着材が発火して生じる重大事故を回避して安全性を高めることができるレーザモジュールが提供される。このレーザモジュールは、内部にパッケージ内部空間が形成されたパッケージ筐体と、上記パッケージ内部空間に配置されたレーザ素子と、上記レーザ素子から発せられたレーザ光を上記パッケージ筐体の外部に伝搬する光ファイバと、上記光ファイバを上記パッケージ筐体に対して固定する接着材と、正常時は固体であって上記接着材の発火点よりも低い融点を有する溶融反射部材とを備えている。上記溶融反射部材は、溶融することによって、上記レーザ素子から発せられたレーザ光の少なくとも一部を反射させて上記レーザ素子に戻す反射面を上記レーザ光の光路上に形成する。

本発明の第２の態様によれば、光ファイバを固定する接着材が発火して生じるレーザモジュールの重大事故を回避して安全性を高めることができるレーザ光生成方法が提供される。このレーザ光生成方法では、パッケージ筐体内に形成されたパッケージ内部空間に配置されたレーザ素子からレーザ光を出射して、該レーザ光を上記パッケージ筐体に接着材により固定された光ファイバに入射させて上記パッケージ筐体の外部に伝搬させる。正常時は固体であって上記接着材の発火点よりも低い融点を有する溶融反射部材を上記パッケージ内部空間に設ける。上記正常時よりも高温となった場合に、上記接着材が発火する前に上記溶融反射部材を溶融させて、上記レーザ素子から発せられたレーザ光の少なくとも一部を反射させて上記レーザ素子に戻して該レーザ素子の機能を停止させる。

ここで、上記溶融反射部材を溶融させることによって上記光ファイバの端面に上記反射面を形成することが好ましい。また、上記接着材に接触するように上記溶融反射部材を取り付けることが好ましい。また、上記光ファイバを被覆するフェルールに接触するように上記溶融反射部材を取り付けることが好ましい。また、上記溶融反射部材を上記レーザ光の光路の上方に配置することが好ましい。さらに、上記溶融反射部材として、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｂｉ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｐｂ、Ｃｄ、Ｚｎ、及びＧａの少なくとも１つを含む合金を用いることが好ましい。

本発明によれば、レーザ光の漏れ光の照射や高温下での長期的な使用により接着材の温度が上昇すると、接着材が発火温度に達する前に溶融反射部材が溶融してレーザ光の光路上に反射面が形成される。レーザ素子から発せられたレーザ光の少なくとも一部がこの反射面で反射されてレーザ素子に戻ることにより、レーザ素子の端面に光学損傷が生じてレーザ発振が停止する。したがって、接着材の温度が上昇して発火する前にレーザ発振を停止させることができるので、大規模な火災といった重大事故を回避して安全性を高めることができる。

従来のレーザモジュールの一例を断面図である。 本発明の第１の実施形態におけるレーザモジュールを模式的に示す断面図である。 本発明の第２の実施形態におけるレーザモジュールを模式的に示す断面図である。 本発明の第３の実施形態におけるレーザモジュールを模式的に示す断面図である。 本発明の第４の実施形態におけるレーザモジュールを模式的に示す断面図である。 図６のレーザモジュールにおけるレンズド光ファイバの端部を示す拡大図である。 本発明の他の実施形態におけるレーザモジュールを模式的に示す断面図である。

以下、本発明に係るレーザモジュールの実施形態について図２から図７を参照して詳細に説明する。なお、図２から図７において、同一又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。

図２は、本発明の第１の実施形態におけるレーザモジュール１を模式的に示す断面図である。図２に示すように、本実施形態におけるレーザモジュール１は、側壁１１，１２と、下部壁１３と、上部壁１４とからなるパッケージ筐体１０を備えている。パッケージ筐体１０内には、壁１１，１２，１３，１４によりパッケージ内部空間Ｓが形成されている。このパッケージ内部空間Ｓには半導体レーザ素子２０が配置されている。なお、符号６０はパッケージ筐体１０を冷却するためのヒートシンクである。

また、レーザ素子２０に電力を供給するためのリード２２が、パッケージ筐体１０の側壁１２を貫通して設けられている。このリード２２はボンディングワイヤ２４によりレーザ素子２０に接続されている。

また、レーザモジュール１は、レーザ素子２０から発せられるレーザ光を外部に伝搬する光ファイバ３０を備えている。この光ファイバ３０の端部の周囲はフェルール４０により被覆されており、光ファイバ３０は接着材３５によりフェルール４０に保持及び固定されている。この接着材３５としては、例えば、米国のEpoxy Technology社から入手可能なEPO-TEK 353NDを用いることができる。

パッケージ筐体１０の側壁１１にはスリーブ１５が形成されており、このスリーブ１５の内部に上記フェルール４０が挿入されている。このフェルール４０は接着材３６によりスリーブ１５内に固定されている。この接着材３６としては、例えば、上述したEPO-TEK 353NDを用いることができる。

フェルール４０は、接着材３５や接着材３６からの熱を伝えやすい材質からなることが好ましい。このような熱伝導性の良い材料として、例えば、アルミナ、窒化アルミニウム、銅、ニッケル、ステンレス鋼などを用いることができる。また、接着材３５や接着材３６からの伝熱性を考慮すると、フェルール４０の厚さは約０．５ｍｍ〜約３ｍｍであることが好ましい。さらに、フェルール４０は、使用する光の波長に対する吸収率が高い材料からなることが好ましい。例えば、近赤外光を使用する場合であれば、近赤外光に対する吸収率が比較的高い材料としてニッケルやステンレス鋼などを用いることができる。

パッケージ筐体１０のパッケージ内部空間Ｓにはレンズ２６Ａ，２６Ｂが配置されており、これらのレンズ２６Ａ，２６Ｂによりレーザ素子２０から発せられたレーザ光が、光ファイバ３０の端部に集光されるようになっている。

図２に示すように、パッケージ筐体１０のパッケージ内部空間Ｓには、接着材３５，３６の発火点（例えば５００℃）よりも低い融点を有する溶融反射部材５０が設けられている。この溶融反射部材５０は、レーザモジュール１の正常作動時（正常時）には固体であるが、レーザ光の漏れ光の照射や高温下での長期的な使用により接着材３５や接着材３６の温度が上昇した場合に、接着材３５や接着材３６が発火温度に達する前に溶融して液体になる。本実施形態では、溶融反射部材５０は、フェルール４０及び接着材３６に接触するように側壁１１の内面の光ファイバ３０の端部近傍に配置されている。このような溶融反射部材５０としては、Ａｕ９０Ｓｎ１０合金（融点２１７℃）、Ａｕ８８Ｇｅ１２合金（融点３５６℃）、Ｉｎ６６．３Ｂｉ３３．７合金（融点７２℃）を用いることができる。これらの合金以外にも、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｂｉ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｐｂ、Ｃｄ、Ｚｎ、及びＧａの少なくとも１つを含む合金からなる物質を溶融反射部材５０として用いることができる。あるいは、樹脂を溶融反射部材５０として用いることもできる。

このような構成において、レーザ素子２０から発せられたレーザ光は、レンズ２６Ａ，２６Ｂにより光ファイバ３０の端部に集光され、光ファイバ３０によりパッケージ筐体１０の外部に伝搬される。

このとき、レーザ光の漏れ光の照射や高温下での長期的な使用により接着材３５や接着材３６の温度が上昇すると、接着材３５や接着材３６が発火温度に達する前に溶融反射部材５０が溶融して光ファイバ３０の端面に流れ込む。これにより、光ファイバ３０の端面には、溶融した溶融反射部材５０からなる反射面が形成される。したがって、レーザ素子２０から発せられたレーザ光は、この反射面で反射してレーザ素子２０に戻ることとなる。これによりレーザ素子２０の端面の温度が上昇し、最終的には端面が溶融して光学損傷（catastrophic optical damage：ＣＯＤ）が生じてレーザ発振が停止する。このように、本実施形態では、接着材３５，３６の温度が上昇しても、接着材３５，３６が発火温度に達する前に溶融反射部材５０を溶融させて上述した反射面をレーザ光の光路上に形成することができる。したがって、この溶融した溶融反射部材５０により形成された反射面でレーザ光の少なくとも一部を反射させてレーザ素子２０に戻すことでレーザ素子２０にＣＯＤを生じさせることができる。これにより、大規模な火災といった重大事故を回避して安全性を高めることができる。

図３は、本発明の第２の実施形態におけるレーザモジュール１０１を模式的に示す断面図である。図３に示すように、本実施形態におけるレーザモジュール１０１では、フェルール４０がパッケージ筐体１０のパッケージ内部空間Ｓまで延出されており、フェルール４０の端部がパッケージ内部空間Ｓに設置された保持部１７０に保持されている。フェルール４０は接着材１３６により保持部１７０内に固定されている。この接着材１３６としては、例えば、上述したEPO-TEK 353NDを用いることができる。

パッケージ筐体１０のパッケージ内部空間Ｓには、保持部１７０とレーザ素子２０との間にレンズ１２６が配置されており、レーザ素子２０から発せられたレーザ光がレンズ１２６により光ファイバ３０の端部に集光されるようになっている。

本実施形態では、保持部１７０の側面の光ファイバ３０の端部近傍に溶融反射部材１５０が取り付けられている。この溶融反射部材１５０は、第１の実施形態における溶融反射部材５０と同様に、接着材１３６，３５，３６の発火点（例えば５００℃）よりも低い融点を有する物質からなるものである。例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｂｉ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｐｂ、Ｃｄ、Ｚｎ、及びＧａの少なくとも１つを含む合金からなる物質を溶融反射部材１５０として用いることができる。あるいは、樹脂を溶融反射部材１５０として用いることもできる。

本実施形態においても、レーザ光の漏れ光の照射や高温下での長期的な使用により接着材１３６，３５，３６の温度が上昇しても、接着材１３６，３５，３６が発火温度に達する前に溶融反射部材１５０が溶融して光ファイバ３０の端面に流れ込む。これにより、光ファイバ３０の端面には、溶融した溶融反射部材１５０からなる反射面が形成される。したがって、この溶融した溶融反射部材１５０により形成された反射面でレーザ光の少なくとも一部を反射させてレーザ素子２０に戻すことでレーザ素子２０にＣＯＤを生じさせることができる。これにより、大規模な火災といった重大事故を回避して安全性を高めることができる。

図４は、本発明の第３の実施形態におけるレーザモジュール２０１を模式的に示す断面図である。図４に示すように、本実施形態におけるレーザモジュール２０１は、レンズ形状の端部を有するレンズド光ファイバ２３０を有しており、このレンズド光ファイバ２３０によりレーザ素子２０から発せられるレーザ光が外部に伝搬される。このレンズド光ファイバ２３０の周囲はフェルール２４０により被覆されており、レンズド光ファイバ２３０は接着材２３５によりフェルール２４０に保持及び固定されている。この接着材２３５としては、例えば、上述したEPO-TEK 353NDを用いることができる。なお、図４に示すように、フェルール２４０の端部は、レンズド光ファイバ２３０の端部形状に沿った傾斜面を有している。

フェルール２４０は、フェルール４０と同様に、接着材２３５や接着材３６からの熱を伝えやすい材質からなることが好ましい。このような熱伝導性の良い材料として、例えば、アルミナ、窒化アルミニウム、銅、ニッケル、ステンレス鋼などを用いることができる。また、接着材２３５や接着材３６からの伝熱性を考慮すると、フェルール２４０の厚さは約０．５ｍｍ〜約３ｍｍであることが好ましい。さらに、フェルール２４０は、使用する光の波長に対する吸収率が高い材料からなることが好ましい。例えば、近赤外光を使用する場合であれば、近赤外光に対する吸収率が比較的高い材料としてニッケルやステンレス鋼などを用いることができる。

本実施形態では、レンズド光ファイバ２３０の端部近傍のフェルール２４０上に溶融反射部材２５０が取り付けられている。この溶融反射部材２５０は、接着材２３５，３６の発火点（例えば５００℃）よりも低い融点を有する物質からなるものである。例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｂｉ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｐｂ、Ｃｄ、Ｚｎ、及びＧａの少なくとも１つを含む合金からなる物質を溶融反射部材２５０として用いることができる。あるいは、樹脂を溶融反射部材２５０として用いることもできる。

本実施形態においても、レーザ光の漏れ光の照射や高温下での長期的な使用により接着材２３５，３６の温度が上昇しても、接着材２３５，３６が発火温度に達する前に溶融反射部材２５０が溶融してフェルール２４０上からレンズド光ファイバ２３０の端面に流れ込む。これにより、レンズド光ファイバ２３０の端面には、溶融した溶融反射部材２５０からなる反射面が形成される。したがって、この溶融した溶融反射部材２５０により形成された反射面でレーザ光の少なくとも一部を反射させてレーザ素子２０に戻すことでレーザ素子２０にＣＯＤを生じさせることができる。これにより、大規模な火災といった重大事故を回避して安全性を高めることができる。

図５は、本発明の第４の実施形態におけるレーザモジュール３０１を模式的に示す断面図である。図５に示すように、本実施形態におけるレーザモジュール３０１は、第３の実施形態と同様に、レンズド光ファイバ２３０を有するものであるが、フェルール２４０を用いずにレンズド光ファイバ２３０を固定したものである。レンズド光ファイバ２３０は接着材３３５によりスリーブ１５に固定されている。また、本実施形態では、パッケージ内部空間Ｓ内に台座３７０が設けられており、この台座３７０上に設けられた接着材３７２によってレンズド光ファイバ２３０が固定されている。これらの接着材３３５，３７２としては、例えば、上述したEPO-TEK 353NDを用いることができる。

図６は、図５のレンズド光ファイバ２３０の端部を示す拡大図である。図５及び図６に示すように、本実施形態では、レンズド光ファイバ２３０の端部近傍に直接溶融反射部材３５０が取り付けられている。この溶融反射部材３５０は、接着材３７２，３３５の発火点（例えば５００℃）よりも低い融点を有する物質からなるものである。例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｂｉ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｐｂ、Ｃｄ、Ｚｎ、及びＧａの少なくとも１つを含む合金からなる物質を溶融反射部材３５０として用いることができる。あるいは、樹脂を溶融反射部材３５０として用いることもできる。

本実施形態においても、レーザ光の漏れ光の照射や高温下での長期的な使用により接着材３７２，３３５の温度が上昇しても、接着材３７２，３３５が発火温度に達する前に溶融反射部材３５０が溶融してレンズド光ファイバ２３０の端面に流れ込む。これにより、レンズド光ファイバ２３０の端面には、溶融した溶融反射部材３５０からなる反射面が形成される。したがって、この溶融した溶融反射部材３５０により形成された反射面でレーザ光の少なくとも一部を反射させてレーザ素子２０に戻すことでレーザ素子２０にＣＯＤを生じさせることができる。これにより、大規模な火災といった重大事故を回避して安全性を高めることができる。

上述した実施形態では、光ファイバの端面に反射面を形成する例を説明したが、これに限られるものではない。例えば、図７に示すように、レーザ光の光路に略垂直なガラス板４１７をパッケージ内部空間Ｓに配置し、このガラス板４１７上に溶融反射部材４５０を配置してもよい。この場合には、接着材３５，３６が発火温度に達する前に溶融反射部材４５０が溶融してガラス板４１７上を流れ落ちレーザ光の光路上に反射面を形成する。この反射面でレーザ光の少なくとも一部を反射させてレーザ素子２０に戻すことでレーザ素子２０にＣＯＤを生じさせることができる。これにより、大規模な火災といった重大事故を回避して安全性を高めることができる。

また、上述した例では、レーザ光の光路の上方に溶融反射部材が配置されていたが、これに限られるものではない。溶融反射部材をレーザ光の光路の上方に配置した場合には、重力を用いて溶融した溶融反射部材をレーザ光の光路上に流し込むことができるが、例えば、温度が低い方から高い方に流れるマランゴニ効果を利用することにより、レーザ光の光路の下方に溶融反射部材を配置した場合であっても溶融した溶融反射部材をレーザ光の光路上に流し込むことができる。

また、溶融した溶融反射部材により形成される反射面は、レーザ素子から発せられたレーザ光のすべてを反射させてレーザ素子に戻す必要はなく、レーザ光の少なくとも一部を反射させてレーザ素子に戻せばよい。レーザ光の少なくとも一部でもレーザ素子に戻せば、レーザ素子にＣＯＤを生じさせることができるので、大規模な火災といった重大事故を回避して安全性を高めることができる。

これまで本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。

１ レーザモジュール
１０ パッケージ筐体
１１ 側壁
１２ 側壁
１３ 下部壁
１４ 上部壁
１５ スリーブ
２０ 半導体レーザ素子
２６Ａ レンズ
２６Ｂ レンズ
３０ 光ファイバ
３５ 接着材
３６ 接着材
４０ フェルール
５０ 溶融反射部材
６０ ヒートシンク
１０１ レーザモジュール
１２６ レンズ
１３６ 接着材
１５０ 溶融反射部材
１７０ 保持部
２０１ レーザモジュール
２３０ レンズド光ファイバ
２３５ 接着材
２４０ フェルール
２５０ 溶融反射部材
３０１ レーザモジュール
３３５ 接着材
３５０ 溶融反射部材
３７０ 台座
３７２ 接着材
４１７ ガラス板
４５０ 溶融反射部材
Ｓ パッケージ内部空間

Claims (12)

1. 内部にパッケージ内部空間が形成されたパッケージ筐体と、
   前記パッケージ内部空間に配置されたレーザ素子と、
   前記レーザ素子から発せられたレーザ光を前記パッケージ筐体の外部に伝搬する光ファイバと、
   前記光ファイバを前記パッケージ筐体に対して固定する接着材と、
   正常時は固体であって前記接着材の発火点よりも低い融点を有する溶融反射部材であって、溶融することによって、前記レーザ素子から発せられたレーザ光の少なくとも一部を反射させて前記レーザ素子に戻す反射面を前記レーザ光の光路上に形成する溶融反射部材と、
   を備えたことを特徴とするレーザモジュール。
2. 前記溶融反射部材は、溶融することによって前記光ファイバの端面に前記反射面を形成することを特徴とする請求項１に記載のレーザモジュール。
3. 前記溶融反射部材は、前記接着材に接触するように取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザモジュール。
4. 前記光ファイバを保持するフェルールをさらに備え、
   前記溶融反射部材は、前記フェルールに接触するように取り付けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のレーザモジュール。
5. 前記溶融反射部材は、前記レーザ光の光路の上方に配置されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のレーザモジュール。
6. 前記溶融反射部材は、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｂｉ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｐｂ、Ｃｄ、Ｚｎ、及びＧａの少なくとも１つを含む合金からなることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のレーザモジュール。
7. パッケージ筐体内に形成されたパッケージ内部空間に配置されたレーザ素子からレーザ光を出射して、該レーザ光を前記パッケージ筐体に接着材により固定された光ファイバに入射させて前記パッケージ筐体の外部に伝搬させるレーザ光生成方法であって、
   正常時は固体であって前記接着材の発火点よりも低い融点を有する溶融反射部材を前記パッケージ内部空間に設け、
   前記正常時よりも高温となった場合に、前記接着材が発火する前に前記溶融反射部材を溶融させて、前記レーザ素子から発せられたレーザ光の少なくとも一部を反射させて前記レーザ素子に戻して該レーザ素子の機能を停止させる、
   ことを特徴とするレーザ光生成方法。
8. 前記溶融反射部材を溶融させることによって前記光ファイバの端面で前記レーザ光の少なくとも一部を反射させることを特徴とする請求項５に記載のレーザ光生成方法。
9. 前記接着材に接触するように前記溶融反射部材を取り付けることを特徴とする請求項７又は８に記載のレーザ光生成方法。
10. 前記光ファイバを被覆するフェルールに接触するように前記溶融反射部材を取り付けることを特徴とする請求項７から９のいずれか一項に記載のレーザ光生成方法。
11. 前記溶融反射部材を前記レーザ光の光路の上方に配置することを特徴とする請求項７から１０のいずれか一項に記載のレーザ光生成方法。
12. 前記溶融反射部材として、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｂｉ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｐｂ、Ｃｄ、Ｚｎ、及びＧａの少なくとも１つを含む合金を用いることを特徴とする請求項７から１１のいずれか一項に記載のレーザ光生成方法。

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